JPH0313582B2 - - Google Patents

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JPH0313582B2
JPH0313582B2 JP59146627A JP14662784A JPH0313582B2 JP H0313582 B2 JPH0313582 B2 JP H0313582B2 JP 59146627 A JP59146627 A JP 59146627A JP 14662784 A JP14662784 A JP 14662784A JP H0313582 B2 JPH0313582 B2 JP H0313582B2
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aliphatic hydrocarbon
compound
hydrocarbon group
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Kunio Yanagisawa
Yasuhiko Araki
Hajime Shobi
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Sekisui Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sekisui Chemical Co Ltd
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Publication of JPH0313582B2 publication Critical patent/JPH0313582B2/ja
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    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
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    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • GPHYSICS
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Description

【発明の詳細な説明】 (技術分野) 本発明は光重合可能な画像形成用感光性樹脂組
成物に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Technical Field) The present invention relates to a photopolymerizable photosensitive resin composition for image formation.

(従来技術) 従来より、高分子材料からなるバインダー、光
重合性モノマー及び光重合増感剤などからなる樹
脂組成物を基板上に塗布あるいは被覆させ、陰画
等を通して紫外線のような活性光を照舎し、光の
当つた部分を重合あるいは架橋させて溶剤に対し
不溶化させ、光が当たらない部分を溶出させるこ
とにより、上記画像を基板上に現像できることが
知られており、印刷版材やプリント配線板の製造
に利用されている。
(Prior art) Conventionally, a resin composition consisting of a binder made of a polymeric material, a photopolymerizable monomer, a photopolymerizable sensitizer, etc. is applied or coated onto a substrate, and active light such as ultraviolet rays is irradiated through a negative image. It is known that the above image can be developed on a substrate by polymerizing or crosslinking the areas exposed to light and making them insoluble in solvents, and eluting the areas not exposed to light. Used for manufacturing wiring boards.

しかし、上記の組成物では得られる画像被膜は
耐溶剤性、耐薬品性、耐熱性および機械的強度が
不充分であり、保護被膜としての使用範囲は限ら
れている。
However, the image coating obtained with the above composition has insufficient solvent resistance, chemical resistance, heat resistance and mechanical strength, and its use as a protective coating is limited.

例えば、これらの被膜は中性、弱酸性溶液には
耐えるが、強酸性、アルカリ溶液には耐えられ
ず、従つて、エツチング、メツキ等の処理液の種
類が制限される。又、トルエン、トリクレン、メ
チルエチルケトン等の有機溶剤には弱く、耐熱性
や機械的強度が不充分なため、永久的な保護被膜
になし得ない。
For example, these films can withstand neutral and weakly acidic solutions, but cannot withstand strongly acidic and alkaline solutions, and therefore the types of processing solutions for etching, plating, etc. are limited. Furthermore, it is weak to organic solvents such as toluene, trichlene, and methyl ethyl ketone, and has insufficient heat resistance and mechanical strength, so it cannot be used as a permanent protective film.

又、永久的な保護被膜を形成する目的で、従来
エポキシ化合物及び硬化剤を含む系が提案されて
いるが、これらは室温可使時間が短かく、硬化に
高温長時間を要し基板に反りを生じさせたり、金
属腐食を起したりする。
Additionally, systems containing epoxy compounds and curing agents have been proposed for the purpose of forming a permanent protective film, but these systems have a short pot life at room temperature, require high temperatures and long periods of time to cure, and may cause the substrate to warp. or cause metal corrosion.

特公昭52−43092号公報、特公昭52−43091号公
報、特公昭56−3539号公報などでは、永久的保護
被膜を形成する目的で、共重合バインダーの中に
酸成分を含有させて硬化を促進させようとしてい
るが、通常の条件では硬化が不充分であり、はん
だ耐熱性、耐溶剤性、耐アルカリ性に弱く、更に
冷熱繰返し特性も充分とは云えない。
In Japanese Patent Publication No. 52-43092, Japanese Patent Publication No. 52-43091, Japanese Patent Publication No. 56-3539, etc., for the purpose of forming a permanent protective film, an acid component is contained in a copolymer binder to cure it. However, under normal conditions, curing is insufficient, the soldering heat resistance, solvent resistance, and alkali resistance are weak, and furthermore, the cold-heat cycling characteristics are not sufficient.

(発明の目的) 本発明は上記従来の欠点を解消して、貯蔵安定
性に富み、短時間の加熱で充分硬化させることが
でき、永久的な保護被膜を形成させるに適した感
光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
(Object of the Invention) The present invention solves the above-mentioned conventional drawbacks, and provides a photosensitive resin composition that has excellent storage stability, can be sufficiently cured with short heating, and is suitable for forming a permanent protective film. The purpose is to provide something.

