JPH03167458A - Ｘ線回折装置 - Google Patents
Ｘ線回折装置Info
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- JPH03167458A JPH03167458A JP1307151A JP30715189A JPH03167458A JP H03167458 A JPH03167458 A JP H03167458A JP 1307151 A JP1307151 A JP 1307151A JP 30715189 A JP30715189 A JP 30715189A JP H03167458 A JPH03167458 A JP H03167458A
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利川分封］
本発明は、結晶性試料のＸ線回折像を輝尽性螢光板に蓄
積させてこれを読み取ることにより前記試料の結晶情報
を得るＸ線凹折装置に関する。
積させてこれを読み取ることにより前記試料の結晶情報
を得るＸ線凹折装置に関する。
［従来の技術］
結品性試料のＸ線凹折１象を記録してこれを解析するこ
とにより、前記試料の結晶情報を得る方法としては、従
来、写真法が一般的であった。この写真法は、分解１５
Ｆがよく、かつ、２次元の結品情報が得られる等のすぐ
れた利点を有する。反面、露光に比較的長時間を要し、
かつ、現像等の煩雑な作業が必要である等の欠点を有す
る。このため短時間に多数の回折像を得ることは困難で
ある。
とにより、前記試料の結晶情報を得る方法としては、従
来、写真法が一般的であった。この写真法は、分解１５
Ｆがよく、かつ、２次元の結品情報が得られる等のすぐ
れた利点を有する。反面、露光に比較的長時間を要し、
かつ、現像等の煩雑な作業が必要である等の欠点を有す
る。このため短時間に多数の回折像を得ることは困難で
ある。
それゆえ、例えば、結晶桶造が時事刻々変化する試料に
ついて各時間毎の回折像を得なければならないような用
途には不＋ｔｑきである。
ついて各時間毎の回折像を得なければならないような用
途には不＋ｔｑきである。
この写真法の利点を生かしつつ欠点を袖うことかできる
方法として、近年、いゆる、輝尽性螢光板を用いた方法
が提案されている。この輝尽性螢光板は、Ｘ ！１（！
Ａを潜像として記録するとともに、この潜像に参照光を
照射したとき、その潜像に対応した発光が生じて該潜像
が消えて元の状態に復帰する性質（輝尽発光〉を有する
ものである。したがって、Ｘ線回折像を潜像として記録
し、この潜像の各点に参照光を照射してそのときこれら
各点で生ずる発光を検出すれば、前記潜像を読み取るこ
とができる。この方法は、前記写真法と同様の機能を有
するほかに、前記写真法に比較して露光時間（蓄積時間
〉が短くてすみ、がっ、繰り返し露光（蓄積〉及び読取
ができる。しかも、例えば、コンピュータ画像処理技術
を利用した画Ｌ％ Ｌ’Ｌ収装置を用いれば高速読取が
でき、かつ、読み収った画像のコンピュータ解析ができ
る。
方法として、近年、いゆる、輝尽性螢光板を用いた方法
が提案されている。この輝尽性螢光板は、Ｘ ！１（！
Ａを潜像として記録するとともに、この潜像に参照光を
照射したとき、その潜像に対応した発光が生じて該潜像
が消えて元の状態に復帰する性質（輝尽発光〉を有する
ものである。したがって、Ｘ線回折像を潜像として記録
し、この潜像の各点に参照光を照射してそのときこれら
各点で生ずる発光を検出すれば、前記潜像を読み取るこ
とができる。この方法は、前記写真法と同様の機能を有
するほかに、前記写真法に比較して露光時間（蓄積時間
〉が短くてすみ、がっ、繰り返し露光（蓄積〉及び読取
ができる。しかも、例えば、コンピュータ画像処理技術
を利用した画Ｌ％ Ｌ’Ｌ収装置を用いれば高速読取が
でき、かつ、読み収った画像のコンピュータ解析ができ
る。
ところで、上述の輝尽性螢光板を用いたＸ線［１１折装
置の特徴をより有効に生かすためには、一連の測定処理
の高能率化が要請される。この高能率化を実現する装置
