JPH03131085A - 両面配線基板の製造方法 - Google Patents

両面配線基板の製造方法

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JPH03131085A
JPH03131085A JP26827489A JP26827489A JPH03131085A JP H03131085 A JPH03131085 A JP H03131085A JP 26827489 A JP26827489 A JP 26827489A JP 26827489 A JP26827489 A JP 26827489A JP H03131085 A JPH03131085 A JP H03131085A
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Japan
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thin film
insulating substrate
metal thin
plating
plating layer
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JP26827489A
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Yoshihiro Kawamura
義裕 河村
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Casio Computer Co Ltd
Original Assignee
Casio Computer Co Ltd
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Publication date
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    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0097Processing two or more printed circuits simultaneously, e.g. made from a common substrate, or temporarily stacked circuit boards
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/108Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern by semi-additive methods; masks therefor
    • HELECTRICITY
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    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/40Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
    • H05K3/403Edge contacts; Windows or holes in the substrate having plural connections on the walls thereof
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    • H05K3/42Plated through-holes or plated via connections
    • H05K3/425Plated through-holes or plated via connections characterised by the sequence of steps for plating the through-holes or via connections in relation to the conductive pattern
    • H05K3/426Plated through-holes or plated via connections characterised by the sequence of steps for plating the through-holes or via connections in relation to the conductive pattern initial plating of through-holes in substrates without metal

