JPH03161271A - 遊離砥粒噴射式加工装置 - Google Patents
遊離砥粒噴射式加工装置Info
- Publication number
- JPH03161271A JPH03161271A JP29485089A JP29485089A JPH03161271A JP H03161271 A JPH03161271 A JP H03161271A JP 29485089 A JP29485089 A JP 29485089A JP 29485089 A JP29485089 A JP 29485089A JP H03161271 A JPH03161271 A JP H03161271A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- nozzle
- solid
- phase flow
- free abrasive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、遊離砥粒噴射式加工装置に係わり、特に遊離
砥粒と気体の固気２相流を被加工物に噴射して加工を行
なうようにした装置であって、微細加工に用いて好適な
装置に関する。
砥粒と気体の固気２相流を被加工物に噴射して加工を行
なうようにした装置であって、微細加工に用いて好適な
装置に関する。
本発明は、遊離砥粒と気体の固気２相流を被加工物に噴
射して加工を行うようにした装置において、前記固気２
相流を噴射するノズルの内壁面を超音波振動させること
により、流路系の摩擦係数を低減させ、固気２相流の加
速性を向上し、被加工物に対する加工効率を高めると共
に、ノズル内壁面の長寿命化を図る。
射して加工を行うようにした装置において、前記固気２
相流を噴射するノズルの内壁面を超音波振動させること
により、流路系の摩擦係数を低減させ、固気２相流の加
速性を向上し、被加工物に対する加工効率を高めると共
に、ノズル内壁面の長寿命化を図る。
従来、例えば特開昭６３−２２２７２に開示されている
ように、遊離砥粒を気体に混入して固気２相流とすると
共に、このような固気２相流をノズルによって被加工物
に噴射するようにしたサンドブラスト装置が知られてい
る。
ように、遊離砥粒を気体に混入して固気２相流とすると
共に、このような固気２相流をノズルによって被加工物
に噴射するようにしたサンドブラスト装置が知られてい
る。
〔発明が解決しようとする課題］
このようにノズルによって固気２相流を被加工物に噴射
するようにしたサンドブラスト装置は、微細加工には不
適当なものであって、せいぜいパリ取りや、ペンキをす
るための下地の錆落し、装飾用の加工等にしか用いられ
ていない。
するようにしたサンドブラスト装置は、微細加工には不
適当なものであって、せいぜいパリ取りや、ペンキをす
るための下地の錆落し、装飾用の加工等にしか用いられ
ていない。
微細加工に不適当な原因として、
（イ）遊離砥粒の粒径が２５〜１００μｍ程度と大きく
、粗面しか得ることができない。
、粗面しか得ることができない。
（口）ノズルの形状も円筒形状のものが多く、ノズル径
も太き《、ノズル精度が悪い。
も太き《、ノズル精度が悪い。
（ハ）ノズルが摩耗しやすく、寿命が短い。
（二）ノズルに微細加工を考慮した配慮がない。
（ホ）固気２相流が不安定である。
本発明は、これらの従来の問題点を解消するためになさ
れたものであって、微細加工を高い加工効率で行えるよ
うにすると共に、ノズル内壁面の長寿命化を図ることを
課題とする。
れたものであって、微細加工を高い加工効率で行えるよ
うにすると共に、ノズル内壁面の長寿命化を図ることを
課題とする。
本発明では、遊離砥粒と気体の固気２相流を被加工物に
噴射して加工を行うようにした装置において、前記固気
２相流を噴射するノズルの内壁面を超音波振動させるよ
うにしたものである。
噴射して加工を行うようにした装置において、前記固気
２相流を噴射するノズルの内壁面を超音波振動させるよ
うにしたものである。
固気２相流を噴射するノズルの内壁面を超音波振動させ
ることにより、流路系の摩擦係数を低減させ、固気２相
流の加速性を向上し、被加工物に対する微細加工の加工
効率を高めると共に、ノズル内壁面の長寿命化を図る。
ることにより、流路系の摩擦係数を低減させ、固気２相
流の加速性を向上し、被加工物に対する微細加工の加工
効率を高めると共に、ノズル内壁面の長寿命化を図る。
〔実施例］
以下、本発明の一実施例を第１図を参照して説明する。
本発明の遊離砥粒噴射式加工装置は、第ｌ図に示すよう
に、ノズル上から１〜１０μｍ程度の粒径のＡｆｚ Ｏ
ｉ 、Ｓ ｔｏ． 、Ｓ ｉＣ，Ｓ ｉ３Ｎ４等の遊離
砥粒と１〜１０ｋｇ／ｃ＋ｆｌ程度の高圧の気体の混合
流である固気２相流２を被加工物３に噴射して加工する
。
に、ノズル上から１〜１０μｍ程度の粒径のＡｆｚ Ｏ
