JPH03146472A - 窒化アルミニウム基板組成物 - Google Patents
窒化アルミニウム基板組成物Info
- Publication number
- JPH03146472A JPH03146472A JP1281998A JP28199889A JPH03146472A JP H03146472 A JPH03146472 A JP H03146472A JP 1281998 A JP1281998 A JP 1281998A JP 28199889 A JP28199889 A JP 28199889A JP H03146472 A JPH03146472 A JP H03146472A
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- Japan
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- aluminum nitride
- powder
- ain
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、半導体装用基板などに用いる高熱伝導性を有
する窒化アルミニウム基板の組成物に関するものである
。
する窒化アルミニウム基板の組成物に関するものである
。
［従来の技術］
近年、半導体素子の高集積化、高機能化が進み従来のア
ールミナ（Ａｌｔｏｓ ）ではＳｔチップの発熱量の増
大、チップサイズの大型化による熱膨張のミスマツチの
問題への対応が難しく、新しい高熱伝導性絶縁材料利用
が求められている。
ールミナ（Ａｌｔｏｓ ）ではＳｔチップの発熱量の増
大、チップサイズの大型化による熱膨張のミスマツチの
問題への対応が難しく、新しい高熱伝導性絶縁材料利用
が求められている。
窒化アルミニウム（ＡＩＮ）は高熱伝導性の他に熱膨張
率がＳＬチップに近く、又高電気絶縁性などの優れた材
料特性を有するため、半導体装用基板材料として特に注
目を集めている。
率がＳＬチップに近く、又高電気絶縁性などの優れた材
料特性を有するため、半導体装用基板材料として特に注
目を集めている。
窒化アルミニウム焼結体の高熱伝導化について、カーボ
ンをグリーンシートである窒化アルミニウム成型体中に
添加する方法が報告されており特開昭６０−１８６４７
９号公報では、平均粒径３μｍ以下のＡＩＮ粉末に炭素
又は分解して炭素になる化合物を添加し、５０ｋｇ／ｃ
ｍ”以上の加圧焼結することにより熱伝導率５０Ｗ７１
にの窒化アルミニウム焼結体を得ている。また、特開昭
６１−１５５２６３号公報では、窒化アルミニウム粉末
、酸化イツトリウム及び比表面積が１０ｍ”７ｇより大
きい遊離炭素からなる混合物を成形、焼結することによ
り熱伝導率１００〜１７０Ｗ／ｍ−にの窒化アルミニウ
ム焼結体を得ている。更に特開昭６２−５２Ｈｌ１号公
報では、窒化アルミニウムと、炭素、炭化物又は焼成に
より炭素を生成する化合物と、酸化イツトリウムとから
得られた窒化アルミニウム成形体を焼結することにより
熱伝導率１２０Ｗ／１に程度の窒化アルミニウム焼結体
を得ている。しかしながら、これらの従来技術は各れも
粉末の混合物をブレス成形したもので行なっている為に
、成形体中の有機バインダー等の有機物の除去（脱脂）
については何ら考慮されていない、又、市販されている
カーボンブラック粉末をＡＩＮグリーンシート中に添加
することも提案されているが、カーボンブラック粉末は
、通常炭化水素を不完全燃焼あるいは熱分解することに
よって得られるコロイド状の微粉末（粒径０．００５〜
０．１μｍ）である為、空気中で加熱して窒化アルミニ
ウム成型体中に大量に含まれている有機バインダー、可
塑剤等の有機物の除去（脱脂）を行なう工程において酸
化され易く、ＣＯ又はＣＯｓガスとなってＡＩＮ成型体
の外部に散逸してしまうため、有効に作用せず熱伝導率
の高いＡＩＮ基板を得ることは難しかった。
ンをグリーンシートである窒化アルミニウム成型体中に
添加する方法が報告されており特開昭６０−１８６４７
９号公報では、平均粒径３μｍ以下のＡＩＮ粉末に炭素
又は分解して炭素になる化合物を添加し、５０ｋｇ／ｃ
