JPH0314670Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、保護層で被覆されたフオトレジスト
基板から、該保護層を完全に除去するための処理
装置に関するものである。

従来フオトレジスト基板は、銅張積層板を基層
として、その両面または片面にフオトレジスト層
と保護層とを順に積層した構成よりなり、これに
フオトマスクを通して紫外光などの露光したの
ち、保護層を除去し、ついで現像、エツチング処
理を行うのが一般的方法である。

しかして、従来の保護層としては、水または有
機溶剤に可溶な物質が使用されており、適当間隔
をおいて設けられた上下２列の回転ローラ群の間
をこれらフオトレジスト基板が搬送され、その間
にフオトレジスト基板の両面よりノズルを介して
水または有機溶剤を噴射して該保護層を溶解除去
する方法が知られている。

この方法によると、保護層の除去そのものは円
滑に行ない得るものの、液中に溶解した保護層物
質の濃度が時間の経過と共に上昇し、その廃棄処
理をいかにするかが新たな問題となつてきた。

本出願人は、かかる問題点を解決すべく検討し
た結果、保護層として水に対して溶解することな
く膨潤するポリビニルアルコール系樹脂を用い、
該保護層を水と接触せしめるときは、保護層が溶
解することなく膨潤することにより容易に脱落除
去され、しかも水中にはポリビニルアルコール系
樹脂が溶解しないので、水の廃棄処理の問題が解
決されることを見出し、特許出願を行つた。

ところが、この発明を前記のごとき処理装置を
使つて実施したところ、除去された保護フイルム
がときに下列の回転ローラーにまつわりついて連
続運転の妨げとなつたり、保護層フイルムが基板
に付着したまま次工程の現像槽に搬入されるなど
の問題点が明らかとなつてきた。

本出願人は、かかる問題点を解決すべく検討を
重ねた結果本考案を完成するに至つたのである。

本考案の装置を第１図および第２図にもとづい
て説明する。第１図は本考案の装置の側面図、第
２図は本考案の装置の平面図を示す。

本考案の装置は、保持層で被覆されたフオトレ
ジスト基板を垂直方向に保持しながら水平方向に
移動し、その間に、保護層に対して膨潤性を有す
る液体を該基板の表面に噴射することによつて、
保護層を剥離する装置において、保護層で被覆さ
れたフオトレジスト基板の下端部を挾んで垂直方
向に保持するつかみ具１と、つかみ具１を固定し
て水平方向に搬送する機構２と、該基板が搬送さ
れる間に該保護層に対して膨潤性を有する液体を
該基板の両面または片面に対して噴射するノズル
群３と、保護層の大部分が剥離したのち該基板の
上端部を挾んで保持するつかみ具４と、つかみ具
４を固定して水平方向に搬送する機構５と、つか
み具４で該基板を保持した直後に該基板の下端部
を挾んでいたつかみ具１を離す機構６と、なお該
基板に付着している保護層に対して該液体を噴射
するノズル群７とを組合わせてなることを特徴と
する保護層で被覆されたフオトレジスト基板から
保護層を完全に除去するためのフオトレジスト基
板の処理装置である。

本考案の装置の特長は、上下２列の回転ローラ
ー群によりフオトレジスト基板が搬送される間に
該基板に対して液体を噴射する従来の装置に比較
して、保護層の剥離速度が早く処理速度を上げる
こと、または装置の小型化が可能なことでありま
た、搬送用回転ロールに剥離した保護層フイルム
がまつわりつくこともないので連続運転を妨げな
いこと、更に保護フイルムは、本考案の装置内で
完全に剥離除去されるので次工程の現像槽に搬入
されるトラブルが発生しないことである。

