JPH0316287Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、半導体製造プロセスに於いて、キヤ
リアに搭載されたウエハの枚数をカウントする装
置に関するものである。

従来の技術 半導体製造プロセスでは、ウエハに対してはク
リーンルーム内に於いて各種の処理が施される
が、エツチング処理、水洗等の工程に於いてはウ
エハは、第３図に示すようなキヤリアＣ中に整列
されて搭載されて処理されている。このようなキ
ヤリアＣには、溝９が所定間隔で形成されてお
り、各溝９のそれぞれに１枚ずつ、通常25枚程度
のウエハＷ（第３図では８枚用のキヤリアを示し
ている）が所定間隔で整列されて処理が行われる
のであるが、ウエハ自体が極めて薄い（通浄、約
250〜400μm）ものであるため、液処理や遠心乾
燥処理中にウエハが割れてしまうことがある。こ
のような場合、破損クズが他のウエハにウエハに
付着したり、そのまま遠心乾燥を行うとバランス
がくずれてしまうので、ウエハの枚数をチエツク
する必要がある。

考案が解決しようとする問題点 従来、このウエハ枚数カウントの作業は人間が
行つていたのであるが、クリーンルーム内に人間
が入るのは好ましくないので、キヤリア中のウエ
ハ枚数を自動的にカウントする装置の開発が要望
されていた。このような自動カウント装置として
は、接触レバーを接触させて検出する機械的検出
装置、或いは、光センサを用いて検出する光学的
検出装置を用いることが考えられる。

しかしながら、機械的検出装置を用いる場合に
は、接触レバーをウエハに接触しなければならな
いので、ウエハを汚損したり、傷を付けてしまう
という問題がある。また、光学的検出装置による
場合は、処理液等の蒸気による光センサの曇り等
によつて光センサが誤動作してしまうという問題
がある。

本考案は、このような現状に鑑みてなされたも
のであり、その目的とするところは、ウエハを汚
したり、傷めたりすることがなく、処理液蒸気等
にも影響されずに、キヤリア中のウエハの枚数を
カウントすることのできる装置を提供することで
ある。

問題点を解決するための手段 上記目的は、キヤリア中に整列されて搭載され
たウエハの枚数をカウントする装置であつて、所
定圧力のガスを噴出しながらウエハの整列方向に
走査させられるノズルと、該ノズル内のガス圧力
を検出する検出部を備え、検出されたガス圧力の
変化に基づいてキヤリア中のウエハの枚数をカウ
ントするものであることを特徴とするキヤリア中
のウエハ枚数カウント装置によつて達成される。

作 用 本考案のキヤリア中のウエハ枚数カウント装置
に於いては、ノズルが所定圧力のガスを噴出しな
がら、ウエハの整列方向にウエハ上を走査させら
れると、該ノズル内のガス圧力がウエハのない所
では低く、ウエハのある所では高くなるので、上
記の走査に伴つて該ガス圧力値は、各パルスがそ
れぞれのウエハに対応したパルス列を呈するよう
になる。従つて、パルスの数をカウントすること
によつてキヤリア中のウエハの枚数がカウントさ
れることになる。

実施例 以下に、本考案の実施例を添付図面と共に説明
する。

第２図は、本考案に係るウエハ枚数カウント装
置の一実施例の斜視図である。本実施例装置は、
ウエハをエツチング液により処理し、その後ウエ
ハを水洗する工程に使用されるものである。図に
於いて、１は処理槽、２は水洗槽、３は搬送装置
である。搬送装置３は、昇降アーム３１に設けら
れた４個の吊り金具３２の下端にキヤリアＣを保
持し、壁４の中空部４２に設けられた駆動装置３
３によつて、壁４に櫛形状に形成された溝穴４１
に沿つて上下左右に移動させられ、キヤリアＣを
所定時間処理槽１内に入れてウエハＷをエツチン
グ処理し、続いて同じく所定時間だけキヤリアＣ
を水洗槽２，２内に順次入れてウエハＷを水洗さ
せるようにする。これら搬送装置３の一連の動作
の制御は制御装置５によつてなされる。

