JPH0343591B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ 本発明は、測定点の座標データを被測定基板か
らの直接入力により記憶し、この座標データに基
づいて信号線の絶縁導通の自動測定を行うように
した基板の絶縁導通判定装置に関する。

［発明の技術的背景］ 従来から基板の信号線の絶縁導通試験方法とし
て、信号線の両端子にプローブを接触させ端子の
一方より通電して、他方よりこの電流を受け取れ
るかどうかで良否を判定するいわゆる導通チエツ
ク方式による方法と、信号線に絶縁層を介して電
極板を対向させ、このとき信号線に発生する静電
容量をプローブを介して測定し、これと正規の構
造を有する信号線パターンの持つべき基準静電容
量とを比較して良否を判定する静電容量測定方式
による方法とが知られている。

一方プリント基板は、小型、高密度実装の傾向
が強まり多数枚の基板を重ね合せて数μｍ幅の信
号線を各層に布設し、１基板当たり数百から数千
もの信号線で構成されるものが製作されており、
このような多数の信号線の端子を作業員が測定の
都度プローブを基板の端子に接触させていたので
はプロービング動作回数が膨大なものとなる。

このため基板の端子の座標データを予め絶縁導
通判定装置の端子位置記憶器に登録しておき、こ
の座標データをその制御装置に入力させて自動的
にプロービング動作をさせることが行われてい
る。

しかしてこのようなプロービング動作の制御に
用いられる座標データの登録は、従来基板を自動
設計する際用いた大型コンピユータのデータから
静電容量を拾い出し、これを登録する方法により
行われていた。

［背景技術の問題点］ しかしながら、このような従来の座標データの
登録方法によるときは、大型コンピユータの使用
が前提となるため大型コンピユータを利用できな
い状況のもとでは使用できないという難点があつ
た。

また例えばセラミツク基板のように信号線パタ
ーン形成後焼結工程があるような場合には、基板
が焼結時に収縮するため設計時の座標データに対
して誤差を生じ、この誤差を補正しても基板の収
縮の仕方に一定の傾向があるようなときは完全に
補正することがきわめて困難であるという難点が
あつた。

すなわち、ブロービングの際の座標の選択は登
録した順序にしたがつて正確に行わなければなら
ず、プロービングの順序が一つでもずれればそれ
以後のプロービングおよび検査はすべて無効にな
つてしまうが、例えばセラミツク基板においては
信号線幅が10〜20μｍ程度の非常に狭いものであ
ることから、わずかの収縮誤差でも測定結果に重
大な影響を及ぼしていたのである。

［発明の目的］ したがつて本発明の目的は、装置自体座標デー
タ登録機能を有し、かつ登録された座標データと
測定時の実際の基板の端子位置との間の誤差の少
ない基板の絶縁導通判定装置を提供することにあ
る。

［発明の概要］ 本発明の基板の絶縁導通判定装置は上記の目的
を達成するために、基板支持機構１ａとこの基板
支持機構１ａに支持された基板Ｐ上の端子に対し
て接触動作するプローブ１ｂとを有する測定装置
１と、プローブ１ｂと基板Ｐとを互いに平行する
面内で相対移動させる駆動装置２と、基準となる
基板Ｐ上の端子に対してプロービングを行つたと
きのプローブ１ｂの座標データを記憶する端子位
置記憶器３と、判定対象である基板Ｐ上の少なく
とも最初の端子に対してプロービングを行つたと
きのプローブ１ｂの座標データを求め、この座標
データと端子位置記憶器３に記憶された対応する
座標データとが一致するよう端子位置記憶器３に
記憶された各座標データの変換を行い、この座標
変換後の座標データを用いて、判定対象基板Ｐ上
の各端子に対するプロービングを自動的に行うよ
う制御を行う制御装置４とを有することを特徴と
している。