として、従来から、輝尽性螢光板を２枚用いて、一方の
螢光板に画像蓄積をしている間に、既に潜像が蓄積され
た池方の螢光板を読み取るようにして測定時間の短縮を
図った装Ｈ７１が提案されている。
置の特徴をより有効に生かすためには、一連の測定処理
の高能率化が要請される。この高能率化を実現する装置
として、従来から、輝尽性螢光板を２枚用いて、一方の
螢光板に画像蓄積をしている間に、既に潜像が蓄積され
た池方の螢光板を読み取るようにして測定時間の短縮を
図った装Ｈ７１が提案されている。
［発明が解決しようとする課題］
ところが、測定目的によっては、上述の２枚の輝尽性螢
光板を用いた装置ではこの輝尽性螢光板の特徴を十分に
生かした測定ができない場合があることが判明した。ず
なわち、例えば、前述の結晶栖造が時事刻々変化する試
料については、各時点での結晶のＸ線回折像をできるだ
け短い時間間隔で多数枚撮る必要がある。しかし、輝尽
性螢光板は、通常、蓄積所要時間よりも読取所要時間の
ほうが長い。このため、前記２枚の輝尽性螢光板を用い
た装置では、一方の螢光板の蓄積が終了しても、他方の
螢光板の読取が終了するまで、次の蓄積を行うことがで
きない。それゆえ、蓄積所要時間が短いという特徴を有
効に生かすことができない。したがって、このような場
合に、この輝尽性螢光板の特徴を十分生がして、短い時
問間隔で多数の回折像を得るには、蓄積と読取とを切り
離して別個に行う以外に適当な方法がないと考えられて
いた。しかしながら、実際に、蓄積と読取とを別１１４
１に行う場合、輝尽性螢光板を次々と所定の蓄積位置に
セットするとともに、蓄積が終了した螢光板を画１５Ａ
読取装置の読取位置にセットする必要がある。この作業
を手動で行うことは、著しく煩雑であるとともに、Ｘ線
被爆のおそれもあるので、現実的でない。また、この作
業を、従来の一般的な自動化装置の技術を応用して自動
的化しようとすると、装置が著しく複雑・大掛かりなも
のとなってしまう。
光板を用いた装置ではこの輝尽性螢光板の特徴を十分に
生かした測定ができない場合があることが判明した。ず
なわち、例えば、前述の結晶栖造が時事刻々変化する試
料については、各時点での結晶のＸ線回折像をできるだ
け短い時間間隔で多数枚撮る必要がある。しかし、輝尽
性螢光板は、通常、蓄積所要時間よりも読取所要時間の
ほうが長い。このため、前記２枚の輝尽性螢光板を用い
た装置では、一方の螢光板の蓄積が終了しても、他方の
螢光板の読取が終了するまで、次の蓄積を行うことがで
きない。それゆえ、蓄積所要時間が短いという特徴を有
効に生かすことができない。したがって、このような場
合に、この輝尽性螢光板の特徴を十分生がして、短い時
問間隔で多数の回折像を得るには、蓄積と読取とを切り
離して別個に行う以外に適当な方法がないと考えられて
いた。しかしながら、実際に、蓄積と読取とを別１１４
１に行う場合、輝尽性螢光板を次々と所定の蓄積位置に
セットするとともに、蓄積が終了した螢光板を画１５Ａ
読取装置の読取位置にセットする必要がある。この作業
を手動で行うことは、著しく煩雑であるとともに、Ｘ線
被爆のおそれもあるので、現実的でない。また、この作
業を、従来の一般的な自動化装置の技術を応用して自動
的化しようとすると、装置が著しく複雑・大掛かりなも
のとなってしまう。
本発明は、」二連の背景のもとでなされたものであり、
比較的単純な椙成を有し、蓄積及び読取の一連の作業の
自動化が可能であり、かつ、輝尽性螢光板の特徴を十分
生かしつつ種々の測定に逍川可能なＸ線凹折装置を提供
することを目的としたものである。
比較的単純な椙成を有し、蓄積及び読取の一連の作業の
自動化が可能であり、かつ、輝尽性螢光板の特徴を十分
生かしつつ種々の測定に逍川可能なＸ線凹折装置を提供
することを目的としたものである。
［課題を解決するための手段］
本発明は、以下の紹成とすることにより上述の課題を解
決している。
決している。
試利に照射するＸ線を発生ずるＸ線源と、前記Ｘ線源か
ら１・ｔ出されるＸ線が前記試料に対して所定の方向か
