JPH03154690A - 高濃度オゾン水の製造方法及び装置 - Google Patents
高濃度オゾン水の製造方法及び装置Info
- Publication number
- JPH03154690A JPH03154690A JP1293092A JP29309289A JPH03154690A JP H03154690 A JPH03154690 A JP H03154690A JP 1293092 A JP1293092 A JP 1293092A JP 29309289 A JP29309289 A JP 29309289A JP H03154690 A JPH03154690 A JP H03154690A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ozone
- water
- filter
- mixing tank
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/30—Hydrogen technology
- Y02E60/36—Hydrogen production from non-carbon containing sources, e.g. by water electrolysis
Landscapes
- Treatment Of Water By Oxidation Or Reduction (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
- Electrolytic Production Of Non-Metals, Compounds, Apparatuses Therefor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、水電解反応により生ずるオゾンガスを効率良
く水に溶解させて長期にわたって高純度で高濃度のオゾ
ン水を製造する方法及び装置に関する。
く水に溶解させて長期にわたって高純度で高濃度のオゾ
ン水を製造する方法及び装置に関する。
（従来技術とその問題点）
オゾンは強力でクリーンな酸化剤として注目されつつあ
り、特にその分解生成物が酸素であり従来から使用され
ている塩素系のものと比較して残留物が被処理物中に残
留しないこと、分解速度が速くオゾンがそれ自身残留せ
ず二次公害の問題も全くないこと等の理由から水処理用
としての使用が増加している。
り、特にその分解生成物が酸素であり従来から使用され
ている塩素系のものと比較して残留物が被処理物中に残
留しないこと、分解速度が速くオゾンがそれ自身残留せ
ず二次公害の問題も全くないこと等の理由から水処理用
としての使用が増加している。
このように酸化剤として有用なオゾンを発生させるため
に従来から主として放電法及び電解法が採用されている
が、生成物の純度や操作の容易性から現在では電解法が
主流となっている。この電解法により発生したオゾンを
使用して水処理等を行うには気液混合状態で得られるオ
ゾン水をそのまま処理水と接触させたり、前記電解槽の
陽極室に被処理水を直接送り込んでオゾンと接触させた
りしているが、前者ではオゾンが気泡状で存在するため
被処理水との接触効率が悪くかつ電解槽で生ずるオゾン
水に電極物質等が混入し該物質が被処理水を汚染するこ
とがあり、又後者の場合にも被処理水中の不純物により
電極等が汚染されるといった問題点がある。従って多く
の場合、気液混合状態で電解槽の陽極室で生成するオゾ
ンを一旦例えばフィルターを通して混合槽に供給し該フ
ィルターで不純物を除去するとともに該フィルターで前
記気液混合状態のオゾンを前記混合槽中に分散させてオ
ゾンをほぼ完全に混合槽の水に溶解させガス状のオゾン
を含まない均一濃度のオゾン水を生成するようにしてい
る。
に従来から主として放電法及び電解法が採用されている
が、生成物の純度や操作の容易性から現在では電解法が
主流となっている。この電解法により発生したオゾンを
使用して水処理等を行うには気液混合状態で得られるオ
ゾン水をそのまま処理水と接触させたり、前記電解槽の
陽極室に被処理水を直接送り込んでオゾンと接触させた
りしているが、前者ではオゾンが気泡状で存在するため
被処理水との接触効率が悪くかつ電解槽で生ずるオゾン
水に電極物質等が混入し該物質が被処理水を汚染するこ
とがあり、又後者の場合にも被処理水中の不純物により
電極等が汚染されるといった問題点がある。従って多く
の場合、気液混合状態で電解槽の陽極室で生成するオゾ
ンを一旦例えばフィルターを通して混合槽に供給し該フ
ィルターで不純物を除去するとともに該フィルターで前
記気液混合状態のオゾンを前記混合槽中に分散させてオ
ゾンをほぼ完全に混合槽の水に溶解させガス状のオゾン
を含まない均一濃度のオゾン水を生成するようにしてい
る。
従来のフィルターとしては耐蝕性材料で形成された充填
材（ダソシリング等）が使用されている。
材（ダソシリング等）が使用されている。
前記オゾン水は高濃度であるほど被処理水の処理効率が
上昇しかつ電解で生成するオゾンを有効に利用できるた
め好ましいが、オゾンガス自体の水に対する溶解度が小
さく、従来のダソシリング等ではオゾン分散が十分に生
ずるとは言い難い。
上昇しかつ電解で生成するオゾンを有効に利用できるた
め好ましいが、オゾンガス自体の水に対する溶解度が小
さく、従来のダソシリング等ではオゾン分散が十分に生
ずるとは言い難い。
電解により生成するオゾンを有効利用するため及び被処
理水を短時間で処理するためにもより高濃度のオゾン水
を製造することが好ましく、高濃度オゾン水を容易に製
造できる方法が要請されている。
理水を短時間で処理するためにもより高濃度のオゾン水
を製造することが好ましく、高濃度オゾン水を容易に製
造できる方法が要請されている。
（発明の目的）
本発明は、上述した高濃度オゾンを製造し難く電解法に
より生成したオゾンが無駄になりがっオゾン処理の効率
を上昇させ得ないという従来技術の欠点に鑑み、容易に
長期にわたって高純度で高濃度のオゾン水を得る方法及
び装置を提供することを目的とする。
より生成したオゾンが無駄になりがっオゾン処理の効率
を上昇させ得ないという従来技術の欠点に鑑み、容易に
長期にわたって高純度で高濃度のオゾン水を得る方法及
び装置を提供することを目的とする。
（問題点を解決するための手段）
本発明は、第１に水を電解して電解槽の陽極室にオゾン
含有ガスを発生させ、該ガスを気液混合状態でチタン短
繊維の焼結体から成るフィルターを設置した混合槽に供
給し、該フィルターを通して該混合槽内の水に溶解させ
高濃度オゾン水を製造する方法であり、第２に水を電解
してその陽極室にオゾン含有ガスを発生させる電解槽、
及び気液混合状態の該オゾン含有ガスを通過させ分散さ
せるためのチタン短繊維の焼結体から成るフィルターが
設置された混合槽を含んで成る高濃度オゾン水の製造装
置である。
含有ガスを発生させ、該ガスを気液混合状態でチタン短
繊維の焼結体から成るフィルターを設置した混合槽に供
給し、該フィルターを通して該混合槽内の水に溶解させ
高濃度オゾン水を製造する方法であり、第２に水を電解
してその陽極室にオゾン含有ガスを発生させる電解槽、
及び気液混合状態の該オゾン含有ガスを通過させ分散さ
せるためのチタン短繊維の焼結体から成るフィルターが
設置された混合槽を含んで成る高濃度オゾン水の製造装
置である。
以下本発明の詳細な説明する。
本発明は、気液混合状態で得られる電解法によるオゾン
含有ガスを目の細かいチタン短繊維焼結体、いわゆるビ
ビリ繊維から成るフィルターが設置された混合槽に供給
して該フィルターを通過させることにより前記オゾン含
有ガスをより効果的に分散させて高濃度オゾン水を製造
しようとするものである。
含有ガスを目の細かいチタン短繊維焼結体、いわゆるビ
ビリ繊維から成るフィルターが設置された混合槽に供給
して該フィルターを通過させることにより前記オゾン含
有ガスをより効果的に分散させて高濃度オゾン水を製造
しようとするものである。
この短繊維焼結体から成るフィルターは三次元網状体と
して形成され、縦方向の平行する多数の通孔が形成され
た従来のフィルターと比較して、ｉｆｉｍ状体内に空間
が不規則に形成されているため、該フィルター内を流れ
る気液混合状態のオゾン含有ガスが不規則な流れを生じ
させ、不規則な状態でフィルターから混合槽内に流れ出
るため、該混合槽内での分散状態が非常に良好になり、
従って溶解度が高くなって高濃度オゾン水を容易に得る
ことができるようになる。
して形成され、縦方向の平行する多数の通孔が形成され
た従来のフィルターと比較して、ｉｆｉｍ状体内に空間
が不規則に形成されているため、該フィルター内を流れ
る気液混合状態のオゾン含有ガスが不規則な流れを生じ
させ、不規則な状態でフィルターから混合槽内に流れ出
るため、該混合槽内での分散状態が非常に良好になり、
従って溶解度が高くなって高濃度オゾン水を容易に得る
ことができるようになる。
本発明に使用するフィルターはチタン製の短繊維を不規
則に絡み合わて焼結させたいわゆるビビリ繊維により形
成する。該繊維は、短繊維が不規則に絡み合わされてい
るため前述の通り一方がら供給される気液混合状態のオ
ゾン含をガスが他方から導出されるときに不規則な方向
に流れ出して前記混合槽内の水に十分に接触するため、
オゾンが効率良く溶解して高濃度オゾン水を得ることが
できる。他の条件にも依存するが、前記した従来のダウ
シリング等を使用するとオゾン濃度が約５ｐｐｍのオゾ
ン水しか得られないのに対し、本発明のフィルターによ
ると約２０ｐｐｍ以上のオゾン水を得ることができる。
則に絡み合わて焼結させたいわゆるビビリ繊維により形
成する。該繊維は、短繊維が不規則に絡み合わされてい
るため前述の通り一方がら供給される気液混合状態のオ
ゾン含をガスが他方から導出されるときに不規則な方向
に流れ出して前記混合槽内の水に十分に接触するため、
オゾンが効率良く溶解して高濃度オゾン水を得ることが
できる。他の条件にも依存するが、前記した従来のダウ
シリング等を使用するとオゾン濃度が約５ｐｐｍのオゾ
ン水しか得られないのに対し、本発明のフィルターによ
ると約２０ｐｐｍ以上のオゾン水を得ることができる。
本発明のフィルターはチタン製とするがこれはオゾンの
有する酸化力に対する耐性を有しており化学的物理的に
安定であるからであり、ステンレス等では鉄、クロムの
溶出があり人体に対して有害であるため、本発明ではチ
タン製のフィルターを使用する。又使用するチタン短繊
維の長さ及び径は特に限定されないが、長さは１〜１ｏ
龍、径は１〜１００ μｍとすることが好ましい。
有する酸化力に対する耐性を有しており化学的物理的に
安定であるからであり、ステンレス等では鉄、クロムの
溶出があり人体に対して有害であるため、本発明ではチ
タン製のフィルターを使用する。又使用するチタン短繊
維の長さ及び径は特に限定されないが、長さは１〜１ｏ
龍、径は１〜１００ μｍとすることが好ましい。
該フィルターの設置箇所は混合槽内部とし、該混合槽内
に、通常の電解法により生成させた気液混合状態のオゾ
ン含有ガスを専管等を通して供給し、更に該混合槽内に
設置された前記フィルターを通すことにより前述の通り
高濃度オゾン水が生成するが、フィルターを通過する際
にガス漏れが生じても全体が混合槽内に収容させている
ため、ガス爆発等の危険が生ずることがない。
に、通常の電解法により生成させた気液混合状態のオゾ
ン含有ガスを専管等を通して供給し、更に該混合槽内に
設置された前記フィルターを通すことにより前述の通り
高濃度オゾン水が生成するが、フィルターを通過する際
にガス漏れが生じても全体が混合槽内に収容させている
ため、ガス爆発等の危険が生ずることがない。
又本発明のフィルターは従来のフィルターと同様に濾過
機能を有し、例えば混合槽に供給される気液混合状態の
オゾン含有ガス中に混入する恐れのある電極物質等を効
率良く除去することができる。
機能を有し、例えば混合槽に供給される気液混合状態の
オゾン含有ガス中に混入する恐れのある電極物質等を効
率良く除去することができる。
（実施例）
以下添付図面に示す本発明を実施するためのフローシー
トに基づいて本発明の詳細な説明するが、該実施例は本
発明を限定するものではない。
トに基づいて本発明の詳細な説明するが、該実施例は本
発明を限定するものではない。
大止炭
添付図面に示すオゾン処理ラインを使用して次の条件で
オゾン水を製造した。
オゾン水を製造した。
電解有効面積９０ＣＩ１１の電解槽（電解オゾナイザ−
）１に、陽極面に二酸化鉛粉末３を、陰極面に白金粉末
４を付着させた固体電解質であるナフィオン（商品名）
製隔膜２を装着してＳＰＥ型電解槽１とし、該電解槽１
内には純水１１を満たした。該電解槽ｌに１００Ａ／ｄ
ｍ２の電流密度となるように通電することにより、オゾ
ンを約１５重量％含有するオゾンと酸素の混合ガスが、
２７ｇ／時（３０’Ｃで約２０β／時）の割合（オゾン
は４ｇ／時）で得られた。前記混合ガスは前記陽極室５
から導管７を通して、市販の径が約３０μｍのチタン短
繊維を焼結させて形成した直径１Ｑｃｒａ、厚さ１酊の
円板状のフィルター８をその底部に設置した混合槽９に
下方から供給し、該フィルター８を通過させ分散させて
前記混合槽９内の水に溶解させ、未溶解ガスは排出口Ｉ
Ｏから大気に放散させた。
）１に、陽極面に二酸化鉛粉末３を、陰極面に白金粉末
４を付着させた固体電解質であるナフィオン（商品名）
製隔膜２を装着してＳＰＥ型電解槽１とし、該電解槽１
内には純水１１を満たした。該電解槽ｌに１００Ａ／ｄ
ｍ２の電流密度となるように通電することにより、オゾ
ンを約１５重量％含有するオゾンと酸素の混合ガスが、
２７ｇ／時（３０’Ｃで約２０β／時）の割合（オゾン
は４ｇ／時）で得られた。前記混合ガスは前記陽極室５
から導管７を通して、市販の径が約３０μｍのチタン短
繊維を焼結させて形成した直径１Ｑｃｒａ、厚さ１酊の
円板状のフィルター８をその底部に設置した混合槽９に
下方から供給し、該フィルター８を通過させ分散させて
前記混合槽９内の水に溶解させ、未溶解ガスは排出口Ｉ
Ｏから大気に放散させた。
該混合槽９内に生成するオゾン水のオゾン濃度は２０〜
３０ｐｐｍの範囲内に維持された。
３０ｐｐｍの範囲内に維持された。
一方被処理水として２５℃の純水を使用し１耐／時で該
被処理水を超純水製造ラインに供給し、全被処理水の３
０％を分枝管１１により分枝させて前記混合槽９に上方
から供給し、該混合槽９内のオゾン水と接触させて該被
処理水の酸化処理を行った。
被処理水を超純水製造ラインに供給し、全被処理水の３
０％を分枝管１１により分枝させて前記混合槽９に上方
から供給し、該混合槽９内のオゾン水と接触させて該被
処理水の酸化処理を行った。
オゾンが溶解した分枝被処理水はポンプ１２により、分
岐させなかった被処理水とともに、反応タンク１３に供
給し、全被処理水をオゾンにより処理した。前記混合槽
９出口のオゾン水中のオゾン濃度は２０ｐｐｍ、排出口
１０のオゾン濃度は５０００ｐｐｍであった。又反応タ
ンク１３の被処理水中のオゾン濃度は３．８ｐｐｍであ
った。又被処理水中へのチタンの溶解はなかった。
岐させなかった被処理水とともに、反応タンク１３に供
給し、全被処理水をオゾンにより処理した。前記混合槽
９出口のオゾン水中のオゾン濃度は２０ｐｐｍ、排出口
１０のオゾン濃度は５０００ｐｐｍであった。又反応タ
ンク１３の被処理水中のオゾン濃度は３．８ｐｐｍであ
った。又被処理水中へのチタンの溶解はなかった。
ル較聞
チタン短繊維焼結体フィルターの代わりに、径が約３０
μｍである多数の通孔が形成されたステンレス３０４製
の直径ＩＱｃｍ、厚さｌ鶴の円板状フィルターを使用し
て、実施例と同一条件で電解により生成させたオゾン含
有ガスを混合槽に供給したところ、該混合槽内に生成す
るオゾン水のオゾン濃度は５〜１０ｐｐｍであり、又ク
ロム及び鉄等のオゾン水中への）容解かあり、被処理水
が汚染された。
μｍである多数の通孔が形成されたステンレス３０４製
の直径ＩＱｃｍ、厚さｌ鶴の円板状フィルターを使用し
て、実施例と同一条件で電解により生成させたオゾン含
有ガスを混合槽に供給したところ、該混合槽内に生成す
るオゾン水のオゾン濃度は５〜１０ｐｐｍであり、又ク
ロム及び鉄等のオゾン水中への）容解かあり、被処理水
が汚染された。
（発明の効果）
本発明は、水の電解により生成する気液混合状態にある
オゾン含有ガスをフィルターを通して水中に分散させて
高濃度オゾン水を製造する際に、該フィルターとしてチ
タン短繊維焼結体を使用することを特徴としている。
オゾン含有ガスをフィルターを通して水中に分散させて
高濃度オゾン水を製造する際に、該フィルターとしてチ
タン短繊維焼結体を使用することを特徴としている。
該短繊維焼結体から成るフィルターは縦方向の平行する
多数の通孔が形成された従来のフィルターと比較して、
三次元網状体として形成され、該綿状体内に空間が不規
則に形成されているため、該フィルター内を流れる気液
混合状態のオゾン含有ガスが不規則な流れを生じさせ、
不規則な状態でフィルターから混合槽内に流れ出るため
、該混合槽内での分散状態が非常に良好になり、従って
溶解度が高くなって高濃度オゾン水を容易に得ることが
できるようになる。
多数の通孔が形成された従来のフィルターと比較して、
三次元網状体として形成され、該綿状体内に空間が不規
則に形成されているため、該フィルター内を流れる気液
混合状態のオゾン含有ガスが不規則な流れを生じさせ、
不規則な状態でフィルターから混合槽内に流れ出るため
、該混合槽内での分散状態が非常に良好になり、従って
溶解度が高くなって高濃度オゾン水を容易に得ることが
できるようになる。
又フィルターが混合槽内に設置されているためガス漏れ
の心配がなく、安全に操業を行うことができる。
の心配がなく、安全に操業を行うことができる。
更に本発明に使用するフィルターはチタン製であり、オ
ゾンの酸化力に対する耐性があり、がっ被処理水を汚染
させず人体で無害であるため、長期間に亘って安全に操
業を継続することができる。
ゾンの酸化力に対する耐性があり、がっ被処理水を汚染
させず人体で無害であるため、長期間に亘って安全に操
業を継続することができる。
添付図面は、本発明における、オゾン含有ガスによるオ
ゾン水の製造及び該及び水による被処理水の処理を行う
工程の一例を示すフローシートである。 ・・電解槽 ２・ ・・二酸化鉛粉末 ・・陽極室 ６・ ・・導管 ８・・ ・・混合槽 １０・ ・・分岐管 １２・ ・・反応タンク ・・隔膜 ４・・・白金粉末 ・・陰極室 ・フィルター ・・排出口 ・・ポンプ
ゾン水の製造及び該及び水による被処理水の処理を行う
工程の一例を示すフローシートである。 ・・電解槽 ２・ ・・二酸化鉛粉末 ・・陽極室 ６・ ・・導管 ８・・ ・・混合槽 １０・ ・・分岐管 １２・ ・・反応タンク ・・隔膜 ４・・・白金粉末 ・・陰極室 ・フィルター ・・排出口 ・・ポンプ
Claims (2)
- （１）水を電解して電解槽の陽極室にオゾン含有ガスを
発生させ、該ガスを気液混合状態でチタン短繊維の焼結
体から成るフィルターを設置した混合槽に供給し、該フ
ィルターを通して該混合槽内の水に溶解させ高濃度オゾ
ン水を製造する方法。 - （２）水を電解してその陽極室にオゾン含有ガスを発生
させる電解槽、及び気液混合状態の前記オゾン含有ガス
を通過させ分散させるためのチタン短繊維の焼結体から
成るフィルターが設置された混合槽を含んで成る高濃度
オゾン水の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1293092A JP2684575B2 (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 | 高濃度オゾン水の製造方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1293092A JP2684575B2 (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 | 高濃度オゾン水の製造方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03154690A true JPH03154690A (ja) | 1991-07-02 |
| JP2684575B2 JP2684575B2 (ja) | 1997-12-03 |
Family
ID=17790328
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1293092A Expired - Lifetime JP2684575B2 (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 | 高濃度オゾン水の製造方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2684575B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5971368A (en) * | 1997-10-29 | 1999-10-26 | Fsi International, Inc. | System to increase the quantity of dissolved gas in a liquid and to maintain the increased quantity of dissolved gas in the liquid until utilized |
| US6235641B1 (en) | 1998-10-30 | 2001-05-22 | Fsi International Inc. | Method and system to control the concentration of dissolved gas in a liquid |
| US6274506B1 (en) | 1999-05-14 | 2001-08-14 | Fsi International, Inc. | Apparatus and method for dispensing processing fluid toward a substrate surface |
| US6406551B1 (en) | 1999-05-14 | 2002-06-18 | Fsi International, Inc. | Method for treating a substrate with heat sensitive agents |
| WO2013004511A1 (de) * | 2011-07-01 | 2013-01-10 | BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH | Wasserführendes haushaltsgerät mit mindestens einem flottenspeicher |
| JP2014029462A (ja) * | 2012-04-27 | 2014-02-13 | Mitsubishi Chemicals Corp | 端部部材の製造方法、感光体ドラムユニットの製造方法、端部部材、及び感光体ドラムユニット |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62221487A (ja) * | 1986-03-11 | 1987-09-29 | オツォニア・アクチェンゲゼルシャフト | 逆滲透用結水をオゾンを用いて調製する方法および装置 |
| JPS6436784A (en) * | 1987-04-08 | 1989-02-07 | Nippon Medix Kk | Ozone-producing mechanism |
| JPS6428998U (ja) * | 1987-08-14 | 1989-02-21 | ||
| JPH01194994A (ja) * | 1988-01-29 | 1989-08-04 | Ise Kagaku Kogyo Kk | オゾン水の製造方法 |
| JPH01207190A (ja) * | 1988-02-16 | 1989-08-21 | Imusetsuku:Kk | オゾン溶解装置 |
| JPH01231991A (ja) * | 1988-03-10 | 1989-09-18 | Teru Kyushu Kk | オゾン水製造装置 |
-
1989
- 1989-11-10 JP JP1293092A patent/JP2684575B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62221487A (ja) * | 1986-03-11 | 1987-09-29 | オツォニア・アクチェンゲゼルシャフト | 逆滲透用結水をオゾンを用いて調製する方法および装置 |
| JPS6436784A (en) * | 1987-04-08 | 1989-02-07 | Nippon Medix Kk | Ozone-producing mechanism |
| JPS6428998U (ja) * | 1987-08-14 | 1989-02-21 | ||
| JPH01194994A (ja) * | 1988-01-29 | 1989-08-04 | Ise Kagaku Kogyo Kk | オゾン水の製造方法 |
| JPH01207190A (ja) * | 1988-02-16 | 1989-08-21 | Imusetsuku:Kk | オゾン溶解装置 |
| JPH01231991A (ja) * | 1988-03-10 | 1989-09-18 | Teru Kyushu Kk | オゾン水製造装置 |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5971368A (en) * | 1997-10-29 | 1999-10-26 | Fsi International, Inc. | System to increase the quantity of dissolved gas in a liquid and to maintain the increased quantity of dissolved gas in the liquid until utilized |
| US6488271B1 (en) * | 1997-10-29 | 2002-12-03 | Fsi International, Inc. | Method to increase the quantity of dissolved gas in a liquid and to maintain the increased quantity of dissolved gas in the liquid until utilized |
| US6648307B2 (en) | 1997-10-29 | 2003-11-18 | Fsi International, Inc. | Method to increase the quantity of dissolved gas in a liquid and to maintain the increased quantity of dissolved gas in the liquid until utilized |
| US6235641B1 (en) | 1998-10-30 | 2001-05-22 | Fsi International Inc. | Method and system to control the concentration of dissolved gas in a liquid |
| US6274506B1 (en) | 1999-05-14 | 2001-08-14 | Fsi International, Inc. | Apparatus and method for dispensing processing fluid toward a substrate surface |
| US6406551B1 (en) | 1999-05-14 | 2002-06-18 | Fsi International, Inc. | Method for treating a substrate with heat sensitive agents |
| WO2013004511A1 (de) * | 2011-07-01 | 2013-01-10 | BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH | Wasserführendes haushaltsgerät mit mindestens einem flottenspeicher |