さらに本考案の装置を詳細に説明する。フオト
レジスト基板は、通常約20〜50cm×約10〜30cm程
度の４角形の自体保持性を有する板状物であり、
露光後送りローラーまたは溝付のラツクにより送
られてくる。本考案の装置では、先ず該基板の下
端部をつかみ具１で挾んで垂直方向に保持しなが
ら機構２により水平方向に搬送する。つかみ具１
は、該基板の下端部を挾んで垂直方向に保持する
ことができればよく、形状材質については特に制
限はない。又、搬送方向に対して該基板を保持す
る角度は、必ずしも平行である必要はなく、つか
み具を回転させて適当な角度に調節してもよい。

つかみ具１を固定して水平方向に搬送する機構
２としては、つかみ具１を固定して水平方向に駆
動する２本のチエイン、またはベルトなどがいず
れも採用し得る。

該基板が装置内に搬送される間に、該保護層に
対して膨潤性を有する液体を該基板の両面または
片面に対してノズル群３を介して噴射し該保護層
を膨潤・剥離する。

ノズルの形状は、フラツトコーン、フルコーン
いずれでもよいが、ノズル自身が揺動することが
好ましい。ノズルの材質は、ポリ塩化ビニル、ポ
リエチレン、ポリプロピレンなどのプラスチツ
ク、ステンレスなどの金属いずれでもよいが、耐
久性、耐溶剤性の点でステンレスが好ましい。

またノズルによる該液体の噴射方向は、保護層
の剥離状況に応じて適宜変更できることが望まし
い。

保護層の大部分が該基板より剥離されてつかみ
具１からたれ下つた状態になつたのち、つかみ具
４該基板の上端部を挾んでから下端部を挾んでい
たつかみ具１を離し、更にノズル群７を介して保
護層に対して膨潤性を有する液体を噴射して該保
護層を該基板から完全に剥離除去する。

このとき、脱離落下するフイルム状の保護層を
該液体より分離し処理装置外に排出するため処理
装置の中間部の位置以後にメツシユ状の受皿８及
び／またはメツシユコンベア９を設ける。また、
保護層に対して膨潤性を有する液体は基板より脱
離したフイルム状の保護層を分離除去したのち処
理装置下部から取出されポンプ１２を用いてノズ
ル群３及び７に循環供給される。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の装置の側面図、第２図は、
本考案の装置の平面図であり、１は、基板の下端
部を挾んで垂直方向に保持するつかみ具、２，５
は基板を水平方向に搬送する機構、３，７は保護
層に対して膨潤性を有する液体を噴射するノズル
群、４は基板の上端部を挾んで垂直方向に保持す
るつかみ具、６は、４で基板を保持したのち１を
離す機構、８はメツシユの受皿、９はメツシユコ
ンベア、１０は９で系外に排出されるフイルム状
の保護層、１１は保護層に対して膨潤性を有する
液体のたまり、１２はポンプである。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 保護層で被覆されたフオトレジスト基板を垂直
   方向に保持しながら水平方向に移動し、その間
   に、保護層に対して膨潤性を有する液体を該基板
   の表面に噴射することによつて保護層を剥離する
   装置において、保護層で被覆されたフオトレジス
   ト基板の下端部を挟んで垂直方向に保持するつか
   み具１と、つかみ具１を固定して水平方向に搬送
   する機構２と、該基板が搬送される間に該保護層
   に対して膨潤性を有する液体を該基板の両面また
   は片面に対して噴射するノズル群３と、保護層の
   大部分が剥離したのち該基板の上端部を挟んで保
   持するつかみ具４と、つかみ具４を固定して水平
   方向に搬送する機構５と、つかみ具４で該基板を
   保持した直後に該基板の下端部を挟んでいたつか
   み具１を離す機構６と、なお該基板に付着してい
   る保護層に対して該液体を噴射するノズル群７と
   並びに機構６の搬送方向の端部に剥離した保護層
   を捕捉するために設置されたメツシユ状の受皿８
   及び／またはメツシユコンベア９とを組合わせて
   なることを特徴とする保護層で被覆されたフオト
   レジスト基板から、保護層を完全に剥離除去する
   ためのフオトレジスト基板の処理装置。