ら入射するように前記試料を保持する試料保持手段と、 前記試料から生ずる回折Ｘ線によって形成されるＸ線■
折像を蓄積する輝尽性螢光板と、前記輝尽性螢光板に蓄
積されたＸ線回折像を請み収る画像読取装置とを有し、 前記輝尽性螢光板に蓄積されたＸ線回折像を前記画ｆｆ
ｌ読取装置で読み取ることにより、前記試料の結品情報
を得るＸ線回折装置において、柱状体の周囲を複数の区
画に分割してこれら各区画にそれぞれ輝尽性螢光板を取
り付けた螢光板保持体と、 この螢光板保持体の各区画に取り付けられた輝尽性螢光
板を、交互に前記Ｘ線回折像の蓄積可能な位置に設定で
きるように該螢光板保持体を回転自在に支持するととも
に、前記特定の区画の輝尽性螢光板が前記蓄積可能な位
置にあるとき、その輝尽性螢光板−ヒにおけるＸ線回折
像の結像位置を移動することができるように、前記回折
Ｘ線の方向に対して相対的に移動可能に形成された移動
台とを備え、 前記移動台に、前記輝尽性螢光板に蓄積されたＸ線回折
像を読み取る画像読取装置を取り付けたことを特徴とし
た楢成。
ら１・ｔ出されるＸ線が前記試料に対して所定の方向か
ら入射するように前記試料を保持する試料保持手段と、 前記試料から生ずる回折Ｘ線によって形成されるＸ線■
折像を蓄積する輝尽性螢光板と、前記輝尽性螢光板に蓄
積されたＸ線回折像を請み収る画像読取装置とを有し、 前記輝尽性螢光板に蓄積されたＸ線回折像を前記画ｆｆ
ｌ読取装置で読み取ることにより、前記試料の結品情報
を得るＸ線回折装置において、柱状体の周囲を複数の区
画に分割してこれら各区画にそれぞれ輝尽性螢光板を取
り付けた螢光板保持体と、 この螢光板保持体の各区画に取り付けられた輝尽性螢光
板を、交互に前記Ｘ線回折像の蓄積可能な位置に設定で
きるように該螢光板保持体を回転自在に支持するととも
に、前記特定の区画の輝尽性螢光板が前記蓄積可能な位
置にあるとき、その輝尽性螢光板−ヒにおけるＸ線回折
像の結像位置を移動することができるように、前記回折
Ｘ線の方向に対して相対的に移動可能に形成された移動
台とを備え、 前記移動台に、前記輝尽性螢光板に蓄積されたＸ線回折
像を読み取る画像読取装置を取り付けたことを特徴とし
た楢成。
［作用］
上述の構成において、前記螢光板保持体の各区画に取り
付けられた輝尽性螢光板のうちの任意の１つを、前記Ｘ
線回折像の蓄積可能な位置に設定し、所定のＸ線回折像
の蓄積を行う。次に、この蓄積が終了したら、前記螢光
板保持体を回転させて別の区画の輝尽性螢光板を前記Ｘ
線回折像の蓄積可能な位置に設定して蓄積を行う。これ
を次々と繰り返すことにより、前記複数の区画に取り付
けられた輝尽性螢光板にＸ線回折像を蓄積させることが
できる。これにより、例えば、前述の結晶横遣が時事刻
々変化する試料についても、短い時間間隔で各時点のＸ
線回折像を次々と蓄積させることができる。
付けられた輝尽性螢光板のうちの任意の１つを、前記Ｘ
線回折像の蓄積可能な位置に設定し、所定のＸ線回折像
の蓄積を行う。次に、この蓄積が終了したら、前記螢光
板保持体を回転させて別の区画の輝尽性螢光板を前記Ｘ
線回折像の蓄積可能な位置に設定して蓄積を行う。これ
を次々と繰り返すことにより、前記複数の区画に取り付
けられた輝尽性螢光板にＸ線回折像を蓄積させることが
できる。これにより、例えば、前述の結晶横遣が時事刻
々変化する試料についても、短い時間間隔で各時点のＸ
線回折像を次々と蓄積させることができる。
また、前記各区画に取り付けられた輝尽性螢光板の大き
さに比較して該飾尽性螢光板に結像されるＸ線回折像が
小さい場合には、前記移動台を移動してその輝尽性螢光
板におけるＸ線回折像の結像位置を変えて蓄積すること
により、１つの輝尽性螢光板に複数のＸ線回折像を蓄積
させることができる。これにより、極めて多数の輝尽性
螢光板を備えた場合と同等の効果を得ることができる。
さに比較して該飾尽性螢光板に結像されるＸ線回折像が
小さい場合には、前記移動台を移動してその輝尽性螢光
板におけるＸ線回折像の結像位置を変えて蓄積すること
により、１つの輝尽性螢光板に複数のＸ線回折像を蓄積
させることができる。これにより、極めて多数の輝尽性