| JP2014029462A (ja) * | 2012-04-27 | 2014-02-13 | Mitsubishi Chemicals Corp | 端部部材の製造方法、感光体ドラムユニットの製造方法、端部部材、及び感光体ドラムユニット |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2684575B2 (ja) | 1997-12-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3181796B2 (ja) | 電解水製造装置 | |
| US6773575B2 (en) | Electrolytic cell and process for the production of hydrogen peroxide solution and hypochlorous acid | |
| US5114549A (en) | Method and apparatus for treating water using electrolytic ozone | |
| US5938916A (en) | Electrolytic treatment of aqueous salt solutions | |
| DE10216860A1 (de) | Elektrolysezelle für die Herstellung von Wasserstoffperoxid und Verfahren zur Herstelung von Wasserstoffperoxid | |
| EP1090880A1 (en) | Electrolytic ozone generating method, system and ozone water producing system | |
| JP3007137B2 (ja) | 電解オゾン発生方法及び装置 | |
| JP2002531704A (ja) | 電気分解装置、水溶液の精製方法及び化学物質の合成方法 | |
| JP2748047B2 (ja) | 水流を浄化するための方法 | |
| CN101531411A (zh) | 气体扩散电极体系电化学消毒的方法 | |
| CA2545764C (en) | Electrolytic cell for treating contaminated water | |
| US8080150B2 (en) | Electrolytic cell | |
| JPH01288390A (ja) | 電解槽 | |
| US5246556A (en) | Process and apparatus for producing high concentrating ozone water | |
| US5180502A (en) | Electrolytic ozonizer and method of decomposing ozone-containing waste gas using said ozonizer | |
| JP6649988B2 (ja) | 飲用水処理におけるハロゲン含有副生成物の発生の制御方法 | |
| JPH03154690A (ja) | 高濃度オゾン水の製造方法及び装置 | |
| CA1315236C (en) | Ozone-generating electrolytic cell provided with a solid electrolyte for treating water | |
| Isik et al. | Electrochemical treatment of textile dye bath wastewater using activated carbon cloth electrodes | |
| JP2006263505A (ja) | 水処理方法及び装置 | |
| EP0342169A2 (en) | Electrolytic ozonizer and method of decomposing ozone-containing waste gas using said ozonizer | |
| JPH101794A (ja) | 電解槽及び電解方法 | |
| WO1998012144A1 (en) | Electrolytic treatment of aqueous salt solutions | |
| JPH0639256A (ja) | オゾンの溶解方法及び装置 | |
| JP3210688B2 (ja) | オゾン含有ガスの散気方法 |