JPH0316408A - 圧電音叉振動子の共振周波数調整方法 - Google Patents
圧電音叉振動子の共振周波数調整方法Info
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- JPH0316408A JPH0316408A JP15153889A JP15153889A JPH0316408A JP H0316408 A JPH0316408 A JP H0316408A JP 15153889 A JP15153889 A JP 15153889A JP 15153889 A JP15153889 A JP 15153889A JP H0316408 A JPH0316408 A JP H0316408A
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- tuning fork
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- slit
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- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 11
- 101700004678 SLIT3 Proteins 0.000 abstract description 6
- 102100027339 Slit homolog 3 protein Human genes 0.000 abstract description 6
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 abstract description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 abstract description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 abstract description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は圧電音叉振動子の共振周波数の調整方法に関す
る． 〔従来技術〕 一般に、圧電音叉振動子では圧電基板にスリットを少な
くともｌカ所切り込んで、このスリットの両側に音叉状
の振動部を形戒している．通常、この圧電音叉振動子の
共振周波数は、上記スリットの切り込み深さあるいは上
記圧電基板の厚さや上記振動部の幅等により設定される
．〔発明が解決しようとする課題〕 従来の圧電音叉振動子の共振周波数は上述したように上
記＠動部の＠等により設定されるので、その調整または
変更が容易でなかった．従って、本発明は簡単に圧電音
叉振動子の共振周波数を調整または変更することのでき
る方法を提供することを目的としてなされたものである
．〔課題を解決するための手段〕 上記目的を連戒するために本発明は圧電基板にスリット
を少なくとも１カ所切り込んで、上記スリットの両側に
音叉状の振動部を形成してなる圧電音叉振動子の共振周
波数調整方法において、上記両振動部に上記スリットを
中心として対称に質量を付着させることを特徴とする圧
電音叉振動子の共振周波数調整方法としてｔｉ威されて
いる．（実施例〕 以下、添付図面を参照して、本発明を具体化し？実施例
につき説明し、本発明の理解に供する．尚、以下の実施
例は、本発明を具体化した一例であって、本発明の技術
的範囲を限定する性格のものではない． 第１回．第２図．第３図はそれぞれ本発明の一実施例に
係る圧電音叉振動子の共振周波数調整方法により共振周
波数が調整された圧電音叉振動子の一例を示す斜視図、
第４図は第１図に示す圧電音叉振動子の調整前後の共振
周波数の変化を示す特性グラフ、第５図は第３図に示す
圧電音叉振動子の調整前後の共振周波数の変化を示す特
性グラフである． 第ｌ図において、この圧電音叉振動子１では、圧電基板
２にスリット３を切り込んでこのスリット３の両側に音
叉状の振動部４ａ．４Ｉ，を形成している．更にこの振
動部４■．４＋，をその左右の翼部から分離させるため
にスリット５．．５，が設けられている． 上記圧電音叉振動子ｌの共振周波数は、このスリット３
の切り込み深さあるいはこの圧電基板２？厚さや上記振
動部４■，４ｂの幅等により従来と同様に設定されてい
る． 第４図は、上記圧電音叉振動子１の共振周波数の特性を
グラフで示しており、その共振周波数は破線で示される
曲線のｆ０である． ここで、上記振動部４ｉ，４ｌ，に第１図に示すように
質１６ｍ，６ｂを上記スリノト３を中心として対称に付
着させる． 片方に付着させると波形が分割し、周波数が双方で変わ
ることとなるからである。
る． 〔従来技術〕 一般に、圧電音叉振動子では圧電基板にスリットを少な
くともｌカ所切り込んで、このスリットの両側に音叉状
の振動部を形戒している．通常、この圧電音叉振動子の
共振周波数は、上記スリットの切り込み深さあるいは上
記圧電基板の厚さや上記振動部の幅等により設定される
