JPH0316340U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0316340U JPH0316340U JP7718589U JP7718589U JPH0316340U JP H0316340 U JPH0316340 U JP H0316340U JP 7718589 U JP7718589 U JP 7718589U JP 7718589 U JP7718589 U JP 7718589U JP H0316340 U JPH0316340 U JP H0316340U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaft
- fixed
- rotating arm
- cassette
- planetary
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Transmission Devices (AREA)
Description
第１図は本考案に係るウエハカセツト移載装置
の一実施例を示す縦断正面図、第２図はその要部
の拡大側面図、第３図はその平面図、第４図は従
来例を示す概要図である。 １……回転アーム、３……カセツト受台、４…
…ウエハカセツト、６……筒軸、８……遊星軸、
１０……カセツトチヤツク、１６……固定軸、２
０……平行リンク機構、２１……主動輪、２２…
…従動輪、２３……無端ベルト。
の一実施例を示す縦断正面図、第２図はその要部
の拡大側面図、第３図はその平面図、第４図は従
来例を示す概要図である。 １……回転アーム、３……カセツト受台、４…
…ウエハカセツト、６……筒軸、８……遊星軸、
１０……カセツトチヤツク、１６……固定軸、２
０……平行リンク機構、２１……主動輪、２２…
…従動輪、２３……無端ベルト。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 その中央部を筒軸の上端に固定し、筒軸を介し
て水平旋回可能、かつ上下動可能に支持した回転
アームと、回転アームの両端部にそれぞれ遊星軸
を回転可能に垂設して各遊星軸に付設した一対の
カセツトチヤツクと、 筒軸内に挿通して筒軸と一体で上下動可能に支
持され、その上端を回転アーム上に延出した固定
軸と、 固定軸の上端部に手動輪を上下２段に固定する
とともに、各遊星軸にそれぞれ主動輪と同径の従
動輪を固定し、回転アームの回転に伴い従動輪が
回転アームと逆回転する機構とを具備して成り、 回転軸対象に配置された一組のカセツト受台上
に載置したウエハカセツトを、平行姿勢状態で移
載するように構成したことを特徴とするウエハカ
セツトの移載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7718589U JPH0731544Y2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | ウエハカセツトの移載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7718589U JPH0731544Y2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | ウエハカセツトの移載装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0316340U true JPH0316340U (ja) | 1991-02-19 |
| JPH0731544Y2 JPH0731544Y2 (ja) | 1995-07-19 |
Family
ID=31619335
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7718589U Expired - Lifetime JPH0731544Y2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | ウエハカセツトの移載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0731544Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003015156A1 (en) * | 2001-08-02 | 2003-02-20 | Takehide Hayashi | Foup mounting robot for semiconductor efem |
| CN115036248A (zh) * | 2022-08-12 | 2022-09-09 | 安徽大华半导体科技有限公司 | 一种防过载芯片推出装置 |
-
1989
- 1989-06-29 JP JP7718589U patent/JPH0731544Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003015156A1 (en) * | 2001-08-02 | 2003-02-20 | Takehide Hayashi | Foup mounting robot for semiconductor efem |
| CN115036248A (zh) * | 2022-08-12 | 2022-09-09 | 安徽大华半导体科技有限公司 | 一种防过载芯片推出装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0731544Y2 (ja) | 1995-07-19 |