JPS63145158U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63145158U JPS63145158U JP14382286U JP14382286U JPS63145158U JP S63145158 U JPS63145158 U JP S63145158U JP 14382286 U JP14382286 U JP 14382286U JP 14382286 U JP14382286 U JP 14382286U JP S63145158 U JPS63145158 U JP S63145158U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspected
- light
- motor
- photodetector
- surface defect
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す表面欠陥検
出器の構成図、第２図は被検査物の溝方向検出系
の詳細図、第３図は方向検出系の動作説明図、第
４図は従来の表面欠陥検出器を示す構成図、第５
図は従来装置の動作説明図、第６図、第７図は回
折パターン及び検出信号の説明図である。 図において、１はレーザ装置、２は光学系、３
はスキヤナ、４はスキヤナドライバ、６は光ガイ
ド、７は光電変換器、８は信号処理系、１１は被
検査物回転治具、１２はモータ、１３はアパーチ
ヤ板、１４は光検知器、１５は制御系である。な
お図中同一あるいは相当部分には同一符号を付し
て示してある。
出器の構成図、第２図は被検査物の溝方向検出系
の詳細図、第３図は方向検出系の動作説明図、第
４図は従来の表面欠陥検出器を示す構成図、第５
図は従来装置の動作説明図、第６図、第７図は回
折パターン及び検出信号の説明図である。 図において、１はレーザ装置、２は光学系、３
はスキヤナ、４はスキヤナドライバ、６は光ガイ
ド、７は光電変換器、８は信号処理系、１１は被
検査物回転治具、１２はモータ、１３はアパーチ
ヤ板、１４は光検知器、１５は制御系である。な
お図中同一あるいは相当部分には同一符号を付し
て示してある。
Claims (1)
- レーザ等の光源と、この光源から発せられた光
を適切な大きさにするための光学系及び被検査物
上に走査するための走査系より構成される照射系
と、被検査物からの反射光を受光し電気信号に変
換する受光系と、この受光系により変換された電
気信号を処理し良否判定等をする信号処理系とを
備えた表面欠陥検出器において、圧延目等の方向
性のある溝を有する被検査物に光ビームを照射す
る照射系と、ほぼ中央に上記光ビームを通過させ
る穴および端部付近に被検査物からの回折反射光
を通過させる穴を有するアパーチヤ板と、上記被
検査物からの回折反射光を上記アパーチヤ板を介
して受光する光検知器と、被検査物を回転させる
モータ及び上記光検知器の出力信号に基づいて被
検査物の溝方向を走査光方向に対し適切な方向に
なるように上記モータを制御する制御系とを備え
たことを特徴とする表面欠陥検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14382286U JPS63145158U (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14382286U JPS63145158U (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63145158U true JPS63145158U (ja) | 1988-09-26 |
Family
ID=31053858
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14382286U Pending JPS63145158U (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63145158U (ja) |
-
1986
- 1986-09-19 JP JP14382286U patent/JPS63145158U/ja active Pending
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