JPH03167416A - 外観検査機 - Google Patents
外観検査機Info
- Publication number
- JPH03167416A JPH03167416A JP30690689A JP30690689A JPH03167416A JP H03167416 A JPH03167416 A JP H03167416A JP 30690689 A JP30690689 A JP 30690689A JP 30690689 A JP30690689 A JP 30690689A JP H03167416 A JPH03167416 A JP H03167416A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- projector
- inspected
- defect
- projecting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 title description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 29
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 24
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は印刷配線板のような被検査物の表面にできた欠
陥を検出する外観検査機に関するものである． ［従来の技術］ 従来、印刷配線板の上うな被検査物の表面にできた欠陥
を検出する外観検出機としては、第３図に示すように被
検査物１の表面に対して斜め上方から投光器２で投光し
、この投光器２で投光された被検査物１の表面を投光器
２の前方に配置されたＴＶカメラのような撮像手段３で
斜め上方から撮像し、この撮像により得られた濃淡画像
データをＡ／Ｄ変換器４でデジタル変換してフレームメ
モリ５に記憶させ、判定処理部６により該フレームメモ
リ５に記憶された濃淡画像の濃度を所定の闇値と比較し
て汚れ、凹凸、打痕、疵等の欠陥７を検出するものがあ
った．例えば、凹凸、打痕、疵等被検査物１の表面に凹
凸を形成する欠陥７の場合、投光器２で投光された光に
より凹凸の谷に影ができ、濃淡画像として捕えたとき、
影の部分がその他の箇所に比して濃い画像となる．従っ
てこの濃度が閾値より濃いければ欠陥７として検出する
ことができるのである． ［発明が解決しようとする課題］ ところで従来の外観検査機は上述のように被検査物１に
対して１台の投光器２で投光を行っているため投光方向
が一方向となり、従って打痕のようにへこみによる欠陥
７ではへこみの谷の走る方向が第４図に示すように投光
方向イに対して交差する方向あれば影ができるが、投光
方向口と平行する方向であれば影ができず、そのため欠
陥７が検出できないという問題があった． 本発明は上述の問題点に鑑みて為されたもので、その目
的とするところ打痕のような欠陥であっても確実に検出
することができる外観検査機を提供するにある． ［課題を解決するための手段］ 本発明は被検査物の表面に投光する投光器と、該投光器
によって投光された被検査物の表面を投光器の反対の位
置から撮像する撮像手段と、撮像手段で得られた濃淡画
像から被検査物の表面の欠陥を検出する画像処理手段と
を備えた外観検査機において、投光器と撮像手段との組
み合わせを複数組備えて、これら投光器と撮像カメラと
で被検査物の表面を多方向から投光、撮像するものであ
る． ［作用］ 而してへこみからなる欠陥の谷の方向がどの方向にあっ
ても、いずれかの投光器によって欠陥による影を生じさ
せることができ、この影を生じさせた投光器に対応する
撮像手段で得られた濃淡画像により欠陥を検出すること
ができる。
陥を検出する外観検査機に関するものである． ［従来の技術］ 従来、印刷配線板の上うな被検査物の表面にできた欠陥
を検出する外観検出機としては、第３図に示すように被
検査物１の表面に対して斜め上方から投光器２で投光し
、この投光器２で投光された被検査物１の表面を投光器
２の前方に配置されたＴＶカメラのような撮像手段３で
斜め上方から撮像し、この撮像により得られた濃淡画像
データをＡ／Ｄ変換器４でデジタル変換してフレームメ
モリ５に記憶させ、判定処理部６により該フレームメモ
リ５に記憶された濃淡画像の濃度を所定の闇値と比較し
て汚れ、凹凸、打痕、疵等の欠陥７を検出するものがあ
った．例えば、凹凸、打痕、疵等被検査物１の表面に凹
凸を形成する欠陥７の場合、投光器２で投光された光に
より凹凸の谷に影ができ、濃淡画像として捕えたとき、
影の部分がその他の箇所に比して濃い画像となる．従っ
てこの濃度が閾値より濃いければ欠陥７として検出する
ことができるのである． ［発明が解決しようとする課題］ ところで従来の外観検査機は上述のように被検査物１に
対して１台の投光器２で投光を行っているため投光方向
が一方向となり、従って打痕のようにへこみによる欠陥
７ではへこみの谷の走る方向が第４図に示すように投光
方向イに対して交差する方向あれば影ができるが、投光
方向口と平行する方向であれば影ができず、そのため欠
