JPH03148164A - ワーク固定治具 - Google Patents

ワーク固定治具

Info

Publication number
JPH03148164A
JPH03148164A JP28691989A JP28691989A JPH03148164A JP H03148164 A JPH03148164 A JP H03148164A JP 28691989 A JP28691989 A JP 28691989A JP 28691989 A JP28691989 A JP 28691989A JP H03148164 A JPH03148164 A JP H03148164A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lead frame
positioning stage
holding block
rubber
semiconductor substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP28691989A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshiaki Yamada
義明 山田
Toshitaka Jo
城 利隆
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP28691989A priority Critical patent/JPH03148164A/ja
Publication of JPH03148164A publication Critical patent/JPH03148164A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、薄板製リードフレームを所定の(1) 位置に仮固定するワーク固定油に関するものである。
〔従来の技術〕
第3図(aJ 、 (b)は従来のワーク固定治具を示
す側面図、第4図は第3図の位置決めステージを示す斜
視図である。図において、(1)は位置決めステージ(
3)上に基板固定ピン(3&)により位置決め固定され
た半導体基板、(2]は位置決めステージ(3)上にリ
ードフレーム位置決めピン(3b)によう位置決め載置
されたリードフレーム、(4Jば駆動部(5)によシ位
置決めステージ(3)上のリードフレーム(2)と接離
可能となる押さえブロック、(6)は位置決めステージ
(3)ヲ第1工程位置から第2工程位置筐で移動させる
ヌライダである。
次に動作について説明する。第3図(aJに訃いて、図
中想像線で示す第1工程位置において位置決めステージ
(3)上に半導体基板(IJとリードフレーム(2)ヲ
セットした後、ヌフィダ(6)は矢印(イ)の方陣に移
動する。位置決めステージ(3)が図中実線で示す第2
工程位置に移動した後、駆動部(2) +57 Kよシ押さえブロック(4)上矢印(ロノの方
向に移動させ、リードフレーム(2ノヲ下方に押圧する
リードフレーム(2]は押さえブロック(4)と位置決
めステージ(3)との間にはさまれて固定されるととも
に、リードフレーム(2Jのスプリング機構(2&)に
よジ第3図(bJに示す第3工程が施されるパッド(2
b)は半導体基板(1)に矢印ビ)方向に圧力をかけ、
固定される。
尚、上記した第1工程は半導体基板(D釦よびリードフ
レーム(2〕のローディング、第2工程はリードフレー
ム(2)の固定、第3工程は半田付作業である。
〔発明が解決しようとする課題〕
従来のワーク固定治具は以上のように構成されているの
で、第5図に示すようにリードフレーム(2)個々にバ
ラツキがある場合(板厚にバラツキがある場合、変形し
ている場合)X筐たは第6図に示すように位置決めステ
ージ(3]と、押すエブロック(4)との平行度がでて
いない場合には、押さえブロック(4)によう押圧され
ていないリードフレーム(2)が存在する。このように
リードフレーム(2)が押さえブロック(4)により押
圧されない状態では、パッド(2b)は半導体基板(1
)上に固定されないため、第3図+1)Jに示す第3工
程例えば半田ゴテによる半田付作業を行う時に、パッド
(2b)が半導体基板(IJの所定の位置からズしたつ
、浮き上がったりし、不良製品がでるという問題点があ
った。
尚、第5図および第6図中矢印日はパッド(2b)が基
板(1)に押しつけられて固定された状態を示し、また
矢印(ホ)はパッド(2b)が固定されていないフリー
の状態を示している(いずれもリードフレーム(2)の
板厚が個々に異なる場合)0 この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、リードフレーム個々にバラツキがあったシ、
位置決めステージのリードフレーム載置面と押さえブロ
ックのリードフレーム接触面との平行度が出ていない場
合でも、確実に全てのリードフレームを押圧して固定す
ることのできるワーク固定治具を得ることを目的とする
〔課1m?解決するための手段〕 この発明に係るワーク固定治具は、押さえブロックにゴ
ムあるいはそれと同等のヤング率を有する材質でできた
部材を取りっけ、この部材でリードフレームを押圧する
ようにしたものである。
〔作用〕
、二の発明にトけるワーク固定治具は、押さえブロック
に取付けられたゴム製(又は同等ヤング率の材質all
l)の部材が位置決めステージ上のリードフレームを押
圧する際に弾性変形するので、リードフレーム個々のバ
ラツキや、位置決めステージと押さえブロックの平行度
にかかわらず、確実に全てのリードフレームを押圧する
〔実施例〕
以下、こ、の発明の一実施例を第1′図によび第2図に
ついて説明する・。′第1図は側面図、第2図は第1図
を左、からみた一部破断正面図であシ、前記従来のもの
と同一または相当部分には同一符号を付して説明を省略
する。図に訃いて、(4A)はアリ溝(7)があけられ
た押さえブロック、(8)は押さえブロック(4A)に
リードフレーム(2)ft押圧するように取付けられた
シリコンゴム製のチューブである。尚、シリコンゴムチ
ューブ(8)は押さえブロック(4A〕のアリ溝(7)
にはめ込むことによシ取付けられている。
第1工程位置にトいて位置決めステージ(3)上に位置
決め載置されたリードフレーム(2)上第2工程位置に
おいて、駆動部(5)によシ押さえブロック(4A)を
下降させ、押さえブロック(4A)に取付けられたシリ
コンゴム製チら−プ(8]でリードフレーム(2]乞押
圧し固定する。
第2図に、従来のワーク固定治具では固定不可能であっ
た、位置決めステージ(3)と押さえブロック(4A)
との平行度が出ていない場合に唱けるこの発明実施時の
リードフレーム(2)の固定状M’に:示す。第2図に
示すようにリードフレーム(2)では押さえブロック(
4A)とのヌキマが各4異なるが、シリコンゴムチー−
プ(8)の変形量の違いによシ、全てのリードフレーム
(2]ヲ確実に押圧することができる。前記した第5図
にかけるリードフレーム(2)の板厚のバラツキに幻し
ても同様の作用をする。
上記実施例のように押さえブロック(4A)に切ったア
リ溝(7)にシリコンゴムチューブ(8)をほめ込み固
定すると1シリコンゴムチユーブ(8)の交換が容易に
行える。
尚、リードフレーム(2)ヲ押圧する部材にシリコンゴ
ムチ具−グを選択したのは、圧力に対し変形量が大きい
ので、吸収できるスキマ量が大きいからである。
上記実施例では1個以上の薄板リードフレーム(2)の
固定について説明したが、1!!数本の円柱あるいは多
角柱形状のリード線の固定についても同様の効果を奏す
る。
〔発明の効果〕
以上のように、この発明によれば押さえブロックにシリ
コン−ゴムチューブを取付け、このシリコーンゴムチュ
ーブで位置決めステージ上に位置決め@載されたリード
フレームを押圧するようにしたので、リードフレーム個
々のバラツキや、位置決めステージと押さえブロックと
の平行度に関係なく罹災にリードフレームを固定するこ
とができ、固定後の作業例えば半田付作業時の不良品発
生を防止できる。又、前述のように位置決めステージと
押さえブロックとの厳密な平行度調整が不要のため、治
具の構造が簡単となるとともに調整時間が不要なので治
具が安価にできる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例にかけるワーク固定治具を
示す側面図、第2図は第1図を左からみた一部破断の正
面図、第3図(a) 、 (b)は従来のワーク固定治
具を示す側面図、第4図は第3図の位置決めステージを
示す斜視図、第5図および第6図は従来のワーク位置決
め治具に訃いてワーク固定が不可能な場合を説明するた
めの図である。 図にかいて、(IJは半導体基板、(2〕はリードフレ
ーム、(3)は位置決めステージ、(4A)は押さえブ
ロック、(5]は駆動部、(8)はシリコンゴムチュー
ブである。 尚、各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)半導体基板を位置決め固定し、1個以上の薄板金
    属製リードフレームが前記位置決め固定された半導体基
    板と所定の位置関係になるように置載可能な位置決めス
    テージと、この位置決めステージのリードフレーム置載
    部と接離可能に設けられた押さえブロックと、この押さ
    えブロックを前記位置決めステージ上に置載された状態
    の前記リードフレームに押圧させたり離間させる駆動部
    とからなるワーク固定治具において、前記押さえブロッ
    クの前記リードフレームとの接触部をゴム又はそれと同
    等のヤング率を有する材質の部材にしたことを特徴とす
    るワーク固定治具。
JP28691989A 1989-11-02 1989-11-02 ワーク固定治具 Pending JPH03148164A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28691989A JPH03148164A (ja) 1989-11-02 1989-11-02 ワーク固定治具

