JPH0316416A - パルス発生回路 - Google Patents
パルス発生回路Info
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- JPH0316416A JPH0316416A JP15193789A JP15193789A JPH0316416A JP H0316416 A JPH0316416 A JP H0316416A JP 15193789 A JP15193789 A JP 15193789A JP 15193789 A JP15193789 A JP 15193789A JP H0316416 A JPH0316416 A JP H0316416A
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- Japan
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- voltage
- state switching
- circuit
- power supply
- switching elements
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
- Generation Of Surge Voltage And Current (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は例えばパルスレーザー等に使用されるパルス
発生回路に関するものである。
発生回路に関するものである。
第６図は、例えばコツパ バッポア レーザスカム オ
ブ′ エージイ（ＣＯＰＰＥＲ ＶＡＰＯＲ Ｌ
ＡＳＥＲＳ ＣＯＭＥ ＯＦ ＡＧＥ）レ
ーザ フォーカス ジュライ １９８２ （ＬＡＳＥ
Ｒ ＦＯＣＵＳ．ＪＵＬＹ，１９８２）に記載された
従来の銅蒸気レーザ用のパルス発生回路を示す図であり
、第６図において，１は高圧電源、２は充電用リアクト
ル、３は充電用ダイオード、４は充放電を行う主コンデ
ンサ，５は充電用抵抗、６はサイラトロンスイッチ、７
はガス放電によって内部に収容した金属（例えば銅）を
加熱、気化させてレーザ出力を得る放電管（レーザＴＵ
ＢＥ）である． 次に動作について説明する．高圧電源１から発生される
高圧電圧（数ＫＶ〜数十ＫＶ）は、リアクトル２、ダイ
オード３、充電用抵抗５を介してコンデンサ４に充電さ
れる。
ブ′ エージイ（ＣＯＰＰＥＲ ＶＡＰＯＲ Ｌ
ＡＳＥＲＳ ＣＯＭＥ ＯＦ ＡＧＥ）レ
ーザ フォーカス ジュライ １９８２ （ＬＡＳＥ
Ｒ ＦＯＣＵＳ．ＪＵＬＹ，１９８２）に記載された
従来の銅蒸気レーザ用のパルス発生回路を示す図であり
、第６図において，１は高圧電源、２は充電用リアクト
ル、３は充電用ダイオード、４は充放電を行う主コンデ
ンサ，５は充電用抵抗、６はサイラトロンスイッチ、７
はガス放電によって内部に収容した金属（例えば銅）を
加熱、気化させてレーザ出力を得る放電管（レーザＴＵ
ＢＥ）である． 次に動作について説明する．高圧電源１から発生される
高圧電圧（数ＫＶ〜数十ＫＶ）は、リアクトル２、ダイ
オード３、充電用抵抗５を介してコンデンサ４に充電さ
れる。
この充電状態において、サイラトロンスイッチ６が導通
すると、主コンデンサ４に蓄えられていた電荷は、サイ
ラトロンスイッチ６を通り放電管７に印加され、放電管
７の中にガス放電を形戊する。その際、放電管７のイン
ピーダンスは充電用抵抗５の抵抗値より大幅に小さくな
るため、サイラトロンスイッチ６に流れる電流は主とし
て放電管７に流れることで、放電管７は励起されてレー
ザ発振を生ずる。
すると、主コンデンサ４に蓄えられていた電荷は、サイ
ラトロンスイッチ６を通り放電管７に印加され、放電管
７の中にガス放電を形戊する。その際、放電管７のイン
ピーダンスは充電用抵抗５の抵抗値より大幅に小さくな
るため、サイラトロンスイッチ６に流れる電流は主とし
て放電管７に流れることで、放電管７は励起されてレー