(発明の要旨) 本発明は、 (a) 末端エチレン基を実質的に少くとも2個有す
る光重合可能な不飽和化合物、 (b) 光重合増感剤、 (c) エポキシアクリレートモノマー及び(メタ)
アクリル酸の多価アルコールエステルからなる
群より選ばれる水酸基を有する重合性化合物を
成分として得られる高分子化合物及び (d) 一般式()で表わされる化合物並びに、 (R1は脂肪族炭化水素基又は芳香族炭化水素
基、R2、R3、R4のうち少なくとも1つはヒド
ロキシル基並びに、アルコキシル基、アリル
(allyl)オキシ基、アクリロイルオキシ基及び
メタクリロイルオキシ基からなる群より選ばれ
る基を含有する脂肪族炭化水素基であり、他は
脂肪族炭化水素基又は芳香族炭化水素基、nは
2以上の整数である) 一般式()で表わされる化合物を成分とし
て得られる重合体) (R5は炭素−炭素の二重結合を有する脂肪族
炭化水素基又は芳香族炭化水素基、R6、R7
R8のうち少なくとも1つはヒドロキシル基並
びに、アルコキシル基、アリル(allyl)オキ
シ基、アクリロイルオキシ基及びメタクリロイ
ルオキシ基からなる群より選ばれる基を含有す
る樹脂族炭化水素基であり、他は脂肪族炭化水
素基又は芳香族炭化水素基、mは1以上の整数
である。
(Summary of the Invention) The present invention comprises (a) a photopolymerizable unsaturated compound having substantially at least two terminal ethylene groups, (b) a photopolymerizable sensitizer, (c) an epoxy acrylate monomer and (meth) )
A polymer compound obtained using a polymerizable compound having a hydroxyl group selected from the group consisting of polyhydric alcohol esters of acrylic acid, and (d) a compound represented by the general formula (), and (R 1 is an aliphatic hydrocarbon group or aromatic hydrocarbon group, and at least one of R 2 , R 3 , and R 4 is a hydroxyl group, an alkoxyl group, an allyloxy group, an acryloyloxy group, and a methacryloyloxy group) an aliphatic hydrocarbon group containing a group selected from the group consisting of groups, the others are aliphatic hydrocarbon groups or aromatic hydrocarbon groups, and n is an integer of 2 or more) Compounds represented by general formula () (polymer obtained as a component) (R 5 is an aliphatic hydrocarbon group or aromatic hydrocarbon group having a carbon-carbon double bond, R 6 , R 7 ,
At least one of R 8 is a resinous hydrocarbon group containing a hydroxyl group and a group selected from the group consisting of an alkoxyl group, an allyloxy group, an acryloyloxy group, and a methacryloyloxy group, and the others are aliphatic hydrocarbon groups. group hydrocarbon group or aromatic hydrocarbon group, m is an integer of 1 or more.

からなる群より選ばれる1分子中に2個以上のア
ミンノミド基を有する化合物よりなる又はこれら
を主成分とすることを特徴とする感光性樹脂に存
する。
The photosensitive resin consists of a compound having two or more aminenomide groups in one molecule selected from the group consisting of, or is characterized by having these as a main component.

(発明の構成) 本発明における不飽和化合物(a)は、末端エチレ
ン基を質質的に少なくとも2個有する。実質的に
少なくとも2個とは、系内に未端エチレン基を1
個しか持たない化合物、未端エチレン基3個以上
持つている化合物があつてもよく、全体として平
均的に未端エチレン基1化合物に少くとも2個有
していることを意味する。
(Structure of the Invention) The unsaturated compound (a) in the present invention qualitatively has at least two terminal ethylene groups. Substantially at least 2 means that there is 1 unterminated ethylene group in the system.
There may be compounds with only one terminal ethylene group, and there may be compounds with three or more terminal ethylene groups, and this means that one compound has at least two terminal ethylene groups on average as a whole.

上記不飽和化合物(a)としては、多価アルコール
のアクリル酸エステルもしくはメタクリル酸エス
テルが最適であり、具体的には、トリエチレング
リコール、テトラエチレングリコール、エチレン
グリコール、プロピレングリコール、トリメチロ
ールプロパン、ペンタエリスリトール、ネオペン
チングリコール等のアクリル酸もしくはメタクリ
ル酸エステルが挙げられる。この成分の使用量は
感光性樹脂組成物中10〜90重量%であり、好まし
くは15〜60重量%である。
As the unsaturated compound (a), acrylic esters or methacrylic esters of polyhydric alcohols are most suitable. Specifically, triethylene glycol, tetraethylene glycol, ethylene glycol, propylene glycol, trimethylolpropane, Examples include acrylic acid or methacrylic acid esters such as erythritol and neopentine glycol. The amount of this component used is 10 to 90% by weight, preferably 15 to 60% by weight in the photosensitive resin composition.

本発明における増感剤(b)は、活性光の照射によ
り前記不飽和化合物の重合が開始するものであ
り、場合によつては主たる増減剤と、主たる増感
剤を組合せて用いることがある。
The sensitizer (b) in the present invention is one that initiates polymerization of the unsaturated compound upon irradiation with actinic light, and in some cases, the main sensitizer and the main sensitizer may be used in combination. .

上記増感剤(b)は、従来から用いられる増感剤を
使用しうるが、なかでもフエニルケトン系の増感
剤が好適であり、具体的には、ベンゾフエノン、
P、P−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフエノン
(以下ミヒラーケトンという)などのP−アミノ
フエニルケトン、ベンゾイン、ベンゾインメチル
エーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾイ
ンブチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテ
ル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンジル
アンスラキノン、2−メチル−アンスラキノン、
2エチル−アンスラキノン、2−t−ブチル−ア
ンスラキノン、2−アミノアンスラキノン等が挙
げられる。
As the sensitizer (b), conventionally used sensitizers can be used, but phenylketone-based sensitizers are particularly preferred, and specifically, benzophenone,
P-aminophenyl ketones such as P, P-bis(dimethylamino)benzophenone (hereinafter referred to as Michler's ketone), benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin butyl ether, benzoin propyl ether, benzoin isopropyl ether, benzyl anthraquinone, 2 -methyl-anthraquinone,
Examples include 2-ethyl-anthraquinone, 2-t-butyl-anthraquinone, and 2-aminoanthraquinone.

