JPH03150733A - 回転鏡装置 - Google Patents

回転鏡装置

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JPH03150733A
JPH03150733A JP28818889A JP28818889A JPH03150733A JP H03150733 A JPH03150733 A JP H03150733A JP 28818889 A JP28818889 A JP 28818889A JP 28818889 A JP28818889 A JP 28818889A JP H03150733 A JPH03150733 A JP H03150733A
Authority
JP
Japan
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mirror
mode
leaf spring
frequency
vibration mode
Prior art date
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Pending
Application number
JP28818889A
Other languages
English (en)
Inventor
Junichi Ichihara
市原 順一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Publication of JPH03150733A publication Critical patent/JPH03150733A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 光デイスク装置のトラッキングアクチュエータ等に適用
しつる回転鏡装置に関し、 n次と(n+1)次の振動モードの周波数の差が高次に
なるにつれて大となることに着目して、鏡の回転振動の
安定な制御を可能とすることを目的とし、 一端を固定されその自由端側に鏡を支持する平面状の板
ばねと、lII御信号に基づいて眼鏡にトルクを付与す
る駆動機構とよりなり、腰板ばねを撓ませつつ上記鏡を
回転振動させる回転鏡装置において、上記板ばねを、上
記回転鏡装置における上記平面状板ばねの二次以上の振
動モードの形状として組込んで構成する。
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光デイスク装置のトラフ1ングアクチユエー
タ等に適用しうる回転鏡装置に関する。
この種の装置は、1.+1wJの安定性が良好であり、
且つ制御帯域が広いことが望ましい。
〔従来の技術〕
第13図は従来例を示す。1は鏡であり、一端側を、十
字形状に配された板ばね2,3及びホルダ4を介して支
持されている。
鏡1の自由端側には、1に固定された永久磁石片5と、
これを囲む固定コイル6とよりなり、矢印A+ 、A2
方向のトルクを付与する′IFi磁駆lJ機構7が設け
である。
コイル6にトラッキングi、II御信号に基づく制御電
流が供給されると、電磁駆動機構7によりトルクが発生
し、!I!1は板ばね2.3を撓ませつつ往復回動(回
転振動)される。
上記の構成を概略的に示すと第14図に示す如くになる
。
10は一枚の板ばねであり、上記の十字形状の板ばね構
造に対応する。
読1は板ばね10を撓ませつつ矢印A+ 、A2方°向
に回動し、半導体レーザ11より出射し、ここで反射し
て対物レンズ12を通って光ディスク13に集光される
レーザビーム14が矢印B++B2方向に振られ、トラ
ッキング制御される。
t*1の回転振動の周波数を徐々に上昇させたときに、
板ばね10はまず第15図に示すように一次の振動モー
ドで振動し、次いで、第16図に示す二次の振動モード
で振動し、更には第17図に示す三次の振動モードで振
動する。
〔発明が解決しようとする課題〕
第18図は、駆動トルク当りのFAlの回転角(Q/T
)と鏡1の回転振動の周波数fとの関係を示す。
、同図中、20は板ばね10の一次の振動モードによる
ピーク、21は二次の振動モードによるピーク、22は
三次の振動モードによるピークである。
第19図は鏡1の回転角と駆動トルク間の位相角中と、
111の回転振動の周波数fとの関係を示す。
同図より、上記二次の振動モードによるピーク21に対
応する破線円23で囲んだ部分及び三次の振動モードに
