JPH031383B2 - - Google Patents
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- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 60
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 60
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 60
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 43
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 37
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 claims description 29
- -1 alkali metal gold cyanide Chemical class 0.000 claims description 26
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 20
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 11
- 150000008044 alkali metal hydroxides Chemical class 0.000 claims description 10
- XFXPMWWXUTWYJX-UHFFFAOYSA-N Cyanide Chemical compound N#[C-] XFXPMWWXUTWYJX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- UORVGPXVDQYIDP-UHFFFAOYSA-N borane Chemical compound B UORVGPXVDQYIDP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 150000001639 boron compounds Chemical class 0.000 claims description 8
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 claims description 7
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 claims description 6
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 claims description 6
- 150000003973 alkyl amines Chemical class 0.000 claims description 4
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims description 4
- 229910000085 borane Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000007654 immersion Methods 0.000 claims description 4
- RJTANRZEWTUVMA-UHFFFAOYSA-N boron;n-methylmethanamine Chemical compound [B].CNC RJTANRZEWTUVMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims description 3
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 2
- HWTDMFJYBAURQR-UHFFFAOYSA-N 80-82-0 Chemical group OS(=O)(=O)C1=CC=CC=C1[N+]([O-])=O HWTDMFJYBAURQR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 15
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- XTFKWYDMKGAZKK-UHFFFAOYSA-N potassium;gold(1+);dicyanide Chemical compound [K+].[Au+].N#[C-].N#[C-] XTFKWYDMKGAZKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 4
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- NNFCIKHAZHQZJG-UHFFFAOYSA-N potassium cyanide Chemical group [K+].N#[C-] NNFCIKHAZHQZJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 2
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 2
- 229910000402 monopotassium phosphate Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000019796 monopotassium phosphate Nutrition 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002825 nitriles Chemical class 0.000 description 2