上記増感剤(b)は、同様の作用を行うもので、活
性光の吸収域が異なるものを組合せて、重合開始
効率を改善させ、露光時間をより短縮させること
ができる。特に、ベンゾフエノンとミヒラーケト
ンの混合物などが好適である。この成分の使用量
は、感光性樹脂組成物中0.01〜15重量%であり、
好ましくは0.1〜10重量%である。
The above-mentioned sensitizers (b) have similar effects, and by combining those with different active light absorption ranges, the polymerization initiation efficiency can be improved and the exposure time can be further shortened. Particularly suitable is a mixture of benzophenone and Michler's ketone. The amount of this component used is 0.01 to 15% by weight in the photosensitive resin composition,
Preferably it is 0.1 to 10% by weight.

従来、加熱により硬化する、潜在硬化性のある
感光性樹脂組成物として、エポキシ化合物とその
硬化剤を含むものが知られているが、潜在硬化剤
として三フツ化ホウ素モノエチルアミン、三フツ
化ホウ素ベンジルアミン錯体、四フツ化ホウ素酸
塩、アジピン酸、ジヒドラジド、トリエチルアミ
ノボラン、フエニレンジアミン−臭化亜鉛錯体、
ジシアンジアミド等があるが、室温可使時間が短
かすぎて、保存が不可能である。
Hitherto, as latent curable photosensitive resin compositions that cure by heating, those containing an epoxy compound and its curing agent have been known, but boron trifluoride monoethylamine, boron trifluoride benzylamine complex, tetrafluoroborate, adipic acid, dihydrazide, triethylaminoborane, phenylenediamine-zinc bromide complex,
There are dicyandiamides, etc., but their pot life at room temperature is too short and they cannot be stored.

室温可使時間の長い潜在硬化剤として、P,
P′−ジアミノジフエニレンメタン、P,P′−ジア
ミノジフエニルスルホン酸、2−エチル4−エチ
ルメミダゾール等も見い出されているが、硬化に
高温、長時間を要するため、基板に反りを生じた
り、加工時間が長びいて好ましくない。
As a latent curing agent with a long pot life at room temperature, P,
P'-diaminodiphenylenemethane, P,P'-diaminodiphenylsulfonic acid, 2-ethyl-4-ethyl memidazole, etc. have also been found, but they require high temperatures and long periods of time to cure, causing the substrate to warp. This is undesirable because it may cause problems or prolong the processing time.

又、上記の従来の潜在硬化剤では、金属表面の
基板に拡散していき、精密電気回路の電気的性質
に悪影響を及ぼすことがあり、プリント配線の製
造には向いていない。
Further, the above-mentioned conventional latent curing agent is not suitable for manufacturing printed wiring because it diffuses into the substrate with the metal surface and may adversely affect the electrical properties of precision electric circuits.

そこで、本発明者は鋭意研究の結果、上記不飽
和化合物(a)及び上記増感剤(b)と共に、水酸基を有
する重合性化合物(C−2)を成分とする高分子
化合物(C)及び−分子中に2個以上のアミンイミド
基を有する多官能性アミンイミド化合物(d)を併用
する感光性樹脂組成物を見出したものである。
Therefore, as a result of intensive research, the present inventors have found that a polymeric compound (C) containing a polymerizable compound (C-2) having a hydroxyl group, along with the unsaturated compound (a) and the sensitizer (b), - We have discovered a photosensitive resin composition that uses a polyfunctional amine imide compound (d) having two or more amine imide groups in its molecule.

化合物(C−2)としては、例えば下記()
〜() のようなエポキシモノマーと(メタ)アクリル酸
を付加反応して得られるエポキシアクリレートモ
ノマーや(メタ)アクリル酸の多価アルコールエ
ステル、例えば、2−ヒドロキシエチルメタクリ
レート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2
−ヒドロキシプロピルメタクリレート、ポリオキ
シエチレングリコールモノアクリレートが用いら
れる。
As the compound (C-2), for example, the following ()
~() Epoxy acrylate monomers obtained by addition reaction of epoxy monomers such as (meth)acrylic acid and polyhydric alcohol esters of (meth)acrylic acid, such as 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate,
-Hydroxypropyl methacrylate and polyoxyethylene glycol monoacrylate are used.

上記水酸基を有する重合性化合物(C−2)
は、常法により重合され、水酸基を有する化合物
を成分とする高分子化合物(C)が得られる。この
際、組成物の皮膜性を向上させるために、第2成
分、第3成分を化合物(C−2)に加えて重合さ
せつてもよい。
Polymerizable compound having the above hydroxyl group (C-2)
is polymerized by a conventional method to obtain a polymer compound (C) containing a compound having a hydroxyl group as a component. At this time, in order to improve the film properties of the composition, a second component and a third component may be added to compound (C-2) and polymerized.