ｍ”以上の加圧焼結することにより熱伝導率５０Ｗ７１
にの窒化アルミニウム焼結体を得ている。また、特開昭
６１−１５５２６３号公報では、窒化アルミニウム粉末
、酸化イツトリウム及び比表面積が１０ｍ”７ｇより大
きい遊離炭素からなる混合物を成形、焼結することによ
り熱伝導率１００〜１７０Ｗ／ｍ−にの窒化アルミニウ
ム焼結体を得ている。更に特開昭６２−５２Ｈｌ１号公
報では、窒化アルミニウムと、炭素、炭化物又は焼成に
より炭素を生成する化合物と、酸化イツトリウムとから
得られた窒化アルミニウム成形体を焼結することにより
熱伝導率１２０Ｗ／１に程度の窒化アルミニウム焼結体
を得ている。しかしながら、これらの従来技術は各れも
粉末の混合物をブレス成形したもので行なっている為に
、成形体中の有機バインダー等の有機物の除去（脱脂）
については何ら考慮されていない、又、市販されている
カーボンブラック粉末をＡＩＮグリーンシート中に添加
することも提案されているが、カーボンブラック粉末は
、通常炭化水素を不完全燃焼あるいは熱分解することに
よって得られるコロイド状の微粉末（粒径０．００５〜
０．１μｍ）である為、空気中で加熱して窒化アルミニ
ウム成型体中に大量に含まれている有機バインダー、可
塑剤等の有機物の除去（脱脂）を行なう工程において酸
化され易く、ＣＯ又はＣＯｓガスとなってＡＩＮ成型体
の外部に散逸してしまうため、有効に作用せず熱伝導率
の高いＡＩＮ基板を得ることは難しかった。
［発明の解決しようとする課題］
本発明者は、ＡＩＮ基板の製造に関連した従来技術が有
していた前述の欠点を解決し、半導体装用基板として好
適な平面度、平滑度に優、れ、かつ高熱伝導性を有する
ＡＩＮ基板を効率よく製造する方法について′検討を重
ねた結果、カーボン粉末として、グラファイト粉末をＡ
ＩＮ成型体中に添加すれば、前述の問題点のないＡＩＮ
基板が得られることを見出し本発明を完成した。
していた前述の欠点を解決し、半導体装用基板として好
適な平面度、平滑度に優、れ、かつ高熱伝導性を有する
ＡＩＮ基板を効率よく製造する方法について′検討を重
ねた結果、カーボン粉末として、グラファイト粉末をＡ
ＩＮ成型体中に添加すれば、前述の問題点のないＡＩＮ
基板が得られることを見出し本発明を完成した。
【課題を解決する為の手段］
本発明は、前述の問題点を解決すべく成されたものであ
り、 重量％表示で固形成分が実質的に 窒化アルミニウム粉末 ９４〜９９．８５酸化イツト
リウム粉末 ０．１〜５ グラファイト粉末 ０．０５〜１ からなる窒化アルミニウム基板組成物を提供するもので
ある。
り、 重量％表示で固形成分が実質的に 窒化アルミニウム粉末 ９４〜９９．８５酸化イツト
リウム粉末 ０．１〜５ グラファイト粉末 ０．０５〜１ からなる窒化アルミニウム基板組成物を提供するもので
ある。
以下本発明について詳細に説明する。
本発明の組成物は、固形成分が実質的に窒化アルミニウ
ム粉末 ９４〜９９．４５重量％酸化イツトリウム粉
末 ０．５〜５ 重量％グラフディト粉末 ０．
０５〜１ 重量％からなる。
ム粉末 ９４〜９９．４５重量％酸化イツトリウム粉
末 ０．５〜５ 重量％グラフディト粉末 ０．
０５〜１ 重量％からなる。
上記窒化アルミニウム粉末としては、不純物酸素含有率
が２．０重量％以下、炭素含有率が０．２重量％以下で
あることが望ましい、その粒度は平均粒径が１０μｍ以
下、好ましくは３μｍ以下が望ましい。
が２．０重量％以下、炭素含有率が０．２重量％以下で
あることが望ましい、その粒度は平均粒径が１０μｍ以
下、好ましくは３μｍ以下が望ましい。
又、窒化アルミニウム粉末に添加される焼結助剤は緻密
な焼結体を得るためのものであり、酸化イツトリウムが
適当である。この添加量については、多すぎると窒化ア
ルミニウム粉末以外の結晶相が増加し、熱伝導率が低下
するし、一方、少なすぎると焼結助剤としての効果がな
いことから、０．１〜５重量％が適当である。
な焼結体を得るためのものであり、酸化イツトリウムが
適当である。この添加量については、多すぎると窒化ア
ルミニウム粉末以外の結晶相が増加し、熱伝導率が低下
するし、一方、少なすぎると焼結助剤としての効果がな