螢光板を備えた場合と同等の効果を得ることができる。
さらに、その蓄積を行っている間に、前記画像読取装置
によって他の蓄積性螢光板に既に蓄積されたＸ線回折像
を読み取ることもできる。その場合、前記移動台に画像
読取装置が取り付けられていることから、読取の途中で
、前記移動台を移動して蓄積を行っている輝尽性螢光板
の蓄積位置を変えることができる。したがって゜、測定
の態様に沁じて蓄積及び読取の一連の処理を能率的に行
うことができる。
によって他の蓄積性螢光板に既に蓄積されたＸ線回折像
を読み取ることもできる。その場合、前記移動台に画像
読取装置が取り付けられていることから、読取の途中で
、前記移動台を移動して蓄積を行っている輝尽性螢光板
の蓄積位置を変えることができる。したがって゜、測定
の態様に沁じて蓄積及び読取の一連の処理を能率的に行
うことができる。
［実施例］
第１図は本発明の一実施例にかかるＸ線回折装置の椙或
を示す側面図である。以下第１図を参照しなから一実施
例を詳述する。
を示す側面図である。以下第１図を参照しなから一実施
例を詳述する。
図において、符号１はＸ線源、符号２は試料、符号３は
試料保持手段、符号４は螢光板保持体、符号４１，・・
・，４１は輝尽性螢光板、符号５は移動台、符号６は画
像読取装置である。
試料保持手段、符号４は螢光板保持体、符号４１，・・
・，４１は輝尽性螢光板、符号５は移動台、符号６は画
像読取装置である。
前記Ｘ線源１は、銅、モリブデンもしくはタングステン
等のターゲットに高速電子線を衝突させて照射Ｘ線Ｘ。
等のターゲットに高速電子線を衝突させて照射Ｘ線Ｘ。
を発生させる周知のＸ線発生装置からなる。
前記試料保持千段３は、前記試料２を保持して該試料２
の結晶軸が前記照射Ｘ線ｘＯの進行方向に対して所定の
方ＩＩ１になるように設定するもので、周知のゴニオメ
ータで横成される。
の結晶軸が前記照射Ｘ線ｘＯの進行方向に対して所定の
方ＩＩ１になるように設定するもので、周知のゴニオメ
ータで横成される。
前記試料保持千段３は、基台７に固定された光学台８に
取り付けられている。なお、この光学台８には、前記照
射Ｘ線Ｘ。を細いビーム状の平行Ｘ線にするための２つ
のピンホール装置８■８１、並びに、前記試料２から生
じた回折Ｘ線Ｘを規制するためのＸ線遮蔽筒８２がそれ
ぞれ取り付けられている。
取り付けられている。なお、この光学台８には、前記照
射Ｘ線Ｘ。を細いビーム状の平行Ｘ線にするための２つ
のピンホール装置８■８１、並びに、前記試料２から生
じた回折Ｘ線Ｘを規制するためのＸ線遮蔽筒８２がそれ
ぞれ取り付けられている。
前記螢光板保持体４は、略正８角柱状をなしたものであ
り、前記移動台５に固定された支柱４ ２に四転軸４３
を介して回転自在に支持されている。
り、前記移動台５に固定された支柱４ ２に四転軸４３
を介して回転自在に支持されている。
また、前記螢光板保持体４の各面は該螢光板保持体４の
中心に向かって凸の円筒曲面状に形或されており、これ
ら各面に輝尽性螢光板４１，・・・．４１が固着されて
いる。すなわち、前記螢光板保持体４の外周部が８つの
区画に分割されてこれら各区画にそれぞれ輝尽性螢光板
４１．・・・．４１が取り付けられている。そして、前
記螢光板保持体４を四転するずることにより、各区画の
輝尽性螢光板４１が交互に前記Ｘ線遮蔽筒８２の開放端
部に対向する位置に設定できるようになっている。
中心に向かって凸の円筒曲面状に形或されており、これ
ら各面に輝尽性螢光板４１，・・・．４１が固着されて
いる。すなわち、前記螢光板保持体４の外周部が８つの
区画に分割されてこれら各区画にそれぞれ輝尽性螢光板
４１．・・・．４１が取り付けられている。そして、前
記螢光板保持体４を四転するずることにより、各区画の
輝尽性螢光板４１が交互に前記Ｘ線遮蔽筒８２の開放端
部に対向する位置に設定できるようになっている。
これにより、前記試料２からの回折ＸＩｌｘによって形
或されるＸ線回折像を各区画の輝尽性螢光板４】に次々
と蓄積できるようになっているものである。
或されるＸ線回折像を各区画の輝尽性螢光板４】に次々
