JPH10197455A - 表面欠陥検査装置 - Google Patents
表面欠陥検査装置Info
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- JPH10197455A JPH10197455A JP1330797A JP1330797A JPH10197455A JP H10197455 A JPH10197455 A JP H10197455A JP 1330797 A JP1330797 A JP 1330797A JP 1330797 A JP1330797 A JP 1330797A JP H10197455 A JPH10197455 A JP H10197455A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】被検査物表面に発生する各種欠陥を的確に検出
する。 【解決手段】被検査物７の幅方向の２個所にマ−キング
装置１で基準座標マ−ク９を表示する。投光部２から被
検査物７の表面に光を照射しながらＣＣＤカメラ３で被
検査物表面を上流側から撮像し、ＣＣＤカメラ４で下流
側から撮像する。取付け位置と取付け角度が異なる２台
のＣＣＤカメラ３，４で撮像した画像デ−タを信号処理
部５で基準座標マ−ク９の位置を基準として座標補正
し、座標補正した画像デ−タの差を演算して合成画像デ
−タを形成し、形成した合成画像デ−タから欠陥の有無
を判定する。
する。 【解決手段】被検査物７の幅方向の２個所にマ−キング
装置１で基準座標マ−ク９を表示する。投光部２から被
検査物７の表面に光を照射しながらＣＣＤカメラ３で被
検査物表面を上流側から撮像し、ＣＣＤカメラ４で下流
側から撮像する。取付け位置と取付け角度が異なる２台
のＣＣＤカメラ３，４で撮像した画像デ−タを信号処理
部５で基準座標マ−ク９の位置を基準として座標補正
し、座標補正した画像デ−タの差を演算して合成画像デ
−タを形成し、形成した合成画像デ−タから欠陥の有無
を判定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、被検査物表面に
光を照射し、被検査物表面の輝度情報に基づいて被検査
物表面の欠陥を検出する表面欠陥検査装置、特に各種欠
陥の検出精度の向上に関するものである。
光を照射し、被検査物表面の輝度情報に基づいて被検査
物表面の欠陥を検出する表面欠陥検査装置、特に各種欠
陥の検出精度の向上に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】複写機やプリンタ等の画像形成装置に使
用する感光体ドラムは表面に疵や異物による欠陥がある
と良質な画像を形成することができなくなるため、欠陥
の有無を正確に検査する必要がある。この感光体ドラム
の表面欠陥を光学的に検出する方法が、例えば特開平７
−128240号公報に示されている。特開平７−128240号公
報に示された低速で回転している感光体ドラムに光を照
射し、正反射光検出用ラインセンサで感光体ドラムから
の正反射光を受光して色ムラの有無を検出し、正反射光
の光路に対して３度から10度傾いた位置に設けた散乱光
検出用ラインセンサで感光体ドラムからの散乱光を受光
して凹凸の有無を検出している。
用する感光体ドラムは表面に疵や異物による欠陥がある
と良質な画像を形成することができなくなるため、欠陥
の有無を正確に検査する必要がある。この感光体ドラム
の表面欠陥を光学的に検出する方法が、例えば特開平７
−128240号公報に示されている。特開平７−128240号公
報に示された低速で回転している感光体ドラムに光を照
射し、正反射光検出用ラインセンサで感光体ドラムから
の正反射光を受光して色ムラの有無を検出し、正反射光
の光路に対して３度から10度傾いた位置に設けた散乱光
検出用ラインセンサで感光体ドラムからの散乱光を受光
して凹凸の有無を検出している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、色ムラ
の有無を検出する正反射光検出用ラインセンサと、凹凸
の有無を検出する散乱光検出用ラインセンサが微小角度
だけ異なった光路にもうけてあるため、色ムラを検出す
る情報のなかに凹凸の情報も含まれてしまい、欠陥を正
確に検出することは困難であった。
の有無を検出する正反射光検出用ラインセンサと、凹凸
の有無を検出する散乱光検出用ラインセンサが微小角度
だけ異なった光路にもうけてあるため、色ムラを検出す
る情報のなかに凹凸の情報も含まれてしまい、欠陥を正
確に検出することは困難であった。
【０００４】この発明はかかる短所を改善するためにな
されたものであり、被検査物表面に発生する各種欠陥を
的確に検出することができる表面欠陥検査装置を得るこ
とを目的とするものである。
されたものであり、被検査物表面に発生する各種欠陥を
的確に検出することができる表面欠陥検査装置を得るこ
とを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明に係る表面欠陥
検査装置は、マ−キング装置と投光部と複数の画像入力
装置と信号処理部と表示装置とを有し、マ−キング装置
は搬送装置で搬送される被検査物表面の座標を特定する
基準座標マ−クを表示し、投光部は被検査物表面の幅方
向全体に光を照射し、複数の画像入力装置は被検査物表
面の輝度情報を入力するものであり、被検査物表面の光
照射位置の前後又は左右両側から一定距離離れた異なる
位置にそれぞれ配置され、信号処理部は各画像入力装置
から送られる画像デ−タの位置を基準座標マ−クの情報
を基準として補正し、補正された各画像デ−タの差を演
算して合成画像デ−タを形成し、合成画像デ−タから欠
陥の有無を判定し、表示装置は信号処理部で形成した合
成画像デ−タと欠陥の有無を表示することを特徴とす
る。
検査装置は、マ−キング装置と投光部と複数の画像入力
装置と信号処理部と表示装置とを有し、マ−キング装置