本発明における多官性能性アミンイミド化合物
(d)は、1分子中に2個以上のアミンイミド基を有
するものである。上記多官能性アミンイミド化合
物には2系統のものがあり、1つは、一般式
()で表わされる化合物であり、 (R1は脂肪族炭化水素基又は芳香族炭化水素基、
R2、R3、R4のうち少なくとも1つはヒドロキシ
ル基並びに、アルコキシル基、アリル(allyl)
オキシ基、アクリロイルオキシ基及びメタクリロ
イルオキシ基からなる群より選ばれる基を含有す
る脂肪族炭化水素基であり、他は脂肪族炭化水素
基又は芳香族炭化水素、nは2以上の整数であ
る) 他の1つは、一般式()で表わされる化合物
を成分として得られる重合体である。
Polyfunctional amine imide compound in the present invention
(d) has two or more amine imide groups in one molecule. There are two types of polyfunctional amine imide compounds, one of which is a compound represented by the general formula (), (R 1 is an aliphatic hydrocarbon group or an aromatic hydrocarbon group,
At least one of R 2 , R 3 , and R 4 is a hydroxyl group, an alkoxyl group, or an allyl group.
(It is an aliphatic hydrocarbon group containing a group selected from the group consisting of oxy, acryloyloxy, and methacryloyloxy groups; the others are aliphatic hydrocarbon groups or aromatic hydrocarbons; n is an integer of 2 or more) The other one is a polymer obtained by using a compound represented by the general formula () as a component.

(R5は炭素−炭素の二重結合を有する脂肪族炭
化水素基又は芳香族炭化水素基、R6、R7、R8
うち少なくとも1つはヒドロキシル基並びに、ア
ルコキシル基、アリル(allyl)オキシ基、アク
リロイルオキシ基及びメタクリロイルオキシ基か
らなる群より選ばれる基を含有する脂肪族炭化水
素基であり、他は脂肪族炭化水素基又は芳香族炭
化水素基、mは1以上の整数である) 上記一般式()で表わされる化合物は、例え
ば、多価カルボン酸エステルとヒドラジン誘導体
を反応させることによつて得られ、一般式()
で表わされる化合物を成分として得られる重合体
は、例えば、不飽和カルボン酸エステルとヒドラ
ジン誘導体の反応物を単独重合させたり、上記反
応物と他の重合性モノマーを共重合させて得られ
る。
(R 5 is an aliphatic hydrocarbon group or aromatic hydrocarbon group having a carbon-carbon double bond, and at least one of R 6 , R 7 and R 8 is a hydroxyl group, an alkoxyl group, an allyl group) It is an aliphatic hydrocarbon group containing a group selected from the group consisting of oxy group, acryloyloxy group, and methacryloyloxy group, the others are aliphatic hydrocarbon groups or aromatic hydrocarbon groups, and m is an integer of 1 or more. ) The compound represented by the above general formula () can be obtained, for example, by reacting a polyhydric carboxylic acid ester with a hydrazine derivative, and is represented by the general formula ().
A polymer obtained using the compound represented by as a component can be obtained, for example, by homopolymerizing a reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester and a hydrazine derivative, or by copolymerizing the above reaction product with another polymerizable monomer.

上記多価カルボン酸エステルの例としては、シ
ユウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジ
ピン酸等の飽和多価カルボン酸、リンゴ酸、酒石
酸等のオキシジカルボ酸、マレイン酸、フマル
酸、イタコン酸等の不飽和カルボン酸などのエス
テルが特に好適に使用される。
Examples of the polycarboxylic acid esters include saturated polycarboxylic acids such as oxalic acid, malonic acid, succinic acid, glutaric acid, and adipic acid; oxydicarboxylic acids such as malic acid and tartaric acid; maleic acid, fumaric acid, and itaconic acid. Esters such as unsaturated carboxylic acids such as esters, etc. are particularly preferably used.

例えば、マロン酸ビス〔1,1−ジメチル−1
−(2−ヒドロキシ−3−アリルオキシプロピル)
アミンイミド〕、コハク酸ピス〔1,1−ビメチ
ル−1−(2−ヒドロキシ−3−アリルオキシプ
ロピル)アミンイミド〕、グルタル酸ビス〔1,
1−ジメチル−1−(2−ヒドロキシプロピル)
アミンイミド〕、マレイン酸ビス〔1,1−ジメ
チル−1−(2−ヒドロキシ−3アリルオキシプ
ロピル)アミンイミド〕、イタコン酸ビス〔1,
1−ジエチル−1−(2−ヒドロキシプロピル)
アミンイミド〕等が挙げられる。前記一般式
()て表わされる化合物を成分として得られる
重合体としては、アクリル酸、メタクリル酸等の
一価不飽和カルボン酸や多価不飽和カルボン酸の
アミンイミド単独重合体、種々のアクリル酸もし
くはメタクリル酸エステルとの共重合体やオリゴ
マーが用いられ、例えば、メタクリル酸〔1,1
−ジメチル−1−(2−ヒドロキシ−3−ブトキ
シ−プロピル)アミンイミド〕、メタクリル酸
〔1,1−ジメチル−1−(2−ヒドロキシ−3−
アクリルオキシプロピル)アミンイミド〕等の重
合体や共重合体が挙げられる。
For example, bis[1,1-dimethyl-1 malonate
-(2-hydroxy-3-allyloxypropyl)
Amineimide], Pissuccinate [1,1-bimethyl-1-(2-hydroxy-3-allyloxypropyl)amineimide], Bisglutarate [1,
1-dimethyl-1-(2-hydroxypropyl)
amine imide], bis maleate [1,1-dimethyl-1-(2-hydroxy-3allyloxypropyl) amine imide], bis itaconate [1,
1-diethyl-1-(2-hydroxypropyl)
amine imide] and the like. Polymers obtained using the compound represented by the general formula () as a component include amine imide homopolymers of monounsaturated carboxylic acids and polyunsaturated carboxylic acids such as acrylic acid and methacrylic acid, various acrylic acids or Copolymers and oligomers with methacrylic acid ester are used, for example, methacrylic acid [1,1
-dimethyl-1-(2-hydroxy-3-butoxy-propyl)amineimide], methacrylic acid [1,1-dimethyl-1-(2-hydroxy-3-
Examples include polymers and copolymers such as (acryloxypropyl)amineimide].

