JPH0317106B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ 本発明は、基板上の各信号線の絶縁導通の良否
を判定する絶縁導通判定装置に関する。

［発明の技術的背景］ 従来から基板の信号線の絶縁導通判定装置とし
て、信号線に絶縁層を介して電極板を対向させ、
このとき信号線と電極板との間に発生する静電容
量をプローブを介して測定し、これと正規の構造
を有する信号線パターンの持つべき基準静電容量
とを比較して良否を判定する静電容量測定方式に
よる絶縁導通判定装置が知られている。

このような静電容量方式による絶縁導通判定装
置に用いる基準静電容量は、従来基板の信号線パ
ターンを自動設計する際用いた大型コンピユータ
のデータから信号線の面積を計算し、この計算結
果から静電容量を算出して、これを登録して用い
られていた。

また、この基準静電容量と測定された基板の信
号線の静電容量との比較、良否の判定も全て大型
コンピユータを用いたバツチ処理により行なわれ
ていた。

［背景技術の問題点］ しかしながら、このような従来の基準静電容量
データの登録方法によるときは、大型コンピユー
タの使用が前提となるため大型コンピユータを利
用できない状況のもとでは使用できないという難
点があつた。

また測定から判定までのリードタイムが長く、
大型コンピユータの稼動状況に測定器の稼動が左
右されるという難点があつた。

さらにまた、例えばセラミツク基板のように信
号線パターン形成後焼結工程があるような場合に
は、基板が焼結時に収縮するため設計時の計算に
より求めた静電容量データに対して誤差を生じ、
この誤差を基板の収縮をもとに補正しようとして
も基板の収縮の仕方に一定の傾向があるようなと
きは完全に補正することがきわめて困難であると
いう難点もあつた。

［発明の目的］ 本発明の目的は、大型コンピユータを要するこ
となく、しかも基板の収縮等による判定誤差を軽
減して、良好に基板の絶縁導通の良否判定を行う
ことのできる絶縁導通判定装置を提供することに
ある。

［発明の概要］ すなわち本発明の基板の絶縁導通判定装置は、
第１図に示すように、基板Ｐに形成された信号線
にプローブ１ａを接触させることにより、この信
号線と絶縁層を介して対向配置された電極板１ｂ
との間の静電容量を測定する静電容量測定器１
と、前記プローブ１ａと基板Ｐとを相対移動させ
る駆動装置２と、前記プローブ１ａを基板Ｐの信
号線に所定の順序で接触させるよう前記駆動装置
２を制御する制御装置３と、前記静電容量測定器
１で測定された基板Ｐの信号線ごとの静電容量デ
ータを記憶する基準静電容量記憶器４と、前記基
準静電容量記憶器４が記憶する静電容量データと
前記静電容量測定器４が測定した判定対象の基板
の対応する信号線の静電容量データとを比較する
比較器５とを有することを特徴としている。

上記した基準静電容量記憶器４、比較器５およ
び制御装置３のデータに関する処理を扱う部分
は、小型コンピユータにより構成される。

本発明の絶縁導通判定装置においては、作業員
により静電容量測定器１の基板支持機構１ｃに予
め他の手段により良品と判定された基準となる基
板Ｐがセツトされ、作業員が制御装置３を操作し
て基板Ｐの信号線の端子を順にプロービングする
ことにより、基板Ｐの信号線と電極板１ｂ間の静
電容量データが基準静電容量記憶器４に登録さ
れ、同時に信号線の各端子の座標データが図示を
省略した端子位置記憶器に登録される。

基板の絶縁導通判定を行う場合は、判定対象の
基板Ｐを静電容量測定器１にセツトして、基板Ｐ
において予め決められた基準端子に対して座標交
換のためのプロービングを行つた後、制御装置３
により、端子位置記憶器４に記憶された座標デー
タが順番に読み出され、この座標データを基に駆
動装置２の制御を行いながら、基板Ｐの各信号線
について自動的にプロービングを行う。

そして、プロービング動作のタイミング信号に
より、基準静電容量記憶器４に登録されている静
電容量データが制御装置３により順に読み出され
て比較器５に入力され、同時に判定対象の基板Ｐ
の対応する静電容量データも比較器５に入力され
て、その差信号から信号線の絶縁導通の判定が行
われる。

