JPH031561A - 端部入出流液体熱交換器 - Google Patents
端部入出流液体熱交換器Info
- Publication number
- JPH031561A JPH031561A JP1181648A JP18164889A JPH031561A JP H031561 A JPH031561 A JP H031561A JP 1181648 A JP1181648 A JP 1181648A JP 18164889 A JP18164889 A JP 18164889A JP H031561 A JPH031561 A JP H031561A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fins
- liquid
- cavity
- heat exchanger
- inlet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W40/00—Arrangements for thermal protection or thermal control
- H10W40/40—Arrangements for thermal protection or thermal control involving heat exchange by flowing fluids
- H10W40/47—Arrangements for thermal protection or thermal control involving heat exchange by flowing fluids by flowing liquids, e.g. forced water cooling
Landscapes
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は端部入出流液体熱交換器に関する。
従来の技術
電子チップのような電子素子を冷却するのに、液体冷却
熱交換器を使用することは公知である。
熱交換器を使用することは公知である。
課題を解決するための手段
この発明は、離間したほぼ平行な複数個の冷却フィンを
もつ熱交換器において、液体冷却熱交換器を改蕾して高
性能を付与するものである。
もつ熱交換器において、液体冷却熱交換器を改蕾して高
性能を付与するものである。
この発明ではフィン間の液体チャンネルと整列している
液体流入口および液体流出口を用いて冷却効率を高め、
熱交換器の中心部を優先的に冷却する一方で、熱交換器
内の冷却液体の圧力降下をできるだけ小さくしている。
液体流入口および液体流出口を用いて冷却効率を高め、
熱交換器の中心部を優先的に冷却する一方で、熱交換器
内の冷却液体の圧力降下をできるだけ小さくしている。
この発明によると、電子素子用の端部入出流液体熱交換
器は、底部と第1.第2端部とを有し、内部に空洞を形
成した本体を備えている。
器は、底部と第1.第2端部とを有し、内部に空洞を形
成した本体を備えている。
離間したほぼ平行な複数個のフィンが空洞内に配置され
て底部に接続している。各フィンは本体の第1.第2端
部にそれぞれ隣接する第1端。
て底部に接続している。各フィンは本体の第1.第2端
部にそれぞれ隣接する第1端。
第2端を有する。本体の第1端部の中心に液体流入口を
設け、本体の第2端部の中心に液体流出口を設けて、各
フィンの第1端から第2端へとフィン間へ冷却液体を流
して、底部の中心部でのフィン間の流量を増大している
。中心部で液体速度が増大する結果、より多くの熱が中
心部の冷却フィンへ伝導されて、通常最も高温化してい
る熱交換器の中心部に対する優先冷却が行なえる。
設け、本体の第2端部の中心に液体流出口を設けて、各
フィンの第1端から第2端へとフィン間へ冷却液体を流
して、底部の中心部でのフィン間の流量を増大している
。中心部で液体速度が増大する結果、より多くの熱が中
心部の冷却フィンへ伝導されて、通常最も高温化してい
る熱交換器の中心部に対する優先冷却が行なえる。
また、この発明によると、フィン間の領域を除き流入口
から流出口にかけて本体内の液体横断面積をほぼ同じに
して圧力損失をできるだけ小さくする。
から流出口にかけて本体内の液体横断面積をほぼ同じに
して圧力損失をできるだけ小さくする。
また、この発明によると、流入口と空洞との間および流
出口と空洞との間に、湾曲傾斜遷移部を設けて急激な液
体方向変化、急激な液体横断面変化をなくしている。遷
移部は、熱交換器の中心部を通る液体流の増量化も促進
する。
出口と空洞との間に、湾曲傾斜遷移部を設けて急激な液
体方向変化、急激な液体横断面変化をなくしている。遷
移部は、熱交換器の中心部を通る液体流の増量化も促進
する。
また、この発明によると、各フィンの第1゜第2端を底
部へ向けて下方かつ外方へ傾斜させ、フィン端での圧力
損失をできるだけ小さくして、底部の中心部での熱交換
領域をできるだけ大きくしている。
部へ向けて下方かつ外方へ傾斜させ、フィン端での圧力
損失をできるだけ小さくして、底部の中心部での熱交換
領域をできるだけ大きくしている。
さらに、この発明によると、フィンの幅、高さ、フィン
間の間隔を調節して、熱交換器の底部の領域の温度を制
御する。すなわち、空洞の中心部におけるフィンの表面
積を空洞の縁におけるフィンの表面積よりも大きくして
中心部での熱伝導を増大させる。フィン間間隔が小さい
フィンを中心部に追加するか、小さい幅のフィンを設け
て中心部でのフィンの数や、フィン表面積を増やしたり
、フィンの高さを増したりすれば、中心部での表面積を
増大できる。フィン間の間隔を小さくすれば熱伝導の率
も増大する。
間の間隔を調節して、熱交換器の底部の領域の温度を制
御する。すなわち、空洞の中心部におけるフィンの表面
積を空洞の縁におけるフィンの表面積よりも大きくして
中心部での熱伝導を増大させる。フィン間間隔が小さい
フィンを中心部に追加するか、小さい幅のフィンを設け
て中心部でのフィンの数や、フィン表面積を増やしたり
、フィンの高さを増したりすれば、中心部での表面積を
増大できる。フィン間の間隔を小さくすれば熱伝導の率
も増大する。
さらに、この発明によると、空洞の横断面形状を三角形
にすることができる。
にすることができる。
実施例
以下、実施例によりこの発明の詳細な説明する。
第1図〜第3図において、この発明の端部入出流液体熱
交換器10は、底部14と、第1端部16と、第2端部
18とを具備する本体12を有している。底部14は、
チップ20のような電子素子上に図示のように載置され
、一方、該電子素子は適宜な電気接続部材22によって
基板24へ接続される。上記熱交換器10はチップ20
を冷却する働きをする。
交換器10は、底部14と、第1端部16と、第2端部
18とを具備する本体12を有している。底部14は、
チップ20のような電子素子上に図示のように載置され
、一方、該電子素子は適宜な電気接続部材22によって
基板24へ接続される。上記熱交換器10はチップ20
を冷却する働きをする。
空洞26が形成された本体12は、底部14に接続し相
互にほぼ平行な離間フィン30a、 30b、 30c
、 30d、 30e、 30f、 30g、 30h
を備えている。便宜上、フィンの数を図示のようにした
が適宜の数のフィンを使用できる。
互にほぼ平行な離間フィン30a、 30b、 30c
、 30d、 30e、 30f、 30g、 30h
を備えている。便宜上、フィンの数を図示のようにした
が適宜の数のフィンを使用できる。
フィンの厚さやフィン間の間隔は変えることができ、例
えば、厚さは0.0254mm(0,0010インチ)
または0.0508mm(0,0020インチ)であり
、フィン間の間隔も0.0254mm(0,0010イ
ンチ)または0、0508mm(0,0020インチ)
である。
えば、厚さは0.0254mm(0,0010インチ)
または0.0508mm(0,0020インチ)であり
、フィン間の間隔も0.0254mm(0,0010イ
ンチ)または0、0508mm(0,0020インチ)
である。
本体12の第1端部16の中心に液体流入口32が形成
され、本体12の第2端部18の中心に液体流出口34
が形成されていて、フィン間に水などの冷却液を流す。
され、本体12の第2端部18の中心に液体流出口34
が形成されていて、フィン間に水などの冷却液を流す。
各フィンは第1端31と第2端33とを有し、第1端3
