JPH03150383A - フィルタープレス型複極電解槽 - Google Patents
フィルタープレス型複極電解槽Info
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- JPH03150383A JPH03150383A JP1288811A JP28881189A JPH03150383A JP H03150383 A JPH03150383 A JP H03150383A JP 1288811 A JP1288811 A JP 1288811A JP 28881189 A JP28881189 A JP 28881189A JP H03150383 A JPH03150383 A JP H03150383A
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Landscapes
- Electrodes For Compound Or Non-Metal Manufacture (AREA)
- Electrolytic Production Of Non-Metals, Compounds, Apparatuses Therefor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、フィルタープレス型複極電解槽に関し、特に
ハロゲン含有溶液の無隔膜電解による次亜ハロゲン酸塩
またはハロゲン酸塩の製造に適したフィルタープレス型
複極電解槽に関する。
ハロゲン含有溶液の無隔膜電解による次亜ハロゲン酸塩
またはハロゲン酸塩の製造に適したフィルタープレス型
複極電解槽に関する。
(従来の技術)
従来、ハロゲン酸塩、次亜ハロゲン酸塩等を製造するた
めの電解装置には単極式がもっばら採らにてさたが、最
近、フィルタープレス型複極式が使われ始めた。単極式
は電解槽構造としては簡単であるが、大型化し設置面積
が広くなり、かつ、大電流低電圧のため整流器が高価と
なり太いブスバーを必要とし、また、通過流量ら大にな
るなど欠点が多い。
めの電解装置には単極式がもっばら採らにてさたが、最
近、フィルタープレス型複極式が使われ始めた。単極式
は電解槽構造としては簡単であるが、大型化し設置面積
が広くなり、かつ、大電流低電圧のため整流器が高価と
なり太いブスバーを必要とし、また、通過流量ら大にな
るなど欠点が多い。
これに対しフィルタープレス型複極式はコンパクシ化し
やすく、整流器も小電流高電圧となり極めて安価で電気
接続も簡略化され、また通過流量も少なくてすむほか、
電流効率が向上するなど多くの利点をもっている。
やすく、整流器も小電流高電圧となり極めて安価で電気
接続も簡略化され、また通過流量も少なくてすむほか、
電流効率が向上するなど多くの利点をもっている。
このフィルタープレス型複極電解槽の−具体例としては
特公昭59−24192号公報に開示されるように、電
解液流通孔を有する複数の複極電極板と額縁状のがスケ
ットを交互に積層したものの両端に電解液流通孔と電流
端子を備えた陽極板と陰極板を置き、さらにその両端に
電解液入口を持つ供給板と電解液出口を持つ排出板を置
き、これらの両側に端板を当て、通しボルトにより一括
締め合わせて複極電解槽を構成する。
特公昭59−24192号公報に開示されるように、電
解液流通孔を有する複数の複極電極板と額縁状のがスケ
ットを交互に積層したものの両端に電解液流通孔と電流
端子を備えた陽極板と陰極板を置き、さらにその両端に
電解液入口を持つ供給板と電解液出口を持つ排出板を置
き、これらの両側に端板を当て、通しボルトにより一括
締め合わせて複極電解槽を構成する。
ところで、前記複極電解槽においでは、陽極面と対向す
る陰極面ばかりでなく電解液流通孔を通して一つ隔てた
陰極面にも電流が流れる、いわゆる複極電解槽に特有な
リーク電流が存在するため用いる電極板の陽極面には陽
極活物質を全面にわたり施すものではなく、電解液流通
孔から離れた電極板の中央部に施すことによりリーク電
流を最少にするよう工夫がなされている。
る陰極面ばかりでなく電解液流通孔を通して一つ隔てた
陰極面にも電流が流れる、いわゆる複極電解槽に特有な
リーク電流が存在するため用いる電極板の陽極面には陽
極活物質を全面にわたり施すものではなく、電解液流通
孔から離れた電極板の中央部に施すことによりリーク電
流を最少にするよう工夫がなされている。
従って、電極板の陽極面には電極板素地と電解液が接す