(c)の水酸基を有する化合物を成分とする高分子
化合物と、(d)の1分子中に2個以上のアミンイミ
ド基を有する化合物とを加えることにより、硬化
被膜の耐熱性、耐薬品性が向上され、更にブリー
ドアウト性も抑制され、高分子化合物(c)に柔軟性
が付与されて、低温収縮性が向上し、冷熱繰り返
し特性が改良される。これらの理由は明らかでな
いが、高分子化合物(c)の中の水酸基と、化合物(d)
あるいはその分解物が反応して、三次元構造が発
達し、中で柔軟性を付与するウレタン結合が生成
していると考えられる。
By adding (c) a polymer compound containing a compound having a hydroxyl group and (d) a compound having two or more amine imide groups in one molecule, the heat resistance and chemical resistance of the cured film can be improved. In addition, bleed-out properties are also suppressed, flexibility is imparted to the polymer compound (c), low-temperature shrinkability is improved, and cold-heat cycling properties are improved. Although the reason for these is not clear, the hydroxyl group in the polymer compound (c) and the compound (d)
Alternatively, it is thought that the decomposition products react, develop a three-dimensional structure, and generate urethane bonds that provide flexibility.

化合物(d)としては、一般式()のR1が炭素
−炭素二重結合を含む方が冷熱繰り返し特性が優
れ、一般式()を重合あるいは共重合したもの
の方が、更に、冷熱繰り返し特性が優れる。ま
た、一般式()のR2、R3、R4及び一般式()
のR6、R7、R8が炭素数8以下の脂肪族炭化水素
のものが、硬化性、耐熱性に優れており、炭素−
炭素二重結合を含むものは、更に、硬化性、耐熱
性が優れる。これらの理由は明確ではないが、ブ
リードアウトして基板表面に悪影響を与えないこ
とや、活性光照射により、重合系に取りこまれる
ことにより、耐溶剤性や、耐酸、耐アルカリ性が
改善されるためと思われる。
As for the compound (d), those in which R 1 in the general formula () contains a carbon-carbon double bond have better cold-heat cycle properties, and those obtained by polymerizing or copolymerizing the general formula () have even better cold-heat cycle properties. is excellent. In addition, R 2 , R 3 , R 4 of general formula () and general formula ()
Those in which R 6 , R 7 , and R 8 are aliphatic hydrocarbons having 8 or less carbon atoms have excellent hardenability and heat resistance, and carbon-
Those containing carbon double bonds also have excellent curability and heat resistance. The reason for this is not clear, but it does not bleed out and have a negative effect on the substrate surface, and it improves solvent resistance, acid resistance, and alkali resistance by being incorporated into the polymerization system by irradiation with active light. It seems to be for a reason.

高分子化合物(c)は、分子量5〜60万、最適に
は、10〜30万、組成物中10〜90重量%、好ましく
は、30〜70重量%とされるのが良い。
The polymer compound (c) has a molecular weight of 50,000 to 600,000, optimally 100,000 to 300,000, and preferably 10 to 90% by weight, preferably 30 to 70% by weight of the composition.

化合物(d)は、そのアミンイミド成分が、組成物
中1〜30重量%とされるのがよい。
The amine imide component of compound (d) is preferably 1 to 30% by weight in the composition.

本発明感光性樹脂組成物は以上の必須成分に加
えて、種々の目的のために更に副次的な成分を含
有せしめることが可能である。即ち、貯蔵安定性
改善のための熱重合禁止剤、皮膜特性改善のため
の可塑剤、密着改良剤、染料、顔料、その他の充
填剤等を含有せしめることが可能である。
In addition to the above-mentioned essential components, the photosensitive resin composition of the present invention can further contain secondary components for various purposes. That is, it is possible to contain a thermal polymerization inhibitor for improving storage stability, a plasticizer for improving film properties, an adhesion improver, a dye, a pigment, other fillers, and the like.

(発明の作用) 本発明感光性樹脂組成物は、従前の感光性樹脂
と同様に感光性を有し、活性光の照射により光重
合を起こし、また、80℃以下では熱的に充分安定
であり、常法により永久的な保護被膜を形成しう
る。
(Action of the invention) The photosensitive resin composition of the present invention has photosensitivity like conventional photosensitive resins, undergoes photopolymerization when irradiated with actinic light, and is sufficiently thermally stable at temperatures below 80°C. A permanent protective coating can be formed using conventional methods.