［発明の実施例］ 以下、図面を参照して本発明の実施例を説明す
る。

第２図は本発明に係る一実施例の基板絶縁導通
判定装置の構成を説明するためのブロツク図であ
る。

同図に示すように、この基板の絶縁導通判定装
置は、基板上の信号線端子にプローブ２３を接触
させて信号線端子と後述する電極板２２との間の
静電容量を測定する静電容量測定器１１と、この
静電容量測定器１１の測定可動部１１０を駆動す
る駆動装置１２と、各部の制御を行うシステムコ
ントローラ１３と、主に基板上の端子位置におけ
るプローブ２３の座標データを記憶してこの座標
データを基に駆動装置１２を制御したり、予め静
電容量測定器１１で測定された基準となる静電容
量データを記憶してこの静電容量データと測定対
象の基板から得た静電容量データとを比較するこ
とで基板の絶縁導通判定処理などを行う小型コン
ピユータ１４と、独立して駆動装置１２を制御可
能な操作盤１５とからその主要部が構成されてい
る。

第２図は上記した静電容量測定器１１の測定可
動部１１０の詳細を示す側面図である。

同図に示すように、この測定可動部１１０は、
基板を水平に支持するための基板支持台１１ａ
と、この基板支持台１１ａを基板と平行する面内
でＸ方向およびＹ方向に移動させる移動テーブル
２１と、この移動テーブル２１の上方に水平方向
に移動可能に配置され、基板側に絶縁層２２ａを
有しかつ中央部に窓２２ｂを設けた電極板２２
と、この電極板２２ｂを通じ、基板支持台１１ａ
上に支持された基板の信号線端子に対し上下方向
に接離可能な状態で配置されたプローブ２３とを
備えている。

移動テーブル２１は、基板をＸ方向およびＹ方
向に移動させるXYテーブル２１ａと、この移動
範囲を拡張するスライドテーブル２１ｂとから構
成されている。

そしてこれら移動テーブル２１およびプローブ
２３は上述の駆動装置１２により駆動される。

電極板２２の窓２２ｂには、モニタ用のテレビ
カメラ２４が配置されており、このテレビカメラ
２４はプローブ２３が下降したとき基板の信号線
端子に接触する位置をクロスヘアモニタ２５の十
字線を中心に写し出すようにセツトされている。

移動テーブル２１は、駆動装置１２を制御する
操作盤１５のロータリーエンコーダ１５ａ，１５
ｂを操作することにより、任意の位置へ移動可能
とされており、またプローブ２３も操作盤１５か
らの操作により基板の信号線端子に接触するよう
になつている。

そして、プローブ２３操作のタイミング信号に
従つて、プローブ２３が接触した基板上の各信号
線端子と電極板２２との間の静電容量が順次静電
容量測定器１１により測定され、Ａ／Ｄ変換器１
７にてデジタル信号に変換された後、小型コンピ
ユータ１４に入力されて登録されるようになつて
いる。

また、このときプローブ２３が接触した信号線
端子位置の座標データも順次小型コンピユータ１
４に登録されるようになつている。

小型コンピユータ１４に登録された座標データ
は、良否を判定すべき基板を移動テーブル２１に
セツトした後、操作盤１５からの作業員の支持に
より送られる測定開始信号により順次読み出され
る。そして読み出した座標データを基に、システ
ムコントローラ１３は駆動装置１２を制御して、
移動テーブル２１を指定された位置へ移動するよ
う構成されている。

なお小型コンピユータ１４には座標変換プログ
ラムが内蔵されており、移動テーブル２１上にセ
ツトされた基板の１個または２個の基準端子にプ
ローブ２３を接触させることにより、実際の基板
の信号線端子位置の座標と小型コンピユータ１４
上の対応する座標データとの差が零となるように
座標変換を行い、この座標変換後のデータにより
移動テーブル２１の移動が行われる。これによ
り、基板支持台１１ａ上での各基板ごとの信号線
端子の位置ずれを吸収するようにしている。

そしてプロービング動作のタイミング信号に従
つて、小型コンピユータ１４に予め登録された基
準静電容量データがシステムコントローラ１３に
より順に読み出され、測定された静電容量データ
と比較されて、その差信号から基板上の各信号線
の絶縁導通の良否判定が行われるようになつてい
る。