る部分が生じることになるが、電解液流通孔と対向する
面の電位は陽極活物質を被覆した部分に比べ極めて^く
なっており、電極板の材質であるチタンが活性溶解する
。これを防止するたoiこ、従来は次亜ハロゲン酸塩、
ハロゲン酸塩等の目的物に耐食性のある塩化ビニール樹
脂あるいはポリエチレン製のシートや薄板を接着剤によ
り貼っていたが、製作に不問を要し、また長期間使用す
ると接着剤がW潤して電解液が侵入し電極板素地にピッ
ティングを生じる場合があり、電極活物質が残存してい
るにもかかわらず電極板を交換しなけhばならないこと
があった。
る部分が生じることになるが、電解液流通孔と対向する
面の電位は陽極活物質を被覆した部分に比べ極めて^く
なっており、電極板の材質であるチタンが活性溶解する
。これを防止するたoiこ、従来は次亜ハロゲン酸塩、
ハロゲン酸塩等の目的物に耐食性のある塩化ビニール樹
脂あるいはポリエチレン製のシートや薄板を接着剤によ
り貼っていたが、製作に不問を要し、また長期間使用す
ると接着剤がW潤して電解液が侵入し電極板素地にピッ
ティングを生じる場合があり、電極活物質が残存してい
るにもかかわらず電極板を交換しなけhばならないこと
があった。
(発明が解決しようとする問題点)
本発明は、電解液流通孔と対向するチタン面の活性溶解
を防止し、これにより長期間電解を安定して捏縦できる
フィルタープレス型複極電解槽を提供することにある。
を防止し、これにより長期間電解を安定して捏縦できる
フィルタープレス型複極電解槽を提供することにある。
(問題点を解決するための手段)
本発明者らは、電解液流通孔と対向するチタン面の活性
溶解の防止法について鋭意努力した結果、電極板の中央
部に施す電極活物質よりもはるかに電気化学的活性の低
い白金含有被覆を前記チタン面に施すことにより前記課
題を克服し本発明に至ったものである。
溶解の防止法について鋭意努力した結果、電極板の中央
部に施す電極活物質よりもはるかに電気化学的活性の低
い白金含有被覆を前記チタン面に施すことにより前記課
題を克服し本発明に至ったものである。
すなわち本発明は、電解液流通孔を有する複数の電極板
と複数の額縁状がスケットと全交互に積層して構成した
電解室に電解液を流通させて目的物を製造する複極電解
槽において、該電極板の陽極面上の陽極活物質を被覆し
た部分以外の接液部分に、白金10−60モル%とTi
、 Zr、 Nb、TaおよびSnの酸化物の中から選
ばれた少なくとも1種を40〜90モル%含む被覆が施
された電極板を用いるフィルタープレス型複極電解槽で
ある。
と複数の額縁状がスケットと全交互に積層して構成した
電解室に電解液を流通させて目的物を製造する複極電解
槽において、該電極板の陽極面上の陽極活物質を被覆し
た部分以外の接液部分に、白金10−60モル%とTi
、 Zr、 Nb、TaおよびSnの酸化物の中から選
ばれた少なくとも1種を40〜90モル%含む被覆が施
された電極板を用いるフィルタープレス型複極電解槽で
ある。
以下、本発明を電解液として7%口デン含有溶液を用い
た場合について図面に基づき詳細に説明する。第1図お
よび第2図において、電解液流通孔1を片側の上、下端
部分に設けた2枚の複極電極板2、片側下端に電解液流
通孔1および電流端子14を備えた陽極板3、片側上下
端部分に電解液流通孔1および電流端子14を設けた陰
極板7と、3枚の中央部分を切り抜いた額縁状がスケッ
ト4を交互に重ねたものを、片側下端に電解液入口配管
12を取付けた供給板5と片側の上下端部に電解液出口
配管13を取付けた排出板5との間にはさみ、3室の電
解室6を構成させ、さらに通しボルト用孔10お上り片
側下端部に電解液配管用孔11を設けた端板8と、片側
上、下端部分に電解液配管用孔11および通しボルト用
孔10を有する端板8を両端に当て、通しボルト9に上
り一括締合わせて複極電解槽を構成する。
た場合について図面に基づき詳細に説明する。第1図お
よび第2図において、電解液流通孔1を片側の上、下端
部分に設けた2枚の複極電極板2、片側下端に電解液流
通孔1および電流端子14を備えた陽極板3、片側上下
端部分に電解液流通孔1および電流端子14を設けた陰
極板7と、3枚の中央部分を切り抜いた額縁状がスケッ
ト4を交互に重ねたものを、片側下端に電解液入口配管
12を取付けた供給板5と片側の上下端部に電解液出口
配管13を取付けた排出板5との間にはさみ、3室の電
解室6を構成させ、さらに通しボルト用孔10お上り片
側下端部に電解液配管用孔11を設けた端板8と、片側