即ち、本発明感光性樹脂組成物を通常は3〜60
重量%の濃度になるように、メチルエチルケト
ン、トルエン、メチルセロソルブ、クロロホルム
等の有機溶剤に溶解させて、液を調整し、下記(1)
あるいは(2)の方法で保護すべき基板上に感光層を
形成させる。
That is, the photosensitive resin composition of the present invention is usually 3 to 60
Adjust the solution by dissolving it in an organic solvent such as methyl ethyl ketone, toluene, methyl cellosolve, or chloroform to a concentration of % by weight, and follow the steps below (1).
Alternatively, a photosensitive layer is formed on the substrate to be protected by method (2).

(1) 感光性樹脂組成物を溶解した液を基板上に塗
布し乾燥させる。
(1) A solution containing a photosensitive resin composition is applied onto a substrate and dried.

(2) 感光性樹脂組成物を溶解した液をポリエチレ
ンテレフタレート等のフイルムに塗布し乾燥す
る。得られたフイルムを熱ロールを用いて基板
に貼り合わせる。この場合、フイルム感光層に
保護フイルムを重ねて保有することもある。
(2) A solution containing the photosensitive resin composition is applied to a film such as polyethylene terephthalate and dried. The obtained film is attached to a substrate using a hot roll. In this case, a protective film may be superimposed on the film photosensitive layer.

感光層を形成した基板に対し、ネガマスクを通
して紫外線などの活性光を照射し、露光部を光重
合、架橋により硬化させる。次いで、1,1,1
−トリクロルエタン等を用いて、未露光部を溶出
して現像を行なう。
The substrate on which the photosensitive layer is formed is irradiated with active light such as ultraviolet rays through a negative mask, and the exposed areas are cured by photopolymerization and crosslinking. Then 1, 1, 1
- Using trichloroethane or the like, unexposed areas are eluted and developed.

こうして得られた画像的な保護被膜は通常のエ
ツチング、メツキ等の表面変性加工のための耐食
膜となるが、更に150℃程度で1時間以内の短時
間の加熱硬化により、耐熱性及び機械的強度に優
れた永久的保護被膜となる。この保護被膜はトル
エン等の芳香族炭化水素、メチルエチルケトン等
のケトン溶剤、二塩化メチレン等のハロゲン化炭
化水素系の溶剤に侵されず、又、強酸、アルカリ
水溶液にも充分耐える。従つて、はんだ耐熱性に
優れたソルダーレジスト等の永久的な保護被膜と
して使用し得る。尚、加熱硬化に先立つて、紫外
線などを1〜3J/cm2の強さで後露光することによ
り、優れた強度を有する保護被膜を形成すること
もできる。
The image-like protective film obtained in this way becomes a corrosion-resistant film for ordinary surface modification processing such as etching and plating, but it can also be heat-resistant and mechanically Creates a strong, permanent protective coating. This protective film is not attacked by aromatic hydrocarbons such as toluene, ketone solvents such as methyl ethyl ketone, halogenated hydrocarbon solvents such as methylene dichloride, and is sufficiently resistant to strong acids and aqueous alkaline solutions. Therefore, it can be used as a permanent protective film such as a solder resist with excellent soldering heat resistance. A protective film having excellent strength can also be formed by post-exposure to ultraviolet light or the like at an intensity of 1 to 3 J/cm 2 prior to heat curing.

更に、本発明感光性樹脂組成物は、感光性、化
学的物理的強度に優れているから、感光性塗料、
プラスチツクレリーフ、印刷版材としても用いら
れる。
Furthermore, since the photosensitive resin composition of the present invention has excellent photosensitivity and chemical and physical strength, it can be used as a photosensitive paint,
Also used as plastic relief and printing plate material.

(実施例) 以下に本発明の実施例を説明する。(Example) Examples of the present invention will be described below.

尚、部とあるのは重量部を意味する。 In addition, "parts" means parts by weight.

実施例 1 メチルメタクリレート/β−ヒドロキシエチルメ
タクリレート(95/5)共重合体(重量平均分子
量20万) 60部 ペンタエリスリトールトリアクリレート 30部 ベンゾフエノン 3部 ミヒラーケトン 0.5部 P−メトキシフエノール 0.5部 マロン酸ビス〔1,1−ジメチル−1−(2−ヒ
ドロキシプロピル)アミンイミド(d−A)2部 メチルエチルケトン 200部 上記の配合で得た感光性樹脂組成物を25μmの
ポリエチレンテレフタレートフイルム上に塗布乾
燥し、75μm厚みの感光層とした。清浄処理した
銅板上に熱ロールを用いて加熱積層し、ネガマス
クを通して100mJ/cm2の高圧水銀灯から紫外線
を照射した。次いで、ポリエチレンテレフタレー
トフイルムを剥離し、1,1,1−トリクロロエ
タンを90秒間スプレーして未露光部を溶出し現像
を行つた。次いで、150℃で10分加熱処理を行つ
たところ、ネガマスクに相応する精密な像を有す
る保護被膜が得られた。
Example 1 Methyl methacrylate/β-hydroxyethyl methacrylate (95/5) copolymer (weight average molecular weight 200,000) 60 parts Pentaerythritol triacrylate 30 parts Benzophenone 3 parts Michler's ketone 0.5 part P-methoxyphenol 0.5 part Bis malonate [ 2 parts of 1,1-dimethyl-1-(2-hydroxypropyl)amineimide (d-A) 200 parts of methyl ethyl ketone The photosensitive resin composition obtained with the above formulation was coated and dried on a 25 μm polyethylene terephthalate film to a thickness of 75 μm. The photosensitive layer was The layers were heated and laminated on a cleaned copper plate using a hot roll, and irradiated with ultraviolet rays from a 100 mJ/cm 2 high-pressure mercury lamp through a negative mask. Next, the polyethylene terephthalate film was peeled off, and 1,1,1-trichloroethane was sprayed for 90 seconds to elute the unexposed areas and development was performed. Next, heat treatment was performed at 150° C. for 10 minutes, and a protective film with a precise image corresponding to a negative mask was obtained.