- PJNZPQUBCPKICU-UHFFFAOYSA-N phosphoric acid;potassium Chemical compound [K].OP(O)(O)=O PJNZPQUBCPKICU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LJRGBERXYNQPJI-UHFFFAOYSA-M sodium;3-nitrobenzenesulfonate Chemical compound [Na+].[O-][N+](=O)C1=CC=CC(S([O-])(=O)=O)=C1 LJRGBERXYNQPJI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZRXHLJNBNWVNIM-UHFFFAOYSA-N 3-methyl-1-benzofuran Chemical compound C1=CC=C2C(C)=COC2=C1 ZRXHLJNBNWVNIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 244000248349 Citrus limon Species 0.000 description 1
- 235000005979 Citrus limon Nutrition 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 238000013019 agitation Methods 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- QFLVHLKRNQNMGT-UHFFFAOYSA-N boron;methanamine Chemical compound [B].NC QFLVHLKRNQNMGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003518 caustics Substances 0.000 description 1
- KXZJHVJKXJLBKO-UHFFFAOYSA-N chembl1408157 Chemical compound N=1C2=CC=CC=C2C(C(=O)O)=CC=1C1=CC=C(O)C=C1 KXZJHVJKXJLBKO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L chromic acid Substances O[Cr](O)(=O)=O KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-b]pyrazine-5,7-dione Chemical compound C1=CN=C2C(=O)OC(=O)C2=N1 AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IZLAVFWQHMDDGK-UHFFFAOYSA-N gold(1+);cyanide Chemical compound [Au+].N#[C-] IZLAVFWQHMDDGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011221 initial treatment Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002642 lithium compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000003760 magnetic stirring Methods 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006722 reduction reaction Methods 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 159000000000 sodium salts Chemical class 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J tin(iv) chloride Chemical compound Cl[Sn](Cl)(Cl)Cl HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 239000010930 yellow gold Substances 0.000 description 1
- 229910001097 yellow gold Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
- C23C18/31—Coating with metals
- C23C18/42—Coating with noble metals
- C23C18/44—Coating with noble metals using reducing agents
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Description
〔産業上の利用分野〕
本発明は、無電解金メツキ浴に関し、特に合理
的に安定な無電解金メツキ浴及びそれを使用し、
補充する方法を与えることに関する。 〔従来の技術〕 自己触媒又は無電解金メツキ浴は導電性及び非
導電性基体上に金付着物を形成するのに広く用い
られており、特に付着物に最適電気的性質が望ま
れるエレクトロニクスの用途で用いられている。