と蓄積できるようになっているものである。
これら輝尽性螢光板４１．・・・，４１は、Ｘ線を吸収
してそのＸ線像を潜像として蓄積し、これに参照光を照
射すると、Ｘ線像に対応した発光を行って潜像が消え、
元の状態に復帰する（輝尽発光）性質を有するものであ
る。
してそのＸ線像を潜像として蓄積し、これに参照光を照
射すると、Ｘ線像に対応した発光を行って潜像が消え、
元の状態に復帰する（輝尽発光）性質を有するものであ
る。
前記移動台５は、基台７に敷設された２本のレール７１
．７１に摺動自在に取り付けられている。
．７１に摺動自在に取り付けられている。
前記２本のレール７１．７１は第１図において、その長
手方向が紙面に垂直になるように敷設されている。すな
わち、前記移動台５は前記基台７上を紙面に垂直な方向
に移動自在となっている。これにより前記輝尽性螢光板
４１上における前記試料２のＸ線回折像の結像位置を紙
面に垂直な方向に移動できるようになっている。
手方向が紙面に垂直になるように敷設されている。すな
わち、前記移動台５は前記基台７上を紙面に垂直な方向
に移動自在となっている。これにより前記輝尽性螢光板
４１上における前記試料２のＸ線回折像の結像位置を紙
面に垂直な方向に移動できるようになっている。
前記画像読取装置６は、前記輝尽性螢光板４１の任意の
１つがＸ線回折像の蓄積位置にあるとき、その輝尽性螢
光板４１と前記回転軸４３を挾んで対象の位置にある別
の輝尽性螢光板４１に蓄積された画像を読み収るもので
ある。この画像読取装置６は、装置本体６１と、この装
置本体６１に回転自在に取り付けられた回転プローブ６
２とを備えている。また、前記装置本休６１は、前記移
動台５に紙面と直交するように敷設されたレール５１に
、移動自在なように取り付けられている。そして、装置
本体６１及び四転プローブ６２は図示しない駆動モータ
でそれぞれ凹転及び移動の駆動がなされ、これら駆動モ
ータ及び前記装置本体６１の信号系は図示しない画像処
理用コンピュータで制御されるようになっている。すな
わち、前記画像読取装置６は、前記図示しない画像処理
用コンピュータの制御に基づき、前記回転プローブ６２
の先端部の画像読取部で前記輝尽性螢光板４１上を走査
して該輝尽性螢光板４１に蓄積されたＸ線回折像を読み
取るものである。なお、前記螢光板保持体４を回転させ
る際は、前記画像読取装置６を大きく移動させて前記回
転プロープ６２の先端部が前記螢光板保持休４から離れ
るようにして回転の邪魔にならないよううにする。また
、読取が終了した輝尽性螢光板４１の残像を完全に消去
するために消去ランプ４４が設けられている。さらに、
前記螢光板保持体４及び画像読取装置６は遮光性ケース
９に収容されている。
１つがＸ線回折像の蓄積位置にあるとき、その輝尽性螢
光板４１と前記回転軸４３を挾んで対象の位置にある別
の輝尽性螢光板４１に蓄積された画像を読み収るもので
ある。この画像読取装置６は、装置本体６１と、この装
置本体６１に回転自在に取り付けられた回転プローブ６
２とを備えている。また、前記装置本休６１は、前記移
動台５に紙面と直交するように敷設されたレール５１に
、移動自在なように取り付けられている。そして、装置
本体６１及び四転プローブ６２は図示しない駆動モータ
でそれぞれ凹転及び移動の駆動がなされ、これら駆動モ
ータ及び前記装置本体６１の信号系は図示しない画像処
理用コンピュータで制御されるようになっている。すな
わち、前記画像読取装置６は、前記図示しない画像処理
用コンピュータの制御に基づき、前記回転プローブ６２
の先端部の画像読取部で前記輝尽性螢光板４１上を走査
して該輝尽性螢光板４１に蓄積されたＸ線回折像を読み
取るものである。なお、前記螢光板保持体４を回転させ
る際は、前記画像読取装置６を大きく移動させて前記回
転プロープ６２の先端部が前記螢光板保持休４から離れ
るようにして回転の邪魔にならないよううにする。また
、読取が終了した輝尽性螢光板４１の残像を完全に消去
するために消去ランプ４４が設けられている。さらに、
前記螢光板保持体４及び画像読取装置６は遮光性ケース