この保護被膜はメチルエチルケトン、アセト
ン、クロロホルム、トリクレン、メタノール、10
%硫酸水溶液、トルエン、キシレンにそれぞれ1
日間浸漬しても何の変化もなく、更に、70℃でPH
12の水酸化ナトリウム水溶液に1日間浸漬して
も、何ら異常は認められなかつた。
This protective coating is made of methyl ethyl ketone, acetone, chloroform, trichlene, methanol, 10
1% each in sulfuric acid aqueous solution, toluene, and xylene
There was no change even after immersion for several days, and the pH remained at 70℃.
No abnormality was observed even after immersion in the sodium hydroxide aqueous solution of No. 12 for one day.

また、60分間隔で−65℃と125℃の冷却加熱を
繰り返し、更に260〜270℃のはんだ浴に2分間浸
漬しても変化がなかつた。硬化被膜を形成した基
板を70℃で1ケ月放置しても表面へのブリードア
ウトは見られず、感光層を40℃において6ケ月保
存しても使用には全く差支えなかつた。
Further, there was no change even after repeated cooling and heating at -65°C and 125°C at 60 minute intervals, and further immersion in a 260-270°C solder bath for 2 minutes. Even when the substrate on which the cured film was formed was left at 70°C for one month, no bleed-out was observed on the surface, and even when the photosensitive layer was stored at 40°C for six months, there was no problem with its use.

以上のことから、得られた保護被膜は、エツチ
ング、メツキ、強アルカリ性無電解メツキ用レジ
ストとしても、はんだ耐熱性が要求されるソルダ
ーレジストとしても充分に使用できることが分つ
た。
From the above, it was found that the obtained protective film can be satisfactorily used as a resist for etching, plating, strong alkaline electroless plating, and as a solder resist that requires soldering heat resistance.

実施例 2 実施例1におけるマロン酸ビス〔1,1−ジメ
チル−1−(2−ヒドロキシプロピル)アミンイ
ミド2部の代りに、マレイン酸ビス〔1,1−ジ
メチル−1−(2−ヒドロキシ−3−アリルオキ
シプロピレン)アミンイミド〕2部を用いた以外
は実施例1と同一にして感光性樹脂を調整し、試
験を行つた。
Example 2 In place of 2 parts of malonate bis[1,1-dimethyl-1-(2-hydroxypropyl)amineimide in Example 1, maleate bis[1,1-dimethyl-1-(2-hydroxy-3 A photosensitive resin was prepared and tested in the same manner as in Example 1 except that 2 parts of -allyloxypropylene)amineimide were used.

耐溶剤性、耐薬品性、耐はんだ浴性、感光層の
保存性とも実施例1と同等であり、冷熱繰り返し
テストでは175回の繰り返しに耐えた。
The solvent resistance, chemical resistance, solder bath resistance, and storage stability of the photosensitive layer were all the same as in Example 1, and the sample withstood 175 cycles in the cold/heat cycle test.

実施例 3 メチルメタクリレート/トリエチレングリコール
モノメタクリレート(85/15)共重合体(重量平
均分子量18万) 59.5部 ペンタエリスリトールトリアクリレート 30部 ベンゾインイソプロピルエーテル 5部 P−メトキシフエノール 0.5部 メチルメタクリレート/1,1−ジメチル−1−
(2−ヒドロキシ−3−ブトキシプロピル)アミ
ンメタクリルイミド(5/1)共重合体(重量平
均分子量2万) 5部 メチルエチルケトン 200万部 上記の配合で得た組成物を調整し、実施例1と
同様にして試験を行つた。
Example 3 Methyl methacrylate/triethylene glycol monomethacrylate (85/15) copolymer (weight average molecular weight 180,000) 59.5 parts Pentaerythritol triacrylate 30 parts Benzoin isopropyl ether 5 parts P-methoxyphenol 0.5 parts Methyl methacrylate/1, 1-dimethyl-1-
(2-Hydroxy-3-butoxypropyl)amine methacrylimide (5/1) copolymer (weight average molecular weight 20,000) 5 parts Methyl ethyl ketone 2 million parts The composition obtained with the above formulation was prepared and Tests were conducted in the same manner.

耐溶剤性、耐薬品性、耐ハンダ浴性、感光層の
保存性とも実施例1と同等であり、冷熱繰り返し
テストでは180回の繰り返しに耐えた。
The solvent resistance, chemical resistance, solder bath resistance, and storage stability of the photosensitive layer were all the same as in Example 1, and the sample withstood 180 cycles in the cold/heat cycle test.