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は両面配線基板の製造方法に関する。
〔従来の技術] 従来、絶縁基板の両面に配線パターンが形成された両面
配線基板においては、パンチングやドリル加工等により
絶縁基板の表面から裏面に貫通する小径のスルーホール
を形成し、このスルーホールの内壁に銅等の金属メッキ
を施し、この金属メッキにより両面の配線パターンを相
互に接続している。このような両面配線基板においては
、絶縁基板が合成樹脂製であるから、スルーホールの内
壁に金属メッキを直接施すことはできない、そのため、
前処理によりスルーホールの内壁を粗面にしてメ、ツキ
を付着しやすくしたり、化学メッキにより下地メッキを
施したりして、電解メッキにより金属メッキを施してい
る。
[発明が解決しようとする課題] しかし、このような両面配線基板の製造方法では、スル
ーホールの内壁に金属メッキを施すために、予めスルー
ホールの内壁に前処理や下地メッキ等を施さなければな
らないので、メッキ工程が複雑で、生産性が悪く、製造
コストが高くなるという問題がある。また、スルーホー
ルは近年の複鑵な回路配線において、小径にするのに限
界があり1回路配線に占める面積が大きく1回路設計上
の邪魔になるという問題がある。
この発明の目的は、メッキ工程が簡単で、生産性に優れ
、安価に製作することができ、しかもスルーホールが占
める面積を小さくでき1回路設計上邪魔にならない両面
配線基板の製造方法を提供することにある。
[課題を解決するための手段] この発明は、絶縁基板に複数の貫通孔を適宜間隔に配列
形成した後、前記絶縁基板の表面、裏面、および前記貫
通孔の内面に蒸着またはスパッタリングにより金属薄膜
を形成し、この後、前記絶縁基板の表面および裏面にお
ける前記貫通孔を含む配線パターン形成領域に相当する
前記金属薄膜上にメッキ層を形成し、しかる後、前記配
線パターン形成領域以外の前記金属薄膜をエツチングし
て除去し、最後に、前記貫通孔を結ぶ切断線に沿って前
記絶縁基板を切断することにある。
[作 用] この発明においては、複数の貫通孔が形成された絶縁基
板に金属薄膜を蒸着またはスパッタリングにより形成す
るので、絶縁基板の表面および裏面は勿論のこと1貫通
孔の内面にも金属薄膜を容易にかつ確実に形成すること
ができる。しかも、この金属薄膜はメッキ層の下地メッ
キとなるので、電解メッキ等により金属薄膜にメッキ層
を簡単かつ容易に形成することができる。そのため、メ
ッキ工程が簡単となり、生産性がよく、安価に製作する
ことができる。また、配線パターンを形成した後には、
貫通孔を結ぶ切断線に沿って絶縁基板を切断するので、
貫通孔は絶縁基板の縁、もしくは切断された切欠部やく
り抜き部の縁に一部分が残るので、絶縁基板の表裏の配
線パターンを相互に確実に接続することができ、しかも
一部分が残るだけであるから、貫通孔が両面基板に占め
る面積を小さくでき、回路設計上の邪魔にならず、良好
に両面基板を製作することができる。したがって、この
発明によれば、製造工程が簡素化され且つ生産能率が格
段に向上する。
〔実施例] 以下、図面を参照して、この発明の詳細な説明する。
第1図(A)〜(F)は両面配線基板の製造工程を示す
、まず、第1図(A)に示すように、絶縁基板1を用意
する。この絶縁基板lはポリイミド、ポリエステル、ガ
ラスエポキシ等の絶縁性を有する合成樹脂製のシートで
ある。この絶縁基板lの所定箇所、つまり絶縁基板lの
上面の配線パターン形成領域と下面の配線パターン形成
領域とが対応する箇所に貫通孔2を形成する。この貫通
孔2は図では絶縁基板lの幅方向に一定の間隔で一直線
上に複数配列形成されているが、上下面の配線パターン
形成領域が対応する箇所であれば、必ずしも貫通孔2の
間隔は一定である必要はなく、しかも−直線上に配列形
成される必要もない。
次に、第1図CB)に示すようK、絶縁基板lの全表面
に例えば銅(Cu)、アルミニウム(A1)等の金属を
蒸着またはスパッタリングにより被着して金属薄膜3を
形成する。この金属薄膜3は後述するメッキ層5の下地
面層となるものであり、絶縁基板lの上下面から蒸着お
よびスパッタリングされることにより、厚さ数百λ〜数
千λ程度と極めて薄く形成され、かつ絶縁基板1の上下
面は勿論のこと、貫通孔2の内面にも確実に被着される
しかる後、絶縁基板1の上面および下面における金属薄
!13の配線パターン形成領域以外にレジスト層4をス
クリーン印刷もしくはフォトパタ−ンニング等により形
