JPH03164580A - クライオポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はクライオポンプに関し、特にクライオポンプの
状態をモニターする手段を備えたクライオポンプに関す
る。

〔従来の技術〕

従来、この種のクライオポンプは、クライオポンプの状
態をモニターする手段として、凝結面の温度を測定する
手段がとれらていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のクライオポンプは、凝結面の温度上昇に
より、クライオポンプが正常であるか否かを判断してい
た。しかし、冷媒ガスに不純物が混入した場合、不純物
は冷凍機内部で凝結してしまい、凝結による負荷の増大
の為、冷凍機のモーター内部で滑りを起し、正常な動作
周期が徐々に減少してしまう事がある。

このように、動作周期の減少により冷凍能力が低下して
行き、冷凍能力がクライオポンプの排気する負荷を下回
った時には、すでに凝結面の温度が上昇している状態と
なっているので、本来の目的である到達真空が得られず
、不意のメンテナンスが発生してしまう、という欠点が
ある。

上述した従来のクライオポンプに対し、本発明は冷凍機
内での圧縮膨張サイクル数をモニターすることによって
、動作周期が正常が否かを判断できるという相違点を有
する。

〔課題を解決するな、めの手段〕

本発明のクライオポンプは、冷凍機内での圧縮膨張のサ
イクルをカウントする為のセンサーを有し、このセンサ
ーの検知する周期によって、冷凍機内での動作周期が清
浄か否がの判断を可能にしている。

〔実施例〕

次に本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の実施例１のクライオポンプの冷凍機の
縦断面図である。

極低温パネル１は高圧バルブ２．低圧バルブ３の開閉及
び内部ピストン４の往復運動により、運転中は常に冷却
されている。

このとき、コールドヘッドモーター５の回転は、カムフ
ォロアー６により内部ピストン４の往復運動に変換され
、その１回の往復運動はセンサー７により検知され、パ
ルスカウンター８に１回とカウントされる。

冷媒ガス中に不純物が混入した場合、極低温化でのコー
ルドヘッドシリンダー９の内壁には、凝結した不純物１
０が成長し、成長の程度によってはコールドヘッドモー
ター５の内部では滑りが起って、回転運動が完全にカム
フォロアー６の往復運動に変換されない。

正常運転時の一定時間内のパルスカウンター８のパルス
カウント数は、コールドヘッドモーター５の回転数によ
って決定される為、正常時のパルスカウント数に対して
の運転中のパルスカウント数をモニターする事により、
冷凍機内での動作周期が正常か否かの状態の判断ができ
る。

第２図は本発明の実施例２の縦断面図である。

高圧バルブ２．低圧バルブ３．及び内部ピストン４の往
復運動からなる圧縮膨張の１サイクルは、低圧バルブ３
の手前に取付けられた圧力センサー１１が検知する圧力
変動により、パルスカウンター８でカウントされる。

この実施例では、内部ピストン４の往復運動は圧力変動
にて検知している為、検知圧力の変動幅の設定にて、冷
媒ガスの封入圧の低下や高圧バルブ２もしくは低圧バル
ブ３の少量のシール漏れをも検知できるという・利点が
ある。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、冷媒ガスの圧縮膨張のサ
イクル数をカウントすることにより、クライオポンプの
正常時の動作周期に対して、運転中のクライオポンプの
動作周期が正常が否がが容易に判断でき、凝結面の温度
上昇により、到達真空値が得られないという事態が発生
する以前に、クライオポンプの異常を警告する事が可能
であるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例１のクライオポンプの冷凍機を
示す縦断面図、第２図は本発明の実施例２の縦断面図で
ある。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. クライオポンプにおいて、冷凍機内での圧縮膨張のサイ
   クルをカウントする為のセンサーを有することを特徴と
   するクライオポンプ。