最適電気的性質を得るために、金は高純度、即
ち、99.9%以上であることが望ましく、付着物は
加工物品の表面上に実質的に均一になつているこ
とが望ましい。 一般にそのような無電解金メツキ用溶液は、ア
ルカリ金属金シアン化物及び遊離のシアン化物、
及び還元剤として水溶性硼水素化物又はアミンボ
ランを用いてきた。浴を補充するに従つて、シア
ン化物濃度は増大し、これが付着速度及び組成物
の安定性に好ましくない影響を与える。マーチン
ウルリツヒ キツテル及びクリストフ ジユリ
アス ラオブによる“Elektrochemische Stabili
−taetsbestimmung Reduktiv Arbeitender
Gold−elektrollyte”〔Metalloberflaeche出版、
Vol.41(1987)pp.309−313〕と題する文献には、
金メツキ用組成物中の安定化剤として種々の化合
物の効果が論じられている。著者によつて報告さ
れた化合物の中で、性能に悪影響を与えることな
く、何度も補充することができる安定な無電解金
メツキ用浴を効果的に与えるのに役立つものは一
つもない。 従つて、本発明の目的は、基体上に金を自己触
媒付着する有用な速度を与え、メツキ速度或は性
質に大きな悪影響を与えることなく何度も補充す
ることができる新規で高度に効果的な無電解金メ
ツキ用組成物を与えることにある。 配合し易く、工業的メツキ環境で比較的安定な
そのような無電解金メツキ用組成物を与えること
も目的である。 更に別の目的は、メツキ速度に重大な悪影響を
与えることなく、何度も容易に補充することがで
きる比較的安定な組成物を用いて加工物品に実質
的に純粋な金を自己触媒付着させる方法を与える
ことである。 〔本発明の要約〕 前述及び関連した目的及び利点は、1.0〜16.6
g/の量の金(金属として計算して)及び3〜
110g/の量のアルカリ金属シアン化物を与え
るのに充分なアルカリ金属金シアン化物の水溶液
を含む無電解金メツキ用組成物で容易に達成され
ることが今度判明した。これらは、アルキルアミ
ンボラン、アルカリ金属硼水素化物及びそれらの
混合物から選択された、2〜10g/の量の硼素
化合物、及び10〜1100g/の量のアルカリ金属
水酸化物の中に含ませてもよい。最後に、0.1〜
0.3g/の量の次の式を有する安定化剤:
的に安定な無電解金メツキ浴及びそれを使用し、
補充する方法を与えることに関する。 〔従来の技術〕 自己触媒又は無電解金メツキ浴は導電性及び非
導電性基体上に金付着物を形成するのに広く用い
られており、特に付着物に最適電気的性質が望ま
れるエレクトロニクスの用途で用いられている。
最適電気的性質を得るために、金は高純度、即
ち、99.9%以上であることが望ましく、付着物は
加工物品の表面上に実質的に均一になつているこ
とが望ましい。 一般にそのような無電解金メツキ用溶液は、ア
ルカリ金属金シアン化物及び遊離のシアン化物、
及び還元剤として水溶性硼水素化物又はアミンボ
ランを用いてきた。浴を補充するに従つて、シア
ン化物濃度は増大し、これが付着速度及び組成物
の安定性に好ましくない影響を与える。マーチン
ウルリツヒ キツテル及びクリストフ ジユリ
アス ラオブによる“Elektrochemische Stabili
−taetsbestimmung Reduktiv Arbeitender
Gold−elektrollyte”〔Metalloberflaeche出版、
Vol.41(1987)pp.309−313〕と題する文献には、
金メツキ用組成物中の安定化剤として種々の化合
物の効果が論じられている。著者によつて報告さ
れた化合物の中で、性能に悪影響を与えることな
く、何度も補充することができる安定な無電解金
メツキ用浴を効果的に与えるのに役立つものは一
つもない。 従つて、本発明の目的は、基体上に金を自己触
媒付着する有用な速度を与え、メツキ速度或は性
質に大きな悪影響を与えることなく何度も補充す
ることができる新規で高度に効果的な無電解金メ
ツキ用組成物を与えることにある。 配合し易く、工業的メツキ環境で比較的安定な
そのような無電解金メツキ用組成物を与えること
も目的である。 更に別の目的は、メツキ速度に重大な悪影響を
与えることなく、何度も容易に補充することがで
きる比較的安定な組成物を用いて加工物品に実質
的に純粋な金を自己触媒付着させる方法を与える
ことである。 〔本発明の要約〕 前述及び関連した目的及び利点は、1.0〜16.6
g/の量の金(金属として計算して)及び3〜
110g/の量のアルカリ金属シアン化物を与え
るのに充分なアルカリ金属金シアン化物の水溶液
を含む無電解金メツキ用組成物で容易に達成され
ることが今度判明した。これらは、アルキルアミ
ンボラン、アルカリ金属硼水素化物及びそれらの
混合物から選択された、2〜10g/の量の硼素
化合物、及び10〜1100g/の量のアルカリ金属
水酸化物の中に含ませてもよい。最後に、0.1〜
0.3g/の量の次の式を有する安定化剤:
前に示した如く、本発明の浴は、本質的にアル
カリ金属金シアン化物、アルカリ金属シアン化
物、希望のPHを維持し且つシアン化物イオンを安
定化するのに充分なアルカリ金属水酸化物、硼素
化合物還元剤、及び安定化剤としてのニトロ芳香
族化合物を必要とする。これらの成分は、安定な
組成物及び合理的に均一なメツキ速度を維持する
ために、或る範囲及び(又は)比率内に維持され
なければならない。 先ず金成分に関し、カリウム金シアン化物が好
ましいが、ナトリウム塩も用いることができる。
リチウム化合物は一般に余計なコストがかかる。
金シアン化物の量は(金属として計算して)1〜
16.6g/の範囲内で変化するであろうが、メツ
キ速度は、金含有量が2.0g/より低くなると
著しい影響を受けるであろう。理想的には、金含