９に収容されている。
上述の横成において、前記螢光板保持体４の各区画に取
り付けられた輝尽性螢光板４１のうちの仔意の１つを、
前記Ｘ線回折像の蓄積可能な位置に設定し、所定のＸ線
目折像の蓄積を行う。次に、この蓄積が終了したら、前
記螢光板保持体４１を四転させて別の区画の輝尽性螢光
板４１を前記Ｘ線回折像の蓄積可能な位置に設定して蓄
積を行う。
り付けられた輝尽性螢光板４１のうちの仔意の１つを、
前記Ｘ線回折像の蓄積可能な位置に設定し、所定のＸ線
目折像の蓄積を行う。次に、この蓄積が終了したら、前
記螢光板保持体４１を四転させて別の区画の輝尽性螢光
板４１を前記Ｘ線回折像の蓄積可能な位置に設定して蓄
積を行う。
これを次々と繰り返すことにより、前記複数の区画に取
り付けられた輝尽性螢光板４１にＸ線回折像を蓄積させ
ることができる。これにより、例えば、結晶横造が時事
刻々変化する試料についても、短い時間間隔で各時点の
Ｘ線回折像を次々と蓄積させることができる。
り付けられた輝尽性螢光板４１にＸ線回折像を蓄積させ
ることができる。これにより、例えば、結晶横造が時事
刻々変化する試料についても、短い時間間隔で各時点の
Ｘ線回折像を次々と蓄積させることができる。
また、前記各区画に取り付けられた輝尽性螢光板４１の
大きさに比較して該輝尽性螢光板４１に結像されるＸ線
回折像が小さい場合には、前記移動台５を移動してその
輝尽性螢光板におけるＸ線回折像の結像位置を変えて蓄
積することにより、１つの輝尽性螢光板４１に複数のＸ
線回折像を蓄積させることができる。これにより、極め
て多数の輝尽性螢光板４■を備えた場合と同等の効果を
得ることができる。
大きさに比較して該輝尽性螢光板４１に結像されるＸ線
回折像が小さい場合には、前記移動台５を移動してその
輝尽性螢光板におけるＸ線回折像の結像位置を変えて蓄
積することにより、１つの輝尽性螢光板４１に複数のＸ
線回折像を蓄積させることができる。これにより、極め
て多数の輝尽性螢光板４■を備えた場合と同等の効果を
得ることができる。
さらに、その蓄積を行っている間に、前記画像読取装置
６によって他の蓄積性螢光板４１に既に蓄積されたＸ線
回折像を読み取ることもできる。
６によって他の蓄積性螢光板４１に既に蓄積されたＸ線
回折像を読み取ることもできる。
その場合、前記移動台５に画像読取装置６が取り付けら
れていることから、読取の途中で、前記移動台５を移動
して蓄積を行っている輝尽性螢光板４１の蓄積位置を変
えることができる。したがって、測定の態様に応じて蓄
積及び読取の一連の処理を能率的に行うことができる。
れていることから、読取の途中で、前記移動台５を移動
して蓄積を行っている輝尽性螢光板４１の蓄積位置を変
えることができる。したがって、測定の態様に応じて蓄
積及び読取の一連の処理を能率的に行うことができる。
また、時事刻々結品椙造が変化する試料のながには、最
初は結晶構造の変化が早いが、次第にその変化が遅くな
るものが少なからずある。上記一尖施例は、そのような
試料の効率的測定を行う場合に特に有利である。すなわ
ち、上記一実施例では、最初に蓄積が終了した輝尽性螢
光板４１の画１象が前記画像読取装置６によって読み取
られるまでの間に、さらに、３つの区画取り付けられた
輝尽性螢光板４１に画像蓄積を行うことができる。
初は結晶構造の変化が早いが、次第にその変化が遅くな
るものが少なからずある。上記一尖施例は、そのような
試料の効率的測定を行う場合に特に有利である。すなわ
ち、上記一実施例では、最初に蓄積が終了した輝尽性螢
光板４１の画１象が前記画像読取装置６によって読み取
られるまでの間に、さらに、３つの区画取り付けられた
輝尽性螢光板４１に画像蓄積を行うことができる。
すなわち、その間は、画像読取はなされない。したがっ
て、結晶構造の変化の早い初期の時点では、画像読取時
間に左右されることなく４つの区画の輝尽性螢光板４１
に次々とＸ線回折像を蓄積させることができる。その間
、結晶紹造の変化は次第に遅くなる。したがって、最初
に蓄積されたＸ線回折像の読取が開始された時点では、