成する。このレジスト層4は熱溶融性樹脂あるいはフォ
トレジスト等のレジストを用いる。なお、このレジスト
層4をスクリーン印刷により形成する場合には、金属薄
I!iI3上にスクリーンを介してレジストを印刷する
ことにより、レジスト層4が形成される。また、フォト
パターニング法によりレジスト層4を形成する場合には
、金属薄M3の表面にフォトレジストを塗布し、このフ
ォトレジストをマスクを介して露光し現像することによ
り、レジスト層4がパターン形成される。
この後、第1図(C)に示すように、レジスト層4が形
成されていない金属薄膜3の全表面、つまり貫通孔2の
内面を含む配線パターン形成領域に電解メッキによりメ
ッキ層5を形成する。この場合には、絶縁基板1の側面
にもメッキが施されてメッキ層5が形成される。すなわ
ち、メッキ層5は金属薄膜3が下地メッキとなるので、
電解メッキにより簡単に金属薄膜3の表面のみに形成さ
れ、レジスト層4の表面には形成されない、これは、電
解メッキであるため、レジスト層4の表面にはメッキ液
の金属粒子が付着しないからである。そのため、メッキ
液が無駄にならず、効率よくメッキを施すことができる
ばかりか、金属薄膜3の表面に電解メッキでメッキ層5
を簡単かつ良好に形成することができるので、メッキ工
程が簡単で、生産性がよく、安価に製作することができ
る。この場合、メッキ層5の材質は上述した金属薄膜3
と同じものを用いれば、金属薄膜3に対する付着性はよ
いが、異なるものでもよい、また、メッキ層5の厚さは
数ILm〜数十gm程度に形成されるが、メッキ層5の
材質が金属薄膜3と同じ場合には、後工程で金属薄膜3
と共にエツチングされるため、これを見込んで予め金属
薄膜3の厚さ分だけ厚く形成しておく。
次に、第1図(D)に示すように、レジスト層4を除去
する。この場合には、レジスト層4を加熱して溶融する
ことにより除去するか、あるいはエツチングにより除去
する。
しかる後、第1図(E)に示すように、メッキ層5をマ
スクとして金属薄膜3をエツチングして不要な部分、つ
まり配線パターン形成領域以外の金属薄M3を除去する
。この場合、メッキ層5が金属薄膜3と同じ材質であれ
ば、金属薄膜3と共にメッキ層5もエツチングされるが
、上述したように予め金属薄膜3の厚さ分だけ厚く形成
しておけば、最終的には数gm〜数十gm程度の厚さに
形成することができる。このように配線パターン形成領
域以外の表面に露出した金属薄II!I3の厚さだけエ
ツチングすればよいので、エツチング液を用いて短時間
でエツチングすることができる。この結果、金属薄!1
3とメッキ層5とからなる2層構造の配線パターン6・
・・が絶縁基板lの上面および下面に形成される。この
配線パターン6・・・は貫通孔2の内面にも金属薄膜3
とメッキ層5とが形成されているため、絶縁基板lの上
下面の総てが導通する。なお、絶縁基板1の側面にも金
属薄膜3とメッキ層5が残る。
そして、貫通孔2の中心を結ぶ切断線7に沿って絶縁基
板lを切断すると、第1図(F)に示すように、絶縁基
板lは貫通孔2を結ぶ切断線7で2つに分割される。こ
れにより、貫通孔2は絶縁基板1の綾部にほぼ半円弧状
に形成されることとなり、両面基板に占める面積を小さ
くすることができ1回路設計上の邪魔にならない、また
、貫通孔2は絶縁基板lの縁部に貫通孔2の一部分が残
るので、その内面に形成された金属薄膜3およびメッキ
層5により、絶縁基板lの上下面に形成された配線パタ
ーン6を相互に確実に接続することができる。したがっ
て、このように切断された絶縁基板1は、一方(例えば
左側)を破棄して他方(右側)のみを両面配線基板とし
て用いることができるばかりか、絶縁基板1の左端面を
配線パターン6・・・の配列方向に沿う切断線8で切断
して金属薄[3およびメッキ層5を除去すれば、両方と
も2枚の両面配線基板として用いることもできる。なお
、この場合には、配線パターン6に沿う絶縁基板1の手
前側面にも金属薄膜3およびメッキ層5が歿っているの
で、その部分を切断線9に沿って切断して除去すること
が望ましいが、金属薄膜3およびメッキ層5が残ったま
ま基板として使用してもよい。
このように、上述した両面配線基板の製造方法によれば
、絶縁基板lの側面部に予めメッキレジストを被着した
りエツチングレジストを被着したりする工程を省略する
ことができ、しかも上述した各理由によって、両面配線
基板の製造工程を簡素化することができ、能率よく製作
することができる。この場合、絶縁基板lの貫通孔2の
内面に形成された金属薄膜3およびメッキ層5は、導電
インク等からなるものと比べて、電気的な抵抗値が低く