次に上記実施例の装置の操作方法について説明
する。

まず小型コンピユータ１４に基準となる座標デ
ータおよび基準静電容量データを登録するため、
他の検査手段により良品と判定された基板を移動
テーブル２１上にセツトし、クロスヘアモニタ２
５を見ながら基板上の信号線端子位置がプローブ
２３との接触位置にくるよう操作盤１５のロータ
リーエンコーダ１５ａ，１５ｂを操作する。

基板の信号線端子位置がプローブ２３先端の位
置と整合したところで、プローブ２３を降下させ
てプローブ２３の先端と基板上の信号線端子とを
接触させて、基板の信号線端子と電極板２２との
間の静電容量の測定を行なう。測定された値は
Ａ／Ｄ変換器１７によりデジタル信号に変換され
た後、小型コンピユータ１４に転送されて記憶さ
れる。またこれと同時にXYテーブル２１ａの現
在の座標が小型コンピユータ１４に読み込まれて
記憶される。

以上の操作が基板上の他の全ての信号線端子に
ついても同様に行われ、これら全ての信号線端子
についての静電容量データおよび座標データがこ
れから行なわれる絶縁導通判定処理のための基準
データとして小型コンピユータ１４に登録され
る。

次に、判定対象となる同種の基板を基板支持台
１１ａ上に置き、予め設定された１個または２個
の位置決め用の基準端子にプローブ２３を当てて
小型コンピユータ１４内での座標変換を行う。こ
の後、測定開始信号を入力することにより、小型
コンピユータ１４から基準の座標データが順次読
み出される。

この基準座標データを基にシステムコントロー
ラ１３は、移動テーブル２１およびプローブ２３
の各駆動装置１２を駆動させて測定対象基板の各
信号線端子に順次プローブ２３を接触させて行
く。

このようにしてプローブ２３で基板上の各信号
線端子を順次辿つて行き、その都度信号線端子と
電極板２２との間の静電容量を測定してデジタル
信号化し、この静電容量データと先に登録された
基準静電容量データとを比較して差を求めて行く
ことにより、基板上の信号線間の絶縁状態および
信号線の有無が判断される。

なお、以上は静電容量測定方式を用いた実施例
であるが、導通チエツク方式の絶縁導通判定装置
にも同様に適用することができる。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明の基板の絶縁導通判
定装置によれば、予め良品と判断された基板から
座標データを直接取り込んで登録し、この座標デ
ータを用いて基板上の各信号線に対するプローブ
の位置を決めるようにしたので、大型コンピユー
タを使用できない条件下でも良好に用いることが
でき、リアルタイムで迅速に基板の絶縁導通の判
定を行うことができる。

また製造時の収縮による誤差などのように同種
の基板について同一の傾向で生じる誤差も相殺さ
れるので制度の高い判定を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の基板の絶縁導通判定装置の構
成を示すブロツク図、第２図は本発明に係る一実
施例の基板の絶縁導通判定装置の構成を示すブロ
ツク図、第３図は第２図における静電容量測定器
の測定可動部の詳細を示す側面図である。 １１……静電容量測定器、１２……駆動装置、
１３……システムコントローラ、１４……小型コ
ンピユータ、１５……操作盤、１７……Ａ／Ｄ変
換器、２１……移動テーブル、２２……電極板、
２３……プローブ、２４……テレビカメラ、２５
……クロスヘアモニタ、１１０……測定可動部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 基板支持機構とこの基板支持機構に支持され
   た基板上の端子に対して接触動作するプローブと
   を有する測定装置と、前記プローブと前記基板と
   を互いに平行する面内で相対移動させる駆動装置
   と、基準となる基板上の端子に対してプロービン
   グを行つたときの前記プローブの座標データを記
   憶する端子位置記憶器と、判定対象である基板上
   の少なくとも最初の端子に対してプロービングを
   行つたときの前記プローブの座標データを求め、
   この座標データと前記端子位置記憶器に記憶され
   た対応する座標データとが一致するよう前記端子
   位置記憶器に記憶された各座標データの交換を行
   い、この座標変換後の座標データを用いて、前記
   判定対象基板上の各端子に対するプロービングを
   自動的に行うよう制御を行う制御装置とを有する
   ことを特徴とする基板の絶縁導通判定装置。