JPH0317072B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0317072B2 JPH0317072B2 JP5772684A JP5772684A JPH0317072B2 JP H0317072 B2 JPH0317072 B2 JP H0317072B2 JP 5772684 A JP5772684 A JP 5772684A JP 5772684 A JP5772684 A JP 5772684A JP H0317072 B2 JPH0317072 B2 JP H0317072B2
- Authority
- JP
- Japan
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- alloy
- container
- crucible
- atmosphere
- clad
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B5/00—Melting in furnaces; Furnaces so far as specially adapted for glass manufacture
- C03B5/06—Melting in furnaces; Furnaces so far as specially adapted for glass manufacture in pot furnaces
- C03B5/08—Glass-melting pots
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B14/00—Crucible or pot furnaces
- F27B14/08—Details specially adapted for crucible or pot furnaces
- F27B14/10—Crucibles
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Crucibles And Fluidized-Bed Furnaces (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、クラツド容器に関するものである。
従来、Mo又はMo合金の容器は高温ガラスや
金属酸化物を含む鉱石溶解用るつぼや真空蒸着用
のトレー、ボートなどに広く用いられていた。こ
れは、Moの融点が約2610℃と非常に高く、高温
での機械的性質に優れているからである。ところ
が、Moは500℃をこえると空気中の酸素と反応
して酸化物を作り、この酸化物が蒸発しやすいた
め不活性雰囲気で使用しなければならないという
わずらわしさがあつた。さらに、このような不活
性雰囲気中で使用しても、金属酸化物を含むガラ
スや鉱石などを溶解する場合には、溶融物の中に
含まれる酸素とMoが結合して酸化物を作り、容
器のMoが溶出して容器の寿命が短かいという欠
点があつた。このため他の金属を加えて合金とし
て耐消耗性の向上が図られているが、Moの酸化
を防止するに足る合金が発見されていないのが実
情である。
金属酸化物を含む鉱石溶解用るつぼや真空蒸着用
のトレー、ボートなどに広く用いられていた。こ
れは、Moの融点が約2610℃と非常に高く、高温
での機械的性質に優れているからである。ところ
が、Moは500℃をこえると空気中の酸素と反応
して酸化物を作り、この酸化物が蒸発しやすいた
め不活性雰囲気で使用しなければならないという
わずらわしさがあつた。さらに、このような不活
性雰囲気中で使用しても、金属酸化物を含むガラ
スや鉱石などを溶解する場合には、溶融物の中に
含まれる酸素とMoが結合して酸化物を作り、容
器のMoが溶出して容器の寿命が短かいという欠
点があつた。このため他の金属を加えて合金とし
て耐消耗性の向上が図られているが、Moの酸化
を防止するに足る合金が発見されていないのが実
情である。
本発明は上記欠点に鑑みなされたものであり、
耐消耗性の優れた長寿命の容器を提供することを
目的とする。
耐消耗性の優れた長寿命の容器を提供することを
目的とする。
本発明は、Mo又はMo合金の表面にRh又はRh
合金が被覆されていることを特徴とするクラツド
容器である。
合金が被覆されていることを特徴とするクラツド
容器である。
本発明において、Rh又はRh合金を用いるの
は、Rhの融点が1966℃とMoと同様に高く、しか
も600℃をこえれば酸素と結合して酸化するもの
の1100℃では分解し耐酸化性特に金属酸化物に対
する耐酸化性に優れているからである。しかし、
無垢のRhやRh合金の容器は高価で加工が困難な
ため被覆することとした。被覆はイオンプレーテ
イングやスパツタリングや蒸着などの物理的蒸着
が湿式蒸着よりも良い。これは、物理的蒸着によ
ればMo容器の表面層にRh原子が埋没されてRh
とMo接合面の密着硬度が高くなり、機械的強度
の高いクラツド容器が得られるからである。この
ように、Rh又はRh合金を被覆したるつぼは耐酸
化性に優れ、接合面の機械的強度も優れているこ
とから長寿命のものとなる。なお、Rh合金とし
ては、Pt−Rh、Ir−Rhがある。
は、Rhの融点が1966℃とMoと同様に高く、しか
も600℃をこえれば酸素と結合して酸化するもの
の1100℃では分解し耐酸化性特に金属酸化物に対
する耐酸化性に優れているからである。しかし、
無垢のRhやRh合金の容器は高価で加工が困難な
ため被覆することとした。被覆はイオンプレーテ
イングやスパツタリングや蒸着などの物理的蒸着
が湿式蒸着よりも良い。これは、物理的蒸着によ
ればMo容器の表面層にRh原子が埋没されてRh
とMo接合面の密着硬度が高くなり、機械的強度
の高いクラツド容器が得られるからである。この
ように、Rh又はRh合金を被覆したるつぼは耐酸
化性に優れ、接合面の機械的強度も優れているこ
とから長寿命のものとなる。なお、Rh合金とし