比較例 メチルメタクリレート/グリシジルメタクリレー
ト(60/40)共重合体(重量平均分子量25万)
60部 ペンタエリスリトールトリアクリレート 30部 ベンゾフエノン 3部 ミヒラーケトン 0.5部 P−メトキシフエノール 0.5部 メチルエチルケトン 200部 及びエポキシ硬化剤としてジシアンジアミド2
部を添加して、実施例1と同様の試験を行つた。
露光、現像後150℃、10分間の加熱では充分な硬
化被膜が得られず、耐溶剤性、耐熱性も殆んどな
かつた。150℃、2時間の加熱によれば、各種の
有機溶剤に数10分の耐性が得られたが、冷熱繰り
返しテストでは5回以内にクラツクが発生した。
また、未照射、未硬化フイルムを40℃で保存した
が、僅か1週間で硬化が見られ、可視時間が短い
ことがわかつた。
Comparative example Methyl methacrylate/glycidyl methacrylate (60/40) copolymer (weight average molecular weight 250,000)
60 parts pentaerythritol triacrylate 30 parts benzophenone 3 parts Michler's ketone 0.5 part P-methoxyphenol 0.5 part methyl ethyl ketone 200 parts and dicyandiamide 2 as an epoxy hardener
The same test as in Example 1 was carried out by adding 1.0 parts.
After exposure and development, heating at 150°C for 10 minutes did not provide a sufficiently cured film, and the film had almost no solvent resistance or heat resistance. When heated at 150°C for 2 hours, it was able to withstand various organic solvents for several tens of minutes, but cracks occurred within 5 times in repeated cold and heat tests.
Furthermore, when the unirradiated, uncured film was stored at 40°C, it was found to harden in just one week, indicating that the visible time was short.

(発明の効果) 上述の如く、本発明感光性樹脂組成物は、貯蔵
安定性に優れ、硬化の際は比較的低温で短時間に
充分に反応が進行し、しかも耐溶剤性、耐アルカ
リ性、耐熱性が良好な保護被膜を形成しうる。
(Effects of the Invention) As described above, the photosensitive resin composition of the present invention has excellent storage stability, the reaction proceeds sufficiently at a relatively low temperature in a short period of time during curing, and has excellent solvent resistance, alkali resistance, A protective film with good heat resistance can be formed.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 (a) 末端エチレン基を実質的に少なくとも2
個有する光重合可能な不飽和化合物、 (b) 光重合増感剤、 (c) エポキシアクリレートモノマー及び(メタ)
アクリル酸の多価アルコールエステルからなる
群より選ばれる水酸基を有する重合性化合物を
成分として得られる高分子化合物及び (d) 一般式()で表わされる化合物並びに、 (R1は脂肪族炭化水素基又は芳香族炭化水素
基、R2、R3、R4のうち少なくとも1つはヒド
ロキシル基並びに、アルコキシル基、アリル
(allyl)オキシ基、アクリロイルオキシ基及び
メタクリロイルオキシ基からなる群より選ばれ
る基を含有する脂肪族炭化水素基であり、他は
脂肪族炭化水素基又は芳香族炭化水素基、nは
2以上の整数である) 一般式()で表わされる化合物を成分とし
て得られる重合体 (R5は炭素−炭素の二重結合を有する脂肪族
炭化水素基又は芳香族炭化水素基、R6、R7
R8のうち少なくとも1つはヒドロキシル基並
びに、アルコキシル基、アリル(allyl)オキ
シ基、アクリロイルオキシ基及びメタクリロイ
ルオキシ基からなる群より選ばれる基を含有す
る脂肪族炭化水素基であり、他は脂肪族炭化水
素基又は芳香族炭化水素基、mは1以上の整数
である) からなる群より選ばれる1分子中に2個以上の
アミンイミド基を有する化合物 よりなる又はこれらを主成分とすることを特徴と
する感光性樹脂組成物。
[Scope of Claims] 1 (a) Substantially at least 2 terminal ethylene groups
(b) a photopolymerizable sensitizer, (c) an epoxy acrylate monomer and (meth)
A polymer compound obtained using a polymerizable compound having a hydroxyl group selected from the group consisting of polyhydric alcohol esters of acrylic acid, and (d) a compound represented by the general formula (), and (R 1 is an aliphatic hydrocarbon group or aromatic hydrocarbon group, and at least one of R 2 , R 3 , and R 4 is a hydroxyl group, an alkoxyl group, an allyloxy group, an acryloyloxy group, and a methacryloyloxy group) an aliphatic hydrocarbon group containing a group selected from the group consisting of groups, the others are aliphatic hydrocarbon groups or aromatic hydrocarbon groups, and n is an integer of 2 or more) Compounds represented by general formula () Polymer obtained as a component (R 5 is an aliphatic hydrocarbon group or aromatic hydrocarbon group having a carbon-carbon double bond, R 6 , R 7 ,
At least one of R 8 is an aliphatic hydrocarbon group containing a hydroxyl group and a group selected from the group consisting of an alkoxyl group, an allyloxy group, an acryloyloxy group, and a methacryloyloxy group, and the others are aliphatic hydrocarbon groups. consisting of a compound having two or more amine imide groups in one molecule selected from the group consisting of a group hydrocarbon group or an aromatic hydrocarbon group, where m is an integer of 1 or more, or having these as the main component. Characteristic photosensitive resin composition.
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