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28691989A JPH03148164A (ja) 1989-11-02 1989-11-02 ワーク固定治具

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH03148164A true JPH03148164A (ja) 1991-06-24

Family

ID=17710669

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP28691989A Pending JPH03148164A (ja) 1989-11-02 1989-11-02 ワーク固定治具

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH03148164A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH11288953A (ja) ボンディング装置用ガイドレール機構
US11483921B2 (en) Holder for thermally contacting an electronic component mounted on a circuit board and a cooling body
JPH03148164A (ja) ワーク固定治具
JP4298178B2 (ja) ボンディング装置用ワーク固定装置
KR100228443B1 (ko) 본딩장치용 클램프기구
JP2814150B2 (ja) フレーム押え固定装置
JPH0637860Y2 (ja) ワーククランプ機構
JPH06349884A (ja) ワイヤボンディング装置のリードフレーム押え機構
JPH0855764A (ja) チップ電子部品の保持方法
JPH0422908Y2 (ja)
JPH0693472B2 (ja) ワイヤボンデイング装置
JP2001138479A (ja) クリーム半田印刷装置およびクリーム半田印刷方法
JP3191338B2 (ja) ウェハ保持器の保持装置
KR100579802B1 (ko) 펠리클 프레임용 내경 고정 지그
JPH0416016B2 (ja)
JP2799727B2 (ja) 電子部品のリード矯正装置
JP3775960B2 (ja) 電子部品の圧着装置および圧着方法
JPH0747868Y2 (ja) チップボンディングまたはワイヤボンディング工程におけるリードフレーム押さえ
JP2996053B2 (ja) リードフレームへのフィルム貼付け方法,及び装置
JP3250567B2 (ja) 両面実装基板固定方法及び両面実装基板固定装置
JP2525823Y2 (ja) 自動縫製機のクランプ板固定構造
JP3114447B2 (ja) 板金加工装置および板金加工方法
JPH08236572A (ja) ワイヤボンダ
JPS63191599A (ja) 基板分割用装置
JPH0329158Y2 (ja)