JPH03129929U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03129929U JPH03129929U JP3815590U JP3815590U JPH03129929U JP H03129929 U JPH03129929 U JP H03129929U JP 3815590 U JP3815590 U JP 3815590U JP 3815590 U JP3815590 U JP 3815590U JP H03129929 U JPH03129929 U JP H03129929U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chemical solution
- spacers
- sprayed
- injection device
- chamber
- Prior art date
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- Pending
Links
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Description
第１図は本考案に係るスペーサ散布装置の一実
施例を示す全体構成図、第２図は従来のスペーサ
散布装置を示す全体構成図である。 ２……ガラス基板（対象部材）、４……混合薬
液、１１……スペーサ散布装置、１２……チヤン
バ、１３……ノズル（噴射装置）、１３ａ……先
端部、１４……噴射通路、１５……拡散球（拡散
部材）、１５ａ……開口部、１５ｂ……側壁部、
１５……内壁部。
施例を示す全体構成図、第２図は従来のスペーサ
散布装置を示す全体構成図である。 ２……ガラス基板（対象部材）、４……混合薬
液、１１……スペーサ散布装置、１２……チヤン
バ、１３……ノズル（噴射装置）、１３ａ……先
端部、１４……噴射通路、１５……拡散球（拡散
部材）、１５ａ……開口部、１５ｂ……側壁部、
１５……内壁部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 スペーサが散布される対象部材を載置するチヤ
ンバと、 前記スペーサを含む所定の薬液を噴射する噴射
装置と、 前記噴射装置から噴射された薬液が衝突する位
置に設置され、該薬液の衝突によつて薬液中のス
ペーサの拡散状態を変える拡散部材と、 を具備したことを特徴とするスペーサ散布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3815590U JPH03129929U (ja) | 1990-04-10 | 1990-04-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3815590U JPH03129929U (ja) | 1990-04-10 | 1990-04-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03129929U true JPH03129929U (ja) | 1991-12-26 |
Family
ID=31545907
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3815590U Pending JPH03129929U (ja) | 1990-04-10 | 1990-04-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03129929U (ja) |
-
1990
- 1990-04-10 JP JP3815590U patent/JPH03129929U/ja active Pending