陥７が検出できないという問題があった． 本発明は上述の問題点に鑑みて為されたもので、その目
的とするところ打痕のような欠陥であっても確実に検出
することができる外観検査機を提供するにある． ［課題を解決するための手段］ 本発明は被検査物の表面に投光する投光器と、該投光器
によって投光された被検査物の表面を投光器の反対の位
置から撮像する撮像手段と、撮像手段で得られた濃淡画
像から被検査物の表面の欠陥を検出する画像処理手段と
を備えた外観検査機において、投光器と撮像手段との組
み合わせを複数組備えて、これら投光器と撮像カメラと
で被検査物の表面を多方向から投光、撮像するものであ
る． ［作用］ 而してへこみからなる欠陥の谷の方向がどの方向にあっ
ても、いずれかの投光器によって欠陥による影を生じさ
せることができ、この影を生じさせた投光器に対応する
撮像手段で得られた濃淡画像により欠陥を検出すること
ができる。
［実施例］
第１図は本発明の一実施例の撮像手段３，３゛と投光器
２，２゜との配置状態を示しており、この実施例では撮
像手段３，３゛としてラインセンサを用い、被検査物１
の矢印Ａで示す搬送方向に対して投光軸が斜めで且つ被
検査物ｌの表面に対して斜め上方から搬送方向前方へ投
光する投光器２と、この投光器２で投光された被検査物
１の表面を捕える撮像手段３とを複数組、被検査物１の
幅方向に配設し、また上記被検査物１の搬送方向に対し
て投光軸が斜めで且つ上記投光器２の投光軸に対して交
差するように投光軸が設定されて被検査物１の表面に対
して斜め上方から反搬送方向へ投光する投光器２゜とこ
の投光器２゛で投光された被検査物１の表面を捕える撮
像手段３゜とを複数組、被検査物１の幅方向に配設して
ある．而して被検査物１の表面に打痕のようなへこみに
よる欠陥が生じ、そのへこみの谷の方向が投光器２又は
２゜の投光方向の一方に平行しても他の投光方向で影が
生じさせることができ、この影を生じさせた投光器２又
は２゜に対応する撮像手段３又は３゜で影を撮像するこ
とができて確実に欠陥検出が行えるのである． 尚欠陥判別は第３図の構成と同様な構成で行うため、そ
の構成及び動作の説明は省略する．第２図は本発明の別
の実施例の撮像手段３と投光器２との配置状態を示して
おり、この実施例では撮像手段３にＴＶカメラを用いた
もので、投光器２と撮像手段３との組み合わせを２組用
いて、夫々の投光器２を投光方向が直交するように配置
し、夫々の投光器２で投光された被検査物１の表面を対
応する撮像手段３で捕えるようにしており、この実施例
においても一方の投光器２の投光方向と同方向に欠陥の
谷の方向が平行しても、他の投光器２の投光方向が上記
谷の方向と交差するため、欠陥部位の影を生じさせるこ
とができて、確実に欠陥を捕えることができるのである
。
２，２゜との配置状態を示しており、この実施例では撮
像手段３，３゛としてラインセンサを用い、被検査物１
の矢印Ａで示す搬送方向に対して投光軸が斜めで且つ被
検査物ｌの表面に対して斜め上方から搬送方向前方へ投
光する投光器２と、この投光器２で投光された被検査物
１の表面を捕える撮像手段３とを複数組、被検査物１の
幅方向に配設し、また上記被検査物１の搬送方向に対し
て投光軸が斜めで且つ上記投光器２の投光軸に対して交
差するように投光軸が設定されて被検査物１の表面に対
して斜め上方から反搬送方向へ投光する投光器２゜とこ
の投光器２゛で投光された被検査物１の表面を捕える撮
像手段３゜とを複数組、被検査物１の幅方向に配設して
ある．而して被検査物１の表面に打痕のようなへこみに
よる欠陥が生じ、そのへこみの谷の方向が投光器２又は
２゜の投光方向の一方に平行しても他の投光方向で影が
生じさせることができ、この影を生じさせた投光器２又
は２゜に対応する撮像手段３又は３゜で影を撮像するこ
とができて確実に欠陥検出が行えるのである． 尚欠陥判別は第３図の構成と同様な構成で行うため、そ
の構成及び動作の説明は省略する．第２図は本発明の別
の実施例の撮像手段３と投光器２との配置状態を示して
おり、この実施例では撮像手段３にＴＶカメラを用いた
もので、投光器２と撮像手段３との組み合わせを２組用
いて、夫々の投光器２を投光方向が直交するように配置
し、夫々の投光器２で投光された被検査物１の表面を対
応する撮像手段３で捕えるようにしており、この実施例
においても一方の投光器２の投光方向と同方向に欠陥の
谷の方向が平行しても、他の投光器２の投光方向が上記
谷の方向と交差するため、欠陥部位の影を生じさせるこ
とができて、確実に欠陥を捕えることができるのである
。
尚一方の投光器２の投光で欠陥による影ができても他の
投光器２の投光で影部分が薄くなって識別困難な場合に
は投光器２の投光を切り換えるようにしても良い。
投光器２の投光で影部分が薄くなって識別困難な場合に
は投光器２の投光を切り換えるようにしても良い。
［発明の効果〕
本発明は被検査物の表面に投光する投光器と、該投光器
によって投光された被検査物の表面を投光器の反対の位
置から撮像する撮像手段と、撮１負手段で得られた濃淡
画像から被検査物の表面の欠陥を検出する画像処理手段
とを備えた外観検査機において、投光器と撮像手段との