有量(金属として)は、4〜6g/の範囲内に
維持される。 組成物の第二成分は、浴に遊離シアン化物を与
えるのに充分なアルカリ金属シアン化物である。
シアン化物化合物の量は、浴が時々補充されるの
で、3g/の少ない量から110g/程の多さ
まで変化するであろう。最初の浴のための調製で
は、シアン化物塩濃度は約4〜10g/の範囲に
あるのが好ましい。好ましいシアン化物塩はシア
ン化カリウムであるが、シアン化ナトリウム及び
シアン化リチウムを用いてもよい。 アルカリ金属水酸化物は12.5〜14の希望の浴操
作PHを与えるのに必要であり、シアン化物イオン
を安定化し、硼素化合物による還元反応に関与す
るように用いられている。その為、水酸化物対シ
アン化物の比は4.0〜10.0の範囲内にあるべきで
ある。他の塩の場合には、水酸化カリウムが好ま
しいが、水酸化ナトリウムはそれに対する合理的
な代替物である。 組成物中の還元剤として慣用的硼素化合物が用
いられる。これらは、2〜10g/、好ましくは
4〜7g/の範囲内のアルカリ金属硼水素化物
及びアルキルアミンボランからなつていてもよ
い。好ましい還元剤は、単独又はアルカリ金属硼
水素化物と組合せたジメチルアミンボランであ
る。 組成物に必要な安定性を与えるため、一般式:
カリ金属金シアン化物、アルカリ金属シアン化
物、希望のPHを維持し且つシアン化物イオンを安
定化するのに充分なアルカリ金属水酸化物、硼素
化合物還元剤、及び安定化剤としてのニトロ芳香
族化合物を必要とする。これらの成分は、安定な
組成物及び合理的に均一なメツキ速度を維持する
ために、或る範囲及び(又は)比率内に維持され
なければならない。 先ず金成分に関し、カリウム金シアン化物が好
ましいが、ナトリウム塩も用いることができる。
リチウム化合物は一般に余計なコストがかかる。
金シアン化物の量は(金属として計算して)1〜
16.6g/の範囲内で変化するであろうが、メツ
キ速度は、金含有量が2.0g/より低くなると
著しい影響を受けるであろう。理想的には、金含
有量(金属として)は、4〜6g/の範囲内に
維持される。 組成物の第二成分は、浴に遊離シアン化物を与
えるのに充分なアルカリ金属シアン化物である。
シアン化物化合物の量は、浴が時々補充されるの
で、3g/の少ない量から110g/程の多さ
まで変化するであろう。最初の浴のための調製で
は、シアン化物塩濃度は約4〜10g/の範囲に
あるのが好ましい。好ましいシアン化物塩はシア
ン化カリウムであるが、シアン化ナトリウム及び
シアン化リチウムを用いてもよい。 アルカリ金属水酸化物は12.5〜14の希望の浴操
作PHを与えるのに必要であり、シアン化物イオン
を安定化し、硼素化合物による還元反応に関与す
るように用いられている。その為、水酸化物対シ
アン化物の比は4.0〜10.0の範囲内にあるべきで
ある。他の塩の場合には、水酸化カリウムが好ま
しいが、水酸化ナトリウムはそれに対する合理的
な代替物である。 組成物中の還元剤として慣用的硼素化合物が用
いられる。これらは、2〜10g/、好ましくは
4〜7g/の範囲内のアルカリ金属硼水素化物
及びアルキルアミンボランからなつていてもよ
い。好ましい還元剤は、単独又はアルカリ金属硼
水素化物と組合せたジメチルアミンボランであ
る。 組成物に必要な安定性を与えるため、一般式:
【式】
〔式中、R1は−COOH、−OH、−CH2OH、又
は−SO3H(又はそれらのアルカリ金属塩)であ
り、 R2は−COOH、−OH、−Cl、−H(又はそれら
のアルカリ金属塩)であり、2、5又は6の環位
置に結合しており、 −NO2基は3又は4の環位置にある〕 の有機安定化剤が含まれていることが必須であ
る。この安定化剤は0.1〜0.3g/の量で、好ま
しくは0.15〜0.25g/の範囲で配合される。 溶液中の安定化剤の濃度は、補充添加の間でひ
どく低下することがあり、それが酸化還元電位を
−700mVの限界を越えさせることになることが
観察されている。従つて、電位は連続的にモニタ
ーされるのが望ましく、安定化剤は酸化還元電位
を−550〜700mVの作動範囲内に維持するよう
に、メツキ溶液1当たり0.05〜0.1gの少しず
つの量で添加される。その結果、溶液の寿命に亙
つて添加される安定化剤の全量は10g/位の大
きな範囲になることがある。 前に示した如く、水性組成物のPHは、12.5〜
14.0、好ましくは13.4〜14.0の範囲内にあるのが
よい。 望ましいメツキ速度を得るため、浴は85〜95
℃、好ましくは88〜93℃の温度に維持されるべき
である。 好ましい組成物及び温度を使用すると、3.75〜
6.75μ/時の効果的なメツキ速度を与え、少なく
とも18g/c.c.(平均で)の密度及び少なくとも85
ヌープ(Knoop)の硬度(最大荷重25g)を有
する少なくとも99.9%の純度の金付着物を生ずる
であろう。 溶液の金含有量が減少して2g/(金属とし
て)より少なくなると、メツキ速度は低下し始
め、組成物を補充することが必要になる。これは
アルカリ金属水酸化物、アルカリ金属金シアン化
物及び付加的安定化剤を添加することによつて達
成される。認められるように、アルカリ金属水酸
化物は希望の水酸化物対シアン化物比を維持する
のに必要である。一般に水酸化カリウムは1〜10
g/の量で金補充溶液に添加され、カリウム金
シアン化物は70〜90g/(金属金として)の範
囲で添加されるであろう。安定化剤の添加量は約
2〜6g/であろう。一般に、メツキ用配合物
の望ましい特性が著しく失われる前に、浴は10行
程まで補充できるであろうことが見出されてい
る。1行程とは、溶液の与えられた体積中の金属
がメツキされてしまうまでを指すものとして定義
される。 浴の汚染を避けるため、加工物品は、慣用的金
メツキ方法に従い、その中に入れる前に完全に清
浄にすべきである。 加工物品が合成樹脂又はセラミツクである場