いことから、０．１〜５重量％が適当である。
さらに、還元剤として添加されるグラファイト粉末は窒
化アルミニウムグリーンシートを窒素雰囲気等の非酸化
性雰囲気中１７００〜１９００℃で常圧焼結する際に、
窒化アルミニウムを高純度化し、結果として窒化アルミ
ニウム粉末基板の熱伝導率を高めるためのものである。
化アルミニウムグリーンシートを窒素雰囲気等の非酸化
性雰囲気中１７００〜１９００℃で常圧焼結する際に、
窒化アルミニウムを高純度化し、結果として窒化アルミ
ニウム粉末基板の熱伝導率を高めるためのものである。
この添加量については、多すぎると緻密な焼結体が得ら
れなかったり、焼結体の絶縁抵抗が低下するし、一方、
少なすぎると窒化アルミニウム粉末基板の熱伝導率が向
上しないことから、０．０５〜１．０重量％とするのが
望ましい、又、粒度については細かすぎると、窒化アル
ミニウムを空気中で脱脂する工程で酸化され、ＣＯ又は
ＣＯ□ガスとなってＡＩＮグリンシートの外部に散逸し
てしまうし、一方、粗すぎると均一な焼結体が得られな
いことから、０．１ ＝ｌＯｎ＋”７ｇの比表面積を有
するものが適当である。なお、上記グラファイト粉末と
は、コークス等の無定形炭素等を２５００℃以上の温度
で加熱することにより黒鉛化したものを粉砕処理等して
得られたものであり、真比重２．１ｇ／ｃ＋ａ”以下の
カーボンブラック粉末等の無定形炭素は、空気中での加
熱により容易に酸化される為、効果が無い。
れなかったり、焼結体の絶縁抵抗が低下するし、一方、
少なすぎると窒化アルミニウム粉末基板の熱伝導率が向
上しないことから、０．０５〜１．０重量％とするのが
望ましい、又、粒度については細かすぎると、窒化アル
ミニウムを空気中で脱脂する工程で酸化され、ＣＯ又は
ＣＯ□ガスとなってＡＩＮグリンシートの外部に散逸し
てしまうし、一方、粗すぎると均一な焼結体が得られな
いことから、０．１ ＝ｌＯｎ＋”７ｇの比表面積を有
するものが適当である。なお、上記グラファイト粉末と
は、コークス等の無定形炭素等を２５００℃以上の温度
で加熱することにより黒鉛化したものを粉砕処理等して
得られたものであり、真比重２．１ｇ／ｃ＋ａ”以下の
カーボンブラック粉末等の無定形炭素は、空気中での加
熱により容易に酸化される為、効果が無い。
これらの窒化アルミニウム粉末とＹａｋｓ粉末とグラフ
ァイト粉末とに溶剤、分散剤、有機バインダー、可塑剤
等を加えてスラリー状にしたものをドクターブレード法
等により成型し、窒化アルミニウムグリーンシートを作
製する。これらの分散剤、有機バインダー、可塑剤とし
ては、脱脂しやすいものが好ましく、有機バインダーと
してはアクリル樹脂、ポリビニルブチラール樹脂、可塑
剤としてはジブチルフタレート等が挙げられる。
ァイト粉末とに溶剤、分散剤、有機バインダー、可塑剤
等を加えてスラリー状にしたものをドクターブレード法
等により成型し、窒化アルミニウムグリーンシートを作
製する。これらの分散剤、有機バインダー、可塑剤とし
ては、脱脂しやすいものが好ましく、有機バインダーと
してはアクリル樹脂、ポリビニルブチラール樹脂、可塑
剤としてはジブチルフタレート等が挙げられる。
第１図は、本発明にかかる窒化アルミニウム基板の製造
方法の一例の基本的構成図、作製した窒化アルミニウム
グリーンシートを所定の寸法に切断し、第１図に示す如
くセラミック粉末２を介在させて、支持台であるセッタ
ー２上に２枚以上積み重ね更に最上部には重し材３を置
いた状態でＡＩＮグリーンシートの脱脂を行なう。ここ
で介在させるセラミック粉末としては、窒化ホウ素粉末
が望ましく、その量はグリーンシート１の面積に対して
０．２〜１．Ｏｍｇ／ｃａ＋”とするのが望ましい、ま
た、セッター３及び重し材４としては、平坦性が最も重
要であり、材質としては、窒化ホウ素質焼結体、窒化ア
ルミニウム質焼結体、窒化ホウ素乃至窒化アルミニウム
で表面をコーティングしたカーボン等が挙げられる。
方法の一例の基本的構成図、作製した窒化アルミニウム
グリーンシートを所定の寸法に切断し、第１図に示す如
くセラミック粉末２を介在させて、支持台であるセッタ
ー２上に２枚以上積み重ね更に最上部には重し材３を置