［発明の実施例］ 以下、図面を参照して本発明の実施例を説明す
る。

第２図は本発明に係る一実施例の基板の絶縁導
通判定装置の構成を説明するためのブロツク図で
ある。

同図に示すように、この基板の絶縁導通判定装
置は、基板上の信号線端子にプローブ２３を接触
させて信号線端子と電極板２２との間の静電容量
を測定する静電容量測定器１１と、この静電容量
測定器１１の測定可動部１１０を駆動する駆動装
置１２と、各部の制御を行うシステムコントロー
ラ１３と、予め静電容量測定器１１で測定された
基準となる静電容量データを記憶する基準静電容
量記憶器およびこの基準静電容量データと測定対
象の基板から得た静電容量データとを比較する比
較器としての機能を有し、かつ基板上の端子位置
におけるプローブ２３の座標データを記憶してこ
の座標データを基に駆動装置１２の制御などを行
う小型コンピユータ１４と、独立して駆動装置１
２を制御可能な操作盤１５とからその主要部が構
成されている。

第２図は上記した静電容量測定器１１の測定可
動部１１０の詳細を示す側面図である。

同図に示すように、この測定可動部１１０は、
基板を水平に支持するための基板支持台１１ａ
と、この基板支持台１１ａを基板と平行する面内
でＸ方向およびＹ方向に移動させる移動テーブル
２１と、この移動テーブル２１の上方に水平方向
に移動可能に配置され、基板側に絶縁層２２ａを
有しかつ中央部に窓２２ｂを設けた電極板２２
と、この電極板２２の窓２２ｂを通じ、基板支持
台１１ａ上に支持された基板の信号線端子に対し
上下方向に接離可能な状態で配置されたプローブ
２３とを備えている。

移動テーブル２１は、基板をＸ方向およびＹ方
向に移動させるXYテーブル２１ａと、この移動
範囲を拡張するスライドテーブル２１ｂとから構
成されている。

そしてこれら移動テーブル２１およびプローブ
２３は上述の駆動装置１２により駆動される。

電極板２２の窓２２ｂ上には、モニタ用のテレ
ビカメラ２４が配置されており、このテレビカメ
ラ２４はプローブ２３が下降したとき基板の信号
線端子に接触する位置をクロスヘアモニタ２５の
十字線を中心に写し出すようにセツトされてい
る。

移動テーブル２１は、駆動装置１２を制御する
操作盤１５のロータリーエンコーダ１５ａ，１５
ｂを操作することにより、任意の位置へ移動可能
とされており、またプローブ２３も操作盤１５か
らの操作により基板の信号線端子に接触するよう
になつている。

そして、プローブ２３操作のタイミング信号に
従つて、プローブ２３が接触した基板上の各信号
線端子と電極板２２との間の静電容量が順次静電
容量測定器１１により測定され、Ａ／Ｄ変換器１
７にてデジタル信号に変換された後、小型コンピ
ユータ１４に入力されて登録されるようになつて
いる。

また、このときプローブ２３が接触した信号線
端子位置の座標データも順次小型コンピユータ１
４に登録されるようになつている。

小型コンピユータ１４に登録された座標データ
は、良否を判定すべき基板を移動テーブル２１に
セツトした後、操作盤１５からの作業員の指示に
より送られる測定開始信号により順次読み出され
る。そして読み出した座標データを基に、システ
ムコントローラ１３は駆動装置１２を制御して、
移動テーブル２１を指定された位置へ移動するよ
う構成されている。

なお小型コンピユータ１４には座標変換プログ
ラムが内蔵されており、移動テーブル２１上にセ
ツトされた基板の１個または２個の基準端子にプ
ローブ２３を接触させることにより、実際の基板
の信号線端子位置の座標と小型コンピユータ１４
上の対応する座標データとの差が零となるように
座標変換を行い、この座標変換後のデータにより
移動テーブル２１の移動が行われる。これによ
り、基板支持台１１ａ上での各基板ごとの信号線
端子の位置ずれを吸収するようにしている。