ｉ 、Ｓ ｔｏ． 、Ｓ ｉＣ，Ｓ ｉ３Ｎ４等の遊離
砥粒と１〜１０ｋｇ／ｃ＋ｆｌ程度の高圧の気体の混合
流である固気２相流２を被加工物３に噴射して加工する
。
ノズル上は金属やセラミックス等からなる管路土とその
外壁を被覆する圧電体ｉとから構威される。管路土は固
気２相流２を供給する供給管部４ａと固気２相流２を絞
り込む加速管部４ｂと加速された固気２相流を噴射する
噴射孔部４ｃとからなる。
外壁を被覆する圧電体ｉとから構威される。管路土は固
気２相流２を供給する供給管部４ａと固気２相流２を絞
り込む加速管部４ｂと加速された固気２相流を噴射する
噴射孔部４ｃとからなる。
圧電体工は圧電素子５ａと該圧電素子５ａを挟み込むよ
うに配される電極５ｂ， ５ｃとからなり、電極５ｂ、
５ｃにはリード線６ａ， ６ｂが接続されていて、該リ
ード線６ａ、６ｂを介して駆動電圧が印加される。
うに配される電極５ｂ， ５ｃとからなり、電極５ｂ、
５ｃにはリード線６ａ， ６ｂが接続されていて、該リ
ード線６ａ、６ｂを介して駆動電圧が印加される。
駆動電圧は、１０〜９０ｋＨｚ程度の超音波電圧であり
、超音波電圧を圧電体工に印加することにより、圧電体
工は超音波振動し、その振動は管路土に伝わり、管路土
、即ちノズル上の内壁面を超音波振動させる。
、超音波電圧を圧電体工に印加することにより、圧電体
工は超音波振動し、その振動は管路土に伝わり、管路土
、即ちノズル上の内壁面を超音波振動させる。
ノズル上の管路土内に固気２相流２を流した時の第１図
のＡ−Ａ断面における速度分布図を第２に示す。同図（
Ａ）は超音波振動を加えた場合を示し、同図（Ｂ）は超
音波振動を加えない場合を示す。図からわかるように、
超音波振動を加えた場合の管路土内壁近傍の速度１１と
比べ加えない場合の速度１２が遅くなっている。
のＡ−Ａ断面における速度分布図を第２に示す。同図（
Ａ）は超音波振動を加えた場合を示し、同図（Ｂ）は超
音波振動を加えない場合を示す。図からわかるように、
超音波振動を加えた場合の管路土内壁近傍の速度１１と
比べ加えない場合の速度１２が遅くなっている。
速度１２が遅いということは、管路土内の摩擦損失が大
きいことを示し、摩擦が大きいと固気２相流２に遊離砥
粒を含んでいるため、管路土、即ちノズル上の内壁の摩
耗が大きくなる。特にノズル上の内壁が摩耗すると、単
にノズル上の寿命が短くなり、短時間でメンテナンスを
必要となるばかりでなく、加工精度にも悪い影響がでる
。超音波振動を加えたことにより、速度１１が早いとい
うことは、当然であるが被加工物３に対する微細加工の
加工効率が向上する。
きいことを示し、摩擦が大きいと固気２相流２に遊離砥
粒を含んでいるため、管路土、即ちノズル上の内壁の摩
耗が大きくなる。特にノズル上の内壁が摩耗すると、単
にノズル上の寿命が短くなり、短時間でメンテナンスを
必要となるばかりでなく、加工精度にも悪い影響がでる
。超音波振動を加えたことにより、速度１１が早いとい
うことは、当然であるが被加工物３に対する微細加工の
加工効率が向上する。
〔発明の効果］
本発明では、遊離砥粒と気体の固気２相流を被加工物に
噴射して加工を行うようにした装置において、前記固気
２相流を噴射するノズルの内壁面を超音波振動させるこ
とにより、流路系の摩擦係数を低減させ、固気２相流の
加速性を向上し、被加工物に対する微細加工の加工効率
を高めると共に、ノズル内壁面の長寿命化を図る。
噴射して加工を行うようにした装置において、前記固気
２相流を噴射するノズルの内壁面を超音波振動させるこ
とにより、流路系の摩擦係数を低減させ、固気２相流の
加速性を向上し、被加工物に対する微細加工の加工効率
を高めると共に、ノズル内壁面の長寿命化を図る。
第ｌ図は本発明の遊離砥粒噴射式加工装置のノズルの概
略断面図である。第２図（Ａ）及び第２図（Ｂ）はノズ
ルの管路内の固気２相流の速度分布図であり、同図（Ａ
）は超音波振動を加えた場合であり、同図（Ｂ）は超音
波振動を加えない場合を示す。 ｔ−−−−−−ノズル ２・・・・・・・・−・一・・・・固気２相流３−−−
−−・・・・・−・・・一被加工物土・−・−・・・・
−・・管路 エー一一一一・−・・・−・一圧電体 の砥賂断面図
略断面図である。第２図（Ａ）及び第２図（Ｂ）はノズ
ルの管路内の固気２相流の速度分布図であり、同図（Ａ
）は超音波振動を加えた場合であり、同図（Ｂ）は超音
波振動を加えない場合を示す。 ｔ−−−−−−ノズル ２・・・・・・・・−・一・・・・固気２相流３−−−
−−・・・・・−・・・一被加工物土・−・−・・・・
−・・管路 エー一一一一・−・・・−・一圧電体 の砥賂断面図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 遊離砥粒と気体の固気２相流を被加工物に噴射して加工
を行うようにした装置において、 前記固気２相流を噴射するノズルの内壁面を超音波振動