は搬送装置で搬送される被検査物表面の座標を特定する
基準座標マ−クを表示し、投光部は被検査物表面の幅方
向全体に光を照射し、複数の画像入力装置は被検査物表
面の輝度情報を入力するものであり、被検査物表面の光
照射位置の前後又は左右両側から一定距離離れた異なる
位置にそれぞれ配置され、信号処理部は各画像入力装置
から送られる画像デ−タの位置を基準座標マ−クの情報
を基準として補正し、補正された各画像デ−タの差を演
算して合成画像デ−タを形成し、合成画像デ−タから欠
陥の有無を判定し、表示装置は信号処理部で形成した合
成画像デ−タと欠陥の有無を表示することを特徴とす
る。
【０００６】上記信号処理部は画像メモリと座標情報算
出部と演算処理部及び欠陥判定部とを有し、画像メモリ
は各画像入力装置から送られる画像デ−タを画像入力装
置毎に保存し、座標情報算出部は画像メモリに保存され
た各画像デ−タの位置を基準座標マ−クの情報を基準と
して補正し、演算処理部は補正された各画像デ−タの差
を演算して合成画像デ−タを形成し、欠陥判定部は形成
された合成画像デ−タから欠陥の有無を判定することが
望ましい。
出部と演算処理部及び欠陥判定部とを有し、画像メモリ
は各画像入力装置から送られる画像デ−タを画像入力装
置毎に保存し、座標情報算出部は画像メモリに保存され
た各画像デ−タの位置を基準座標マ−クの情報を基準と
して補正し、演算処理部は補正された各画像デ−タの差
を演算して合成画像デ−タを形成し、欠陥判定部は形成
された合成画像デ−タから欠陥の有無を判定することが
望ましい。
【０００７】また、上記信号処理部は入力制御部と画像
メモリと演算処理部及び欠陥判定部を有し、入力制御部
は各画像入力装置から送られる画像デ−タを監視し、基
準座標マ−クの情報を検出したときに該当する画像入力
装置から送られる画像デ−タを画像メモリに保存し、演
算処理部は画像メモリに保存された各画像デ−タの差を
演算して合成画像デ−タを形成し、欠陥判定部は形成さ
れた合成画像デ−タから欠陥の有無を判定するようにし
ても良い。
メモリと演算処理部及び欠陥判定部を有し、入力制御部
は各画像入力装置から送られる画像デ−タを監視し、基
準座標マ−クの情報を検出したときに該当する画像入力
装置から送られる画像デ−タを画像メモリに保存し、演
算処理部は画像メモリに保存された各画像デ−タの差を
演算して合成画像デ−タを形成し、欠陥判定部は形成さ
れた合成画像デ−タから欠陥の有無を判定するようにし
ても良い。
【０００８】さらに、上記信号処理部は入力制御部とデ
−タ選択部とバッファメモリと演算処理部及び欠陥判定
部を有し、入力制御部は各画像入力装置から送られる画
像デ−タを監視し、基準座標マ−クの情報を検出したと
きに該当する画像入力装置から送られる画像デ−タを出
力し、デ−タ選択部は入力制御部から出力される画像デ
−タの最も遅れて出力される画像デ−タ以外をバッファ
メモリに格納し、最も遅れて出力される画像デ−タを演
算処理部に送り、演算処理部は最も遅れて出力される画
像デ−タが送られたときにバッファメモリに格納された
画像デ−タを読み出して各画像デ−タの差を演算して合
成画像デ−タを形成し、欠陥判定部は形成された合成画
像デ−タから欠陥の有無を判定しても良い。
−タ選択部とバッファメモリと演算処理部及び欠陥判定
部を有し、入力制御部は各画像入力装置から送られる画
像デ−タを監視し、基準座標マ−クの情報を検出したと
きに該当する画像入力装置から送られる画像デ−タを出
力し、デ−タ選択部は入力制御部から出力される画像デ
−タの最も遅れて出力される画像デ−タ以外をバッファ
メモリに格納し、最も遅れて出力される画像デ−タを演
算処理部に送り、演算処理部は最も遅れて出力される画
像デ−タが送られたときにバッファメモリに格納された
画像デ−タを読み出して各画像デ−タの差を演算して合
成画像デ−タを形成し、欠陥判定部は形成された合成画
像デ−タから欠陥の有無を判定しても良い。
【０００９】また、上記マ−キング装置は被検査物の表
面に基準座標マ−クを直接付加したり、被検査物を搬送
する搬送装置と同期して被検査物表面を走査する光学系
で基準座標マ−クをスポット光で表示したり、基準座標
マ−クを被検査物を搬送する搬送装置に表示すると良
い。
面に基準座標マ−クを直接付加したり、被検査物を搬送
する搬送装置と同期して被検査物表面を走査する光学系
で基準座標マ−クをスポット光で表示したり、基準座標
マ−クを被検査物を搬送する搬送装置に表示すると良
い。
【００１０】
【発明の実施の形態】この発明の表面欠陥検査装置は、
マ−キング装置と投光部と２組のライン型ＣＣＤカメラ
と信号処理部と表示装置とを有する。マ−キング装置は
被検査物を搬送する搬送装置の上流側に設けられ、搬送
されている被検査物の表面に座標を特定する２個の基準
座標マ−クを表示する。投光部はライン型光源からな
り、被検査物表面の幅方向全体に光を照射する。一方の
ライン型ＣＣＤカメラは被検査物表面の光照射位置より
上流側に配置され、他方のライン型ＣＣＤカメラは被検
査物表面の光照射位置より下流側に配置されている。信
号処理部は各ＣＣＤカメラから送られる画像デ−タを保
存する２個の画像メモリと座標情報算出部と２個の補正
画像メモリと演算処理部及び欠陥判定部を有する。
マ−キング装置と投光部と２組のライン型ＣＣＤカメラ
と信号処理部と表示装置とを有する。マ−キング装置は
被検査物を搬送する搬送装置の上流側に設けられ、搬送
されている被検査物の表面に座標を特定する２個の基準
座標マ−クを表示する。投光部はライン型光源からな
り、被検査物表面の幅方向全体に光を照射する。一方の
ライン型ＣＣＤカメラは被検査物表面の光照射位置より
上流側に配置され、他方のライン型ＣＣＤカメラは被検
査物表面の光照射位置より下流側に配置されている。信
号処理部は各ＣＣＤカメラから送られる画像デ−タを保
存する２個の画像メモリと座標情報算出部と２個の補正
画像メモリと演算処理部及び欠陥判定部を有する。