上、下端部分に電解液配管用孔11および通しボルト用
孔10を有する端板8を両端に当て、通しボルト9に上
り一括締合わせて複極電解槽を構成する。
ハロゲン含有溶液は電解液出口配l12によ會)供給さ
れ、順次に各電解室6を水平蛇行して通過する間に電解
され、電解発生ガスをほとんど含まない電解液は下方の
電解液流通孔1を、電解液中を上昇分離した発生ガスを
多く含んだ電解液は上方の電解液流通孔1を通り電解液
出口配管13より次亜ハロゲン酸塩またはハロゲン酸塩
含有溶液として排出される。
れ、順次に各電解室6を水平蛇行して通過する間に電解
され、電解発生ガスをほとんど含まない電解液は下方の
電解液流通孔1を、電解液中を上昇分離した発生ガスを
多く含んだ電解液は上方の電解液流通孔1を通り電解液
出口配管13より次亜ハロゲン酸塩またはハロゲン酸塩
含有溶液として排出される。
なお、上述の複極電解槽は本発明の主旨を平易に説明す
るための基本的な構造であり、塩の利用率を高め、また
高電流効率を実現するために特公昭59−24192号
公報にみられるような適宜〃ス抜き手段、あるいは熱交
換が行なわれる。
るための基本的な構造であり、塩の利用率を高め、また
高電流効率を実現するために特公昭59−24192号
公報にみられるような適宜〃ス抜き手段、あるいは熱交
換が行なわれる。
本発明に用いる白金含有被覆は次のようにして調整さK
る。チタン表面を脱脂後、フッ酸あるいはシュウ酸処理
をし、その上に塗布液を刷毛等により付着せしめる。塗
布液は塩化白金酸、四塩化白金等とプチルチタネイトな
どのバルブ金属のフルコキシド、塩化スズ等をイソプロ
ピルアルコール等の有機溶媒に溶解して調整する。乾燥
後、電気炉内に置き、大気中450〜609℃の温度で
lG〜30分間加熱する。塗布、加熱を繰り返し所望の
厚みの被覆を得る。
る。チタン表面を脱脂後、フッ酸あるいはシュウ酸処理
をし、その上に塗布液を刷毛等により付着せしめる。塗
布液は塩化白金酸、四塩化白金等とプチルチタネイトな
どのバルブ金属のフルコキシド、塩化スズ等をイソプロ
ピルアルコール等の有機溶媒に溶解して調整する。乾燥
後、電気炉内に置き、大気中450〜609℃の温度で
lG〜30分間加熱する。塗布、加熱を繰り返し所望の
厚みの被覆を得る。
本発明の白金含有被覆を施す部分は電極板の陽極面であ
って、電解液流通孔と対向する部分であるが、陽極活物
質を被覆した部分(電極板の中央部)以外の接液面すべ
てに施せばより完全である。
って、電解液流通孔と対向する部分であるが、陽極活物
質を被覆した部分(電極板の中央部)以外の接液面すべ
てに施せばより完全である。
本発明の複極電解槽に用いる陽極活物質は従来公知のも
のが用いられ、一般的には上記白金含有被覆同様に熱分
解法により白金族金属およびそれらの酸化物が施される
。例えば白金一酸化パラジウム一酸化ルテニウムから戎
る被覆は、塩素発生効率が高く、高濃度の次亜塩素酸ソ
ーダを製造することができる。また、白金−イリジウム
から成る被覆は^効率で塩素酸ナトリウムを製造するこ
とができる。
のが用いられ、一般的には上記白金含有被覆同様に熱分
解法により白金族金属およびそれらの酸化物が施される
。例えば白金一酸化パラジウム一酸化ルテニウムから戎
る被覆は、塩素発生効率が高く、高濃度の次亜塩素酸ソ
ーダを製造することができる。また、白金−イリジウム
から成る被覆は^効率で塩素酸ナトリウムを製造するこ
とができる。
本発明における白金含有被覆の厚みは、前記陽極活物質
被覆が電解により消耗し電極寿命となった時点で同時に
なくなるよう調整されるべきであり、通常は白金として
15〜20g/m2の被覆が好適である。
被覆が電解により消耗し電極寿命となった時点で同時に
なくなるよう調整されるべきであり、通常は白金として
15〜20g/m2の被覆が好適である。
(作 用)
本発明における白金10〜60モル%と、T+、・2「
、Nb%TaおよびSnの酸化物の中から選ばれた少な
くとも1種40−90モル%とからなる白金含有被覆を
チタン板上に施し、これを陽極とし、チタン、白金等を
陰極にして3重量%程度の食塩水溶液中で定電圧を負荷
した場合、負荷直後は円滑に電流が流れるが、わずか数
分の内に微弱な電流しか流れなくなる。本発明の発端は
このように白金含有被覆が電気化学的に失活するという
知見によるもので、白金含有被覆から流れる微弱な電流
が電極板であるチタン素地を保護しているものと考えら
れる。