合、最初に下地金属付着物をその上に形成するこ
とが必要であり、それには一般にクロム酸による
食刻、パラジウム/錫塩化物の適用、及び無電解
銅又はニツケル浴中への浸漬を必要とするであろ
う。 そのような非金属加工物品及び金属加工物品の
両方共、浸漬金ストライク(strike)を形成する
ための初期処理にかけなければならない。初期の
薄い金付着物を形成するのに適した組成物は、カ
リウム金シアン化物、燐酸二水素カリウム及びク
エン酸を含み、約140〜160〓の温度に維持され
る。金ストライクの付着に続き、加工物品を濯
ぎ、次にそれらを本発明の無電解金メツキ用組成
物に入れ、希望の付着物を生じさせることができ
る。 本発明の効果を例示するため、次の特別な実施
例を記述するが、その中で全ての部は別に指示し
ない限り重量による。 実施例 1 本発明を具体化した好ましい浴を、予め清浄に
し、浸出したタンク中に、43gの水酸化カリウ
ム、4gのシアン化カリウム、6gのカリウム金
シアン化物、0.2gのm-ニトロベンゼン スルホ
ン酸ナトリウム塩、6.5gのメチルアミンボラン
及び1の溶液にするための脱イオン水を入れる
ことにより調製した。水酸化カリウム対全シアン
化物(シアン化カリウムとして)の比は6.5であ
り、PHは13.4であつた。 得られた浴を約91℃の温度に加熱し、溶液の酸
化還元電位を、オリオン(Orion)SA230型ORP
メーチー及び結合酸化還元電極9678型を用いてモ
ニターした。溶液の電位が−550mVに達した時、
溶液をそのまま使用することができた。 実施例 2 加工物品は、コバール(KOVAR)のマークで
ウエステイングハウス・エレクトリツク社 (Westinghouse Electric Co.)から売られてい
る合金の平らなシートで、名目上29%のニツケ
ル、17%のコバルト、0.3%のマンガン及び残余
の鉄からなる組成を持つていた。これらのシート
は約0.025inの厚さを持ち、熱苛性溶液中で電解
清浄し、次に濯いだ。次に加工物品を50体積%の
塩化水素酸中に浸漬し、濯ぎ、それに続き、それ
らをカリウム金シアン化物、燐酸二水素カリウム
及びクエン酸からなるPH約2.5の浸漬メツキ浴中
へ入れた。表面上に均一な金の色が生じた後、そ
れらを取り出した。 次にこれらの加工物品を実施例1の浴中に懸濁
し、磁気撹拌を用いてその周りの浴の撹拌を維持
した。浴の温度は91℃に維持された。 20分間後、加工物品を浴から取り出し、濯ぎ、
そして乾燥した。付着物は約72μinの厚さを持つ
ことが分かつた。付着物の純度は99.97であるこ
とが分かつた。付着物はサテンマツト
(satinmatte)状仕上げ及びレモン イエロー色
を示し、顕微鏡検査では均一で無定形であつた。 実施例 3 ハルセル(Hull cell)パネルを完全に清浄に
し、実施例2の浸漬金メツキ溶液中に浸漬し、そ
の上に均一な金の色を生じさせた。それを濯ぎ、
次に実施例1の無電解金メツキ用組成物中に3.5
時間吊し、その後で取り出し、濯ぎ、そして乾燥
した。 メツキされたパネルの断面を取り、マイクロ硬
度は25g荷重で93ヌープであることが決定され
た。 実施例 4 アルミナ基体に、焼結ダングステン被覆及びそ
の上にスパツターした金付着物を付けたものから
なるセラミツク加工物品を得た。 これらの加工物品を熱アルカリ性溶液中に浸漬
し、濯ぎ、次に沸騰する熱脱イオン水中に浸漬
し、それらを浴の温度へ持つていた。 然る後、それらを実施例1の浴中に30分間吊
し、取り出し、濯ぎ、そして乾燥した。付着物は
102μinの無電解金であることが判明し、明黄色の
金付着物は無定形の構造を持つ均一なマツト状仕
上げになつていることが見出された。 実施例 5 実施例1のメツキ溶液を、ハルセルパネルのメ
ツキを含めた長い期間の行程試験にかけた。浴の
組成は金含有量を決定するため、1時間毎にモニ
ターされた。 金含有量が3g/より低い水準へ低下した
時、浴を80g/のカリウム金シアン化物、2
g/のカリウム水酸化物及び4g/のm-ニ
トロベンゼン スルホン酸ナトリウム塩の水溶液
からなる配合物を用いて補充した。補充溶液の添
加量は、メツキ浴の金含有量を4g/まで回復
させるように計算された量であつた。 この手順を繰り返し、メツキ速度は7行程まで
本質的に安定で、その後は除去に低下し始めたこ
とが観察された。メツキ速度は、最初の300μin/
時から10行程目の約150μin/時の範囲内で変化す
ることが見出された。 従つて、前記詳細な記述及び実施例から、本発
明の無電解メツキ用組成物は、金属及び非金属加
工物品に金を自己触媒付着するのに安定で有効な
浴を与えることが分かる。付着物は良好な無定形
構造、高純度及び比較的大きな硬度を示し、従つ
て、それらはエレクトロニクスの用途に極めて適
したものになつている。
は−SO3H(又はそれらのアルカリ金属塩)であ
り、 R2は−COOH、−OH、−Cl、−H(又はそれら
のアルカリ金属塩)であり、2、5又は6の環位
置に結合しており、 −NO2基は3又は4の環位置にある〕 の有機安定化剤が含まれていることが必須であ
る。この安定化剤は0.1〜0.3g/の量で、好ま
しくは0.15〜0.25g/の範囲で配合される。 溶液中の安定化剤の濃度は、補充添加の間でひ
どく低下することがあり、それが酸化還元電位を
−700mVの限界を越えさせることになることが
観察されている。従つて、電位は連続的にモニタ
ーされるのが望ましく、安定化剤は酸化還元電位
を−550〜700mVの作動範囲内に維持するよう
に、メツキ溶液1当たり0.05〜0.1gの少しず
つの量で添加される。その結果、溶液の寿命に亙
つて添加される安定化剤の全量は10g/位の大
きな範囲になることがある。 前に示した如く、水性組成物のPHは、12.5〜