．〔発明が解決しようとする課題〕 従来の圧電音叉振動子の共振周波数は上述したように上
記＠動部の＠等により設定されるので、その調整または
変更が容易でなかった．従って、本発明は簡単に圧電音
叉振動子の共振周波数を調整または変更することのでき
る方法を提供することを目的としてなされたものである
．〔課題を解決するための手段〕 上記目的を連戒するために本発明は圧電基板にスリット
を少なくとも１カ所切り込んで、上記スリットの両側に
音叉状の振動部を形成してなる圧電音叉振動子の共振周
波数調整方法において、上記両振動部に上記スリットを
中心として対称に質量を付着させることを特徴とする圧
電音叉振動子の共振周波数調整方法としてｔｉ威されて
いる．（実施例〕 以下、添付図面を参照して、本発明を具体化し？実施例
につき説明し、本発明の理解に供する．尚、以下の実施
例は、本発明を具体化した一例であって、本発明の技術
的範囲を限定する性格のものではない． 第１回．第２図．第３図はそれぞれ本発明の一実施例に
係る圧電音叉振動子の共振周波数調整方法により共振周
波数が調整された圧電音叉振動子の一例を示す斜視図、
第４図は第１図に示す圧電音叉振動子の調整前後の共振
周波数の変化を示す特性グラフ、第５図は第３図に示す
圧電音叉振動子の調整前後の共振周波数の変化を示す特
性グラフである． 第ｌ図において、この圧電音叉振動子１では、圧電基板
２にスリット３を切り込んでこのスリット３の両側に音
叉状の振動部４ａ．４Ｉ，を形成している．更にこの振
動部４■．４＋，をその左右の翼部から分離させるため
にスリット５．．５，が設けられている． 上記圧電音叉振動子ｌの共振周波数は、このスリット３
の切り込み深さあるいはこの圧電基板２？厚さや上記振
動部４■，４ｂの幅等により従来と同様に設定されてい
る． 第４図は、上記圧電音叉振動子１の共振周波数の特性を
グラフで示しており、その共振周波数は破線で示される
曲線のｆ０である． ここで、上記振動部４ｉ，４ｌ，に第１図に示すように
質１６ｍ，６ｂを上記スリノト３を中心として対称に付
着させる． 片方に付着させると波形が分割し、周波数が双方で変わ
ることとなるからである。
上記第４図の実線で示す共振周波数の特性は、上記質量
６■，６Ｉ，として熱硬化性エポキノ系樹脂を２０μｍ
程度の厚さで塗布した場合の一例を示しており、この図
のようにこの共振周波数ｒは上記『。よりも約４ｋＨｚ
低下している．このように質１ｔ６ｍ，６ｂを付加する
ことにより上記スリット３の切り込み深さや上記圧電基
板２の厚さ等を変更することなく簡単にこの圧電音叉振
動子１の共振周波数を閣整（または変更）することがで
きる． また、第２図．第３図は圧電音叉振動子ｌの質量付着の
他の例を示しており、同一積戒要素には同一番号を付し
て説明を省略する． 第５図は、上記第３図の場合について質｛］６，６１，
の付着前後の変化を示しており、この図に示すように共
振周波数をｆ２からｆ３へ約３ｋＨｋ低下させることが
できる． なお、上記第２図，第３図の例では、圧電基板２の片面
側のみに質量６１．６ｋが付着されているが、裏面側に
付着させてもよく、この場合共振周波数の変化を更に大
きくすることができる．また、前述した質量６１．６＋
，としては、熱硬化性エボキシ系樹脂を例に挙げたが、
あるいは金属等でもよく、必要に応じて任意の素材を遭
択して用いてもよい． 更に、その付着方法も塗布のみでなく、印刷やスパンタ
等の他の技術を用いてもよい．〔発明の効果〕 本発明により圧電基板にスリノトを少なくとも１カ所切
り込んで、上記スリソトの両側に音叉状の振勤部を形成
してなる圧電音叉｛辰動子の共振周波数関整方注におい
て、上記両１辰ｆｉｌ］部に上記スリソトを中心として
対称に質量を付着させることを特徴とする圧電音叉振動
子の共振周波数ｔｍ整方法が提供される． 従って、簡単に圧電音叉振動子の共振周ｔｉ！ｉ数を調
整または変更することができる．
６■，６Ｉ，として熱硬化性エポキノ系樹脂を２０μｍ
程度の厚さで塗布した場合の一例を示しており、この図
のようにこの共振周波数ｒは上記『。よりも約４ｋＨｚ
低下している．このように質１ｔ６ｍ，６ｂを付加する
ことにより上記スリット３の切り込み深さや上記圧電基
板２の厚さ等を変更することなく簡単にこの圧電音叉振
動子１の共振周波数を閣整（または変更）することがで
きる． また、第２図．第３図は圧電音叉振動子ｌの質量付着の
他の例を示しており、同一積戒要素には同一番号を付し
て説明を省略する． 第５図は、上記第３図の場合について質｛］６，６１，
の付着前後の変化を示しており、この図に示すように共
振周波数をｆ２からｆ３へ約３ｋＨｋ低下させることが
できる． なお、上記第２図，第３図の例では、圧電基板２の片面
側のみに質量６１．６ｋが付着されているが、裏面側に
付着させてもよく、この場合共振周波数の変化を更に大
きくすることができる．また、前述した質量６１．６＋
，としては、熱硬化性エボキシ系樹脂を例に挙げたが、
あるいは金属等でもよく、必要に応じて任意の素材を遭
択して用いてもよい． 更に、その付着方法も塗布のみでなく、印刷やスパンタ