、Nb%TaおよびSnの酸化物の中から選ばれた少な
くとも1種40−90モル%とからなる白金含有被覆を
チタン板上に施し、これを陽極とし、チタン、白金等を
陰極にして3重量%程度の食塩水溶液中で定電圧を負荷
した場合、負荷直後は円滑に電流が流れるが、わずか数
分の内に微弱な電流しか流れなくなる。本発明の発端は
このように白金含有被覆が電気化学的に失活するという
知見によるもので、白金含有被覆から流れる微弱な電流
が電極板であるチタン素地を保護しているものと考えら
れる。
(実施例)
実施例1〜4
第1図および第2図に示すftJtのように、厚さ2■
■のチタン板からなる電極板の陽極面中央部に、白金2
5重量%、酸化パラジウム20重量%、ニー 酸化ルテ
ニウム55重量%の混合物に対し、30、重量%の二酸
化チタンを加えた混合物の被覆30g/■2(金属換1
)を施した。
■のチタン板からなる電極板の陽極面中央部に、白金2
5重量%、酸化パラジウム20重量%、ニー 酸化ルテ
ニウム55重量%の混合物に対し、30、重量%の二酸
化チタンを加えた混合物の被覆30g/■2(金属換1
)を施した。
第1表
1\1電極番号I 白金含有被覆ffi成 ピッティン
グの有無I険施例11〜SPt40モル%1 無
Tio−60モル%1 〃 26〜10 Pt 20モル%
〃Tr02 goモル% #3111〜tsl Pt 40モル%1〃1Ta
20,60モル%1 〃 416〜20 Pi 40モル%
〃8n0= 60モル% 陽極板1枚および19枚の複極電極板にポンチで電極番
号を1〜20番まで刻印し、1〜5@(陽極板1枚と4
枚の複極電極板)までのがスヶットしろを除いた池の部
分に、白金40モル%と二酸化チタン60モル%とから
なる被膜を施し、以下同様に第1表に示したように20
番まで5枚毎に白金含有被1120g/w2を施した。
グの有無I険施例11〜SPt40モル%1 無
Tio−60モル%1 〃 26〜10 Pt 20モル%
〃Tr02 goモル% #3111〜tsl Pt 40モル%1〃1Ta
20,60モル%1 〃 416〜20 Pi 40モル%
〃8n0= 60モル% 陽極板1枚および19枚の複極電極板にポンチで電極番
号を1〜20番まで刻印し、1〜5@(陽極板1枚と4
枚の複極電極板)までのがスヶットしろを除いた池の部
分に、白金40モル%と二酸化チタン60モル%とから
なる被膜を施し、以下同様に第1表に示したように20
番まで5枚毎に白金含有被1120g/w2を施した。
これらの被覆を施した陽極板1枚および19枚の複極電
極板と、1枚の被覆のない陰極板、および20枚の額縁
状の軟質塩化ビニール製がスケットを交互に重ね合わせ
て20室の電極室を構成し、さらに供給板と排出板を両
側に置き、この両端を2枚の端板ではさみ、有効塩素発
生量2 、5 kg/hの海水電解槽を緩み立てた。外
形寸法は横650×中250×縦450−であった。
極板と、1枚の被覆のない陰極板、および20枚の額縁
状の軟質塩化ビニール製がスケットを交互に重ね合わせ
て20室の電極室を構成し、さらに供給板と排出板を両
側に置き、この両端を2枚の端板ではさみ、有効塩素発
生量2 、5 kg/hの海水電解槽を緩み立てた。外
形寸法は横650×中250×縦450−であった。
沖縄県の臨海化学工場にこの複極電解槽を設置し、海水
を60Z/win、の液量で電解液入口配管より複極電
解槽へ供給し、整流器よQ125A、90Vの直流を通
電して電解試験を行なった。
を60Z/win、の液量で電解液入口配管より複極電
解槽へ供給し、整流器よQ125A、90Vの直流を通
電して電解試験を行なった。
その結果、電流効率は90〜97%、有効塩素濃度80
0〜920ppa+の高い性能が示され、電極寿命はS
年であった。試験終了後、電極にピッティングの後は見
られずすべての電極板の白金含有被覆中に白金が残存し
ていることがケイ光X線膜厚測定により確認された。
0〜920ppa+の高い性能が示され、電極寿命はS
年であった。試験終了後、電極にピッティングの後は見
られずすべての電極板の白金含有被覆中に白金が残存し
ていることがケイ光X線膜厚測定により確認された。
実施例5
塩素酸ナトリウム製造工場に実施例1〜4で用いたもの
と同一構造の電解槽(ただしガスヶ?)はフッ素系ガス
ケットを使用した)を設置した。
と同一構造の電解槽(ただしガスヶ?)はフッ素系ガス
ケットを使用した)を設置した。
陽極被覆は白金70重量%、酸化イリジウム30重量%
の合金を用い、白金含有被覆は実施例1で用いたPL−
