JPH03130545U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03130545U JPH03130545U JP4030190U JP4030190U JPH03130545U JP H03130545 U JPH03130545 U JP H03130545U JP 4030190 U JP4030190 U JP 4030190U JP 4030190 U JP4030190 U JP 4030190U JP H03130545 U JPH03130545 U JP H03130545U
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- JP
- Japan
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- inspected
- air purge
- light
- electrical signal
- scanning
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims description 6
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す欠陥検出器
の構成図、第２図は第１のエアパージの構成図、
第３図、第４図、第５図は従来装置の説明図であ
る。 図中、１……レーザ装置、２……光学系、３…
…スキヤナ、４……スキヤナドライバ、５……被
検査物、６……光ガイド、７……光電変換器、８
……信号処理器、９……第１のエアパージ、１０
……第２のエアパージである。なお、図中同一符
号は同一又は相当部分を示す。
の構成図、第２図は第１のエアパージの構成図、
第３図、第４図、第５図は従来装置の説明図であ
る。 図中、１……レーザ装置、２……光学系、３…
…スキヤナ、４……スキヤナドライバ、５……被
検査物、６……光ガイド、７……光電変換器、８
……信号処理器、９……第１のエアパージ、１０
……第２のエアパージである。なお、図中同一符
号は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- レーザ等の光源と、この光源から発せられた光
を適切な大きさにするための光学系及び被検査物
上に走査するための走査系より構成される照射系
と、被検査物からの反射・散乱光を受光し電気信
号に変換する受光系と、この電気信号を処理し良
否判定等をする信号処理装置系とを備えた欠陥検
出器において、検査直前で被検査物をパージする
第１のエアパージ機構を備え且つパージされた塵
埃等が光路へ入るのを防ぐ第２のエアパージ機構
を備えたことを特徴とする欠陥検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4030190U JPH03130545U (ja) | 1990-04-16 | 1990-04-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4030190U JPH03130545U (ja) | 1990-04-16 | 1990-04-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03130545U true JPH03130545U (ja) | 1991-12-27 |
Family
ID=31549972
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4030190U Pending JPH03130545U (ja) | 1990-04-16 | 1990-04-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03130545U (ja) |
-
1990
- 1990-04-16 JP JP4030190U patent/JPH03130545U/ja active Pending
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