読取が可能な程度に十分長い時間間隔で各時点の回折像
を蓄積できるようになる。これにより、一連の蓄積・読
取の作業を極めて効率的に行うことが可能となる。
て、結晶構造の変化の早い初期の時点では、画像読取時
間に左右されることなく４つの区画の輝尽性螢光板４１
に次々とＸ線回折像を蓄積させることができる。その間
、結晶紹造の変化は次第に遅くなる。したがって、最初
に蓄積されたＸ線回折像の読取が開始された時点では、
読取が可能な程度に十分長い時間間隔で各時点の回折像
を蓄積できるようになる。これにより、一連の蓄積・読
取の作業を極めて効率的に行うことが可能となる。
なお、上述の一実施例では、螢光板保持体の外周部を８
区画に分割した例を掲げたが、必要に応じて８区画以上
、または、以下にしてもよい。
区画に分割した例を掲げたが、必要に応じて８区画以上
、または、以下にしてもよい。
［発明の効果１
以］ユ詳述したように、木発明は、
柱状体の周囲を複数の区画に分割してこれら各区画にそ
れぞれ輝尽性螢光板を取り付けた螢光板保持体と、 この螢光板保持体の各区画に取り付けられた輝尽性螢光
板を、交互に前記Ｘ線同折像の蓄積町能な位置に設定で
きるように該螢光板保持体を回転自在に支持するととも
に、前記特定の区画の輝尽性螢光板が前記蓄積可能な位
沢にあるとき、その輝尽性螢光板上におけるＸ線回折像
の結像位置を移動することができるように、前記回折Ｘ
線の方向に対して相対的に移動町能に形或された移動台
とを備え、 前記移動台に、，前記輝尽性螢光板に蓄積されたＸ線回
折像を読み取る画像読］ｆＭ装置を１取り付けたことを
特徴とした桶成を有し、 これにより、比較的単純な楊成を有し、蓄積及び読取の
一連の作業の自動化が可能であり、かつ、輝尽性螢光板
の特徴を十分生かしつつ種々の測定に適用可能なＸ線回
折装誼を得ているものである。
れぞれ輝尽性螢光板を取り付けた螢光板保持体と、 この螢光板保持体の各区画に取り付けられた輝尽性螢光
板を、交互に前記Ｘ線同折像の蓄積町能な位置に設定で
きるように該螢光板保持体を回転自在に支持するととも
に、前記特定の区画の輝尽性螢光板が前記蓄積可能な位
沢にあるとき、その輝尽性螢光板上におけるＸ線回折像
の結像位置を移動することができるように、前記回折Ｘ
線の方向に対して相対的に移動町能に形或された移動台
とを備え、 前記移動台に、，前記輝尽性螢光板に蓄積されたＸ線回
折像を読み取る画像読］ｆＭ装置を１取り付けたことを
特徴とした桶成を有し、 これにより、比較的単純な楊成を有し、蓄積及び読取の
一連の作業の自動化が可能であり、かつ、輝尽性螢光板
の特徴を十分生かしつつ種々の測定に適用可能なＸ線回
折装誼を得ているものである。
第１図は本発明の一実施例にかかるＸ線回折装誼の１１
１リ面図である。 １−・・・Ｘ線源、２・・・試料、３・・・試料保持手
段、４螢光板保持体、５・・・移動台、６・・・画像読
取装置、４１，・・・，４１・・・輝尽性螢光板。
１リ面図である。 １−・・・Ｘ線源、２・・・試料、３・・・試料保持手
段、４螢光板保持体、５・・・移動台、６・・・画像読
取装置、４１，・・・，４１・・・輝尽性螢光板。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 試料に照射するＸ線を発生するＸ線源と、 前記Ｘ線源から射出されるＸ線が前記試料に対して所定
の方向から入射するように前記試料を保持する試料保持
手段と、 前記試料から生ずる回折Ｘ線によって形成されるＸ線回
折像を蓄積する輝尽性螢光板と、 前記輝尽性螢光板に蓄積されたＸ線回折像を読み取る画
像読取装置とを有し、 前記輝尽性螢光板に蓄積されたＸ線回折像を前記画像読
取装置で読み取ることにより、前記試料の結晶情報を得
るＸ線回折装置において、 柱状体の周囲を複数の区画に分割してこれら各区画にそ
れぞれ輝尽性螢光板を取り付けた螢光板保持体と、 この螢光板保持体の各区画に取り付けられた輝尽性螢光
板を、交互に前記Ｘ線回折像の蓄積可能な位置に設定で
きるように該螢光板保持体を回転自在に支持するととも
に、前記特定の区画の輝尽性螢光板が前記蓄積可能な位