TiO□被覆を用いた。
の合金を用い、白金含有被覆は実施例1で用いたPL−
TiO□被覆を用いた。
塩素酸ナトリウム60g/+2、食塩280g//、重
クロム酸ナトリウムIg/lの電解液を501/分の流
量で供給した。電解電流155A、67Vを通電して電
解試験を行なった結果、3年を経てなお電解継続中であ
り、電極面にピッティングの跡は見られない。
クロム酸ナトリウムIg/lの電解液を501/分の流
量で供給した。電解電流155A、67Vを通電して電
解試験を行なった結果、3年を経てなお電解継続中であ
り、電極面にピッティングの跡は見られない。
実施例6
実施例1〜4で用いた電極板2枚の陽極面中央部に、塩
化白金酸と塩化イリジウム酸のフミルアルコール溶液を
刷毛塗りし、電気炉内で500℃、30分間の加熱処理
を行なった。この塗布〜焼成工程を7回繰り返して白金
70重量%、酸化イリジウム30重量%の被覆(20g
/+a2)を調製した。
化白金酸と塩化イリジウム酸のフミルアルコール溶液を
刷毛塗りし、電気炉内で500℃、30分間の加熱処理
を行なった。この塗布〜焼成工程を7回繰り返して白金
70重量%、酸化イリジウム30重量%の被覆(20g
/+a2)を調製した。
この陽極被覆を施した面のがスケットしろを除いた他の
部分に、白金40モル%と酸化二第160モル%とから
成る被覆を施こした電極板1枚と、+150モル%と酸
化ジルコニウム50モル%とから成る被覆を施こした電
極板1枚をそれぞれ製作し、実施例1と同様に3室の電
極室を有する電解槽を構成した。
部分に、白金40モル%と酸化二第160モル%とから
成る被覆を施こした電極板1枚と、+150モル%と酸
化ジルコニウム50モル%とから成る被覆を施こした電
極板1枚をそれぞれ製作し、実施例1と同様に3室の電
極室を有する電解槽を構成した。
この電解槽に、臭化ソーダ280g/l、臭素酸ソーダ
60g/l、重クロム酸ソーダ1g/lから成る電解液
を供給し、70℃、20A/d+2で臭素酸ソーダの電
解製造を行なった。
60g/l、重クロム酸ソーダ1g/lから成る電解液
を供給し、70℃、20A/d+2で臭素酸ソーダの電
解製造を行なった。
半年後、電解槽を分解し、電極板を点検したところ、ピ
ッティングは見られず、白金含有被覆中の白金はほとん
ど消耗していなかった。
ッティングは見られず、白金含有被覆中の白金はほとん
ど消耗していなかった。
(発明の効果)
本発明iこよれば、白金含有被覆を施すことによりチタ
ン面の活性溶解を防止でき、従来半年毎に行なっていた
合成樹脂製シートによる活性溶解防止法の補修が必要で
なくなり、電極活物質の消耗による本来の意味での電極
寿命に至るまでの長期間安定に捏業できるフィルタープ
レス型複極電解槽が実現した。
ン面の活性溶解を防止でき、従来半年毎に行なっていた
合成樹脂製シートによる活性溶解防止法の補修が必要で
なくなり、電極活物質の消耗による本来の意味での電極
寿命に至るまでの長期間安定に捏業できるフィルタープ
レス型複極電解槽が実現した。
第1図は本発明の複極電解槽の基本的な構造を示す分解
斜視図であり、第2図は第1図のA−A線の横断面図で
ある。 1・・電解液流通孔 2・・複極電極板3・・陽極
板 4・・額縁状がスケット5・・供給板 5
・・排出板 6・・電解室 7・・陰極板 8・・端板9・・通
しボルト 10・・通しボルト用孔11・・電解液流通
孔 12・・電解液入口配管13・・電解液出口配管
14・・電流端子特許出願人 日本カーリット株式会
社 第2m
斜視図であり、第2図は第1図のA−A線の横断面図で
ある。 1・・電解液流通孔 2・・複極電極板3・・陽極
板 4・・額縁状がスケット5・・供給板 5
・・排出板 6・・電解室 7・・陰極板 8・・端板9・・通
しボルト 10・・通しボルト用孔11・・電解液流通
孔 12・・電解液入口配管13・・電解液出口配管
14・・電流端子特許出願人 日本カーリット株式会
社 第2m
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 電解液流通孔を有する複数の電極板と複数の額縁状
ガスケットとを交互に積層して構成した電解室に電解液
を流通させて目的物を電解製造するフィルタープレス型
複極電解槽において、該電極板の陽極面上の陽極活物質
を被覆した部分以外の接液部分に、白金10〜60モル
%とTi、Zr、Nb、TaおよびSnの酸化物の中か
ら選ばれた少なくとも1種を40〜90モル%含む被覆