ては、Pt−Rh、Ir−Rhがある。
以下、実施例と従来例について説明する。
実施例 １
肉厚５mm、高さ100mm、内径80mmの断面コの字
形Mo製るつぼの内壁に次の条件でRhを厚さ10μ
ｍまでイオンプレーテイングした。
形Mo製るつぼの内壁に次の条件でRhを厚さ10μ
ｍまでイオンプレーテイングした。
雰囲気：ガス2.0×10-4mmHg
イオン化電圧、電流：40V、5A
電子ビーム：9kv、300ｍＡ
熱電子：10V、100A
これを実施品１とする。
実施例 ２
実施例１と同一形状のMo製るつぼの内外壁に
次の条件でPt−Rh合金を厚さ0.1mmマグネトロン
スパツタリングした。
次の条件でPt−Rh合金を厚さ0.1mmマグネトロン
スパツタリングした。
圧力：Arガス３×10-3mmHg
印加電圧：400V
高周波電源：13.56MHz
これを実施品２とする。
従来例
実施例１で用いたMo製るつぼを従来品とし
た。
た。
次に、上記実施品１、２と従来品にアルカリ亜
鉛硼珪酸ガラスを500ｇ入れAr雰囲気、温度約
1200℃×60分間で使用した。これを10回くり返し
たところ、従来品は60μｍそのMo容器の表面か
ら削られたのに対し、実施品１は10μｍ、実施品
２は5μｍ削られたにとどまつた。
鉛硼珪酸ガラスを500ｇ入れAr雰囲気、温度約
1200℃×60分間で使用した。これを10回くり返し
たところ、従来品は60μｍそのMo容器の表面か
ら削られたのに対し、実施品１は10μｍ、実施品
２は5μｍ削られたにとどまつた。
次に、実施品２と従来品の容器の底部を大気中
で直接ヒーター加熱して温度約1000℃で10時間保
持したところ、従来品はMoが酸化され、蒸発し
て12ｇ減量したのに対し、実施品２は減量しなか
つた。
で直接ヒーター加熱して温度約1000℃で10時間保
持したところ、従来品はMoが酸化され、蒸発し
て12ｇ減量したのに対し、実施品２は減量しなか
つた。
これらのことから本発明のクラツドるつぼは従
来品に比べて金属酸化物の溶解用るつぼとして著
しく耐酸化性が優れ、しかも外壁までRh合金被
覆した実施品２は大気加熱しても耐酸化性が優れ
ていることがわかる。
来品に比べて金属酸化物の溶解用るつぼとして著
しく耐酸化性が優れ、しかも外壁までRh合金被
覆した実施品２は大気加熱しても耐酸化性が優れ
ていることがわかる。
以上詳述したように本発明によれば、耐消耗性
の優れた長寿命のクラツド容器を提供することが
できる。しかも、Mo製容器を完全に被覆すれば
大気中でも長寿命のものがえられ、高価な設備を
必要とせず、高価なRhが少量ですむことと併せ
て安価なものとなる。
の優れた長寿命のクラツド容器を提供することが
できる。しかも、Mo製容器を完全に被覆すれば
大気中でも長寿命のものがえられ、高価な設備を
必要とせず、高価なRhが少量ですむことと併せ
て安価なものとなる。
Claims (1)
- １ Mo又はMo合金の表面にRh又はRh合金を被
覆されていることを特徴とするクラツド容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5772684A JPS60200981A (ja) | 1984-03-26 | 1984-03-26 | クラツド容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5772684A JPS60200981A (ja) | 1984-03-26 | 1984-03-26 | クラツド容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60200981A JPS60200981A (ja) | 1985-10-11 |
| JPH0317072B2 true JPH0317072B2 (ja) | 1991-03-07 |
Family
ID=13063931
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5772684A Granted JPS60200981A (ja) | 1984-03-26 | 1984-03-26 | クラツド容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60200981A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2565935B2 (ja) * | 1987-11-17 | 1996-12-18 | 田中貴金属工業株式会社 | クラッド容器 |
| JPH01219179A (ja) * | 1988-02-26 | 1989-09-01 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | クラッド容器 |
| JPH01275779A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-06 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | クラッド容器 |
| JPH04243918A (ja) * | 1991-01-30 | 1992-09-01 | Shimadzu Corp | ガラス溶融用のルツボ |
| CN102990054B (zh) * | 2012-04-01 | 2016-05-25 | 鹤山市沃得钨钼实业有限公司 | 稀土钼坩埚坯料及利用该坯料制造稀土钼坩埚的方法 |
-
1984
- 1984-03-26 JP JP5772684A patent/JPS60200981A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60200981A (ja) | 1985-10-11 |
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