いた状態でＡＩＮグリーンシートの脱脂を行なう。ここ
で介在させるセラミック粉末としては、窒化ホウ素粉末
が望ましく、その量はグリーンシート１の面積に対して
０．２〜１．Ｏｍｇ／ｃａ＋”とするのが望ましい、ま
た、セッター３及び重し材４としては、平坦性が最も重
要であり、材質としては、窒化ホウ素質焼結体、窒化ア
ルミニウム質焼結体、窒化ホウ素乃至窒化アルミニウム
で表面をコーティングしたカーボン等が挙げられる。
ところで、この脱脂工程では、ＡＩＮ粉末を酸化させず
、かつ、ＡＩＮグリーンシート１中に含まれている有機
バインダー等の有機物を完全に除去することが重要であ
る。 ＡＩＮ粉末が酸化すると、ＡＩＮ基板の熱伝導率
が低下するし、−方、有機物の除去が不完全であると、
ＡＩＮ基板に黒色の色むらが生じたり、ひいては絶縁抵
抗が劣化する０以上の点から空気中４００〜６００℃で
加熱することにより脱脂するのが望ましい。
、かつ、ＡＩＮグリーンシート１中に含まれている有機
バインダー等の有機物を完全に除去することが重要であ
る。 ＡＩＮ粉末が酸化すると、ＡＩＮ基板の熱伝導率
が低下するし、−方、有機物の除去が不完全であると、
ＡＩＮ基板に黒色の色むらが生じたり、ひいては絶縁抵
抗が劣化する０以上の点から空気中４００〜６００℃で
加熱することにより脱脂するのが望ましい。
なお、より容易に脱脂を行なうために、該重し材４に貫
通穴を設けても良く、これは特にＡＩＮグリーンシート
１の面積が大型化したり、厚みがった厚くなったりした
場合に有効である。
通穴を設けても良く、これは特にＡＩＮグリーンシート
１の面積が大型化したり、厚みがった厚くなったりした
場合に有効である。
最後に、以上の如く脱脂したものを窒化ホウ素、窒化ア
ルミニウム、カーボン等の容易に収容し、窒素含有非酸
化性雰囲気中、１７００〜１９００℃で常圧焼結するこ
とにより平面度、平滑度に優れかつ、高熱伝導性を有す
るＡＩＮ基板を効率よく製造することができる。
ルミニウム、カーボン等の容易に収容し、窒素含有非酸
化性雰囲気中、１７００〜１９００℃で常圧焼結するこ
とにより平面度、平滑度に優れかつ、高熱伝導性を有す
るＡＩＮ基板を効率よく製造することができる。
なお、本発明にかかる脱脂、焼結方法は第１図に例示さ
れたものに限定されない。
れたものに限定されない。
［作用１
該グリーンシート中の無機成分として窒化アルミニウム
と焼結助剤である酸化イツトリウムとに還元剤として、
比表面積０．１〜ｌＯｍ″／ｇのグラフディト粉末を添
加することにより熱伝導率の優れた窒化アルミニウム基
板が得られることを見出したものである。これはグラフ
ディト粉末が他のカーボン粉末の中でも特に耐酸化性に
優れているため、空気中で加熱する脱脂工程において酸
化されず、かつ常圧焼成の工程で窒化アルミニウム中の
不純物酸系と反応して、窒化アルミニウムを高純度化す
るためと考えられる。
と焼結助剤である酸化イツトリウムとに還元剤として、
比表面積０．１〜ｌＯｍ″／ｇのグラフディト粉末を添
加することにより熱伝導率の優れた窒化アルミニウム基
板が得られることを見出したものである。これはグラフ
ディト粉末が他のカーボン粉末の中でも特に耐酸化性に
優れているため、空気中で加熱する脱脂工程において酸
化されず、かつ常圧焼成の工程で窒化アルミニウム中の
不純物酸系と反応して、窒化アルミニウムを高純度化す
るためと考えられる。
［実施例］
実施例１
酸素含有量１．４重量％、炭素含有量０．１重量％、平
均粒径１．５μｍのＡＩＮ粉末と、焼結助剤として平均
粒径０．４μｍのＹ２Ｏ，粉末と、還元剤として平均粒
径１．０μｍ（比表面積、３ ｍ”／ｇｌのグラファイ
ト粉末とを第１表に示す割合で秤量し、次いで、これら
無機成分の総量に対して分散剤２重量部、有機バインダ
ーとしてアクリル樹脂を１２重量部、可塑剤としてジブ
チルフタレートを５重量部加え、トルエン等の有機溶剤
と混合してスラリーとした後、ドクターブレード法によ
り成型し、厚さ０．８５ｍｍのＡＩＮグリーンシートを
作製し、６３．７＋＋ｍ角に打ち抜いたものを２０枚用
意した。
均粒径１．５μｍのＡＩＮ粉末と、焼結助剤として平均