本実施例のカウント装置６のうちガス噴出ノズ
ル６１及びガス圧力検出部６２は、搬送装置３に
取り付けられており、例えば、乾燥N₂ガス等の
ガスを所定圧力Poで供給するガス供給源Ｇ側の
弁６３を開くと、ガスはガス圧力検出部６２を介
してガス噴出ノズル６１に送られるようにされて
いる。該ノズル６１は、その先端がキヤリアＣ中
に整列されたウエハＷより一定距離を保ちながら
ウエハＷ上を通過するように、搬送装置３に取り
付けられたエアシリンダ６４によつてウエハＷの
整列方向に移動させられる。

本実施例に於いては、ガス圧力検出部６２は、
第１図ａに示すように、第一のガス圧力検出装置
Ａ及び第二のガス圧力検出装置Ｂを有しており、
両検出装置Ａ，Ｂには、ノズル６１内のガス圧力
に比例して撓み量が変化する薄膜Ａ１，Ｂ１と、
薄膜Ａ１，Ｂ１の撓み量がある設定値以上になる
とONし、それ以下ではOFFとなるマイクロスイ
ツチＡ２，Ｂ２がそれぞれ設けられている。ここ
で、第一のガス圧力検出装置Ａのマイクロスイツ
チＡ２の作動ガス圧力値PAと、第二のガス圧力
検出装置ＢのマイクロスイツチＢ２の作動ガス圧
力値PBとの関係は、PA＞PBとなるように設定
されている。

第１図ａに示すように、マイクロスイツチＡ
２，Ｂ２の一方の電極は、図外の直流定電圧源に
接続されており、他方の電極は、AND回路６５
を介してカウンタ６７に接続されている。また、
マイクロスイツチＡ２の他方の電極はカウンタ６
６にも接続されている。

例えば、処理工程が終了し、搬送装置３が作動
して、キヤリアＣが上昇すると、エアシリンダ６
４が作動して、キヤリアＣ中に整列されて搭載さ
れたウエハＷ上を一定の間隔を保つて、ガスを噴
出しているノズル６１が図中の矢印の方向に走査
される。この場合、キヤリアＣ中のウエハのうち
３番目に搭載されていたウエハは破損によりその
全部がキヤリアＣより脱落しており、５番目のウ
エハＷ５は破損していて、長さｂだけ部分的に欠
落しているものとする。

ここで、ノズル６１の開口端がウエハＷがない
部分を指向している時には、前述の如く、噴出し
ているガスに対する障害物はないので、ノズル６
１内のガス圧力は供給圧力Poと略同じであるが、
走査の途中に於いて、ノズル６１の開口端が健全
なウエハ、例えばウエハＷ１を指向している時に
は、該ウエハはガスの噴出に対する障害物となる
ので、ノズル６１内のガス圧力はPaに上昇する。
一方、ノズル開口端が、部分的に欠落している５
番目のウエハＷ５を指向するようになつた時は、
該ウエハもガス噴出に対する障害となるのでノズ
ル６１内のガス圧力は上昇するが、障害の度合い
は健全なウエハのそれより小さいので、この時の
ノズル内のガス圧力はPb（Pb＜Pa）となる。こ
のノズル内のガス圧力とノズル６１の走査距離と
の関係を図示すると、第１図ｂに示すようなパル
ス列となる。