、耐候性および電流容量の点において信頼性が高いので
、上下の配線パターン6をより確実に接続することがで
き、導通信頼性の極めて高いものを得ることができる。
なお、この発明は上述した実施例に限らず、例えば、第
2図に示すように貫通孔2の中心を結ぶ環状の切断線に
沿って絶縁基板1をくり抜いてもよい、この場合には、
予め、絶縁基板lの所定箇所に複数の貫通孔2を所定間
隔で環状に配列形成する。このとき、貫通孔2は絶縁基
板lの上面および下面の配線パターン形成領域が対応す
る箇所にそれぞれ形成される。この後、上述と同様に金
属薄!I3を形成し、この金属薄膜3上にメッキ層5を
パターン形成して、高速エツチングで金属薄膜3を除去
し、最後に貫通孔2の中心を結ぶ切断線に沿って切断し
てくり抜けば、このくり抜いた部分の縁部に貫通孔2が
ほぼ半円弧状に残る。これにより、残った貫通孔2の一
部分で上下面の配線パターン6が相互に接続された両面
配線基板を得ることができる。なお、絶縁基板lのくり
抜き部分はビス穴等として使用することができる。また
、くり抜かれた外側の絶縁基板1は勿論のこと、〈り抜
いた内側の部分も両面配線基板として使用することがで
きる。
また、金属薄!I3にメッキ層5を形成する場合には、
必ずしも配線パターン形成領域以外にレジスト層4を設
ける必要はなく、金属薄膜3の全表面にメッキ層5を設
け、このメッキ層5の配線パターン形成領域以外にレジ
スト層4を形成し、このレジスト層4をマスクとしてメ
ッキ層5および金属薄膜3をエツチングすることにより
、金属薄膜3およびメッキ層5からなる配線パターン6
を形成してもよい。
さらに、絶縁基板lは表面処理や適当なコーテイング材
を塗布したものを用いたり、複数枚ラミネートしたもの
を用いたりすることもできる。
また、金属薄膜3およびメッキ層5のエツチングはエツ
チング液を用いるウェットなエツチングである必要はな
く、ドライエツチングで行なってもよい、また、メッキ
層5の金属材料として、半田や金(Au)等を用いれば
、腐食し難いので、配線パターン6・・・の表面を絶縁
性の保護膜で覆う必要がない、金属薄膜3は必ずしも1
層構造である必要はなく、多層構造にしてもよい。
[発明の効果] 以上詳細に説明したように、この発明によれば、金属薄
膜を蒸着またはスパッタリングにより絶縁基板に形成す
るので、絶縁基板の表裏面は勿論のこと、貫通孔の内面
にも確実にかつ容易に金属薄膜を形成することができる
。しかも、この金属薄膜はメッキ層の下地メッキとなる
ので、電解メッキ等により金属薄膜にメッキ層を簡単か
つ容易に形成することができる。そのため、メッキ工程
が簡単となり、生産性がよく、安価に製作することがで
きる。また、配線パターンを形成した後には、貫通孔を
結ぶ切断線に沿って絶縁基板を切断するので、絶縁基板
の縁部または切断による切欠部やくり抜き部の縁部に貫
通孔の一部分を設けることができる。そのため、絶縁基
板の表裏の配線パターンを相互に確実に接続することが
でき、かつ貫通孔が両面基板に占める面精を小さくでき
、回路設計上のの邪魔にならず、良好に両面基板を製作
することができる。したがって、この発明によれば、製
造工程が簡素化され且つ生産能率が格段に向上する。
【図面の簡単な説明】
第1図(A)〜(F)はこの発明に係る両面配線系板の
製造工程を示す要部斜視図、第2図は他の両面配線基板
を示す斜視図である。 l・・・・・・絶縁基板、2・・・・・・貫通孔、3・
・・・・・金属薄膜、5・・・・・・メッキ層、6・・
・・・・配線パターン、7・・・・・・切断線。 特 許 出 願 人 カシオ計算機株式会社 第 図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】  絶縁基板に複数の貫通孔を適宜間隔に配列形成する工
    程と、 前記絶縁基板の表面、裏面、および前記貫通孔の内面に
    蒸着またはスパッタリングにより金属薄膜を形成する工
    程と、 前記絶縁基板の表面および裏面における前記貫通孔を含
    む配線パターン形成領域に相当する前記金属薄膜上にメ
    ッキ層をパターン形成する工程と、 前記配線パターン形成領域以外の前記金属薄膜をエッチ
    ングして除去する工程と、 前記貫通孔を結ぶ切断線に沿って前記絶縁基板を切断す
    る工程と、 からなる両面配線基板の製造方法。
JP26827489A 1989-10-17 1989-10-17 両面配線基板の製造方法 Pending JPH03131085A (ja)

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