粒径０．４μｍのＹ２Ｏ，粉末と、還元剤として平均粒
径１．０μｍ（比表面積、３ ｍ”／ｇｌのグラファイ
ト粉末とを第１表に示す割合で秤量し、次いで、これら
無機成分の総量に対して分散剤２重量部、有機バインダ
ーとしてアクリル樹脂を１２重量部、可塑剤としてジブ
チルフタレートを５重量部加え、トルエン等の有機溶剤
と混合してスラリーとした後、ドクターブレード法によ
り成型し、厚さ０．８５ｍｍのＡＩＮグリーンシートを
作製し、６３．７＋＋ｍ角に打ち抜いたものを２０枚用
意した。
一方、平均粒径０．８μｍの窒化ホウ素粉末を１．１．
１−トリクロルエタン中に懸濁させ、この懸濁液をスプ
レー法によって６３．７ｍａ＋角のグリーンシートの片
面に塗布した。このときの塗布量は０．５ ｍｔｇ／ｃ
−であった、また同様に外寸６０Ｘ６０Ｘ１０’ｍｍの
窒化アルミニミウム質のセッター及び重し材の表面にも
窒化ホウ素粉末を塗布しておき、このセッター上に上記
の窒化ホウ素粉末を塗布したＡＩＮグリーンシートを２
０枚積み重ね、更に最上部に重し材を置いた。
１−トリクロルエタン中に懸濁させ、この懸濁液をスプ
レー法によって６３．７ｍａ＋角のグリーンシートの片
面に塗布した。このときの塗布量は０．５ ｍｔｇ／ｃ
−であった、また同様に外寸６０Ｘ６０Ｘ１０’ｍｍの
窒化アルミニミウム質のセッター及び重し材の表面にも
窒化ホウ素粉末を塗布しておき、このセッター上に上記
の窒化ホウ素粉末を塗布したＡＩＮグリーンシートを２
０枚積み重ね、更に最上部に重し材を置いた。
これらを空気中５００℃で１．０時間加熱することによ
り、ＡＩＮグリーンシートの脱脂を行ない最後にこれら
を窒化アルミニウム質の容易に収容し、密閉状態とした
ものを窒素含有非酸化性雰囲気中１８５０℃で３時間常
圧焼結した。
り、ＡＩＮグリーンシートの脱脂を行ない最後にこれら
を窒化アルミニウム質の容易に収容し、密閉状態とした
ものを窒素含有非酸化性雰囲気中１８５０℃で３時間常
圧焼結した。
得られた窒化アルミニウム基板は、基板相互及び基板と
セッター乃至重し材との付着は全く無く、容易に分離す
ることができ、うねり５０μｍ以下、表面粗さＲａ＝０
．８ ＪＡ ｍ Ｒｍａｘ＝６ μｍであり、優れた
平坦性と平滑性を有していた。そこで、これらのＡＩＮ
基板の相対密度、熱伝導率、絶縁抵抗を測定し、その結
果を第１表に示す、第１表において試料番号１，５，６
，１０゜１１、１５は、本発明の範囲外の比較例である
。
セッター乃至重し材との付着は全く無く、容易に分離す
ることができ、うねり５０μｍ以下、表面粗さＲａ＝０
．８ ＪＡ ｍ Ｒｍａｘ＝６ μｍであり、優れた
平坦性と平滑性を有していた。そこで、これらのＡＩＮ
基板の相対密度、熱伝導率、絶縁抵抗を測定し、その結
果を第１表に示す、第１表において試料番号１，５，６
，１０゜１１、１５は、本発明の範囲外の比較例である
。
なお、熱伝導率は基板形状のままでレーザーフラッシュ
法により測定した。
法により測定した。
【比較例］
酸素含有量１．４重量％、炭素含有量０．１重量％、平
均粒径１．５μｍのＡＩＮ粉末と、焼結助剤として平均
粒径０．４μｍのＹｌｏ、粉末と還元剤として平均粒径
０．０５μｍ（比表面積： ６０ｍ”／ｇ）のカーボン
ブラック粉末とを第２表に示す割合で秤量し、以下、実
施例１と全く同様の方法でＡＩＮグリーンシートを作製
し、脱脂、焼成することによってＡＩＮ基板を得た。次
いで、これらのＡＩＮ基板の相対密度、熱伝導率、絶縁
抵抗を測定し、その結果を第２表に示す。第２表に示す
如く、カーボンブラック粉末の添加は熱伝導率に対して
全く効果が認められない。これは、空気中５００℃で１
．０時間脱脂する工程で、カーボンブラック粉末が酸化
され、ＣＯ又はＣＯ２ガスとなってＡＩＮグリーンシー
トの外部に逸散してしまったためである。
均粒径１．５μｍのＡＩＮ粉末と、焼結助剤として平均
粒径０．４μｍのＹｌｏ、粉末と還元剤として平均粒径
０．０５μｍ（比表面積： ６０ｍ”／ｇ）のカーボン
ブラック粉末とを第２表に示す割合で秤量し、以下、実
施例１と全く同様の方法でＡＩＮグリーンシートを作製
し、脱脂、焼成することによってＡＩＮ基板を得た。次