【００１１】被検査物を検査するときに搬送装置で搬送
されている被検査物の幅方向の２個所にマ−キング装置
で基準座標マ−クを表示する。この被検査物の表面に投
光部から被検査物の表面に光を照射しながら一方のＣＣ
Ｄカメラで搬送されている被検査物表面の光照射位置の
画像を上流側から撮像し、他方のＣＣＤカメラで被検査
物表面の光照射位置の画像を下流側から撮像する。この
ように搬送されている被検査物表面の光照射位置をＣＣ
Ｄカメラで撮像することにより被検査物の表面全体の輝
度情報を得ることができる。２台のＣＣＤカメラで撮影
した画像デ−タは信号処理部に逐次送られ、信号処理部
の一方の画像メモリは上流側から撮像した画像デ−タを
保存し、他方の画像メモリは下流側から撮像した画像デ
−タを保存する。座標情報算出部は各画像メモリに保存
された画像デ−タの基準座標マ−ク情報を基準にして各
画像デ−タの位置座標を求めて補正し、補正された補正
画像デ−タをそれぞれ補正画像メモリに格納する。演算
処理部は各補正画像メモリ格納された補正画像デ−タの
差を演算して合成画像デ−タを形成する。この合成画像
デ−タは２台のＣＣＤカメラの取付け位置と取付け角度
の違いにより、欠陥の部分以外は互いに打消あって、欠
陥の部分だけが強調されたデ−タとなる。欠陥判定部は
この合成画像デ−タを確認して欠陥の有無を判定し、欠
陥があるときは、基準座標マ−クの位置を基準とした座
標を指定して欠陥の位置を特定し表示装置に表示する。
されている被検査物の幅方向の２個所にマ−キング装置
で基準座標マ−クを表示する。この被検査物の表面に投
光部から被検査物の表面に光を照射しながら一方のＣＣ
Ｄカメラで搬送されている被検査物表面の光照射位置の
画像を上流側から撮像し、他方のＣＣＤカメラで被検査
物表面の光照射位置の画像を下流側から撮像する。この
ように搬送されている被検査物表面の光照射位置をＣＣ
Ｄカメラで撮像することにより被検査物の表面全体の輝
度情報を得ることができる。２台のＣＣＤカメラで撮影
した画像デ−タは信号処理部に逐次送られ、信号処理部
の一方の画像メモリは上流側から撮像した画像デ−タを
保存し、他方の画像メモリは下流側から撮像した画像デ
−タを保存する。座標情報算出部は各画像メモリに保存
された画像デ−タの基準座標マ−ク情報を基準にして各
画像デ−タの位置座標を求めて補正し、補正された補正
画像デ−タをそれぞれ補正画像メモリに格納する。演算
処理部は各補正画像メモリ格納された補正画像デ−タの
差を演算して合成画像デ−タを形成する。この合成画像
デ−タは２台のＣＣＤカメラの取付け位置と取付け角度
の違いにより、欠陥の部分以外は互いに打消あって、欠
陥の部分だけが強調されたデ−タとなる。欠陥判定部は
この合成画像デ−タを確認して欠陥の有無を判定し、欠
陥があるときは、基準座標マ−クの位置を基準とした座
標を指定して欠陥の位置を特定し表示装置に表示する。
【００１２】このように取付け位置と取付け角度が異な
る２台のＣＣＤカメラで撮像した画像デ−タを基準座標
マ−クの位置を基準として座標補正し、座標補正した画
像デ−タの合成画像デ−タを形成し、形成した合成画像
デ−タから欠陥の有無を判定するから、被検査物の表面
の欠陥の有無と欠陥の位置を直ちに知ることができる。
また、取付け位置と取付け角度が異なる２台のＣＣＤカ
メラで被検査物の表面の輝度情報を得るから、凹凸だけ
でなく色ムラ等の欠陥も正確に検出することができる。
る２台のＣＣＤカメラで撮像した画像デ−タを基準座標
マ−クの位置を基準として座標補正し、座標補正した画
像デ−タの合成画像デ−タを形成し、形成した合成画像
デ−タから欠陥の有無を判定するから、被検査物の表面
の欠陥の有無と欠陥の位置を直ちに知ることができる。
また、取付け位置と取付け角度が異なる２台のＣＣＤカ
メラで被検査物の表面の輝度情報を得るから、凹凸だけ
でなく色ムラ等の欠陥も正確に検出することができる。
【００１３】また、信号処理部に各ＣＣＤカメラから出
力される画像デ−タの入力を制御する入力制御部を設
け、入力制御部で各ＣＣＤカメラから出力する画像デ−
タを監視し、基準座標マ−ク情報が検出されたとき以後
の画像デ−タを各画像メモリに保存するようにしても良
い。このように基準座標マ−ク情報が検出されたとき以
後の画像デ−タを画像メモリに保存することにより、画
像メモリに保存された画像デ−タから合成画像デ−タを
直接得ることができ、欠陥の有無を迅速に検出すること
ができる。
力される画像デ−タの入力を制御する入力制御部を設
け、入力制御部で各ＣＣＤカメラから出力する画像デ−
タを監視し、基準座標マ−ク情報が検出されたとき以後
の画像デ−タを各画像メモリに保存するようにしても良
い。このように基準座標マ−ク情報が検出されたとき以
後の画像デ−タを画像メモリに保存することにより、画
像メモリに保存された画像デ−タから合成画像デ−タを
直接得ることができ、欠陥の有無を迅速に検出すること
ができる。
【００１４】さらに、ＣＣＤカメラ間の画像入力のずれ
を吸収するバッファメモリを設け、遅れて入力した画像
デ−タから基準座標マ−ク情報を検出したときに直ちに
合成画像デ−タを得るようにしても良い。
を吸収するバッファメモリを設け、遅れて入力した画像
デ−タから基準座標マ−ク情報を検出したときに直ちに
合成画像デ−タを得るようにしても良い。
【００１５】また、被検査物表面の欠陥の位置を特定す
るための基準座標マ−クは、被検査物の表面に基準座標
マ−クを直接付加したり、被検査物を搬送する搬送装置
と同期して被検査物表面を走査する光学系で基準座標マ
−クをスポット光で表示したり、基準座標マ−クを被検
査物を搬送する搬送装置に表示すれば良い。
るための基準座標マ−クは、被検査物の表面に基準座標
マ−クを直接付加したり、被検査物を搬送する搬送装置
と同期して被検査物表面を走査する光学系で基準座標マ
−クをスポット光で表示したり、基準座標マ−クを被検
査物を搬送する搬送装置に表示すれば良い。