そしてプロービング動作のタイミング信号に従
つて、小型コンピユータ１４に予め登録された基
準静電容量データがシステムコントローラ１３に
より順に読み出され、測定された静電容量データ
と比較されて、その差信号から基板上の各信号線
の絶縁導通の良否判定が行われるようになつてい
る。

次に上記実施例の装置の操作方法について説明
する。

まず小型コンピユータ１４に基準となる座標デ
ータおよび基準静電容量データを登録するため、
他の検査手段により良品と判定された基板を移動
テーブル２１上にセツトし、クロスヘアモニタ２
５を見ながら基板上の信号線端子位置がプローブ
２３との接触位置にくるよう操作盤１５のロータ
リーエンコーダ１５ａ，１５ｂを操作する。

基板の信号線端子位置がプローブ２３先端の位
置と整合したところで、プローブ２３を降下させ
てプローブ２３の先端と基板上の信号線端子とを
接触させて、基板の信号線端子と電極板２２との
間の静電容量の測定を行なう。測定された値は
Ａ／Ｄ変換器１７によりデジタル信号に変換され
た後、小型コンピユータ１４に転送されて記憶さ
れる。またこれと同時にXYテーブル２１ａの現
在の座標が小型コンピユータ１４に読み込まれて
記憶される。

以上の操作が基板上の他の全ての信号線端子に
ついても同様に行われ、これら全ての信号線端子
についての静電容量データおよび座標データがこ
れから行なわれる絶縁導通判定処理のための基準
データとして小型コンピユータ１４に登録され
る。

次に、判定対象となる同種の基板を基板支持台
１１ａ上に置き、予め設定された１個または２個
の位置決め用の基準端子にプローブ２３を当てて
小型コンピユータ１４内での座標交換を行う。こ
の後、測定開始信号を入力することにより、小型
コンピユータ１４から基準の座標データが順次読
み出される。

この基準座標データを基にシステムコントロー
ラ１３は、移動テーブル２１およびプローブ２３
の各駆動装置１２を駆動させて測定対象基板の各
信号線端子に順次プローブ２３を接触させて行
く。

このようにしてプローブ２３で基板上の各信号
線端子を順次辿つて行き、その都度信号線端子と
電極板２２との間の静電容量を測定してデジタル
信号化し、この静電容量データと先に登録された
基準静電容量データとを比較して差を求めて行く
ことにより、基板上の信号線間の絶縁状態および
信号線の有無が判断される。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明の基板の絶縁導通判
定装置によれば、予め良品と判断された基板から
基準静電容量データを直接取り込んで登録し、こ
の基準静電容量データを用いて基板上の各信号線
の絶縁導通の良否判定を行うようにしたので、大
型コンピユータを使用できない条件下でも良好に
用いることができ、リアルタイムで迅速に基板の
絶縁導通の判定を行うことができる。

また製造時の収縮による誤差などのように同種
の基板について同一の傾向で生じる誤差も相殺さ
れるので精度の高い判定を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の基板の絶縁導通判定装置の構
成を示すブロツク図、第２図は本発明に係る一実
施例の基板の絶縁導通判定装置の構成を示すブロ
ツク図、第３図は第２図における静電容量測定器
の測定可動部の詳細を示す側面図である。 １１…静電容量測定器、１２…駆動装置、１３
…システムコントローラ、１４…小型コンピユー
タ、１５…操作盤、１７…Ａ／Ｄ変換器、２１…
移動テーブル、２２…電極板、２３…プローブ、
２４…テレビカメラ、２５…クロスヘアモニタ、
１１０…測定可動部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 基板に形成された信号線にプローブを接触さ
   せることにより、この信号線と絶縁層を介して対
   向配置された電極板との間の静電容量を測定する
   静電容量測定器と、前記プローブと基板とを互い
   に平行する面内で相対移動させる駆動装置と、前
   記プローブを基板の信号線に所定の順序で接触さ
   せるよう前記駆動装置を制御する制御装置と、前
   記静電容量測定器で測定された基板の信号線ごと
   の静電容量データを記憶する基準静電容量記憶器
   と、前記基準静電容量記憶器が記憶する静電容量
   データと前記静電容量測定器が測定した判定対象
   の基板の対応する信号線の静電容量データとを比
   較する比較器とを有することを特徴とする基板の
   絶縁導通判定装置。