が施されていることを特徴とするフィルタープレス型複
極電解槽。 2 電解液がハロゲン含有溶液であり、目的物が次亜ハ
ロゲン酸塩またはハロゲン酸塩である請求項1記載のフ
ィルタープレス型複極電解槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1288811A JPH03150383A (ja) | 1989-11-08 | 1989-11-08 | フィルタープレス型複極電解槽 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1288811A JPH03150383A (ja) | 1989-11-08 | 1989-11-08 | フィルタープレス型複極電解槽 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03150383A true JPH03150383A (ja) | 1991-06-26 |
Family
ID=17735041
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1288811A Pending JPH03150383A (ja) | 1989-11-08 | 1989-11-08 | フィルタープレス型複極電解槽 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03150383A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011256431A (ja) * | 2010-06-09 | 2011-12-22 | Ihi Corp | 過塩素酸塩の製造装置 |
| JP2015537116A (ja) * | 2012-10-05 | 2015-12-24 | ミオックス コーポレーション | トランスレス方式のオンサイト生成 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5952713A (ja) * | 1982-09-20 | 1984-03-27 | Shimadzu Corp | 回転角度測定方法 |
| JPS629674A (ja) * | 1985-07-08 | 1987-01-17 | Sony Corp | 絶縁ゲ−ト型半導体装置の製造方法 |
| JPS6223992A (ja) * | 1985-07-23 | 1987-01-31 | Japan Carlit Co Ltd:The | 電解次亜塩素酸ソ−ダ発生装置 |
| JPS63143277A (ja) * | 1986-12-08 | 1988-06-15 | Japan Carlit Co Ltd:The | 次亜塩素酸ソ−ダ発生方法及び発生装置 |
-
1989
- 1989-11-08 JP JP1288811A patent/JPH03150383A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5952713A (ja) * | 1982-09-20 | 1984-03-27 | Shimadzu Corp | 回転角度測定方法 |
| JPS629674A (ja) * | 1985-07-08 | 1987-01-17 | Sony Corp | 絶縁ゲ−ト型半導体装置の製造方法 |
| JPS6223992A (ja) * | 1985-07-23 | 1987-01-31 | Japan Carlit Co Ltd:The | 電解次亜塩素酸ソ−ダ発生装置 |
| JPS63143277A (ja) * | 1986-12-08 | 1988-06-15 | Japan Carlit Co Ltd:The | 次亜塩素酸ソ−ダ発生方法及び発生装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011256431A (ja) * | 2010-06-09 | 2011-12-22 | Ihi Corp | 過塩素酸塩の製造装置 |
| JP2015537116A (ja) * | 2012-10-05 | 2015-12-24 | ミオックス コーポレーション | トランスレス方式のオンサイト生成 |
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