【００１６】
【実施例】図１はこの発明の一実施例の構成を示す配置
図である。図に示すように、表面欠陥検査装置はマ−キ
ング装置１と投光部２と２組のライン型ＣＣＤカメラ
３，４と信号処理部５と表示装置６とを有する。マ−キ
ング装置１は被検査物７を搬送する搬送装置８の上流側
に設けられ、搬送されている被検査物７の表面に座標を
特定する２個の基準座標マ−ク９を表示する。投光部２
はライン型光源からなり、被検査物４表面の幅方向全体
に光を照射する。ライン型ＣＣＤカメラ３は被検査物７
表面の光照射位置１０より上流側で光照射位置１０から
一定距離離れた位置に配置され、ライン型ＣＣＤカメラ
４は被検査物７表面の光照射位置１０より下流側で光照
射位置１０から一定距離離れた位置に配置されている。
図である。図に示すように、表面欠陥検査装置はマ−キ
ング装置１と投光部２と２組のライン型ＣＣＤカメラ
３，４と信号処理部５と表示装置６とを有する。マ−キ
ング装置１は被検査物７を搬送する搬送装置８の上流側
に設けられ、搬送されている被検査物７の表面に座標を
特定する２個の基準座標マ−ク９を表示する。投光部２
はライン型光源からなり、被検査物４表面の幅方向全体
に光を照射する。ライン型ＣＣＤカメラ３は被検査物７
表面の光照射位置１０より上流側で光照射位置１０から
一定距離離れた位置に配置され、ライン型ＣＣＤカメラ
４は被検査物７表面の光照射位置１０より下流側で光照
射位置１０から一定距離離れた位置に配置されている。
【００１７】信号処理部５は、図２のブロック図に示す
ように、画像メモリ１１ａ，１１ｂと座標情報算出部１
２と補正画像メモリ１３ａ，１３ｂと演算処理部１４と
合成画像メモリ１５及び欠陥判定部１６を有する。画像
メモリ１１ａはライン型ＣＣＤカメラ３から出力された
画像デ−タを保存し、画像メモリ１１ｂはライン型ＣＣ
Ｄカメラ４から出力された画像デ−タを保存する。座標
情報算出部１２は画像メモリ１１ａ，１１ｂに保存され
た各画像デ−タに含まれる基準座標マ−ク９の位置情報
から各画像デ−タの位置を補正して補正画像メモリ１３
ａ，１３ｂに格納する。演算処理部１４は補正された各
画像デ−タの差を演算して合成画像デ−タを形成し、例
えばハ−ドディスク等からなる合成画像メモリ１５に格
納するとともに表示装置６に表示する。欠陥判定部１６
は合成画像メモリ１５に格納された合成画像デ−タから
欠陥の有無を判定する。
ように、画像メモリ１１ａ，１１ｂと座標情報算出部１
２と補正画像メモリ１３ａ，１３ｂと演算処理部１４と
合成画像メモリ１５及び欠陥判定部１６を有する。画像
メモリ１１ａはライン型ＣＣＤカメラ３から出力された
画像デ−タを保存し、画像メモリ１１ｂはライン型ＣＣ
Ｄカメラ４から出力された画像デ−タを保存する。座標
情報算出部１２は画像メモリ１１ａ，１１ｂに保存され
た各画像デ−タに含まれる基準座標マ−ク９の位置情報
から各画像デ−タの位置を補正して補正画像メモリ１３
ａ，１３ｂに格納する。演算処理部１４は補正された各
画像デ−タの差を演算して合成画像デ−タを形成し、例
えばハ−ドディスク等からなる合成画像メモリ１５に格
納するとともに表示装置６に表示する。欠陥判定部１６
は合成画像メモリ１５に格納された合成画像デ−タから
欠陥の有無を判定する。
【００１８】上記のように構成された表面欠陥検査装置
で搬送装置８で送られてくる被検査物７表面の欠陥の有
無を検出するときは、図３のフロ−チャ−トに示すよう
に、搬送されている被検査物７の幅方向の２個所にマ−
キング装置１で基準座標マ−ク９を表示する（ステップ
Ｓ１）。そして投光部２から被検査物７の表面に光を照
射して、ＣＣＤカメラ３で搬送されている被検査物７表
面の光照射位置１０の画像を上流側から撮像し、ＣＣＤ
カメラ４で被検査物７表面の光照射位置１０の画像を下
流側から撮像する（ステップＳ４，Ｓ５）。このように
搬送されている被検査物７表面の光照射位置１０をＣＣ
Ｄカメラ３，４で撮像することにより被検査物７の表面
全体の輝度情報を得ることができる。例えば被検査物７
の表面の一部に色ムラや凹凸とうの欠陥があるとき、被
検査物７の搬送方向に対して上流側に設けたＣＣＤカメ
ラ３で得た輝度情報は、図４（ａ）に示すように、欠陥
部２１の下流部分２１ａが明るく上流部分２１ｂが暗く
なる。また、被検査物７の搬送方向に対して下流側に設
けたＣＣＤカメラ４で得た輝度情報は、図４（ｂ）に示
すように、欠陥部２１の上流部分２１ｂが明るく下流部
分２１ａが暗くなる。この欠陥部２１は２個所に設けた
基準座標マ−ク９により被検査物７の移動方向と幅方向
の座標を特定することができる。この搬送方向の上流側
に設けたＣＣＤカメラ３から入力されたプロファイルデ
−タは図５の変化特性図に示すように基準座標マ−クの
位置に最大ピ−クを有し、被検査物７の表面の状態によ
り変動するデ−タＡとなり、下流側に設けたＣＣＤカメ
ラ４から入力されたプロファイルデ−タも基準座標マ−
クの位置に最大ピ−クを有し、被検査物７の表面の状態
により変動するデ−タＢとなる。
で搬送装置８で送られてくる被検査物７表面の欠陥の有
無を検出するときは、図３のフロ−チャ−トに示すよう
に、搬送されている被検査物７の幅方向の２個所にマ−
キング装置１で基準座標マ−ク９を表示する（ステップ
Ｓ１）。そして投光部２から被検査物７の表面に光を照
射して、ＣＣＤカメラ３で搬送されている被検査物７表
面の光照射位置１０の画像を上流側から撮像し、ＣＣＤ
カメラ４で被検査物７表面の光照射位置１０の画像を下
流側から撮像する（ステップＳ４，Ｓ５）。このように
搬送されている被検査物７表面の光照射位置１０をＣＣ
Ｄカメラ３，４で撮像することにより被検査物７の表面
全体の輝度情報を得ることができる。例えば被検査物７
の表面の一部に色ムラや凹凸とうの欠陥があるとき、被
検査物７の搬送方向に対して上流側に設けたＣＣＤカメ
ラ３で得た輝度情報は、図４（ａ）に示すように、欠陥
部２１の下流部分２１ａが明るく上流部分２１ｂが暗く
なる。また、被検査物７の搬送方向に対して下流側に設
けたＣＣＤカメラ４で得た輝度情報は、図４（ｂ）に示
すように、欠陥部２１の上流部分２１ｂが明るく下流部
分２１ａが暗くなる。この欠陥部２１は２個所に設けた
基準座標マ−ク９により被検査物７の移動方向と幅方向
の座標を特定することができる。この搬送方向の上流側
に設けたＣＣＤカメラ３から入力されたプロファイルデ
−タは図５の変化特性図に示すように基準座標マ−クの
位置に最大ピ−クを有し、被検査物７の表面の状態によ
り変動するデ−タＡとなり、下流側に設けたＣＣＤカメ
ラ４から入力されたプロファイルデ−タも基準座標マ−
クの位置に最大ピ−クを有し、被検査物７の表面の状態
により変動するデ−タＢとなる。
【００１９】このＣＣＤカメラ３，４で撮影した画像デ
−タは信号処理部５に逐次送られ、信号処理部５の画像
メモリ１１ａはＣＣＤカメラ３から送られた画像デ−タ
を保存し、画像メモリ１１ｂはＣＣＤカメラ４から送ら
れた画像デ−タを保存する（ステップＳ４，Ｓ５）。座
標情報算出部１２は画像メモリ１１ａ，１１ｂに保存さ
れた各画像デ−タの基準座標マ−ク情報を基準にして各
画像デ−タの位置座標を求めて補正する（ステップＳ
６、Ｓ７）。例えば図６のプロファイルデ−タ特性図に
示すように、プロファイルデ−タの最大ピ−クである基
準座標マ−ク９の位置を基準位置として各デ−タＡ，Ｂ
の位置座標を補正する。この座標情報算出部１２で補正
された補正画像デ−タはそれぞれ補正画像メモリ１３
ａ，１３ｂに格納される。演算処理部１４は補正画像メ
モリ１３ａに格納されたＣＣＤカメラ３で得た補正画像
デ−タと補正画像メモリ１３ｂに格納されたＣＣＤカメ
ラ４で得た補正画像デ−タの差を演算して合成画像デ−
タを形成し、合成画像メモリ１５に格納するとともに表
示装置６に表示する（ステップＳ８）。この合成画像デ
−タのプロファイルデ−タは、例えば図７の特性図に示
すように、ＣＣＤカメラ３とＣＣＤカメラ４の取付け位
置と取付け角度の違いにより、欠陥２１の部分以外は互
いに打消あって、欠陥２１の部分だけが強調されたデ−
タとなる。そこで欠陥判定部１６は合成画像メモリ１５
に格納された合成画像デ−タを確認して欠陥の有無を判
定し（ステップＳ９）、欠陥があるときは、基準座標マ
−ク９の位置を基準とした座標を指定して欠陥の位置を
特定し表示装置６に表示する（ステップＳ１０）。ま
た、欠陥判定部１６は欠陥を発見しないときは、その旨
を表示装置６に表示する。
−タは信号処理部５に逐次送られ、信号処理部５の画像
メモリ１１ａはＣＣＤカメラ３から送られた画像デ−タ
を保存し、画像メモリ１１ｂはＣＣＤカメラ４から送ら
れた画像デ−タを保存する（ステップＳ４，Ｓ５）。座
標情報算出部１２は画像メモリ１１ａ，１１ｂに保存さ
れた各画像デ−タの基準座標マ−ク情報を基準にして各
画像デ−タの位置座標を求めて補正する（ステップＳ
６、Ｓ７）。例えば図６のプロファイルデ−タ特性図に
示すように、プロファイルデ−タの最大ピ−クである基
準座標マ−ク９の位置を基準位置として各デ−タＡ，Ｂ
の位置座標を補正する。この座標情報算出部１２で補正
された補正画像デ−タはそれぞれ補正画像メモリ１３
ａ，１３ｂに格納される。演算処理部１４は補正画像メ
モリ１３ａに格納されたＣＣＤカメラ３で得た補正画像
デ−タと補正画像メモリ１３ｂに格納されたＣＣＤカメ
ラ４で得た補正画像デ−タの差を演算して合成画像デ−
タを形成し、合成画像メモリ１５に格納するとともに表
示装置６に表示する（ステップＳ８）。この合成画像デ
−タのプロファイルデ−タは、例えば図７の特性図に示
すように、ＣＣＤカメラ３とＣＣＤカメラ４の取付け位
置と取付け角度の違いにより、欠陥２１の部分以外は互
いに打消あって、欠陥２１の部分だけが強調されたデ−
タとなる。そこで欠陥判定部１６は合成画像メモリ１５
に格納された合成画像デ−タを確認して欠陥の有無を判
定し（ステップＳ９）、欠陥があるときは、基準座標マ
−ク９の位置を基準とした座標を指定して欠陥の位置を
特定し表示装置６に表示する（ステップＳ１０）。ま
た、欠陥判定部１６は欠陥を発見しないときは、その旨
を表示装置６に表示する。
【００２０】このように欠陥があるときにその位置を基
準座標マ−ク９の位置を基準として表示装置６に表示す
るから、検査者は被検査物７の表面の欠陥の有無と欠陥
の位置を直ちに知ることができる。また、取付け位置と
取付け角度が異なるＣＣＤカメラ３，４で被検査物７の
表面の輝度情報を得るから、凹凸だけでなく色ムラ等の
欠陥も正確に検出することができる。
準座標マ−ク９の位置を基準として表示装置６に表示す
るから、検査者は被検査物７の表面の欠陥の有無と欠陥
の位置を直ちに知ることができる。また、取付け位置と
取付け角度が異なるＣＣＤカメラ３，４で被検査物７の
表面の輝度情報を得るから、凹凸だけでなく色ムラ等の
欠陥も正確に検出することができる。
【００２１】上記実施例はＣＣＤカメラ３，４を被検査
物７の光照射位置１０に対して搬送方向の上流側と下流
側に設けた場合について説明したが、ＣＣＤカメラ３，
４を被検査物７の搬送方向と直交する両側方の上部にそ
れぞれ配置しても、上記実施例と同様な作用を奏するこ
とができる。
物７の光照射位置１０に対して搬送方向の上流側と下流
側に設けた場合について説明したが、ＣＣＤカメラ３，
４を被検査物７の搬送方向と直交する両側方の上部にそ
れぞれ配置しても、上記実施例と同様な作用を奏するこ
とができる。
【００２２】また、上記実施例はＣＣＤカメラ３，４で
撮像して画像メモリ１１ａ，１１ｂに保存した画像デ−
タを基準座標マ−ク情報に基づいて位置補正した場合に
ついて説明したが、図８のブロック図に示すように、信
号処理部５にＣＣＤカメラ３，４から出力される画像デ
−タの入力を制御する入力制御部１７ａ，１７ｂを設
け、入力制御部１７ａ，１７ｂでＣＣＤカメラ３，４か
ら出力する画像デ−タを監視し、基準座標マ−ク情報が
検出されたとき以後の画像デ−タを画像メモリ１１ａ，
１１ｂに保存するようにしても良い。このように基準座
標マ−ク情報が検出されたとき以後の画像デ−タを画像
メモリ１１ａ，１１ｂに保存することにより、画像メモ
リ１１ａ，１１ｂに保存された画像デ−タから合成画像
デ−タを直接得ることができ、欠陥の有無を迅速に検出
することができる。
撮像して画像メモリ１１ａ，１１ｂに保存した画像デ−
タを基準座標マ−ク情報に基づいて位置補正した場合に
ついて説明したが、図８のブロック図に示すように、信
号処理部５にＣＣＤカメラ３，４から出力される画像デ
−タの入力を制御する入力制御部１７ａ，１７ｂを設
け、入力制御部１７ａ，１７ｂでＣＣＤカメラ３，４か
ら出力する画像デ−タを監視し、基準座標マ−ク情報が
検出されたとき以後の画像デ−タを画像メモリ１１ａ，
１１ｂに保存するようにしても良い。このように基準座
標マ−ク情報が検出されたとき以後の画像デ−タを画像
メモリ１１ａ，１１ｂに保存することにより、画像メモ
リ１１ａ，１１ｂに保存された画像デ−タから合成画像
デ−タを直接得ることができ、欠陥の有無を迅速に検出
することができる。
【００２３】さらに、ＣＣＤカメラ３，４間の画像入力
のずれを吸収するバッファメモリを設け、遅れて入力し
た画像デ−タから基準座標マ−ク情報を検出したときに
直ちに合成画像デ−タを得るようにしても良い。この場
合は、図９のブロック図に示すように、入力制御部１７
ａ，１７ｂの後段にデ−タ選択部１８とバッファメモリ
１９を設け、例えばＣＣＤカメラ３から出力される基準
座標マ−ク情報がＣＣＤカメラ４から出力される基準座
標マ−ク情報より早く出力される場合には、入力制御部
１７ａからＣＣＤカメラ３から出力する画像デ−タの基
準座標マ−ク情報を検出したとき以後の画像デ−タが出
力されたときに、デ−タ選択部１８は早く出力されたＣ
ＣＤカメラ３からの画像デ−タをバッファメモリ１９に
格納する。その後、入力制御部１７ｂからＣＣＤカメラ
４からの画像デ−タが出力されたら、デ−タ選択部１８
はＣＣＤカメラ４からの画像デ−タを演算処理部１４に
直接送る。演算処理部１４はＣＣＤカメラ４からの画像
デ−タが送られたときにバッファメモリ１９に格納され
たＣＣＤカメラ３からの画像デ−タを読み出して合成画
像デ−タを形成する。このようにして、オンラインで欠
陥の有無を検出することができる。
のずれを吸収するバッファメモリを設け、遅れて入力し
た画像デ−タから基準座標マ−ク情報を検出したときに
直ちに合成画像デ−タを得るようにしても良い。この場
合は、図９のブロック図に示すように、入力制御部１７
ａ，１７ｂの後段にデ−タ選択部１８とバッファメモリ
１９を設け、例えばＣＣＤカメラ３から出力される基準
座標マ−ク情報がＣＣＤカメラ４から出力される基準座
標マ−ク情報より早く出力される場合には、入力制御部
１７ａからＣＣＤカメラ３から出力する画像デ−タの基
準座標マ−ク情報を検出したとき以後の画像デ−タが出
力されたときに、デ−タ選択部１８は早く出力されたＣ
ＣＤカメラ３からの画像デ−タをバッファメモリ１９に
格納する。その後、入力制御部１７ｂからＣＣＤカメラ
４からの画像デ−タが出力されたら、デ−タ選択部１８
はＣＣＤカメラ４からの画像デ−タを演算処理部１４に
直接送る。演算処理部１４はＣＣＤカメラ４からの画像
デ−タが送られたときにバッファメモリ１９に格納され
たＣＣＤカメラ３からの画像デ−タを読み出して合成画
像デ−タを形成する。このようにして、オンラインで欠
陥の有無を検出することができる。
【００２４】また、上記実施例は被検査物７の表面にマ
−キング装置１で基準座標マ−ク９を直接表示した場合
について説明したが、図１０に示すように、レ−ザ光源
３１と搬送装置８と同期して回転する走査ミラ−３２と
レンズ３３を使用して被検査物７の表面にスポット光で
基準座標マ−ク９を表示しても良い。また、図１１に示
すように、被検査物７を搬送する搬送装置８に基準座標
マ−ク９を付けておいたり、スポット光で基準座標マ−
ク９を表示し、搬送装置８の基準座標マ−ク９の位置を
基準にして被検査物７を搬送するようにしても良い。こ
のようにレ−ザ光で基準座標マ−ク９を形成したり、搬
送装置８に基準座標マ−ク９を付けておくことにより、
基準座標マ−ク９を直接付加することができない被検査
物７の表面にも基準座標マ−ク９を形成することができ
る。また、搬送装置８に基準座標マ−ク９を付けておく
と円筒状の被検査物でも欠陥の有無を精度良く検出する
ことができる。
−キング装置１で基準座標マ−ク９を直接表示した場合
について説明したが、図１０に示すように、レ−ザ光源
３１と搬送装置８と同期して回転する走査ミラ−３２と
レンズ３３を使用して被検査物７の表面にスポット光で
基準座標マ−ク９を表示しても良い。また、図１１に示
すように、被検査物７を搬送する搬送装置８に基準座標
マ−ク９を付けておいたり、スポット光で基準座標マ−
ク９を表示し、搬送装置８の基準座標マ−ク９の位置を
基準にして被検査物７を搬送するようにしても良い。こ
のようにレ−ザ光で基準座標マ−ク９を形成したり、搬
送装置８に基準座標マ−ク９を付けておくことにより、
基準座標マ−ク９を直接付加することができない被検査
物７の表面にも基準座標マ−ク９を形成することができ
る。また、搬送装置８に基準座標マ−ク９を付けておく
と円筒状の被検査物でも欠陥の有無を精度良く検出する
ことができる。
【００２５】
【発明の効果】この発明は以上説明したように、取付け
位置と取付け角度が異なる複数の画像入力装置で撮像し
た被検査物表面の画像デ−タを基準座標マ−クの位置を
基準として座標補正し、座標補正した画像デ−タの合成
画像デ−タを形成し、形成した合成画像デ−タから欠陥
の有無を判定するから、被検査物の表面の欠陥の有無と
欠陥の位置を直ちに知ることができる。
位置と取付け角度が異なる複数の画像入力装置で撮像し
た被検査物表面の画像デ−タを基準座標マ−クの位置を
基準として座標補正し、座標補正した画像デ−タの合成