させることを特徴とする遊離砥粒噴射式加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29485089A JPH03161271A (ja) | 1989-11-15 | 1989-11-15 | 遊離砥粒噴射式加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29485089A JPH03161271A (ja) | 1989-11-15 | 1989-11-15 | 遊離砥粒噴射式加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03161271A true JPH03161271A (ja) | 1991-07-11 |
Family
ID=17813062
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29485089A Pending JPH03161271A (ja) | 1989-11-15 | 1989-11-15 | 遊離砥粒噴射式加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03161271A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5305361A (en) * | 1992-01-24 | 1994-04-19 | Hitachi, Ltd. | Method of and apparatus for water-jet peening |
| JP2009274181A (ja) * | 2008-05-15 | 2009-11-26 | Nikon Corp | 流体研磨装置 |
| JP2009279751A (ja) * | 2008-04-23 | 2009-12-03 | Sintokogio Ltd | ノズル、ノズルユニット及びブラスト加工装置 |
| CN103128672A (zh) * | 2013-02-05 | 2013-06-05 | 浙江工业大学 | 一种约束磨粒流抛光工具头 |
| CN103128671A (zh) * | 2013-02-05 | 2013-06-05 | 浙江工业大学 | 硬脆材料复杂曲面零件的约束磨粒流抛光加工装置 |
| CN103128673A (zh) * | 2013-02-05 | 2013-06-05 | 浙江工业大学 | 硬脆材料的约束磨粒流抛光工具头 |
| CN106141929A (zh) * | 2016-08-30 | 2016-11-23 | 长春理工大学 | 一种固液两相流研抛共轨管的加工装置 |
-
1989
- 1989-11-15 JP JP29485089A patent/JPH03161271A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5305361A (en) * | 1992-01-24 | 1994-04-19 | Hitachi, Ltd. | Method of and apparatus for water-jet peening |
| JP2009279751A (ja) * | 2008-04-23 | 2009-12-03 | Sintokogio Ltd | ノズル、ノズルユニット及びブラスト加工装置 |
| JP2009274181A (ja) * | 2008-05-15 | 2009-11-26 | Nikon Corp | 流体研磨装置 |
| CN103128672A (zh) * | 2013-02-05 | 2013-06-05 | 浙江工业大学 | 一种约束磨粒流抛光工具头 |
| CN103128671A (zh) * | 2013-02-05 | 2013-06-05 | 浙江工业大学 | 硬脆材料复杂曲面零件的约束磨粒流抛光加工装置 |
| CN103128673A (zh) * | 2013-02-05 | 2013-06-05 | 浙江工业大学 | 硬脆材料的约束磨粒流抛光工具头 |
| CN103128673B (zh) * | 2013-02-05 | 2015-04-29 | 浙江工业大学 | 硬脆材料的约束磨粒流抛光工具头 |
| CN103128671B (zh) * | 2013-02-05 | 2015-04-29 | 浙江工业大学 | 硬脆材料复杂曲面零件的约束磨粒流抛光加工装置 |
| CN106141929A (zh) * | 2016-08-30 | 2016-11-23 | 长春理工大学 | 一种固液两相流研抛共轨管的加工装置 |
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