組み合わせを複数組備えて、これら投光器と撮像カメラ
とで被検査物の表面を多方向から投光、撮像するもので
あるから、へこみからなる欠陥の谷の方向がどの方向に
あっても、いずれかの投光器によって影を生じさせるこ
とができ、結果この影を生じさせた投光器に対応する撮
像手段で得られた濃淡画像により欠陥を検出することが
でき、今まで検出不可能であった方向性をもった欠陥も
検出することができるという効果がある。
によって投光された被検査物の表面を投光器の反対の位
置から撮像する撮像手段と、撮１負手段で得られた濃淡
画像から被検査物の表面の欠陥を検出する画像処理手段
とを備えた外観検査機において、投光器と撮像手段との
組み合わせを複数組備えて、これら投光器と撮像カメラ
とで被検査物の表面を多方向から投光、撮像するもので
あるから、へこみからなる欠陥の谷の方向がどの方向に
あっても、いずれかの投光器によって影を生じさせるこ
とができ、結果この影を生じさせた投光器に対応する撮
像手段で得られた濃淡画像により欠陥を検出することが
でき、今まで検出不可能であった方向性をもった欠陥も
検出することができるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例の撮像手段と投光器との配置
状態説明図、第２図は別の実施例の撮像手段と投光器と
の配置状態説明図、第３図は従来例の構成図、第４図は
同上の説明図である．１は被検査物、２．２″は投光器
、３，３′は撮像手段である。
状態説明図、第２図は別の実施例の撮像手段と投光器と
の配置状態説明図、第３図は従来例の構成図、第４図は
同上の説明図である．１は被検査物、２．２″は投光器
、３，３′は撮像手段である。
Claims (1)
- （１）被検査物の表面に投光する投光器と、該投光器に
よって投光された被検査物の表面を投光器の反対の位置
から撮像する撮像手段と、撮像手段で得られた濃淡画像
から被検査物の表面の欠陥を検出する画像処理手段とを
備えた外観検査機において、投光器と撮像手段との組み
合わせを複数組備えて、これら投光器と撮像カメラとで
被検査物の表面を多方向から投光、撮像することを特徴
とする外観検査機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1306906A JPH06105170B2 (ja) | 1989-11-27 | 1989-11-27 | 外観検査機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1306906A JPH06105170B2 (ja) | 1989-11-27 | 1989-11-27 | 外観検査機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03167416A true JPH03167416A (ja) | 1991-07-19 |
| JPH06105170B2 JPH06105170B2 (ja) | 1994-12-21 |
Family
ID=17962694
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1306906A Expired - Lifetime JPH06105170B2 (ja) | 1989-11-27 | 1989-11-27 | 外観検査機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06105170B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103604379A (zh) * | 2013-10-29 | 2014-02-26 | 中国船舶重工集团公司第七二五研究所 | 一种带缺口圆棒拉伸试样固定装置及缺口处直径测量方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61228305A (ja) * | 1985-04-01 | 1986-10-11 | Miyuuchiyuaru:Kk | 物品表面の光学的検査方法 |
-
1989
- 1989-11-27 JP JP1306906A patent/JPH06105170B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61228305A (ja) * | 1985-04-01 | 1986-10-11 | Miyuuchiyuaru:Kk | 物品表面の光学的検査方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103604379A (zh) * | 2013-10-29 | 2014-02-26 | 中国船舶重工集团公司第七二五研究所 | 一种带缺口圆棒拉伸试样固定装置及缺口处直径测量方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06105170B2 (ja) | 1994-12-21 |
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