置にあるとき、その輝尽性螢光板上におけるＸ線回折像
の結像位置を移動することができるように、前記回折Ｘ
線の方向に対して相対的に移動可能に形成された移動台
とを備え、 前記移動台に、前記輝尽性螢光板に蓄積されたＸ線回折
像を読み取る画像読取装置を取り付けたことを特徴とし
たＸ線回折装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1307151A JP2807000B2 (ja) | 1989-11-27 | 1989-11-27 | Ｘ線回折装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1307151A JP2807000B2 (ja) | 1989-11-27 | 1989-11-27 | Ｘ線回折装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03167458A true JPH03167458A (ja) | 1991-07-19 |
| JP2807000B2 JP2807000B2 (ja) | 1998-09-30 |
Family
ID=17965643
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1307151A Expired - Fee Related JP2807000B2 (ja) | 1989-11-27 | 1989-11-27 | Ｘ線回折装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2807000B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006039919A1 (de) * | 2004-10-14 | 2006-04-20 | Technische Universität Clausthal | Vorrichtung und verfahren zur registrierung von röntgenbeugungs-diagrammen kristalliner materialien |
| JP2009025234A (ja) * | 2007-07-23 | 2009-02-05 | Rigaku Corp | 硬組織の評価方法 |
| JP2011141148A (ja) * | 2010-01-06 | 2011-07-21 | Rigaku Corp | Ｘ線トポグラフィ装置 |
-
1989
- 1989-11-27 JP JP1307151A patent/JP2807000B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006039919A1 (de) * | 2004-10-14 | 2006-04-20 | Technische Universität Clausthal | Vorrichtung und verfahren zur registrierung von röntgenbeugungs-diagrammen kristalliner materialien |
| JP2009025234A (ja) * | 2007-07-23 | 2009-02-05 | Rigaku Corp | 硬組織の評価方法 |
| JP2011141148A (ja) * | 2010-01-06 | 2011-07-21 | Rigaku Corp | Ｘ線トポグラフィ装置 |
| US8503611B2 (en) | 2010-01-06 | 2013-08-06 | Rigaku Corporation | X-ray topography apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2807000B2 (ja) | 1998-09-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |