JPH0316203Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は超高真空を必要とする電子顕微鏡等に
使用して有効な可動絞り装置の改良に関する。

［従来の技術］ 通常、電子顕微鏡等における可動絞り装置は絞
り板に径の異なる数個の絞り穴を一例に穿ち、そ
の絞り板を移動させることにより絞り穴を用途に
合せて選択している。

［考案が解決しようとする問題点］ しかしながら、斯様に絞り穴を一列に形成した
構造では、絞り板の移動距離にも限界があるた
め、絞り穴を形成する数に制限があり、そのため
鏡体内の真空を破つて所望の絞り穴を有する絞り
板と交換しなければならない。

ところで、近時の電子顕微鏡等においては、試
料汚染を極力少なくするために超高真空化が図ら
れている。斯かる超高真空を得るためには、鏡体
内を数百度以上に加熱しながら排気する、いわゆ
る焼出し処理を行わなければならず、排気に長い
時間を必要とする。そのため、鏡筒内を一度超高
真空に排気した後は、できるだけ鏡体内をリーク
することを避けなければならない。

そこで、本考案は斯様な点に鑑みて、真空を破
ることなく、且つ簡単な操作にて多数の絞り穴と
交換することのできる可動絞り装置を提供するこ
とを目的とするものである。

［問題点を解決するための手段］ 斯かる目的を達成するために、本考案は鏡体に
固定された中空筒状の絞り本体と、該本体内に配
置され、光軸と直角な面内である点を中心に回動
可能に支持された保持筒と、該保持筒内に移動可
能に挿入された絞り板を固定した移動軸と、該移
動軸を光軸と直交する軸に沿つて移動させるため
の手段と、前記保持筒を回動させて移動軸をその
回動中心を支点に傾けるための手段とを備え、前
記絞り板上の前記保持筒の回動中心から放射状に
伸びた少なくとも２つの直線上に夫々複数の絞り
穴を形成したことを特徴とする。

［実施例］ 第１図は本考案の一実施例を示す平面断面図で
あり、１は電子顕微鏡等の鏡体である。２はこの
鏡体に貫通、固定された中空筒状の絞り本体で、
その軸心は光軸Ｚと直交するＸ軸と一致するよう
に配置されている。３はこの本体２内に同心状に
置かれた筒体で、この筒体はキー４及びキー溝５
を介して回転が阻止された状態で移動可能に挿入
されており、更に、その外周部にはネジ部６が形
成されている。７はこのネジ部６に螺合されたナ
ツトで、その側面が前記本体２に当接されて移動
がされているため、このナツトを回動することに
より筒体３をＸ軸に沿つて移動させることができ
る。

８は前記筒体３の空間部に同心状に挿入される
と共に球体９を介して回動可能に取付けられた保
持筒であり、その内部にはキー１０及びキー溝１
１を介して回転が阻止された支持軸１２が移動可
能に挿入されている。この支持軸１２の一端（鏡
体１内）には絞り板１３がビス１４により固定さ
れており、又、他端には雌ネジ１５が形成されて
いる。この雌ネジ１５に前記保持筒８に当接され
て移動が阻止された雄ネジ１６が螺合され、この
雄ネジを回転することにより支持軸１２をＸ軸に
沿つて微動させることができる。

前記絞り板１４には球体９の中心、即ち保持筒
８の回動中心Ｏから放射状に伸びた２本の直線Ｌ
１及びＬ２に沿つて穴径の異なつた３個の絞り穴
１７ａ，１７ｂ，１７ｃ及び１８ａ，１８ｂ，１
８ｃが夫々形成されている。

１９は前記保持筒８（移動軸１２）を球体９を
中心にして回動させることにより前記絞り板１３
を光軸Ｚを中心にしてＸ軸と直交するＹ軸方向に
移動させるための押しネジである。２０は前記保
持筒８を挟んで押しネジ１９と反対側に置かれた
スプリングで、ピン２１を介して常に保持筒８を
押しネジ１９に接触させるためのものである。２
２はこれらスプリング２０及びピン２１を保持す
るためのガイド体である。

２３は本体２と筒体３、筒体３と保持筒８及び
保持筒８と支持軸１２との夫々の間の真空漏れを
防止するための金属ベローズである。

しかして、今、押しネジ１９を操作して保持筒
８を半時計方向に回動させることにより支持軸１
２（絞り板１３）をＹ方向に移動せしめて、例え
ば直線Ｌ１を光軸Ｚに一致、つまりＸ軸に一致さ
せた状態で、ナツト７を回すことにより筒体３
（球体９）を左右に移動させても、この直線Ｌ１
はＸ軸からずれる、つまり直線Ｌ１が光軸Ｚから
外れることはない。これは直線Ｌ１が球体９の中
心Ｏから放射状に伸びたものであると共に球体が
Ｘ軸に沿つて平行移動するためである。従つて、
第２図に示すように一度、直線Ｌ１を光軸Ｚに合
致させれば、ナツト７の操作だけで直線Ｌ１上に
設けられた任意の絞り穴１７ａ乃至１７ｃを光軸
上に位置させることができる。又、同様に他方の
直線Ｌ２を光軸Ｚに一致させれば、ナツト７を操
作するだけで、直線Ｌ２上の任意の絞り穴１８ａ
乃至１８ｃを光軸上に位置させることができる。

尚、実際に、直線Ｌ１，Ｌ２を光軸Ｚ上に合致
させる操作としては、押しネジ１９及びナツト７
（雄ネジ１６）を操作して蛍光板に所望する直線
上の任意の絞り穴の像を投影し、その絞り穴の像
の中心が蛍光板の中心（光軸Ｚ）に位置するまで
押しネジ１９、ナツト７を操作すれば良いわけで
ある。

又、前述の説明では各列の絞り穴の交換に際し
てはナツト７を操作して球体９をＸ軸に沿つて移
動させた場合について述べたが、便宜的には球体
を移動させないで雄ネジ１６により支持軸１２を
移動させることにより絞り穴の交換を行つてもさ
ほど観察に悪影響を及ぼすことはない。つまり、
支持軸１２にて絞り穴を交換した場合、直線Ｌ１
とＬ２との交点が球体の中心Ｏからずれるため、
支持軸の移動に伴なつてこの直線Ｌ１あるいはＬ
２がＸ軸からずれて絞り穴の中心が光軸Ｚから外
れるわけであるが、このとき、各列の絞り穴の移
動距離（例えば絞り穴１７ａと１７ｃとの距離）
に対して光軸Ｚから球体９に中心Ｏまでの距離が
非常に長いため、前述の各直線Ｌ１，Ｌ２の光軸
からのずれはほとんど無視できる程度であり、実
際の観察に支障を来たすことがないことを実験に
より確認した。従つて、球体９を移動させる機構
を省略してしまつても、問題はない。

更に前述では各列の絞り穴の切換えは押しネジ
１９を利用したが、これに限定されることなく予
め直線Ｌ１とＬ２とのなす角度に対応する距離を
求め、その距離に相当する２つの位置を規制する
ことのできる位置切換用摘子により保持筒８を交
互に回動させるようになせば、２列の絞り穴の切
換えを短時間で行うことができる。更に、又、絞
り板には２列に絞り穴を形成したが、これに限定
されることなく３列以上に絞り穴を形成するよう
になしても良い。

［考案の効果］ 以上のように構成すれば、真空を破ることなく
鏡体内に多数の絞り穴を導入することができ、
又、絞り板に設けた各列の絞り穴の交換操作をも
短時間に且つ容易に行うことができる可動絞り装
置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は一実施例を示す平面断面図、第２図は
動作を説明するための図である。 １：鏡体、２：絞り本体、３：筒体、４，１
０：キー、５，１１：キー溝、６：ネジ部、７：
ナツト、８：保持筒、９：球体、１２：支持軸、
１３：絞り板、１５：雌ネジ、１６：雄ネジ、１
７ａ，１７ｂ，１７ｃ：絞り穴、１８ａ，１８
ｂ，１８ｃ：絞り穴、１９：押しネジ、２０：ス
プリング、２３：金属ベローズ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 鏡体に固定された中空筒状の絞り本体と、該本
   体内に配置され、光軸と直角な面内である点を中
   心に回動可能に支持された保持筒と、該保持筒内
   に移動可能に挿入された絞り板を固定した移動軸
   と、該移動軸を光軸と直交する軸に沿つて移動さ
   せるための手段と、前記保持筒を回動させて移動
   軸をその回動中心を支点に傾けるための手段とを
   備え、前記絞り板上の前記保持筒の回動中心から
   放射状に伸びた少なくとも２つの直線上に夫々複
   数の絞り穴を形成したことを特徴とする電子顕微
   鏡等における可動絞り装置。