JPH0316323U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0316323U JPH0316323U JP7490489U JP7490489U JPH0316323U JP H0316323 U JPH0316323 U JP H0316323U JP 7490489 U JP7490489 U JP 7490489U JP 7490489 U JP7490489 U JP 7490489U JP H0316323 U JPH0316323 U JP H0316323U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reticle
- retake
- conveying device
- case
- storage stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Description
第１図は本案の一実施例の斜視図、第２図はレ
テイクル受渡し点での平面図、第３図はレテイク
ル異常セツト時でのレテイクル受渡し点の正面図
である。 １……レテイクル搬送装置Ａ、２……レテイク
ル、３……レテイクルケース、３ａ……下ケース
、３ｂ……上ケース、４……収納段、５……ケー
スオープナ、６……レテイクル搬送装置Ｂ、７…
…レテイクルチヤツク、８……センサ、９……レ
テイクルガイド。
テイクル受渡し点での平面図、第３図はレテイク
ル異常セツト時でのレテイクル受渡し点の正面図
である。 １……レテイクル搬送装置Ａ、２……レテイク
ル、３……レテイクルケース、３ａ……下ケース
、３ｂ……上ケース、４……収納段、５……ケー
スオープナ、６……レテイクル搬送装置Ｂ、７…
…レテイクルチヤツク、８……センサ、９……レ
テイクルガイド。
Claims (1)
- レテイクルを収納するレテイクルケースを複数
個所有する収納段を持ち、任意のレテイクルクケ
ースを収納段より取出し、レテイクルケースを開
けレテイクルを受渡すレテイクル搬送装置Ａと、
レテイクルを受取り、任意の位置に搬送するレテ
イクル搬送装置Ｂから成るレテイクル自動搬送装
置において、前記レテイクル搬送装置Ａのレテイ
クル受渡し点でのレテイクルの状態を監視するセ
ンサを設けたことを特徴とするレテイクル自動搬
送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7490489U JPH0316323U (ja) | 1989-06-28 | 1989-06-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7490489U JPH0316323U (ja) | 1989-06-28 | 1989-06-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0316323U true JPH0316323U (ja) | 1991-02-19 |
Family
ID=31615011
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7490489U Pending JPH0316323U (ja) | 1989-06-28 | 1989-06-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0316323U (ja) |
-
1989
- 1989-06-28 JP JP7490489U patent/JPH0316323U/ja active Pending