画像デ−タを形成し、形成した合成画像デ−タから欠陥
の有無を判定するから、被検査物の表面の欠陥の有無と
欠陥の位置を直ちに知ることができる。
【００２６】また、取付け位置と取付け角度が異なる複
数の画像入力装置で被検査物の表面の輝度情報を得るか
ら、凹凸だけでなく色ムラ等の欠陥も正確に検出するこ
とができる。
数の画像入力装置で被検査物の表面の輝度情報を得るか
ら、凹凸だけでなく色ムラ等の欠陥も正確に検出するこ
とができる。
【００２７】また、各画像入力装置から出力される画像
デ−タを監視し、基準座標マ−ク情報が検出されたとき
以後の画像デ−タを各画像メモリに保存することによ
り、画像メモリに保存された画像デ−タから合成画像デ
−タを直接得ることができ、欠陥の有無を迅速に検出す
ることができる。
デ−タを監視し、基準座標マ−ク情報が検出されたとき
以後の画像デ−タを各画像メモリに保存することによ
り、画像メモリに保存された画像デ−タから合成画像デ
−タを直接得ることができ、欠陥の有無を迅速に検出す
ることができる。
【００２８】さらに、各画像入力装置間の画像入力のず
れを吸収するバッファメモリを設け、遅れて入力した画
像デ−タから基準座標マ−ク情報を検出したときに直ち
に合成画像デ−タを得ることにより、欠陥の有無をより
迅速に検出することができ、オンラインで欠陥の有無を
検出することができる。
れを吸収するバッファメモリを設け、遅れて入力した画
像デ−タから基準座標マ−ク情報を検出したときに直ち
に合成画像デ−タを得ることにより、欠陥の有無をより
迅速に検出することができ、オンラインで欠陥の有無を
検出することができる。
【００２９】また、被検査物表面の欠陥の位置を特定す
るための基準座標マ−クを被検査物を搬送する搬送装置
と同期して被検査物表面を走査する光学系でスポット光
として表示したり、基準座標マ−クを被検査物を搬送す
る搬送装置に表示することにより、基準座標マ−クを直
接付加することができない被検査物の表面にも基準座標
マ−クを形成することができる。
るための基準座標マ−クを被検査物を搬送する搬送装置
と同期して被検査物表面を走査する光学系でスポット光
として表示したり、基準座標マ−クを被検査物を搬送す
る搬送装置に表示することにより、基準座標マ−クを直
接付加することができない被検査物の表面にも基準座標
マ−クを形成することができる。
【００３０】さらに、搬送装置に基準座標マ−クを付け
ておくと円筒状の被検査物でも欠陥の有無を精度良く検
出することができる。
ておくと円筒状の被検査物でも欠陥の有無を精度良く検
出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施例の構成を示す配置図である。
【図２】上記実施例の信号処理部の構成を示すブロック
図である。
図である。
【図３】上記実施例の動作を示すフロ−チャ−トであ
る。
る。
【図４】上記実施例で撮像した画像を示す説明図であ
る。
る。
【図５】画像デ−タのプロファイルデ−タの変化特性図
である。
である。
【図６】座標補正をしたプロファイルデ−タの変化特性
図である。
図である。
【図７】合成画像デ−タのプロファイルデ−タの変化特
性図である。
性図である。
【図８】第２の実施例の信号処理部の構成を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
【図９】第３の実施例の信号処理部の構成を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
【図１０】レ−ザ光学系からなるマ−キング装置を示す
配置図である。
配置図である。
【図１１】搬送装置に付けた基準座標マ−クを示す斜視
図である。
図である。
１ マ−キング装置 ２ 投光部と ３，４ ＣＣＤカメラ ５ 信号処理部 ６ 表示装置 ７ 被検査物 ８ 搬送装置 ９ 基準座標マ−ク １１ 画像メモリ １２ 座標情報算出部 １３ 補正画像メモリ １４ 演算処理部 １５ 合成画像メモリ １６ 欠陥判定部 １７ 入力制御部 １８ デ−タ選択部 １９ バッファメモリ
Claims (7)
- 【請求項１】 マ−キング装置と投光部と複数の画像入
力装置と信号処理部と表示装置とを有し、 マ−キング装置は搬送装置で搬送される被検査物表面の
座標を特定する基準座標マ−クを表示し、 投光部は被検査物表面の幅方向全体に光を照射し、 複数の画像入力装置は被検査物表面の輝度情報を入力す
るものであり、被検査物表面の光照射位置の前後又は左
右両側から一定距離離れた異なる位置にそれぞれ配置さ
れ、 信号処理部は各画像入力装置から送られる画像デ−タの
位置を基準座標マ−クの情報を基準として補正し、補正
された各画像デ−タの差を演算して合成画像デ−タを形
成し、合成画像デ−タから欠陥の有無を判定し、 表示装置は信号処理部で形成した合成画像デ−タと欠陥
の有無を表示することを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 【請求項２】 上記信号処理部は画像メモリと座標情報
算出部と演算処理部及び欠陥判定部とを有し、画像メモ
リは各画像入力装置から送られる画像デ−タを画像入力
装置毎に保存し、座標情報算出部は画像メモリに保存さ
れた各画像デ−タの位置を基準座標マ−クの情報を基準
として補正し、演算処理部は補正された各画像デ−タの
差を演算して合成画像デ−タを形成し、欠陥判定部は形
成された合成画像デ−タから欠陥の有無を判定する請求
項１記載の表面欠陥検査装置。 - 【請求項３】 上記信号処理部は入力制御部と画像メモ
リと演算処理部及び欠陥判定部を有し、入力制御部は各
画像入力装置から送られる画像デ−タを監視し、基準座
標マ−クの情報を検出したときに該当する画像入力装置
から送られる画像デ−タを画像メモリに保存し、演算処
理部は画像メモリに保存された各画像デ−タの差を演算
して合成画像デ−タを形成し、欠陥判定部は形成された