1は本体12の第1端部16に隣接し第2端33は本体
12の第2端部18に隣接する。
1は本体12の第1端部16に隣接し第2端33は本体
12の第2端部18に隣接する。
したがって、流入口32からの流体は、各フィンの第1
端31から第2端32へと、該両端31.32間のチャ
ンネルを介して、流出口34の側へ流れる。
端31から第2端32へと、該両端31.32間のチャ
ンネルを介して、流出口34の側へ流れる。
通常、チップ20中の熱源分布が名目上−様で、かつ該
チップの冷却化が名目上−様であっても、熱交換器10
はその中心部で温度が最も高くなる。
チップの冷却化が名目上−様であっても、熱交換器10
はその中心部で温度が最も高くなる。
しかし、この発明の上記構成によると該中心部を優先的
に冷却できるので、高い冷却度が得られるだけでなく、
高温化する恐れがある領域を格別によく冷却できる。こ
の効果は、管状の流入口32および流出口34中での最
高流速が流入口32、流出口34の軸中心に沿うことに
因る6したがって、外側フィン30a、 30b、 3
0g、 30h、の周りよりも、中心フィン3(Lc、
30d、 30e、 30fの周りの方が流れる液体
が多い。中心部で液体速度が増大する結果、より多くの
熱が中心部のフィンへ伝導されて、熱交換器10の中心
部に対する優先冷却が行なえる。したがって、−様な冷
却方法だと高温化してしまうチップ20の中心部に対し
て、冷却を促進できる。優先冷却によると、チップ20
の表面上の多数点間の温度差も低減できる。
に冷却できるので、高い冷却度が得られるだけでなく、
高温化する恐れがある領域を格別によく冷却できる。こ
の効果は、管状の流入口32および流出口34中での最
高流速が流入口32、流出口34の軸中心に沿うことに
因る6したがって、外側フィン30a、 30b、 3
0g、 30h、の周りよりも、中心フィン3(Lc、
30d、 30e、 30fの周りの方が流れる液体
が多い。中心部で液体速度が増大する結果、より多くの
熱が中心部のフィンへ伝導されて、熱交換器10の中心
部に対する優先冷却が行なえる。したがって、−様な冷
却方法だと高温化してしまうチップ20の中心部に対し
て、冷却を促進できる。優先冷却によると、チップ20
の表面上の多数点間の温度差も低減できる。
さらに、熱交換器の流入口32と空洞26との間に湾曲
傾斜遷移部40、流出口34と空洞26との間に湾曲傾
斜遷移部42を設けて速度変化をできるだけ小さくし、
圧力損失をできるだけ小さくしている。上記遷移部40
.42はまた空洞26の中心部における液体流量を縁3
8よりも増して、上記中心部に対する所望の優先冷却を
助成する。
傾斜遷移部40、流出口34と空洞26との間に湾曲傾
斜遷移部42を設けて速度変化をできるだけ小さくし、
圧力損失をできるだけ小さくしている。上記遷移部40
.42はまた空洞26の中心部における液体流量を縁3
8よりも増して、上記中心部に対する所望の優先冷却を
助成する。
遷移部40.42を設けたことに−よって、急激な液体
方向変化、急激な液体横断面変化が回避される。すなわ
ち、湾曲部分44は流入口32と空洞26との間に湾曲
入口を与え、湾曲部分46は空洞z6と流出口34との
間に湾曲出口を与え、また、各遷移部40.42の傾斜
辺部分48は第3図に示すようにフィン部に組み合わさ
れて、熱交換器の中心部における液体流量を縁38より
も増している。
方向変化、急激な液体横断面変化が回避される。すなわ
ち、湾曲部分44は流入口32と空洞26との間に湾曲
入口を与え、湾曲部分46は空洞z6と流出口34との
間に湾曲出口を与え、また、各遷移部40.42の傾斜
辺部分48は第3図に示すようにフィン部に組み合わさ
れて、熱交換器の中心部における液体流量を縁38より
も増している。
また、空洞26を除き流入口32から流出口34にかけ
て本体内の液体横断面積をほぼ同じとして速度変化をで
きるだけ小さくし、圧力損失をできるだけ小さくしてい
る。すなわち、流入口32の横断面積、遷移部40の横
断面積、遷移部42の横断面積、流出部34の横断面積
はほぼ等しい。
て本体内の液体横断面積をほぼ同じとして速度変化をで
きるだけ小さくし、圧力損失をできるだけ小さくしてい
る。すなわち、流入口32の横断面積、遷移部40の横
断面積、遷移部42の横断面積、流出部34の横断面積
はほぼ等しい。
しかし、空洞26中のフィン間のスペースの横断面積は
、他の各部の横断面積の好ましくは約半分にして熱伝導
の率を高める。
、他の各部の横断面積の好ましくは約半分にして熱伝導
の率を高める。
なお、各フィンの端31.33は好ましくは面とりして
底部へ向けて下方かつ外方へ傾斜させる。
底部へ向けて下方かつ外方へ傾斜させる。
これによって、入口フィン、出口フィンでの圧力損失が
極めて小さくなり、圧力降下の少ない動作を実現できる
。さらに、上記傾斜端31j3を設けたことによって、
広いフィン面積が必要とされる中心領域におけるフィン
面積を広いフィン面積を必要としない第1端31.第2
端33でのフィン面積よりも大きくできるので、チップ
20の面上の温度差を比較的小さくできる。また、傾斜
端31.32を選択することによって、遷移部40、4
2の横断面積を調節できる。
極めて小さくなり、圧力降下の少ない動作を実現できる
。さらに、上記傾斜端31j3を設けたことによって、
広いフィン面積が必要とされる中心領域におけるフィン
面積を広いフィン面積を必要としない第1端31.第2
端33でのフィン面積よりも大きくできるので、チップ
20の面上の温度差を比較的小さくできる。また、傾斜
端31.32を選択することによって、遷移部40、4
2の横断面積を調節できる。
全てのフィンの厚さを同じにし、同間隔で離間させても
よいが、フィンの幅やフィン間のチャンネル間隔を変え
て、縁のフィンよりも中心部のフィンの表面積を大きく
すれば、中心部での冷却をさらに促進できる。中心部に
1個以上のフィンを小間隔で追加し、例えば0.508
mm(0,020インチ)の間隔の4個のフィンに対し
て0.254mm(0,010インチ)の間隔の5個の
フィンを形成すれば冷却効果が上がる。この例では表面
積が25%増大し、局地的な熱伝導の率が約80%増大
し、全体として熱伝導の率は2.25倍に増大する。
よいが、フィンの幅やフィン間のチャンネル間隔を変え
て、縁のフィンよりも中心部のフィンの表面積を大きく
すれば、中心部での冷却をさらに促進できる。中心部に
1個以上のフィンを小間隔で追加し、例えば0.508
mm(0,020インチ)の間隔の4個のフィンに対し
て0.254mm(0,010インチ)の間隔の5個の
フィンを形成すれば冷却効果が上がる。この例では表面
積が25%増大し、局地的な熱伝導の率が約80%増大
し、全体として熱伝導の率は2.25倍に増大する。
第3図かられかるように、フィン30a〜30hは全て
同じ厚さであるが中心部のフィン30C130d、30
e、30f間の離間間隔が小さく、本体12の縁でのフ
ィン30a、30b、30g、30hに比べて本体12
の中心部のフィンの全表面積のが大きい。
同じ厚さであるが中心部のフィン30C130d、30
e、30f間の離間間隔が小さく、本体12の縁でのフ
ィン30a、30b、30g、30hに比べて本体12
の中心部のフィンの全表面積のが大きい。
したがって中心部の熱伝導の率が増大し、特に中心部で
の液体流速の増大と相俟って、中心部での局地的熱伝導
を増大させる。
の液体流速の増大と相俟って、中心部での局地的熱伝導
を増大させる。
第4図はフィンの他の実施例を示し、この実施例では中
心フィン50c、50d、50e、50fは縁のフィン
50a、50b、50g、50hよりも近接離間してい
ることに加えて厚さが薄く、これによって中心部のフィ
ン表面積をさらに増し局地的熱伝導の率をさらに増大し
ている。
心フィン50c、50d、50e、50fは縁のフィン
50a、50b、50g、50hよりも近接離間してい
ることに加えて厚さが薄く、これによって中心部のフィ
ン表面積をさらに増し局地的熱伝導の率をさらに増大し
ている。
第5図、第6図はさらに他の実施例を示し、第1図〜第
3図中の部材と同等の部材は、添字[a」を付した同一
符号で示しである。フィン60a、60b、60c、6
0d、60e、60fを収容する空洞26aは横断面形
状が三角形であるので、空洞26aの中心部を流れる液
体流は、速度が増大するだけでなく、縁38aの近くを
流れる液体よりも体積がかなり大きい。中心に近い程フ
ィンの高さを大きくしてフィンの表面積を大きくできる
ので、熱交換器10aの中心部での冷却効率をさらに高
めることができる。第6図に示すように、フィン60a
〜60fは厚さ、間隔共に同じであるが、必要により厚
さ、間隔を変えて底部14aの領域の温度を調節するこ
とができる。
3図中の部材と同等の部材は、添字[a」を付した同一
符号で示しである。フィン60a、60b、60c、6
0d、60e、60fを収容する空洞26aは横断面形
状が三角形であるので、空洞26aの中心部を流れる液
体流は、速度が増大するだけでなく、縁38aの近くを
流れる液体よりも体積がかなり大きい。中心に近い程フ
ィンの高さを大きくしてフィンの表面積を大きくできる
ので、熱交換器10aの中心部での冷却効率をさらに高
めることができる。第6図に示すように、フィン60a
〜60fは厚さ、間隔共に同じであるが、必要により厚
さ、間隔を変えて底部14aの領域の温度を調節するこ
とができる。
上記したこの発明によると、大きさが1 cutの10
0ワツトのチップを冷却して85℃以下の温度に保つこ
とが可能である。さらにこの発明によると、チップ上の
温度差を156〜20℃の範囲に保つことが可能である
。この発明では低い熱抵抗を達成するために、優先的な
中心部での液体速度を高めることによって、高い熱伝導
を得ること、フィン間の数を多くしたり種々の幅、高さ
のフィン間の間隔を小さくしたりして中心部のフィン面
積を大きくすること、中心部への優先的流れを促進する
液体流の状態を得ることなどを行なっているが、これら
全てによってチップ上での温度差の低減も達成できる。
0ワツトのチップを冷却して85℃以下の温度に保つこ
とが可能である。さらにこの発明によると、チップ上の
温度差を156〜20℃の範囲に保つことが可能である
。この発明では低い熱抵抗を達成するために、優先的な
中心部での液体速度を高めることによって、高い熱伝導
を得ること、フィン間の数を多くしたり種々の幅、高さ
のフィン間の間隔を小さくしたりして中心部のフィン面
積を大きくすること、中心部への優先的流れを促進する
液体流の状態を得ることなどを行なっているが、これら
全てによってチップ上での温度差の低減も達成できる。
さらにこの発明では熱交換器内での圧力降下を小さくす
るために、液体の流路に沿っての速度変化をできるだけ
小さくし、液体流の方向を変える壁面を湾曲させ、かつ
、全圧力降下を低減する再生技術を用いている。
るために、液体の流路に沿っての速度変化をできるだけ
小さくし、液体流の方向を変える壁面を湾曲させ、かつ
、全圧力降下を低減する再生技術を用いている。
したがって、この発明は既述の諸口的かつ他の本来の利
点を達成するものである。この発明の上記の実施例は説
明のために用いたものであり、その構造及び諸部品の配
置の詳細にわたる数多くの変形が、この発明の特許請求
の範囲内で当業者によって実施できる。
点を達成するものである。この発明の上記の実施例は説
明のために用いたものであり、その構造及び諸部品の配
置の詳細にわたる数多くの変形が、この発明の特許請求
の範囲内で当業者によって実施できる。
第1図はこの発明の熱交換器の一実施例を示す縦断正面
図、第2図は第1図の線2−2に沿う横断面図、第3図
は第1図の線3−3に沿う横断面図、第4図はフィンの
他の実施例を示す横断面図、第5図はこの発明の熱交換
器の他の実施例を示す縦断正面図、第6図は第5図の線
6−6に沿う横断面図である。 10、10a・・・端部入出流液体熱交換器12.12
a−−−本 体 14.14a・=底 部16
,16a−−−第1端部 18,18a・−第2
端部26、26a・・・空 洞 30a 〜30h、 50 a 〜50h、 60a
〜60f −フィン31・・・第1端 3
3・・・第2端32、32a・・・液体流入口 34、34a・・・液体流出口
図、第2図は第1図の線2−2に沿う横断面図、第3図
は第1図の線3−3に沿う横断面図、第4図はフィンの
他の実施例を示す横断面図、第5図はこの発明の熱交換
器の他の実施例を示す縦断正面図、第6図は第5図の線
6−6に沿う横断面図である。 10、10a・・・端部入出流液体熱交換器12.12