ザ発振を生ずる。
従来のパルス発生回路は以上のように構威されているの
で、銅蒸気レーザの場合、より急峻なパルス電圧を放電
管７に印加して、より高いレーザ出力を得るために、大
電力用で数１０ｎｓｅｃでスイッチングオンが可能なサ
イラトロンスイッチ６が用いられていた。しかし、サイ
ラトロンスイッチ６は真空管であるため寿命が短かく、
頻繁に交換する必要があった。またサイラトロンスイッ
チ６はレーザ効率に影響する電流の立ち上がりやスイッ
チング時間にバラツキがある等、品質の安定性に問題点
があった。
で、銅蒸気レーザの場合、より急峻なパルス電圧を放電
管７に印加して、より高いレーザ出力を得るために、大
電力用で数１０ｎｓｅｃでスイッチングオンが可能なサ
イラトロンスイッチ６が用いられていた。しかし、サイ
ラトロンスイッチ６は真空管であるため寿命が短かく、
頻繁に交換する必要があった。またサイラトロンスイッ
チ６はレーザ効率に影響する電流の立ち上がりやスイッ
チング時間にバラツキがある等、品質の安定性に問題点
があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、安定性、信頼性の高いパルス発生回路を得る
ことを目的とする． 〔課題を解決するための手段〕 この発明に係るパルス発生回路は、直並列接続した多数
の固体スイッチング素子の幾つかの並列接続群のそれぞ
れに導通信号を供給するゲート回路と，このゲート回路
の電源電圧が規定以下であることを検出した電圧検出回
路の検出信号を受けて、前記各固体スイッチング素子に
対する電源の給電をしゃ断する保護回路とを具備したも
のである。
たもので、安定性、信頼性の高いパルス発生回路を得る
ことを目的とする． 〔課題を解決するための手段〕 この発明に係るパルス発生回路は、直並列接続した多数
の固体スイッチング素子の幾つかの並列接続群のそれぞ
れに導通信号を供給するゲート回路と，このゲート回路
の電源電圧が規定以下であることを検出した電圧検出回
路の検出信号を受けて、前記各固体スイッチング素子に
対する電源の給電をしゃ断する保護回路とを具備したも
のである。
この発明におけるパルス発生回路は、多数の固体スイッ
チング素子を直並列接続して大電力用のスイッチ手段を
構成したことにより、寿命が長く、頻繁な交換を必要と
しない。また、固体スイッチング素子の幾つかの並列接
続群のそれぞれに導通信号を供給するゲート回路の電源
電圧を検出し、その電源電圧が規定値以下になったとき
は，上記固体スイッチング素子に対する電源の給電をし
ゃ断することにより、各固体スイチング素子をバランス
よく導通させることができ、一部の固体スイッチング素
子に過大電圧が印加して該固体スイッチング素子を破壊
することを防止する。
チング素子を直並列接続して大電力用のスイッチ手段を
構成したことにより、寿命が長く、頻繁な交換を必要と
しない。また、固体スイッチング素子の幾つかの並列接
続群のそれぞれに導通信号を供給するゲート回路の電源
電圧を検出し、その電源電圧が規定値以下になったとき
は，上記固体スイッチング素子に対する電源の給電をし
ゃ断することにより、各固体スイチング素子をバランス
よく導通させることができ、一部の固体スイッチング素
子に過大電圧が印加して該固体スイッチング素子を破壊
することを防止する。
以下、この発明の一実旅例を図について説明する。第１
図において、１１は高圧制御電源、１２は充電用リアク
トル、ｌ３は充電用ダイオード、１４は充放電用コンデ
ンサ、１５は充電用抵抗であり、これ等は順次直列に接
続されている。１６は充電用抵抗１５と並列に接続され
た放電管、１７は多数の固体スイッチング素子を直並列
接続して構或したスイッチ手段であり、このスイッチ手
段１７は充放電用コンデンサ１４の一端と放電管１６の
一端との間に接続されている。
図において、１１は高圧制御電源、１２は充電用リアク
トル、ｌ３は充電用ダイオード、１４は充放電用コンデ
ンサ、１５は充電用抵抗であり、これ等は順次直列に接
続されている。１６は充電用抵抗１５と並列に接続され
た放電管、１７は多数の固体スイッチング素子を直並列
接続して構或したスイッチ手段であり、このスイッチ手
段１７は充放電用コンデンサ１４の一端と放電管１６の
一端との間に接続されている。
１ ８ ａ ＝ １ ８ ｎは固体スイッチング素子の
並列接続群１ ７ ａ ＝ １ ７ ｎのそれぞれに対
応して設けられ該固体スイッチング素子に導通信号を供
給するゲート回路、１９ａ〜１９ｎはゲート回路１８８
〜１８ｎの電源電圧が規定値以上であるか否かを検出す
る電圧検出回路、２０は電圧検出回路ｌ９ ａ ＝ １
９ ｎのいずれかが規定値以下であることを検出した
検出信号を受けて高圧制御電源１工の給電をしゃ断する
保護回路である。
並列接続群１ ７ ａ ＝ １ ７ ｎのそれぞれに対
応して設けられ該固体スイッチング素子に導通信号を供
給するゲート回路、１９ａ〜１９ｎはゲート回路１８８
〜１８ｎの電源電圧が規定値以上であるか否かを検出す
る電圧検出回路、２０は電圧検出回路ｌ９ ａ ＝ １
９ ｎのいずれかが規定値以下であることを検出した
検出信号を受けて高圧制御電源１工の給電をしゃ断する
保護回路である。
第２図は高圧制御電源１１の１例を示す回路図であり、
第２図において、２１は商用電源２２の出力電圧を所望
の電圧に変成するトランス、２３はトランス２１の出力
を整流する整流回路、２４は整流回路２３の直流出力端
子間に接続した平滑用コンデンサ、２５はスイッチング
素子としてのトランジスタである。
第２図において、２１は商用電源２２の出力電圧を所望
の電圧に変成するトランス、２３はトランス２１の出力
を整流する整流回路、２４は整流回路２３の直流出力端
子間に接続した平滑用コンデンサ、２５はスイッチング
素子としてのトランジスタである。
第３図は電圧検出回路１９ａ〜１９ｎの１例を示す回路
図であり、各電圧検出回路１９ａ （〜工９ｎ）はそれ
ぞれ発光ダイオード２６ａ （〜２６ｎ）とフォトトラ
ンジスタ２７ａ （〜２７ｎ）からなるフォトカプラ２
８ａ （〜２８ｎ）と、そのフォトトランジスタ２７ａ
（〜２７ｎ）を直列抵抗３０ａ （〜３０ｎ）を介し
て電源電圧印加端子ａｌ〜ａｎ（ゲート回路１ ８ ａ
− １ ８ ｎの電源電圧印加端子十Ｂに接続されて
いる。）に接続するツエナダイオード２９ａ （〜２９
ｎ）とで構成され、電圧検出回路１９ａのフォトトラン
ジスタ２７ａが電圧検出回路１９ｂの発光ダイオード２
６ｂに接続されるように順次接続され、電圧検出回路１
９ｎのフォトトランジスタ２７ｎが出力端子Ｏに接続さ
れている。そして、電圧検出回路■９ａの発光ダイオー
ド２６ｎだけは、ツェナダイオード３１と抵抗３２を介
して電源電圧印加端子ａ■に接続されている。
図であり、各電圧検出回路１９ａ （〜工９ｎ）はそれ
ぞれ発光ダイオード２６ａ （〜２６ｎ）とフォトトラ
ンジスタ２７ａ （〜２７ｎ）からなるフォトカプラ２
８ａ （〜２８ｎ）と、そのフォトトランジスタ２７ａ
（〜２７ｎ）を直列抵抗３０ａ （〜３０ｎ）を介し
て電源電圧印加端子ａｌ〜ａｎ（ゲート回路１ ８ ａ
− １ ８ ｎの電源電圧印加端子十Ｂに接続されて
いる。）に接続するツエナダイオード２９ａ （〜２９
ｎ）とで構成され、電圧検出回路１９ａのフォトトラン
ジスタ２７ａが電圧検出回路１９ｂの発光ダイオード２
６ｂに接続されるように順次接続され、電圧検出回路１
９ｎのフォトトランジスタ２７ｎが出力端子Ｏに接続さ
れている。そして、電圧検出回路■９ａの発光ダイオー
ド２６ｎだけは、ツェナダイオード３１と抵抗３２を介
して電源電圧印加端子ａ■に接続されている。
第４図はゲート回路１８ａ（〜１８ｎ）の１例を示す回
路図であり，第４図において、３３は微分回路、３４は
バッファ、３５は増幅回路、十Ｂは電源電圧印加端子で
ある。
路図であり，第４図において、３３は微分回路、３４は
バッファ、３５は増幅回路、十Ｂは電源電圧印加端子で
ある。
第５図は保護回路２０の一例を示す回路図であり、電圧
検出回路１９ｎからの出力を受ける抵抗３６と、この抵
抗３６の端子電圧を基準電圧と比較する比較器３７とで
構成されている。
検出回路１９ｎからの出力を受ける抵抗３６と、この抵
抗３６の端子電圧を基準電圧と比較する比較器３７とで
構成されている。
次に上記実施例の動作について説明する。いま、充放電
用コンデンサ１４の充電状態において，不図示の発振器
からクロック信号が各ゲート回路１８ａ〜１８ｎに入力
されると、このクロツク信号に基づいて各ゲート回路１
８ａ〜１８ｎから導通信号が出力され、この導通信号で
スイッチ手段１７を構戊する各固体スイッチング素子を
同時に導通させる。
用コンデンサ１４の充電状態において，不図示の発振器
からクロック信号が各ゲート回路１８ａ〜１８ｎに入力
されると、このクロツク信号に基づいて各ゲート回路１
８ａ〜１８ｎから導通信号が出力され、この導通信号で
スイッチ手段１７を構戊する各固体スイッチング素子を
同時に導通させる。
この導通により、充放電用コンデンサエ４に充電された
高圧電圧は放電管ｌ６に印加され、内部にガス放電を形
成する。このとき、放電管ｌ６のインピーダンスは充電
用抵抗■５の抵抗値より大幅に小さくなるため、充放電
用コンデンサ１４からの放電電流は主として放電管１６
に流れ、放電管１６にレーザ発振を生じさせる。以後、
クロック信号に基づいて上記の動作を順次繰返すもので
ある． 上記スイッチ手段１７を多数の固体スイッチング素子を
直並列接続して構成することは、数ＫＶ〜数１０ＫＶの
耐圧を得るためである。しかし、この構成の場合、直並
列接続した各固体スイッチング素子を同時に導通するこ
とが必要となる。固体スイッチング素子の導通時間は、
ゲート電圧の上昇速度に直接関係するため、導通信号を
供給するゲート回路１８ａ〜１８ｎの電源電圧の大きさ
がトラブル等により下がった場合、ゲート電圧の上昇速
度が低下し、スイッチング速度が低下する。
高圧電圧は放電管ｌ６に印加され、内部にガス放電を形
成する。このとき、放電管ｌ６のインピーダンスは充電
用抵抗■５の抵抗値より大幅に小さくなるため、充放電
用コンデンサ１４からの放電電流は主として放電管１６
に流れ、放電管１６にレーザ発振を生じさせる。以後、
クロック信号に基づいて上記の動作を順次繰返すもので
ある． 上記スイッチ手段１７を多数の固体スイッチング素子を
直並列接続して構成することは、数ＫＶ〜数１０ＫＶの
耐圧を得るためである。しかし、この構成の場合、直並
列接続した各固体スイッチング素子を同時に導通するこ
とが必要となる。固体スイッチング素子の導通時間は、
ゲート電圧の上昇速度に直接関係するため、導通信号を
供給するゲート回路１８ａ〜１８ｎの電源電圧の大きさ
がトラブル等により下がった場合、ゲート電圧の上昇速
度が低下し、スイッチング速度が低下する。
また、ゲート回路１８ａ〜１８ｎの電源電圧が下がった
段の固体スイッチング素子には、その段だけスイッチン
グが遅いために、過大電圧が加わり，固体スイッチング
素子が破壊したりする。
段の固体スイッチング素子には、その段だけスイッチン
グが遅いために、過大電圧が加わり，固体スイッチング
素子が破壊したりする。
そこで、各ゲート回路１８ａ〜１８ｎの電源電圧を検出
し、その電源電圧が規定値以下の場合は固体スイッチン
グ素子に対する電源の給電をしゃ断するようにしたもの
である。
し、その電源電圧が規定値以下の場合は固体スイッチン
グ素子に対する電源の給電をしゃ断するようにしたもの
である。
以下、第３図に基づいて、ゲート回路１８ａ〜１８ｎの
電源電圧の検出動作について説明する。
電源電圧の検出動作について説明する。
まず、端子ａ１に印加されるゲート回路１８ａの電源電
圧がツェナダイオード２９ａのツエナ電圧より高ければ
、フォトトランジスタ２７ａが導通し、この導通信号Ｃ
，で電圧検出回路１９ｂの発光ダイオード２６ｂを発光
させてフォトトランジスタ２７ｂを導通許容状態にする
。このとき、端子ａ２に印加されるゲート回路１８ｂの
電源電圧がツェナダイオード２９ｂのツェナ電圧以上で
あれば、フォトトランジスタ２７ｂが導通し、この導通
信号Ｃ２で電圧検出回路１９ｃの発光ダイオード２６ｃ
を発光させてフォトトランジスタ２７Ｃを導通許容状態
にする。
圧がツェナダイオード２９ａのツエナ電圧より高ければ
、フォトトランジスタ２７ａが導通し、この導通信号Ｃ
，で電圧検出回路１９ｂの発光ダイオード２６ｂを発光
させてフォトトランジスタ２７ｂを導通許容状態にする
。このとき、端子ａ２に印加されるゲート回路１８ｂの
電源電圧がツェナダイオード２９ｂのツェナ電圧以上で
あれば、フォトトランジスタ２７ｂが導通し、この導通
信号Ｃ２で電圧検出回路１９ｃの発光ダイオード２６ｃ
を発光させてフォトトランジスタ２７Ｃを導通許容状態
にする。
以上の動作が各段で繰り返され、最終的に電圧検出回路
１９ｎのフォトトランジスタ２７ｎから信号が出力され
て保護回路に入力される。
１９ｎのフォトトランジスタ２７ｎから信号が出力され
て保護回路に入力される。
この場合，各ゲート回路１８ａ〜１８ｎのうち１個でも
電源電圧がツェナ電圧を下回ると、電圧検出回路１９ｎ
から保護回路２０には出力が発生せず、保護回路２０か
らは零出力ｄが出力される。
電源電圧がツェナ電圧を下回ると、電圧検出回路１９ｎ
から保護回路２０には出力が発生せず、保護回路２０か
らは零出力ｄが出力される。
高圧制御電′ｇ１１は保護回路２ｏの出力を受けている
トランジスタ２５が該出力が零になると不導通となり、
固体スイッチング素子に対する給電をしゃ断する。この
ように、各ゲート回路１８ａ〜１８ｎの電源電圧が１つ
でもツェナ電圧を下がった場合、高圧制御電源１１は動
作せず、異常時の保護が行なわれる。
トランジスタ２５が該出力が零になると不導通となり、
固体スイッチング素子に対する給電をしゃ断する。この
ように、各ゲート回路１８ａ〜１８ｎの電源電圧が１つ
でもツェナ電圧を下がった場合、高圧制御電源１１は動
作せず、異常時の保護が行なわれる。
なお、固体スイッチング素子としては、ＦＥＴ，ＳＩＴ
，ＩＧＢＴ，ＳＩサイリスタ、トランジスタ、サイリス
タ等を用いる。
，ＩＧＢＴ，ＳＩサイリスタ、トランジスタ、サイリス
タ等を用いる。
以上のように、この発明によれば、多数の固体スイッチ
ング素子を直並列接続してスイッチ手段を構威し、この
固体スイッチング素子の幾つかの並列接続群のそれぞれ
に導通信号を供給するゲート回路の電源電圧を検出し、
この電源電圧が規定値以下の場合は，上記固体スイッチ
ング素子に対する電源の給電をしゃ断するように構成し
たので、各固体スイッチング素子をバランスよく導通さ
せることができる。その結果、一部の固体スイッチング
素子に過大電圧が印加して該固体スイッチング素子を破
壊することを防止し、信頼性を向上する等の効果がある
。
ング素子を直並列接続してスイッチ手段を構威し、この
固体スイッチング素子の幾つかの並列接続群のそれぞれ
に導通信号を供給するゲート回路の電源電圧を検出し、
この電源電圧が規定値以下の場合は，上記固体スイッチ
ング素子に対する電源の給電をしゃ断するように構成し
たので、各固体スイッチング素子をバランスよく導通さ
せることができる。その結果、一部の固体スイッチング
素子に過大電圧が印加して該固体スイッチング素子を破
壊することを防止し、信頼性を向上する等の効果がある
。
第１図はこの発明の一実施例によるパルス発生回路を示
す回路図、第２図は高圧制御電源の回路図，第３図は電
圧検出回路の回路図、第４図はゲート回路の回路図、第
５図は保護回路の回路図、第６図は従来のパルス発生回
路の回路図である。 １７はスイッチ手段、１７ａ〜１７ｎは並列接続群、１
８ａ〜１８ｎはゲート回路、１９ａ〜工９ｎは電圧検出
回路、２０は保護回路。 なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
す回路図、第２図は高圧制御電源の回路図，第３図は電
圧検出回路の回路図、第４図はゲート回路の回路図、第
５図は保護回路の回路図、第６図は従来のパルス発生回
路の回路図である。 １７はスイッチ手段、１７ａ〜１７ｎは並列接続群、１
８ａ〜１８ｎはゲート回路、１９ａ〜工９ｎは電圧検出
回路、２０は保護回路。 なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 多数の固体スイッチング素子を直並列接続して構成し
たスイッチ手段と、前記固体スイッチング素子の幾つか
の並列接続群のそれぞれに導通信号を供給する複数のゲ
ート回路と、前記各ゲート回路の電源電圧が規定値以上
か否かを検出する電圧検出回路と、前記電圧検出回路が
規定値以下であることを検出した検出信号を受けて前記
直並列接続群の固体スイッチング素子に対する電源の給
電をしや断する保護回路とを備えたパルス発生回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15193789A JP2690360B2 (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | パルス発生回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15193789A JP2690360B2 (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | パルス発生回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0316416A true JPH0316416A (ja) | 1991-01-24 |
| JP2690360B2 JP2690360B2 (ja) | 1997-12-10 |
Family
ID=15529464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15193789A Expired - Lifetime JP2690360B2 (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | パルス発生回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2690360B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05167155A (ja) * | 1991-12-11 | 1993-07-02 | Mitsubishi Electric Corp | ゲートドライブ回路 |
| JPH0631161U (ja) * | 1992-09-24 | 1994-04-22 | ミヤチテクノス株式会社 | レーザ電源装置 |
| JPH0685391U (ja) * | 1993-05-18 | 1994-12-06 | 村田機械株式会社 | ブレイダーの塵埃回収装置 |
-
1989
- 1989-06-14 JP JP15193789A patent/JP2690360B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05167155A (ja) * | 1991-12-11 | 1993-07-02 | Mitsubishi Electric Corp | ゲートドライブ回路 |
| JPH0631161U (ja) * | 1992-09-24 | 1994-04-22 | ミヤチテクノス株式会社 | レーザ電源装置 |
| JPH0685391U (ja) * | 1993-05-18 | 1994-12-06 | 村田機械株式会社 | ブレイダーの塵埃回収装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2690360B2 (ja) | 1997-12-10 |
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