マイクロスイツチＡ２の作動ガス圧力値PAを、
ガス圧力Paより少し低い値に設定し、マイクロ
スイツチＢ２の作動ガス圧力値PBを、ガス圧力
Pbより少し低い値に設定しておけば、ノズル６
１が１番目及び２番目のウエハＷ１，Ｗ２の上に
ある時にはノズル内のガス圧力はPaとなるので、
マイクロスイツチＡ２がONされ、カウンタ６６
に信号が送られ、カウンタ６６はカウントアツプ
される。ノズル６１が３番目のウエハがあつた位
置を指向するようになつても、前述のようにノズ
ル６１内のガス圧力は上昇しないのでマイクロス
イツチＡ２，Ｂ２ともOFFのままであり、両カ
ウンタ６６，６７は作動しない。４番目のウエハ
Ｗ４によつて、カウンタ６６がカウントアツプさ
れる。部分的に欠落している５番目のウエハＷ５
の位置では、前述の如く、ノズル内のガス圧力値
はPbまでしか上昇しないので、マイクロスイツ
チＢ２のみがONし、マイクロスイツチＡ２は
OFFのままである。従つて、カウンタ６７のみ
がカウントアツプされる。６番目のウエハＷ６に
於いては、カウンタ６６がカウントアツプされ
る。以下、同様にして、ノズル６１がキヤリアＣ
全体を走査し終われば、カウンタ６６のカウント
値が健全なウエハの枚数であり、カウンタ６７の
カウント値は破損が生じて欠落しているウエハの
枚数となる。

キヤリアに搭載されたウエハの枚数より、カウ
ントされた健全なウエハの枚数が少なければ、破
損したウエハがあることになるので、その破損ク
ズによつて他のウエハが損害を破るのを防止する
ため、洗浄装置の運転を停止する等の適宜の処置
が採られる。更に、本実施例のカウント装置で
は、破損したウエハの枚数をもカウントすること
ができるので、より適切な処置を採るようにする
ことができる。

尚、ウエハには、第５図に示すように、一方の
側に位置決め用のオリエンテーシヨンフラツト
（以下、「OF」という。）７が形成されているのが
通常である。このようなウエハＷをキヤリアＣに
ランダムに搭載するならば、OF７がノズル６１
に向いているウエハとそうでないウエハとが混在
するようになり、そのままの状態で上記のカウン
トを行うならば、OF７がノズルに向いているウ
エハを、破損したウエハとして誤つてカウントし
てしまう恐れがある。これを防止するためには、
例えば、ウエハＷをキヤリアＣに搭載する際に、
第６図ａに示すように、キヤリアＣの下部に配さ
れたローラ８をウエハＷの端面に接触させながら
回転させると、OF７の位置でローラ８はウエハ
Ｗと接触しなくなりウエハＷは回転しなくなるの
で（第６図ｂ参照）、OF７が上部にある状態のま
までウエハＷがキヤリアに搭載されるのを防止す
ることができる。

考案の効果 以上の説明から明らかなように、本考案の装置
は、キヤリアに搭載されたウエハの枚数をカウン
トする際に、ウエハと機械的に接触することがな
いので、ウエハを於損したり、損傷することがな
く、光学的手段は用いていないので、処理液等の
蒸気等に影響されることがなく正確なカウントを
行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図ａ，ｂは本考案の一実施例の説明図、第
２図はこの実施例の使用例の説明図、第３図はキ
ヤリアの一例の斜視図、第４図はこのキヤリアに
ウエハを搭載した状態の斜視図、第５図はウエハ
の平面図、第６図ａ，ｂはウエハの配向の仕方の
説明図である。 Ａ……第一のガス圧力検出装置、Ｂ……第二の
ガス圧力検出装置、Ｃ……キヤリア、Ｇ……ガス
供給源、Ｗ，Ｗ１〜Ｗ８……ウエハ、６……ガス
圧力検出部、６１……ノズル。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. キヤリア中に整列されて搭載されたウエハの枚
   数をカウントする装置であつて、所定圧力のガス
   を噴出しながらウエハの整列方向に走査させられ
   るノズルと、該ノズル内のガス圧力を検出する検
   出部を備え、検出されたガス圧力の変化に基づい
   てキヤリア中のウエハの枚数をカウントするもの
   であることを特徴とするキヤリア中のウエハ枚数
   カウント装置。