14.0、好ましくは13.4〜14.0の範囲内にあるのが
よい。 望ましいメツキ速度を得るため、浴は85〜95
℃、好ましくは88〜93℃の温度に維持されるべき
である。 好ましい組成物及び温度を使用すると、3.75〜
6.75μ/時の効果的なメツキ速度を与え、少なく
とも18g/c.c.(平均で)の密度及び少なくとも85
ヌープ(Knoop)の硬度(最大荷重25g)を有
する少なくとも99.9%の純度の金付着物を生ずる
であろう。 溶液の金含有量が減少して2g/(金属とし
て)より少なくなると、メツキ速度は低下し始
め、組成物を補充することが必要になる。これは
アルカリ金属水酸化物、アルカリ金属金シアン化
物及び付加的安定化剤を添加することによつて達
成される。認められるように、アルカリ金属水酸
化物は希望の水酸化物対シアン化物比を維持する
のに必要である。一般に水酸化カリウムは1〜10
g/の量で金補充溶液に添加され、カリウム金
シアン化物は70〜90g/(金属金として)の範
囲で添加されるであろう。安定化剤の添加量は約
2〜6g/であろう。一般に、メツキ用配合物
の望ましい特性が著しく失われる前に、浴は10行
程まで補充できるであろうことが見出されてい
る。1行程とは、溶液の与えられた体積中の金属
がメツキされてしまうまでを指すものとして定義
される。 浴の汚染を避けるため、加工物品は、慣用的金
メツキ方法に従い、その中に入れる前に完全に清
浄にすべきである。 加工物品が合成樹脂又はセラミツクである場
合、最初に下地金属付着物をその上に形成するこ
とが必要であり、それには一般にクロム酸による
食刻、パラジウム/錫塩化物の適用、及び無電解
銅又はニツケル浴中への浸漬を必要とするであろ
う。 そのような非金属加工物品及び金属加工物品の
両方共、浸漬金ストライク(strike)を形成する
ための初期処理にかけなければならない。初期の
薄い金付着物を形成するのに適した組成物は、カ
リウム金シアン化物、燐酸二水素カリウム及びク
エン酸を含み、約140〜160〓の温度に維持され
る。金ストライクの付着に続き、加工物品を濯
ぎ、次にそれらを本発明の無電解金メツキ用組成
物に入れ、希望の付着物を生じさせることができ
る。 本発明の効果を例示するため、次の特別な実施
例を記述するが、その中で全ての部は別に指示し
ない限り重量による。 実施例 1 本発明を具体化した好ましい浴を、予め清浄に
し、浸出したタンク中に、43gの水酸化カリウ
ム、4gのシアン化カリウム、6gのカリウム金
シアン化物、0.2gのm-ニトロベンゼン スルホ
ン酸ナトリウム塩、6.5gのメチルアミンボラン
及び1の溶液にするための脱イオン水を入れる
ことにより調製した。水酸化カリウム対全シアン
化物(シアン化カリウムとして)の比は6.5であ
り、PHは13.4であつた。 得られた浴を約91℃の温度に加熱し、溶液の酸
化還元電位を、オリオン(Orion)SA230型ORP
メーチー及び結合酸化還元電極9678型を用いてモ
ニターした。溶液の電位が−550mVに達した時、
溶液をそのまま使用することができた。 実施例 2 加工物品は、コバール(KOVAR)のマークで
ウエステイングハウス・エレクトリツク社 (Westinghouse Electric Co.)から売られてい
る合金の平らなシートで、名目上29%のニツケ
ル、17%のコバルト、0.3%のマンガン及び残余
の鉄からなる組成を持つていた。これらのシート
は約0.025inの厚さを持ち、熱苛性溶液中で電解
清浄し、次に濯いだ。次に加工物品を50体積%の
塩化水素酸中に浸漬し、濯ぎ、それに続き、それ
らをカリウム金シアン化物、燐酸二水素カリウム
及びクエン酸からなるPH約2.5の浸漬メツキ浴中
へ入れた。表面上に均一な金の色が生じた後、そ
れらを取り出した。 次にこれらの加工物品を実施例1の浴中に懸濁
し、磁気撹拌を用いてその周りの浴の撹拌を維持
した。浴の温度は91℃に維持された。 20分間後、加工物品を浴から取り出し、濯ぎ、
そして乾燥した。付着物は約72μinの厚さを持つ
ことが分かつた。付着物の純度は99.97であるこ
とが分かつた。付着物はサテンマツト
(satinmatte)状仕上げ及びレモン イエロー色
を示し、顕微鏡検査では均一で無定形であつた。 実施例 3 ハルセル(Hull cell)パネルを完全に清浄に
し、実施例2の浸漬金メツキ溶液中に浸漬し、そ
の上に均一な金の色を生じさせた。それを濯ぎ、
次に実施例1の無電解金メツキ用組成物中に3.5
時間吊し、その後で取り出し、濯ぎ、そして乾燥
した。 メツキされたパネルの断面を取り、マイクロ硬
度は25g荷重で93ヌープであることが決定され
た。 実施例 4 アルミナ基体に、焼結ダングステン被覆及びそ
の上にスパツターした金付着物を付けたものから
なるセラミツク加工物品を得た。 これらの加工物品を熱アルカリ性溶液中に浸漬
し、濯ぎ、次に沸騰する熱脱イオン水中に浸漬
し、それらを浴の温度へ持つていた。 然る後、それらを実施例1の浴中に30分間吊
し、取り出し、濯ぎ、そして乾燥した。付着物は
102μinの無電解金であることが判明し、明黄色の
金付着物は無定形の構造を持つ均一なマツト状仕
上げになつていることが見出された。 実施例 5 実施例1のメツキ溶液を、ハルセルパネルのメ
ツキを含めた長い期間の行程試験にかけた。浴の
組成は金含有量を決定するため、1時間毎にモニ
ターされた。 金含有量が3g/より低い水準へ低下した
時、浴を80g/のカリウム金シアン化物、2
g/のカリウム水酸化物及び4g/のm-ニ
トロベンゼン スルホン酸ナトリウム塩の水溶液
からなる配合物を用いて補充した。補充溶液の添
加量は、メツキ浴の金含有量を4g/まで回復
させるように計算された量であつた。 この手順を繰り返し、メツキ速度は7行程まで
本質的に安定で、その後は除去に低下し始めたこ
とが観察された。メツキ速度は、最初の300μin/
時から10行程目の約150μin/時の範囲内で変化す
ることが見出された。 従つて、前記詳細な記述及び実施例から、本発
明の無電解メツキ用組成物は、金属及び非金属加
工物品に金を自己触媒付着するのに安定で有効な
浴を与えることが分かる。付着物は良好な無定形
構造、高純度及び比較的大きな硬度を示し、従つ
て、それらはエレクトロニクスの用途に極めて適
したものになつている。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 (a) 1.0〜16.6g/の量の金(金属として
計算して)を与えるのに充分なアルカリ金属金
シアン化物、 (b) 3〜110g/の量のアルカリ金属シアン化
物、 (c) アルキルアミンボラン、アルカリ金属硼水素
化物、及びそれらの混合物からなる群から選択
された、2〜10g/の量の硼素化合物、 (d) 10〜1100g/の量のアルカリ金属水酸化
物、及び (e) 0.1〜0.3g/の、次の式を有する安定化
剤: 【式】 〔式中、R1は−COOH、−OH、−CH2OH、又
は−SO3H(又はそれらのアルカリ金属塩)であ
り、 R2は−COOH、−OH、−Cl、−H(又はそれら
のアルカリ金属塩)であり、2、5又は6の環位
置に結合しており、 −NO2は3又は4の環位置にある〕 の水溶液からなる無電解金メツキ用組成物で、
12.5〜14.0のPHを有し、OH-/CN-の重量比が4.0
〜10.0であり、溶液の酸化還元電位が−550〜−
700mVである無電解金メツキ用組成物。 2 硼素化合物が4〜7g/の量のジメチルア
ミンボランである請求項1に記載の無電解金メツ
キ用組成物。 3 安定化剤がニトロベンゼン スルホン酸又は
そのアルカリ金属塩である請求項1に記載の無電
解金メツキ組成物。 4 安定化剤が0.15〜0.25g/の量で存在する
請求項1に記載の無電解金メツキ組成物。 5 組成物が最初の調製で、4〜6g/の量の
アルカリ金属シアン化物及び40〜50g/の量の
アルカリ金属水酸化物を有する請求項1に記載の
無電解金メツキ組成物。 6 組成物が、金属金として計算して4〜5g/
の量の金を有する請求項1に記載の無電解金メ
ツキ組成物。 7 溶液が約13.4〜14.0のPHを有する請求項1に
記載の無電解金メツキ組成物。 8 加工物品に金を無電解メツキする方法におい
て、 (a) 浸漬金の薄い付着物を加工物品の表面に浸漬
メツキし、そして (b) 前記メツキした加工物品を、 (i) 金属として計算して1.0〜16.6g/の量
の金を与えるのに充分なアルカリ金属金シア
ン化物、 (ii) 3〜110g/の量のアルカリ金属シアン
化物、 (iii) アルキルアミンボラン、アルカリ金属硼水
素化物、及びそれらの混合物からなる群から
選択された、2〜10g/の量の硼素化合
物、 (iv) 10〜1100g/の量のアルカリ金属水酸化
物、及び (v) 次の式を有する安定化剤:
【式】 〔式中、R1は−COOH、−OH、−CH2OH、又
は−SO3H(又はそれらのアルカリ金属塩)であ
り、 R2は−COOH、−OH、−Cl、−H(又はそれら
のアルカリ金属塩)であり、2、5又は6の環位
置に結合しており、 −NO2基は3又は4の環位置にある〕 の水溶液からなる無電解金メツキ用組成物で、
12.5〜14.0のPHを有し、OH-/CN-の重量比が4.0
〜10.0であり、安定化剤の量が0.1〜0.3g/の
範囲にあつて、溶液の酸化還元電位を−550〜−
700mVの範囲内に維持している無電解金メツキ
用組成物中に、希望の厚さに高純度金をメツキす
るのに充分な時間浸漬する、 諸工程からなる加工物品に金を無電解メツキす
る方法。 9 溶液が約85〜95℃の温度に維持される請求項
8に記載の加工物品に金を無電解メツキする方
法。 10 硼素化合物が4〜7g/の量のジメチル
アミンボランである請求項8に記載の物品に金を
無電解メツキする方法。 11 安定化剤がニトロベンゼン スルホン酸又
はそのアルカリ金属塩である請求項8に記載の加
工物品に金を無電解メツキする方法。 12 安定化剤が0.15〜0.25g/の量で存在す
る請求項8に記載の加工物品に金を無電解メツキ
する方法。 13 組成物が最初の調製で、4.0〜6.0g/の
量のアルカリ金属シアン化物及び40〜50g/の
量のアルカリ金属水酸化物を有する請求項8に記
載の物品に金を無電解メツキする方法。 14 金含有量(金属として)が1.5〜3g/
へ減少した時、 (a) 60〜100g/の量(金属として)のアルカ
リ金属金シアン化物、 (b) 1〜10g/の量のアルカリ金属水酸化物、
及び (c) 2〜6g/の量の安定化剤、 からなる補充用配合物を組成物へ補充する付加的
工程を含む請求項8に記載の加工物品に金を無電
解メツキする方法。 15 無電解金メツキ用組成物を、先ずアルカリ
金属水酸化物、アルカリ金属シアン化物、アルカ
リ金属金シアン化物、安定化剤及び硼素化合物の
水溶液を調製し、次に加熱された溶液を、酸化還
元電位が−550〜−700mVの値に達成するまでモ
ニターすることにより製造される請求項8に記載
の加工物品に金を無電解メツキする方法。 16 酸化還元電位がメツキ工程中モニターさ
れ、電位を−550〜−700mVの範囲内に維持する
ように0.05〜0.1g/の量で安定化剤を少しず
つ添加する請求項8に記載の加工物品に金を無電
解メツキする方法。
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US27640588A | 1988-11-22 | 1988-11-22 | |