いで、これらのＡＩＮ基板の相対密度、熱伝導率、絶縁
抵抗を測定し、その結果を第２表に示す。第２表に示す
如く、カーボンブラック粉末の添加は熱伝導率に対して
全く効果が認められない。これは、空気中５００℃で１
．０時間脱脂する工程で、カーボンブラック粉末が酸化
され、ＣＯ又はＣＯ２ガスとなってＡＩＮグリーンシー
トの外部に逸散してしまったためである。
第
表
＊印は本発明の範囲外
第２表（比較例）
［発明の効果］
本発明のＡＩＮ基板の製造方法によれば、平面度、平滑
度に優れ、かつ熱伝導率の高いＡＩＮ基板を効率よく提
供でき、半導体装用基板として好適であることから、そ
の工業的価値は多大である。
度に優れ、かつ熱伝導率の高いＡＩＮ基板を効率よく提
供でき、半導体装用基板として好適であることから、そ
の工業的価値は多大である。
第１図は本発明におけるＡＩＮ基板の製造方法の一例の
基本的構成図である、 ｌ：窒化アルミニウムグリーンシート ２：セラミック粉末
基本的構成図である、 ｌ：窒化アルミニウムグリーンシート ２：セラミック粉末
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）重量％表示で固形成分が実質的に 窒化アルミニウム粉末９４〜９９．８５ 酸化イットリウム粉末０．１〜５ グラファイト粉末０．０５〜１ からなる窒化アルミニウム基板組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1281998A JP2890543B2 (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 | 窒化アルミニウム基板組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1281998A JP2890543B2 (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 | 窒化アルミニウム基板組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03146472A true JPH03146472A (ja) | 1991-06-21 |
| JP2890543B2 JP2890543B2 (ja) | 1999-05-17 |
Family
ID=17646804
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1281998A Expired - Fee Related JP2890543B2 (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 | 窒化アルミニウム基板組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2890543B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116425552A (zh) * | 2023-04-24 | 2023-07-14 | 广东省先进陶瓷材料科技有限公司 | 一种氮化铝基板及其制备方法与应用 |
-
1989
- 1989-10-31 JP JP1281998A patent/JP2890543B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116425552A (zh) * | 2023-04-24 | 2023-07-14 | 广东省先进陶瓷材料科技有限公司 | 一种氮化铝基板及其制备方法与应用 |
| CN116425552B (zh) * | 2023-04-24 | 2024-04-26 | 广东省先进陶瓷材料科技有限公司 | 一种氮化铝基板及其制备方法与应用 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2890543B2 (ja) | 1999-05-17 |
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