JPH03161296A - クリーンロボット - Google Patents
クリーンロボットInfo
- Publication number
- JPH03161296A JPH03161296A JP30270589A JP30270589A JPH03161296A JP H03161296 A JPH03161296 A JP H03161296A JP 30270589 A JP30270589 A JP 30270589A JP 30270589 A JP30270589 A JP 30270589A JP H03161296 A JPH03161296 A JP H03161296A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vertically moving
- moving shaft
- dust
- bellows
- shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims abstract description 19
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は産業用ロボット、特にクリーンルーム内で使用
するために塵埃の発生の少ない構造を持つクリーンロボ
ットに関する。
するために塵埃の発生の少ない構造を持つクリーンロボ
ットに関する。
従来のクリーンロボットは上下動軸とその上に連接した
アームと蛇腹とベース筺体と真空吸引装置とを含んで構
戒される。
アームと蛇腹とベース筺体と真空吸引装置とを含んで構
戒される。
次に従来のクリーンロボットについて図面を参照して詳
細に説明する。
細に説明する。
第2図は従来の一例を示す図である。
図において上下動軸1bはベース筺体8から突出して配
置されこれに回動するアーム7bが連接している.上下
動軸1bは蛇腹11によってその周囲を囲われて密封さ
れている。外部には真空吸引装置12がありベース筺体
8bの内部で発生する塵埃を吸い出して外部に排出して
いる。
置されこれに回動するアーム7bが連接している.上下
動軸1bは蛇腹11によってその周囲を囲われて密封さ
れている。外部には真空吸引装置12がありベース筺体
8bの内部で発生する塵埃を吸い出して外部に排出して
いる。
上述した従来のクリーンロボットはベース筺体の内部で
発生した塵埃が上下動軸の周囲から漏れないように蛇腹
を使用している。蛇腹には多数のひだがありそのひだに
塵埃がたまりやすく一端塵埃が入ってしまうと完全に除
去するのに多大の労力と時間を必要とするという欠点が
あった。また蛇腹はねじることができないため上下動軸
を回動軸と兼用して使用することができないという構造
上の制約が生じる欠点があった。
発生した塵埃が上下動軸の周囲から漏れないように蛇腹
を使用している。蛇腹には多数のひだがありそのひだに
塵埃がたまりやすく一端塵埃が入ってしまうと完全に除
去するのに多大の労力と時間を必要とするという欠点が
あった。また蛇腹はねじることができないため上下動軸
を回動軸と兼用して使用することができないという構造
上の制約が生じる欠点があった。
本発明のクリーンロボットは高速で回転する円筒状部材
の内側に複数枚のフィンを有し中心軸に貫通穴のある軸
流ファンと、前記貫通穴を貫通して配置した上下動軸と
、前記上下動軸及びその上に連接したアームの駆動部を
内蔵し上部に前記軸流ファンを有し下部に塵埃除去フィ
ルタを設けたベース筺体とを含んで楕或される。
の内側に複数枚のフィンを有し中心軸に貫通穴のある軸
流ファンと、前記貫通穴を貫通して配置した上下動軸と
、前記上下動軸及びその上に連接したアームの駆動部を
内蔵し上部に前記軸流ファンを有し下部に塵埃除去フィ
ルタを設けたベース筺体とを含んで楕或される。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第1図は本発明の一実施例を示す断面図である。
図において、伸縮する上下動軸1の周囲には円筒状部材
2がありその内側には複数枚のフィン3が取り付けてあ
る。
2がありその内側には複数枚のフィン3が取り付けてあ
る。
円筒状部材2はその外周に設けたリング状のモータ4に
よって高速で回転する。前述の円筒状部材2,フィン3
,モータ4で中心軸に貫通穴のある軸流ファン6を構成
している。
よって高速で回転する。前述の円筒状部材2,フィン3
,モータ4で中心軸に貫通穴のある軸流ファン6を構成
している。
上下動軸1の上には回動するアーム7が連接している.
