JPH03149372A - ベローズポンプ - Google Patents
ベローズポンプInfo
- Publication number
- JPH03149372A JPH03149372A JP28629689A JP28629689A JPH03149372A JP H03149372 A JPH03149372 A JP H03149372A JP 28629689 A JP28629689 A JP 28629689A JP 28629689 A JP28629689 A JP 28629689A JP H03149372 A JPH03149372 A JP H03149372A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bellows
- air cylinder
- piston
- expansion
- rate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は薬液吐出用のポンプに関し、特にベローズの伸
縮により薬液を吸引したり叶出したりするベローズポン
プに関する。
縮により薬液を吸引したり叶出したりするベローズポン
プに関する。
従来、この種のベローズポンプは、半導体装置の製造工
程における薬品による処理工程に広く使われている。
程における薬品による処理工程に広く使われている。
第２図は従来の一例を示すベローズボンブの断面図であ
る。このベローズボンブは、同図に示すように、一端側
に開閉弁７ｂを有し、他端側は薬液槽（図示せず）に接
続される吸入管２と、一端側に開閉弁７ａを有し、他端
は装置に連結される吐出管３と、これら吸入管２と吐出
管３と継ながる。ケーシングであるベローズ１と、この
ベローズ１の他端にジヨイント４を介して連結されるエ
アシリンダ５とで構成されている。
る。このベローズボンブは、同図に示すように、一端側
に開閉弁７ｂを有し、他端側は薬液槽（図示せず）に接
続される吸入管２と、一端側に開閉弁７ａを有し、他端
は装置に連結される吐出管３と、これら吸入管２と吐出
管３と継ながる。ケーシングであるベローズ１と、この
ベローズ１の他端にジヨイント４を介して連結されるエ
アシリンダ５とで構成されている。
このベローズポンプの動作は、まず、第１図に示す、薬
液を後退した状態から、ボート６ａに圧縮空気が供給さ
れると、エアシリンダ５のピストンは後退し、ジヨイン
ト４によりベローズ１は伸びる。このとき開閉弁７ｂが
開き、ベローズ１内の薬液は吐出管３より叶出される。
液を後退した状態から、ボート６ａに圧縮空気が供給さ
れると、エアシリンダ５のピストンは後退し、ジヨイン
ト４によりベローズ１は伸びる。このとき開閉弁７ｂが
開き、ベローズ１内の薬液は吐出管３より叶出される。
このような、エアシリンダ５のピストンの前近後進の動
作により、薬液は吸入管２より矢印の方向に示すように
吐出管を経て装置側に供給されていた。
作により、薬液は吸入管２より矢印の方向に示すように
吐出管を経て装置側に供給されていた。
上述した従来のベローズポンプでは、薬液の吐出量を決
定するベローズの伸縮速度は目視で測定するしかなく、
人為的な誤差が生じ薬液の供給量が一定にならないとい
う欠点がある。
定するベローズの伸縮速度は目視で測定するしかなく、
人為的な誤差が生じ薬液の供給量が一定にならないとい
う欠点がある。
本発明の目的は、かかる欠点を解消し、吐出量を一定に
し、薬液の供給量を安定して装置に供給するベローズポ
ンプを提供することである。
し、薬液の供給量を安定して装置に供給するベローズポ
ンプを提供することである。
本発明のベローズポンプは、薬液一時的に停留するベロ
ーズと、このベローズの一端側にそれぞれの開閉弁を介
して設けられた吸入管及び吐出管と、前記ベローズの他
端側に取付けられたジヨイントと、このジヨイントにピ
ストンの一端が取付けられたエアシリンダと、このエア
シリンダのピストンエンドを検出するセンサと、このセ
ンサの出力を検出し、前記ベローズの伸縮速度を測定す
る速度測定回路とを備え構成される。′〔実施例〕 次に本発明について図面を参照して説明する。
ーズと、このベローズの一端側にそれぞれの開閉弁を介
して設けられた吸入管及び吐出管と、前記ベローズの他
端側に取付けられたジヨイントと、このジヨイントにピ
ストンの一端が取付けられたエアシリンダと、このエア
シリンダのピストンエンドを検出するセンサと、このセ
ンサの出力を検出し、前記ベローズの伸縮速度を測定す
る速度測定回路とを備え構成される。′〔実施例〕 次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例を示すベローズポンプの断面
図である。この実施例のベローズポンプは、同図に示す
ように、ベローズ１を伸縮させるエアシリンダ５のピス
トンエンドの位置を検出する検出センサ８ａ及び８ｂを
設け、この検出センサ８ａ及び８ｂによりベローズ１の
伸縮速度を測定する速度測定回路９を設けたことである
。また、図面には示さないが、この速度測定回路９には
、ベローズ１の伸縮速度を表示するとともに、表示速度
をパルス化し、この出力パルスを圧縮空気制御装置に送
ることである。圧縮空気制御装置は、送られたパルス数
と基準パルス数を比較し、その差で、サーボ弁（空気圧
調整弁）を作動させ、常にベローズの伸縮速度を一定に
図ることである。
図である。この実施例のベローズポンプは、同図に示す
ように、ベローズ１を伸縮させるエアシリンダ５のピス
トンエンドの位置を検出する検出センサ８ａ及び８ｂを
設け、この検出センサ８ａ及び８ｂによりベローズ１の
伸縮速度を測定する速度測定回路９を設けたことである
。また、図面には示さないが、この速度測定回路９には
、ベローズ１の伸縮速度を表示するとともに、表示速度
をパルス化し、この出力パルスを圧縮空気制御装置に送
ることである。圧縮空気制御装置は、送られたパルス数
と基準パルス数を比較し、その差で、サーボ弁（空気圧
調整弁）を作動させ、常にベローズの伸縮速度を一定に
図ることである。
なお、この実施例では、検出センサ８ａ及び８ｂをエア
シリンダ５のピストンエンドを検出するように、エアシ
リンダ５に取付けたが、ジヨイント４の動きを検出する
ように別のブラケットを設け、そこに検出センサ８ａ及
び８ｂを取付けても良いし、あるいは、直接、ベローズ
１の端面の動きを検出するように、この端面を検出する
ように別のブラケットに検出サンサを取付けてもよい。
シリンダ５のピストンエンドを検出するように、エアシ
リンダ５に取付けたが、ジヨイント４の動きを検出する
ように別のブラケットを設け、そこに検出センサ８ａ及
び８ｂを取付けても良いし、あるいは、直接、ベローズ
１の端面の動きを検出するように、この端面を検出する
ように別のブラケットに検出サンサを取付けてもよい。
以上説明したように本発明は、ベローズの伸縮を検出す
るセンサを設け、ベローズの伸縮速度を測定し、その速
度により空気圧制御するサーボ弁を動作させることによ
って、ベローズの伸縮速度を制御するので、常に、ばら
つきのない一定の吐出量の薬液を供給出来るベローズポ
ンプが得られるという効果がある。
るセンサを設け、ベローズの伸縮速度を測定し、その速
度により空気圧制御するサーボ弁を動作させることによ
って、ベローズの伸縮速度を制御するので、常に、ばら
つきのない一定の吐出量の薬液を供給出来るベローズポ
ンプが得られるという効果がある。
図面の簡単な説明
第１図は本発明の一実施例を示すベローズポンプの断面
図、第２図は従来の一例を示すベローズボンブの断面図
である。
図、第２図は従来の一例を示すベローズボンブの断面図
である。
ト・・ベローズ、２・・・吸入管、３・・・吐出管、４
・・・ジヨイント、５・・・エアシリンダ、６ａ、６ｂ
・・・ボート、７ａ、７ｂ・・・開閉弁、８ａ、８ｂ・
・・検出サンサ、９・”・・速度測定回路。
・・・ジヨイント、５・・・エアシリンダ、６ａ、６ｂ
・・・ボート、７ａ、７ｂ・・・開閉弁、８ａ、８ｂ・
・・検出サンサ、９・”・・速度測定回路。
Claims (1)
- 薬液一時的に停留するベローズと、このベローズの一端
側にそれぞれの開閉弁を介して設けられた吸入管及び吐
出管と、前記ベローズの他端側に取付けられたジョイン
トと、このジョイントにピストンの一端が取付けられた
エアシリンダと、このエアシリンダのピストンエンドを
検出するセンサと、このセンサの出力を検出し、前記ベ
ローズの伸縮速度を測定する速度測定回路とを備えるこ
とを特徴とするベローズポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01286296A JP3093222B2 (ja) | 1989-11-02 | 1989-11-02 | ベローズポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01286296A JP3093222B2 (ja) | 1989-11-02 | 1989-11-02 | ベローズポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03149372A true JPH03149372A (ja) | 1991-06-25 |
| JP3093222B2 JP3093222B2 (ja) | 2000-10-03 |
Family
ID=17702540
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01286296A Expired - Fee Related JP3093222B2 (ja) | 1989-11-02 | 1989-11-02 | ベローズポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3093222B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101907085A (zh) * | 2010-08-13 | 2010-12-08 | 浙江工业大学 | 无三阀装置的往复式液压隔膜泵 |
-
1989
- 1989-11-02 JP JP01286296A patent/JP3093222B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101907085A (zh) * | 2010-08-13 | 2010-12-08 | 浙江工业大学 | 无三阀装置的往复式液压隔膜泵 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3093222B2 (ja) | 2000-10-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |