JPH03165519A - 洗浄装置 - Google Patents

洗浄装置

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JPH03165519A
JPH03165519A JP1305629A JP30562989A JPH03165519A JP H03165519 A JPH03165519 A JP H03165519A JP 1305629 A JP1305629 A JP 1305629A JP 30562989 A JP30562989 A JP 30562989A JP H03165519 A JPH03165519 A JP H03165519A
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chemical liquid
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忠弘 大見
Sunao Shibata
直 柴田
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、例えば各種薬液の混合薬液により洗浄処理を
行なうための洗浄装置に関するものである。
［従来の技術］ 従来、この種の洗浄装置としては、例えば多数の被洗浄
物（ウニ八）を順次洗浄する場合、予めビーカーのよう
な容器に洗浄用混合薬液を入れておき、該混合薬液に被
洗浄物を浸し、これを混合薬液から取り出した後、次の
被洗浄物を混合薬液に浸す等を繰り返す手法を採用して
いた。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、かかる従来技術の構成によると、被洗浄
物が順次混合薬液に浸されるので、後に洗浄される被洗
浄物はど汚染された混合薬液に浸されることとなって好
ましくない。
この場合、各種薬液の混合液を圧送手段（ポンプ）によ
り噴出させ、該噴流液により被洗浄物を順次処理する手
法も考えられる。しかしながら、かかる手法では各種薬
液により圧送手段（ポンプ）の腐蝕等の問題を生じさせ
る。
本発明は上記３１題を解決すべく、被洗浄物が汚染され
ることなく繰り返して薬液洗浄を行なえ、薬液による腐
蝕等を回避できる洗浄装置を提供することを目的とする
。
［ｔ！題を解決するための手段］ 上記目的を達成するため、請求項１の発明は、薬液の、
供給構造を改善すべく、溶液媒体を圧送する圧送手段と
、該圧送手段を一端に連結し、他端を開口した少なくと
も一本の噴流管と、該噴流管に所定間隔を置いて連結さ
れ、夫々該噴流管と連通ずる複数の吸上げ管と、各該吸
上げ管の末端開口が夫々挿入される複数の薬液槽とを備
えたことを特徴とする 請求項２の発明は、洗浄効果を改善すべく、前記噴流管
は、加熱手段を付設していることを特徴とする 請求項３の発明は、薬液の組成比を変更すべく、前記複
数の吸上げ管は、夫々流量制御弁を有することを特徴と
する請 求項４の発明は、溶液媒体と薬液との混合効率をさらに
改善すべく、前記噴流管は、各前記吸上げ管との連結部
が他の部分に比べて小径に形成されていることを特徴と
する 請求項５の発明は、薬液の混合効率をさらに改善すべく
、前記薬液槽は、該薬液槽内の薬液を気体により押圧す
る加圧手段を有することを特徴とする。
［作用］ 請求項１の構成によれば、圧送手段により例えば純水の
ような溶液媒体を噴流管の一端側から他端側に向けて圧
送させると、噴流管内を流れる溶液媒体内に各薬液槽か
ら薬液が吸い上げられ混合薬液として噴流管の他端開口
から噴出される。
請求項２の構成によれば、噴流管内を漬れる溶液媒体が
加熱手段により加熱されるので、薬液と溶液媒体との薬
液処理能率の向上に貢献できる。
請求項３の構成によれば、流量制御弁の開度に応じて前
記混合薬液の組成を任意に変更できる。
請求項４の構成によれば、噴流管と吸上げ管との連結部
における溶液媒体の流速を増大させることができる。
請求項５の構成によれば、薬液の液面が加圧手段により
加圧されるので、薬液と溶液媒体との混合処理能率をさ
らに向上させることができる。
［実施例］ 第１図は本発明の第１実施例を示すものであり、横長の
噴流管１の一端（同図右端）には圧送手段としての圧送
ポンプ２が配設されており、該圧送ポンプ２は溶液媒体
が貯留される液媒貯留槽３を上流側に配している。また
前記噴流管１には所定間隔を置いて該噴流管１と連通す
る例えば２木の吸上げ管４ａ、４ｂが連結され、各吸上
げ管４ａ、４ｂには夫々薬液槽５ａ、５ｂ内に挿入され
ており、各薬液槽５ａ、５ｂには夫々各種薬液が貯留さ
れている。
そして、前記噴流管１の末端（第１図の左端）は先細に
開口されており、該末端開口には被洗浄物６が対向して
配されるようになっている。
本第１実施例は上記のように構成されているので、圧送
ポンプ２を駆動させると、液媒貯留槽３から吸い上げら
れた溶液媒体は噴流管１内を管長方向に沿って流れる。
このとき水流ポンプ（アスピレータ）の原理、すなわち
溶液媒体の噴流により各薬液槽５ａ、５ｂから夫々対応
する薬液が吸い上げられ、噴流管１内の溶液媒体と混合
され、噴流管１の末端開口から噴射される。そして、こ
の噴射された混合液により被洗浄物６が洗浄される。
ここで圧送ポンプ２一定流量を供給できるものであって
も、またダイアフラムポンプのように脈動的に供給でき
るもの１もよい、また、噴流管１は複数本設けられても
成立するものである。
第２図は本発明の第２実施例を示すものであり、上記第
１実施例の構成に、吸上げ管４ｃ。
４ｄ、薬液４１５ｃ、５ｄをさらに付加すると共に、各
吸い上げ管４ａ〜４ｄには夫々流量制御弁７８〜７ｄを
さらに付加すると共に、圧送ポンプ２の直下流の噴流管
１に流量制御弁８を有する分流管９を設け、さらに、噴
流管１の例えば上流端または下流端には例えば電熱コイ
ルから成る加熱手段１０．１１を設けている。また、前
記各薬液／！５ａ〜５ｄには各薬液について夫々不活性
な気体をガス供給管１４ａ〜１４ｄを介して夫々供給す
る加圧手段１３ａ〜１３ｄが設けられる。
本第２実施例の構成によれば、例えばいわゆるＲＣＡ洗
浄を行なう場合、以下のシーケンスによる。
まず、液媒漕３に超純水を貯留し、各薬液漕５ａ〜５ｄ
に夫々Ｎ２ｏ液、ＮＨ４ＯＨ液、ＨＣｕ液、ＨＦ液を貯
留しておく。
第１の洗浄工程では二つの流量制御弁７ｃ。
７ｄを全閉しておき、二つの薬液（ＮＨ４０Ｈ。
Ｎ２０２　）のみを吸い上げるようにし、これにより得
られた混合液をウェハ６に噴射させる。この場合、溶液
媒体（Ｎ２０）と両薬液（Ｎ２０２　。
ＮＨ４０Ｈ）との混合比を例えば夫々１：１：５にする
ためには流量制御弁７ａ、７ｂの開度を調節したり、そ
の開度が足りない場合には、加圧手段１３ａ、１３ｂに
より各薬液について夫々不活性なガス（例えばＮ２ガス
）にて各薬液の液面を押し下げて吸い上げ液量を調節す
る。さらに、加熱手段１０．１１を作動させて混合液を
例えば沸騰状態に加温する。
次いで、ｙ７ｒ、ｘの洗浄工程では各流量制御弁７８〜
７ｄをいずれも閉弁状態にして、液媒漕３から汲み上げ
られた超純水のみによるウェハ６の洗浄を行なう。
続いて、第３の洗浄工程では二つの流量制御弁７ｂ、７
ｄを全閉しておき二つの薬液（Ｎ２　ｏ、。
ＨＣｕ）のみを吸い上げ、Ｎ２０とＨ２Ｏ２とＨＣＪＺ
の比が５：１：１となるようにする。そして、この工程
でも前記第１の工程と同様に加熱手段１０．１１を作動
させ、加温された混合液によるウェハの洗浄を行なう。
次いで、第４の洗浄工程では前記第２の工程と同様に各
流量制御弁７８〜７ｄをいずれも閉弁状態にし、超純水
のみによる洗浄を行なう。
次に、第５の洗浄工程では、流量制御弁７ａ〜７ｃを閉
弁状態にし、一つの薬液（ＨＦ）のみを吸い上げ、溶液
媒体（Ｎ２　ｏ）と薬液（ＨＦ）との比が５０：１等に
なるようにする。
そして、第６の洗浄工程では、前記第２、第４の工程と
同様に超純水のみによる洗浄を行ない、その後、乾燥工
程に８行する。
この乾燥を行なう場合、圧送ポンプ２を停止させ、分流
管８の流量制御弁９を全開する等して噴流管１内の残留
液体を除去し、加圧手段１３ａ〜１３ｄにより噴流管ｉ
内にＮ２ガス（あるいはＡｒガス）等を加熱手段１０．
１１を作動させつつ送り込んで噴流管１の末端から吹き
出させればよい、これにより、別途に乾燥手段を設ける
必要がなくなる。
なお、分流管８が設けられていることにより、流量制御
弁９の開度に応じ圧送ポンプ２からの溶液媒体の流量を
制御できる。上記洗浄はウェハのＲＣＡ洗浄を例に挙げ
たが、他の洗浄、例えばアルコールを溶液媒体とし、ア
セトンおよびトリクロールエタンを薬液とした混合液を
用い、レジスト剥離を行なった後の洗浄等に応用される
ものである。
第３図は噴流管１の他の実施例を示すものであり、噴流
管１と吸上げ管４ａとの連結部では、噴流管１の径を他