a−−−本 体 14.14a・=底 部16
,16a−−−第1端部 18,18a・−第2
端部26、26a・・・空 洞 30a 〜30h、 50 a 〜50h、 60a
〜60f −フィン31・・・第1端 3
3・・・第2端32、32a・・・液体流入口 34、34a・・・液体流出口
Claims (10)
- 1.電子素子用の端部入出流液体熱交換器であって、底
部と第1,第2端部とを有し内部に空洞を形成した本体
と、空洞内で離間配置されて底部に接続し、かつ本体の
第1、第2端部にそれぞれ隣接する第1端、第2端を有
するほぼ平行な複数個のフィンと、中心部でのフィン間
の流量が多くなるように、各フィンの第1端から第2端
へとフィン間へ冷却液体を流すために、本体の第1端部
の中心に設けた液体流入口および本体の第2端部の中心
に設けた液体流出口とを備えている端部入出流液体熱交
換器。 - 2.請求項1において、空洞内の領域を除き流入口から
流出口にかけて本体内の液体横断面積をほぼ同じにして
、圧力損失をできるだけ小さくした端部入出流液体熱交
換器。 - 3.請求項2において、空洞内の横断面積は本体内の他
の横断面の約半分となっている端部入出流液体熱交換器
。 - 4.請求項1において、流入口と空洞との間および流出
口と空洞との間に、湾曲傾斜遷移部を設けて、急激な液
体方向変化、急激な液体横断面変化をなくした端部入出
流液体熱交換器。 - 5.請求項1において、各フィンの第1,第2端を底部
へ向けて下方かつ外方へ傾斜させて圧力降下を小さくし
た端部入出流液体熱交換器。 - 6.請求項1において、空洞の中心部におけるフィンの
表面積を縁におけるフィンの表面積よりも大きくして、
熱伝導を増大した端部入出流液体熱交換器。 - 7.請求項6において、中心部のフィンの数を増やし、
該フィン間の間隔を小さくして、中心部でのフィン表面
積を増やした端部入出流液体熱交換器。 - 8.請求項1において、空洞の中心部のフィンを空洞の
縁のフィンよりも近接配置して、空洞の中心部での熱伝
導率を高めた端部入出流液体熱交換器。 - 9.請求項1において、空洞の横断面形状が三角形であ
る端部入出流液体熱交換器。 - 10.電子素子用の端部入出流液体熱交換器であって、
底部と第1,第2端部とを有し内部に空洞を形成した本
体と、空洞内で離間配置されて底部に接続し、かつ本体
の第1,第2端部にそれぞれ接続する第1,第2端を有
し、前記底部上に載置された電子素子を冷却するほぼ平
行な複数個のフィンと、空洞内のフィン間の流量が多く
なるように、各フィンの第1端から第2端へとフィン間
へ冷却液体を流すために、本体の第1端部の中心に設け
た液体流入口および本体の第2端部の中心に設けた液体
流出口とを備え、本体の流入口と空洞との間および流出
口と空洞との間に湾曲傾斜遷移部を設けて急激な液体方
向変化、急激な液体横断面変化をなくし、空洞内の領域
を除いて、流入口から流出口にかけて本体内の液体横断
面積をほぼ同じにして圧力損失をできるだけ小さくし、
空洞内の横断面積は他の横断面の約半分である端部入出
流液体熱交換器。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/220,758 US4884630A (en) | 1988-07-14 | 1988-07-14 | End fed liquid heat exchanger for an electronic component |
| US220758 | 1988-07-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH031561A true JPH031561A (ja) | 1991-01-08 |
Family
ID=22824840
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1181648A Pending JPH031561A (ja) | 1988-07-14 | 1989-07-13 | 端部入出流液体熱交換器 |
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