よるピーク22に対応する破線円24で囲んだ部分で位
相の回りが生じており、回りの程度は前者が特に大きい
ことが分かる。
また、三次の振動モードの周波数f3は、−次の振動モ
ードの周波数f+の数百倍であり、数千Hzと高いのに
対し、二次の振動モードの周波数f2は、周波数f1の
10倍程度であり、数100Hzと低い。
このため、三次振動モードの振動は制御上の障害となり
にくいけれども、二次振動モードの振動がv4il上の
障害となり、鏡の振動の安定な1tiIIIIl、即ち
トラッキングの安定な制御が困難であった。
本発明はn次と(n+1)次の振動モードの周波数の差
が高次になるにつれて大となることに着目して、鏡の回
転振動の安定なtilIIOを可能とした回転鏡装置を
提供することを目的とする。
(課題を解決するための手段) 第1図は本発明の原理構成を示す。同図中、第14図に
示す構成部分と対応する部分には同一符号を付す。
30は板ばねであり、第16図に示す二次の振動モード
の形状に対応した形状に組立時に変形されている。
〔作用〕
電磁駆動機構7により矢印A+ 、A2方向のトルクが
゛作用し、鏡IG、i板ばね30を撓ませつつ回転駆動
される。
板ばね30が上記のような形状となっているため、−次
の振動モードは、第2図に示すようになり、第14図の
装置における二次の振動モードとなる。二次の振動モー
ドは、第3図に示すようになり、第14図の装置におけ
る三次の@動モードとなる。
このため、駆動トルク当りの11の回転角(θ/T)と
tlllの回転振動の周波数fとの関係は、第4図に示
す如くになる。
31は一次の変形モードによるピークであり、その周波
数f+8は約100Hzである。
32は二次の変形モードによるピークであり、その周波
数f2aは数1,000Hzと相当に高い。
従って、駆動トルクに体する周波数特性は、第4図に示
すように、数100Hzの低い周波数f’+aで−のピ
ーク31を有し、それ以上の周波数でこれに近い周波数
帯域では何らピークを有さすになだらかとなり、相当高
い周波数f2aで小さいピーク32を有するものとなる
。即ち、高次モードの共振が一次モードの共振の近くに
現われるということが無くなる。
即ち、高次モードの共振が一次モードの共振の近くに現
われるということが無くなる。
これにより、鏡1の回転角と駆動トルク間の位相角φと
、111の回転振動の周波数rとの関係は、第5図に示
すようになり、位相の回りがf、aに対応する周波数で
生じるが、それ以上の周波数では生ぜず、相当高い周波
数f2aに対応する周波数で小さい位相の回りが生ずる
程度である。
これにより、上記の回転鏡装置を光デイスク装置のトラ
ッキング7クチユエータとして用いた場合に、安定性を
損なうことなく制御帯域を広くとることができ、優れた
高速性を有する。
〔実施例〕
第6図及び第7図は本発明の一実施例になる回転鏡袋M
40を示す。
41は鏡であり、板状のホルダ42上に固定しである。
43は永久磁G片であり、ホルダ42の一端側に固定し
である。44は固定側に設置された固定駆動コイルであ
り、永久11石片43を囲繞している。この永久磁石片
43と固定駆動コイル44とが、電磁駆動機構45を構
成し、矢印A+ 、A2h向のトルクを発生させる。
46は固定台である。
47は二叉状の第1の板ばねであり、第1図に示す板ば
ね10のように二次の変形モードの形状に対応する形状
に変形されて、ピン48により一端を固定台46に固定
され、他端をホルダ42の下面に固定されている。
49は第2の板ばねであり、上記の第1の板ばね47と
同じく変形されて、固定台46とホルダ42とに固定し
である。
第1の板ばね47の一対の腕部47a、47bの幅はW
、第2の板ばね48の幅は2xwである。
第1.第2の板ばね47.49とは、十字状にクロスし
である。
また、上記第1.第2の板ばね47.49は、第8図に
示すように、金属板材50.51の間にシリコンゴム系
の粘弾性制振材52をサンドイッチした構造である。
駆動コイル44が通電されると、電磁駆動機構45によ
り、トルクが発生し、鏡41は、第9図(A)、(B)
に示すように、板ばね47.49の変形を伴って回転さ
れる。板ばね47.49の変形は、二次の振動モードに
従って生じている。
第10図は上記実施例の回転鏡装置40の、駆動トルク
当りの鏡41の回転角(θ/[)と鏡41の回転の周波
数fとの関係の測定結果を示す。
同図より分かるように、装置40の一次モードの共振に
よるピークが約90Hzに現われているが、それ以上の
高周波領域では何らピークが現われていない。
5A置40の二次モード及び三次モードの共振によるピ
ークが抑圧されているのは、上記板ばね47.49自身
によるl/I振効果によるものである。
第11図は上記の回転鏡装置40における、鏡41の回
転角と駆動トルク間の位相角φと、鏡41の回転の周波
数との関係の測定結果である。
同図より、位相の遅れが、第10図中のピークに対応す
る部位で生じ、それ以上の周波数ではその位相遅れの状
態に保たれていることが分かる、。
これにより、上記の回転鏡装置40を光ディスク装賃の
トラッキング7クチユエータとして用いた場合に、安定
性を損うことなく制御帯域を広くとることができ、優れ
た高速性を有する。
第12図は本発明の別の実施例になる回転鏡袋2ff6
0を示す。同図中、第6図及び第7図に示す構成部分と
実質上対応する部分には同一符号を付し、その説明は省
略する。
61は板ばねであり、その長手方向上中央をクランプ板
62とピン63とにより固定台46上に固定してあり、
両側に延出する板ばね部61a。
61bが共に二次の変形モードに予め変形された状態で
、その先端をホルダ42の下面にビン64により固定さ
れている。
この回転鏡装置60も、第7図に示す回転鏡装置40と
同様に特性を有する。
また、板ばねを三次の変形モードの形状に対応する形状
として組み込んだ構成としてもよい。
更に、板ばねは平板状のものを撓ませて二次以上の変形
モードに対応する形状とする他に、予めプレス等により
上記の形状とし、これをそのまま組み付けた構成でもよ
い。
〔発明の効果) 叙上の如く、本発明によれば、−次の撮動モードが予め
定めである変形モードに対応する次数であって従来例の
装置での次数のモードとなり、これより一つ高次の共振
周波数は上記−次の振動モードの周波数より相当高い周
波数となり、上記−次の振動モードの周波数の付近に別
の共振周波数が存在しなくなる。これにより、周波数特
性が安定化し、安定性を損なうことなくυJllli)
域を広くとることができ、優れた高速性を達成し得る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の原理構成図、 第2図は第1図の回転鏡装置の一次の振動モードを示す
図、 第3図は第1図の回転鏡装置の二次の振動モードを示す
図、 第4図は第1図の回転鏡装置の駆動トルク当りの回転角
の周波数特性を示す図、 第5図は第1図の回転鏡装置の位相の周波数特性を示す
図、 第6図は本発明の一実施例の分解斜視図、第7図は本発
明の一実施例の正面図、 第8図は板ばねの構造を示す図、 第9図は第7図の回転鏡装置の回転振動状態を示す図、 第10図は第7図の装置の駆動トルク当りの回転角の周
波数特性を示す図、 第11図は第7図の装置の位相の周波数特性を示す図、 第12図は本発明の別の実施例を示す図、第13図は従
来例を示す図、 第14図は第13図の5A置の概略構成を示す図、第1
5図は第14図の装置の一次振動モードを示す図、 第16図は第14図の装置の二次振動モードを示す図、 第17図は第14図の装置の三次振動モードを示す図、 第18図は第14図の装置の回転角の周波数特性を示す
図、 第19図は第14図の装置の位相の周波数特性を示す図
である。 図において、 1.41は鏡、 7.45は′Pi磁駆動駆動機 構0.47.49.61は板ばね、 40.60は回転鏡装置、 50.51は金属板材、 52は粘弾性制振材、 61a、61bGL板ばね部 を示す。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】  一端で固定されその自由端側に鏡(1)を支持する平
    面状の板ばね(30)と、制御信号に基づいて該鏡にト
    ルクを付与する駆動機構(7)とよりなり、該板ばねを
    撓ませつつ上記鏡を回転振動させる回転鏡装置において
    、 上記板ばねが、上記回転鏡装置における上記平面状板ば
    ねの二次以上の振動モードの形状とされて組込まれてな
    る構成としたことを特徴とする回転鏡装置。
JP28818889A 1989-11-06 1989-11-06 回転鏡装置 Pending JPH03150733A (ja)

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