合成画像デ−タから欠陥の有無を判定する請求項１記載
の表面欠陥検査装置。 - 【請求項４】 上記信号処理部は入力制御部とデ−タ選
択部とバッファメモリと演算処理部及び欠陥判定部を有
し、入力制御部は各画像入力装置から送られる画像デ−
タを監視し、基準座標マ−クの情報を検出したときに該
当する画像入力装置から送られる画像デ−タを出力し、
デ−タ選択部は入力制御部から出力される画像デ−タの
最も遅れて出力される画像デ−タ以外をバッファメモリ
に格納し、最も遅れて出力される画像デ−タを演算処理
部に送り、演算処理部は最も遅れて出力される画像デ−
タが送られたときにバッファメモリに格納された画像デ
−タを読み出して各画像デ−タの差を演算して合成画像
デ−タを形成し、欠陥判定部は形成された合成画像デ−
タから欠陥の有無を判定する請求項１記載の表面欠陥検
査装置。 - 【請求項５】 上記マ−キング装置は被検査物の表面に
基準座標マ−クを直接付加する請求項１記載の表面欠陥
検査装置。 - 【請求項６】 上記マ−キング装置は被検査物を搬送す
る搬送装置と同期して被検査物表面を走査する光学系を
有し、基準座標マ−クをスポット光で表示する請求項１
記載の表面欠陥検査装置。 - 【請求項７】 上記基準座標マ−クを被検査物を搬送す
る搬送装置に表示する請求項１記載の表面欠陥検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1330797A JPH10197455A (ja) | 1997-01-09 | 1997-01-09 | 表面欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1330797A JPH10197455A (ja) | 1997-01-09 | 1997-01-09 | 表面欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10197455A true JPH10197455A (ja) | 1998-07-31 |
Family
ID=11829533
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1330797A Pending JPH10197455A (ja) | 1997-01-09 | 1997-01-09 | 表面欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10197455A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009104876A3 (ko) * | 2008-02-18 | 2009-11-05 | 에스엔유프리시젼(주) | 비전 검사 시스템 및 이것을 이용한 피검사체의 검사 방법 |
| JP2019520575A (ja) * | 2016-06-22 | 2019-07-18 | ジ・ディ・ソシエタ・ペル・アチオニＧ．Ｄ Ｓ．ｐ．Ａ． | 細長い要素から構成されるグループの移送及び検査ユニット |
| JP2019211310A (ja) * | 2018-06-04 | 2019-12-12 | 日本製鉄株式会社 | 表面性状検査方法及び表面性状検査装置 |
| CN111080582A (zh) * | 2019-12-02 | 2020-04-28 | 易思维（杭州）科技有限公司 | 工件内外表面缺陷检测方法 |
| JP2022534699A (ja) * | 2019-05-23 | 2022-08-03 | プラッサー ウント トイラー エクスポート フォン バーンバウマシーネン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 軌道を突き固めるための軌道工事機械および方法 |
| JP2023133744A (ja) * | 2022-03-14 | 2023-09-27 | 三菱電機株式会社 | 表面形状検査方法 |
-
1997
- 1997-01-09 JP JP1330797A patent/JPH10197455A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009104876A3 (ko) * | 2008-02-18 | 2009-11-05 | 에스엔유프리시젼(주) | 비전 검사 시스템 및 이것을 이용한 피검사체의 검사 방법 |
| JP2019520575A (ja) * | 2016-06-22 | 2019-07-18 | ジ・ディ・ソシエタ・ペル・アチオニＧ．Ｄ Ｓ．ｐ．Ａ． | 細長い要素から構成されるグループの移送及び検査ユニット |
| JP2019211310A (ja) * | 2018-06-04 | 2019-12-12 | 日本製鉄株式会社 | 表面性状検査方法及び表面性状検査装置 |
| JP2022534699A (ja) * | 2019-05-23 | 2022-08-03 | プラッサー ウント トイラー エクスポート フォン バーンバウマシーネン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 軌道を突き固めるための軌道工事機械および方法 |
| CN111080582A (zh) * | 2019-12-02 | 2020-04-28 | 易思维（杭州）科技有限公司 | 工件内外表面缺陷检测方法 |
| CN111080582B (zh) * | 2019-12-02 | 2023-06-02 | 易思维（杭州）科技有限公司 | 工件内外表面缺陷检测方法 |
| JP2023133744A (ja) * | 2022-03-14 | 2023-09-27 | 三菱電機株式会社 | 表面形状検査方法 |
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