ベース筺体8は上下動軸1及びアーム7の駆動部9を内
蔵しており周囲には塵埃除去フィルタ10が設けてある
。
ベース筺体8は上下動軸1及びアーム7の駆動部9を内
蔵しており周囲には塵埃除去フィルタ10が設けてある
。
ロボット動作中は軸流ファン6を常時回転させることに
より外部の空気が上下動軸1の周囲から吸い込まれ塵埃
除去フィルタ10を通過して外部に排出される。
より外部の空気が上下動軸1の周囲から吸い込まれ塵埃
除去フィルタ10を通過して外部に排出される。
これによってベース筺体8内で発生した塵埃は塵埃除去
フィルタ10によって除去されるので外部に漏れること
はない。また上下動軸1は伸縮するばかりでなく回動も
可能となっている。
フィルタ10によって除去されるので外部に漏れること
はない。また上下動軸1は伸縮するばかりでなく回動も
可能となっている。
本発明のクリーンロボットは上下動軸の周囲を蛇腹で密
封しベース筺体内部を真空吸引する代りに、貫通穴のあ
る軸流ファンの中心軸に上下動軸を通し外部の空気を上
下動軸の周囲から吸引してベース筺体下部に設けた塵埃
除去用フィルタを通過させて排出することにより、塵埃
の付着しやすい蛇腹が不用となるという効果がある。
封しベース筺体内部を真空吸引する代りに、貫通穴のあ
る軸流ファンの中心軸に上下動軸を通し外部の空気を上
下動軸の周囲から吸引してベース筺体下部に設けた塵埃
除去用フィルタを通過させて排出することにより、塵埃
の付着しやすい蛇腹が不用となるという効果がある。
また蛇腹がなくなるための上下動軸を回動軸と兼用化す
ることも可能となるという効果がある。
ることも可能となるという効果がある。
第l図は本発明の一実施開を示す断面図、第2図は従来
の一例を示す側面図である。 1.1b・・・上下動軸、2・・・円筒状部材、3・・
・フィン、4・・・モータ、6・・・軸流ファン、7.
7b・・・アーム、8,8b・・・ベース筺体、9・・
・駆動部、10・・・塵埃除去フィルタ、11・・・蛇
腹、12・・・真空吸引装置。
の一例を示す側面図である。 1.1b・・・上下動軸、2・・・円筒状部材、3・・
・フィン、4・・・モータ、6・・・軸流ファン、7.
7b・・・アーム、8,8b・・・ベース筺体、9・・
・駆動部、10・・・塵埃除去フィルタ、11・・・蛇
腹、12・・・真空吸引装置。
Claims (1)
- 高速で回転する円筒状部材の内側に複数枚のフィンを有
し中心軸に貫通穴のある軸流ファンと、前記貫通穴を貫
通して配置した上下動軸と、前記上下動軸およびその上
に連接したアームの駆動部を内蔵し上部に前記軸流ファ
ンを有し下部に塵埃除去フィルタを設けたベース筺体と
を含むことを特徴とするクリーンロボット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30270589A JPH03161296A (ja) | 1989-11-20 | 1989-11-20 | クリーンロボット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30270589A JPH03161296A (ja) | 1989-11-20 | 1989-11-20 | クリーンロボット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03161296A true JPH03161296A (ja) | 1991-07-11 |
Family
ID=17912195
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30270589A Pending JPH03161296A (ja) | 1989-11-20 | 1989-11-20 | クリーンロボット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03161296A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030090942A (ko) * | 2002-05-24 | 2003-12-01 | 아이램테크(주) | 반도체공정 로봇 직동부의 실링구조 |
| JP2014240099A (ja) * | 2013-06-11 | 2014-12-25 | セイコーエプソン株式会社 | ロボット |
| JP2015085483A (ja) * | 2013-11-01 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | ロボット、制御装置、及びロボットシステム |
| WO2025105083A1 (ja) * | 2023-11-17 | 2025-05-22 | ファスフォードテクノロジ株式会社 | 駆動軸、ヘッドテーブル、半導体製造装置および半導体装置の製造方法 |
-
1989
- 1989-11-20 JP JP30270589A patent/JPH03161296A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030090942A (ko) * | 2002-05-24 | 2003-12-01 | 아이램테크(주) | 반도체공정 로봇 직동부의 실링구조 |
| JP2014240099A (ja) * | 2013-06-11 | 2014-12-25 | セイコーエプソン株式会社 | ロボット |
| JP2015085483A (ja) * | 2013-11-01 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | ロボット、制御装置、及びロボットシステム |
| WO2025105083A1 (ja) * | 2023-11-17 | 2025-05-22 | ファスフォードテクノロジ株式会社 | 駆動軸、ヘッドテーブル、半導体製造装置および半導体装置の製造方法 |
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