| US07/351,924 US5130168A (en) | 1988-11-22 | 1989-05-15 | Electroless gold plating bath and method of using same |
| US351924 | 1994-12-08 | ||
| US276405 | 1999-03-25 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02159383A JPH02159383A (ja) | 1990-06-19 |
| JPH031383B2 true JPH031383B2 (ja) | 1991-01-10 |
Family
ID=26957956
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1270155A Granted JPH02159383A (ja) | 1988-11-22 | 1989-10-17 | 無電解金メッキ用組成物 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02159383A (ja) |
| DE (1) | DE3938653A1 (ja) |
| FR (1) | FR2639654B1 (ja) |
| GB (1) | GB2225026A (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4302066A1 (en) * | 1993-01-26 | 1993-07-01 | Metrotech Handelsgesellschaft | Chemical precision gold@ plating process - producing thin, hard coatings in short cycle times, for e.g. jewellery with reduced gold@ usage |
| US5338343A (en) * | 1993-07-23 | 1994-08-16 | Technic Incorporated | Catalytic electroless gold plating baths |
| JP3331260B2 (ja) * | 1994-08-19 | 2002-10-07 | 日本エレクトロプレイテイング・エンジニヤース株式会社 | 無電解金めっき液 |
| US5635253A (en) * | 1994-08-30 | 1997-06-03 | International Business Machines Corporation | Method of replenishing electroless gold plating baths |
| DE19651900A1 (de) * | 1996-12-13 | 1998-06-18 | Albert Thorp Gmbh | Elektrolyt für eine reduktive Goldabscheidung |
| JP5116068B2 (ja) * | 2004-09-07 | 2013-01-09 | Jx日鉱日石金属株式会社 | 無電解金めっき液の安定化方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH615464A5 (en) * | 1976-06-01 | 1980-01-31 | Systemes Traitements Surfaces | Special compositions and particular additives for gold electrolysis baths and their use |
| ZA775495B (en) * | 1976-11-22 | 1978-07-26 | Kollmorgen Tech Corp | Method and apparatus for control of electroless plating solutions |
| DE3707817A1 (de) * | 1987-03-09 | 1988-09-22 | Schering Ag | Stabilisiertes alkalisches goldbad zur stromlosen abscheidung von gold |
| DE3805627A1 (de) * | 1988-02-24 | 1989-09-07 | Wieland Edelmetalle | Goldbad |
-
1989
- 1989-09-27 GB GB8921796A patent/GB2225026A/en not_active Withdrawn
- 1989-10-17 JP JP1270155A patent/JPH02159383A/ja active Granted
- 1989-11-21 DE DE3938653A patent/DE3938653A1/de active Granted
- 1989-11-22 FR FR898915335A patent/FR2639654B1/fr not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3938653A1 (de) | 1990-05-23 |
| GB8921796D0 (en) | 1989-11-08 |
| GB2225026A (en) | 1990-05-23 |
| JPH02159383A (ja) | 1990-06-19 |
| DE3938653C2 (ja) | 1991-08-22 |
| FR2639654B1 (fr) | 1992-01-24 |
| FR2639654A1 (fr) | 1990-06-01 |
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