の部分の径に比べて小さく設定したものである。他の構
成は第２実施例と同様である。
かかる構成にすると、前記連結部での溶液媒体の流速が
増速し、その分薬液漕４ａからの薬液の吸い上げ量が増
量する。
第４図は、噴流管１の末端開口の他の実施例を示すもの
で該末端開口は二つに分岐され、各分岐管’１）Ｉ、１
１）２の先端に夫々噴流ノズルｌｃ、。
！、ｃ２が対向するように設けられ、両噴流ノズルｌｃ
ｌ、１ｃ２の間に被洗浄物６を配する構成となっている
。
かかる構成では被洗浄物６の洗浄を両側から行なえ洗浄
能率が向上する。
溶液媒体が流れる噴流管１等の内面（接液部）は、電界
複合研磨等による鏡面仕上げが施され、且つ、高温（約
４００℃）下で高純度の酸素を供給して酸化膜パシベー
ションを形成させたものを用いると管内への金属成分の
溶出を排除できる。
［発明の効果］ 以上ように、請求項１の発明によれば、溶液媒体を圧送
する圧送手段と、該圧送手段を一端に連結し、他端を開
口した少なくとも一木の噴流管と、該噴流管に所定間隔
を置いて連結され、夫々該噴流管と連通ずる複数の吸上
げ管と、各該吸上げ管の末端開口が夫々挿入される複数
の薬液槽とを備えた構成としたので、水流ポンプ（アス
ピレータ）の原理により混合薬液による大量の被洗浄物
の洗浄を汚染させることなく順次行なえる。
また、圧送手段は溶液媒体のみを通過させるに過ぎない
ので、圧送手段（ポンプ）の内部が混合薬液により腐蝕
させる恐れがなくなる。
請求項２の発明によれば、請求項１において前記噴流管
は、加熱手段を付設とする構成としたので、薬液の混合
を容易にすると共に混合薬液の沸騰等が行なえ洗浄効果
を向上させることができる。
請求項３の発明によれば、請求項１において前記複数の
吸上げ管は、夫々流量制御弁を有する構成としたので、
流量制御弁の開度により混合される薬液の割合を任意に
設定することができると共に、流量制御弁の開閉により
混合される薬液の種類を任意に変更することができる。
請求項４の発明によれば、請求項１において、溶液媒体
の噴流速度を高めて薬液の吸い上げ量を増やすことがで
きる。
請求項５の発明によれば、請求項１において、前記薬液
槽は、薬液の液面を気体により押圧する加圧手段を有す
る構成としたので、薬液の噴流管内への吸い上げ量を容
易に増やすことができると共に、薬液を排除し気体のみ
による加圧を行なうことにより、噴流管の末端からの該
気体の放出も可能となる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の第１実施例を示す概略断面図、第２図
は本発明の第２実施例を示す概略断面図、′Ｍ３図は噴
流管部の他の実ＩＮ例を示す概略断面図、第４図は噴流
管の末端部の他の実施例を示す断面図である。 （符号の説明） １・・・噴流管、２・・・圧送ポンプ（圧送手段）、４
ａ、４ｂ・・・分岐管、５ａ、５ｂ・・・薬液槽、６・
・・被洗浄物、１０．１１・・・加熱手段、１３ａ。 １３ｂ・・・加圧手段。 第 図 第 図

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）溶液媒体を圧送する圧送手段と、 該圧送手段を一端に連結し、他端を開口した少なくとも
    一本の噴流管と、 該噴流管に所定間隔を置いて連結され、夫々該噴流管と
    連通する複数の吸上げ管と、 各該吸上げ管の末端開口が夫々挿入される複数の薬液槽
    とを備えたことを特徴とする洗浄装置。
  2. （２）前記噴流管は、加熱手段を付設していることを特
    徴とする請求項１記載の洗浄装置。
  3. （３）前記複数の吸上げ管は、夫々流量制御弁を有する
    ことを、特徴とする請求項１又は請求項２記載の洗浄装
    置。
  4. （４）前記噴流管は、前記吸上げ管との連結部が他の部
    分に比べて小径に形成されていることを特徴とする請求
    項１乃至請求項３までのいずれか１項に記載の洗浄装置
    。
  5. （５）前記薬液槽は、該薬液槽内の薬液を気体により押
    圧する加圧手段を有することを特徴とする請求項１乃至
    請求項４のいずれか１項に記載の洗浄装置。
JP1305629A 1989-11-24 1989-11-24 洗浄装置 Pending JPH03165519A (ja)

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