等の他の技術を用いてもよい．〔発明の効果〕 本発明により圧電基板にスリノトを少なくとも１カ所切
り込んで、上記スリソトの両側に音叉状の振勤部を形成
してなる圧電音叉｛辰動子の共振周波数関整方注におい
て、上記両１辰ｆｉｌ］部に上記スリソトを中心として
対称に質量を付着させることを特徴とする圧電音叉振動
子の共振周波数ｔｍ整方法が提供される． 従って、簡単に圧電音叉振動子の共振周ｔｉ！ｉ数を調
整または変更することができる．
第ｌ図，第２図，第３図はそれぞれ本発明の一実施例に
係る圧電音叉１辰動子の共振周波数調整方法により共振
周波数が調整された圧電音叉振動子の一例を示す斜視図
、第４図は第１図に示す圧電音叉振動子の調整前後の共
振周波数の変化を示す特性グラフ、第５図は第３図に示
す圧電音叉憑勤子の調整前後の共振周波数の変化を示す
特性グラフである． 〔符号の説明〕 ｌ・・・圧電音叉振動子 ２・・・圧電基板 ３・・・スリット ４ａ 、 ４ｔ，・・・振動部 ５， ５ｌ，・・・スリット ？■ ６ｌ，・・・質量
係る圧電音叉１辰動子の共振周波数調整方法により共振
周波数が調整された圧電音叉振動子の一例を示す斜視図
、第４図は第１図に示す圧電音叉振動子の調整前後の共
振周波数の変化を示す特性グラフ、第５図は第３図に示
す圧電音叉憑勤子の調整前後の共振周波数の変化を示す
特性グラフである． 〔符号の説明〕 ｌ・・・圧電音叉振動子 ２・・・圧電基板 ３・・・スリット ４ａ 、 ４ｔ，・・・振動部 ５， ５ｌ，・・・スリット ？■ ６ｌ，・・・質量
Claims (1)
- １．圧電基板にスリットを少なくとも１ヵ所切り込んで
、上記スリットの両側に音叉状の振動部を形成してなる
圧電音叉振動子の共振周波数調整方法において、 上記両振動部に上記スリットを中心として対称に質量を
付着させることを特徴とする圧電音叉振動子の共振周波
数調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15153889A JPH0316408A (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | 圧電音叉振動子の共振周波数調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15153889A JPH0316408A (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | 圧電音叉振動子の共振周波数調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0316408A true JPH0316408A (ja) | 1991-01-24 |
Family
ID=15520702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15153889A Pending JPH0316408A (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | 圧電音叉振動子の共振周波数調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0316408A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58182311A (ja) * | 1982-04-20 | 1983-10-25 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 音叉型振動子 |
| JPS6232641A (ja) * | 1985-08-05 | 1987-02-12 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 耐放射線集積回路 |
| JPS631206A (ja) * | 1986-06-20 | 1988-01-06 | Matsushima Kogyo Co Ltd | 圧電振動片 |
-
1989
- 1989-06-14 JP JP15153889A patent/JPH0316408A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58182311A (ja) * | 1982-04-20 | 1983-10-25 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 音叉型振動子 |
| JPS6232641A (ja) * | 1985-08-05 | 1987-02-12 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 耐放射線集積回路 |
| JPS631206A (ja) * | 1986-06-20 | 1988-01-06 | Matsushima Kogyo Co Ltd | 圧電振動片 |
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