JPH0317246Y2 - - Google Patents
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- JPH0317246Y2 JPH0317246Y2 JP5740084U JP5740084U JPH0317246Y2 JP H0317246 Y2 JPH0317246 Y2 JP H0317246Y2 JP 5740084 U JP5740084 U JP 5740084U JP 5740084 U JP5740084 U JP 5740084U JP H0317246 Y2 JPH0317246 Y2 JP H0317246Y2
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- Japan
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- slide glass
- cover glass
- adhesive
- glass
- holding
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- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 37
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 claims description 32
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 24
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 24
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 10
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000386 microscopy Methods 0.000 description 1
- 239000012188 paraffin wax Substances 0.000 description 1
- 230000007170 pathology Effects 0.000 description 1
- 238000010186 staining Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
[考案の属する技術分野]
本考案は自動標本封入装置に関し、特に標本の
薄片が添着されているスライドガラス上に接着液
を添付した状態において、内部に気泡を残留させ
ることなくカバーガラスを接着して標本を自動的
に封入することのできる自動標本封入装置に関す
る。
薄片が添着されているスライドガラス上に接着液
を添付した状態において、内部に気泡を残留させ
ることなくカバーガラスを接着して標本を自動的
に封入することのできる自動標本封入装置に関す
る。
[従来技術とその問題点]
一般に、病理学や細胞組織検査のために使用
される顕微鏡用の組織標本は、適寸に切出された
標本用の材料をアルコール等によつて脱水処理す
る工程から始まり、パラフイン等による包埋処
理、薄切の後、標本の薄片をスライドガラス上に
添着させて染色等の処理工程を経てかごに入れキ
シレン浴等の槽中で保管する。しかして、このよ
うな処理工程の後、標本はまとめてキシレン槽か
ら引き上げられ、接着剤を用いて0.09〜0.1mm程
度のカバーガラスにより封入される。
される顕微鏡用の組織標本は、適寸に切出された
標本用の材料をアルコール等によつて脱水処理す
る工程から始まり、パラフイン等による包埋処
理、薄切の後、標本の薄片をスライドガラス上に
添着させて染色等の処理工程を経てかごに入れキ
シレン浴等の槽中で保管する。しかして、このよ
うな処理工程の後、標本はまとめてキシレン槽か
ら引き上げられ、接着剤を用いて0.09〜0.1mm程
度のカバーガラスにより封入される。
このような標本の作成にあたつては、組織が破
壊されたり、誤判断を招くような要素である気泡
等が混入したりするのを防止する必要があり、更
には迅速かつ正確に作成されねばならぬが、従来
はほとんどの手順が手先業でなされていた。
壊されたり、誤判断を招くような要素である気泡
等が混入したりするのを防止する必要があり、更
には迅速かつ正確に作成されねばならぬが、従来
はほとんどの手順が手先業でなされていた。
近年にいたり、これらの処理工程がそれぞれ自
動化されるようになつてきたが、なかでもスライ
ドガラスに添着させた標本を接着剤とカバーガラ
スとにより封入する封入装置については完全自動
化されたものがほとんどなく、開発されたものに
ついてもなお種々の問題点がある。
動化されるようになつてきたが、なかでもスライ
ドガラスに添着させた標本を接着剤とカバーガラ
スとにより封入する封入装置については完全自動
化されたものがほとんどなく、開発されたものに
ついてもなお種々の問題点がある。
例えば、このような標本の自動封入装置として
英国のシヤンドン・サザン・プロダクツ・リミテ
ツドにより開発されたものがある(特開昭53−
109377号)。本例によれば、接着液の滴下された
カバーガラス上に標本片の添着されている面を下
側に向けたスライドガラスが導かれるようになし
て、カバーガラスを上方のスライドガラスに向け
て押上げることにより接着液をスライドガラスと
カバーガラスとの間で拡散させ、以て標本を双方
間に封入させるようにしている。
英国のシヤンドン・サザン・プロダクツ・リミテ
ツドにより開発されたものがある(特開昭53−
109377号)。本例によれば、接着液の滴下された
カバーガラス上に標本片の添着されている面を下
側に向けたスライドガラスが導かれるようになし
て、カバーガラスを上方のスライドガラスに向け
て押上げることにより接着液をスライドガラスと
カバーガラスとの間で拡散させ、以て標本を双方
間に封入させるようにしている。
しかしながら、このような自動標本封入装置に
おいては、接着液が標本上に直接添付されず、カ
バーガラスがスライドガラスに接触してからはじ
めて接着液が標本に浸透してゆくので、接着液が
十分に浸透しきれず気泡の残る虞があつた。
おいては、接着液が標本上に直接添付されず、カ
バーガラスがスライドガラスに接触してからはじ
めて接着液が標本に浸透してゆくので、接着液が
十分に浸透しきれず気泡の残る虞があつた。
[考案の目的]
本考案の目的は、上述した点に鑑みて、気泡の
混入の虞がなくて品質の高い標本が連続的に得ら
れる自動標本封入装置を提供することにある。
混入の虞がなくて品質の高い標本が連続的に得ら
れる自動標本封入装置を提供することにある。
[考案の要点]
すなわち、本考案は、接着剤が添付されたスラ
イドガラスを所定の待機位置に搬送する搬送路
と、前記所定の待機位置の下方に設けられ、昇降
自在となした昇降部材および該昇降部材の頂部に
揺動自在に連結されたばねによつて傾斜した姿勢
に保持可能なスライドガラスの保持板と、レバを
介して前記昇降部材および前記スライドガラスの
保持板を上下動させるカム装置と、前記所定の待
機位置の上方の接着位置に設けられ、カバーガラ
スの保持、開放が可能なカバーガラス保持装置
と、前記スライドガラスの位置および姿勢を検出
して、前記カバーガラスの保持、開放を行う検出
制御手段とを備えたことを特徴とするものであ
る。
イドガラスを所定の待機位置に搬送する搬送路
と、前記所定の待機位置の下方に設けられ、昇降
自在となした昇降部材および該昇降部材の頂部に
揺動自在に連結されたばねによつて傾斜した姿勢
に保持可能なスライドガラスの保持板と、レバを
介して前記昇降部材および前記スライドガラスの
保持板を上下動させるカム装置と、前記所定の待
機位置の上方の接着位置に設けられ、カバーガラ
スの保持、開放が可能なカバーガラス保持装置
と、前記スライドガラスの位置および姿勢を検出
して、前記カバーガラスの保持、開放を行う検出
制御手段とを備えたことを特徴とするものであ
る。
[考案の実施例]
以下に、図面に基づいて本考案の実施例を詳細
に説明する。なお、本考案はその搬送装置上に所
定の時間間隔ごとに供給されるスライドガラスに
対して、上記の搬送装置を所定の時間間隔で移動
と停止とを繰返させるようになして、その間のス
テツプごとに順次に封入動作を段階的に行わせる
ようにするものであり、以下では、その過程にお
ける接着封入装置について述べることとする。
に説明する。なお、本考案はその搬送装置上に所
定の時間間隔ごとに供給されるスライドガラスに
対して、上記の搬送装置を所定の時間間隔で移動
と停止とを繰返させるようになして、その間のス
テツプごとに順次に封入動作を段階的に行わせる
ようにするものであり、以下では、その過程にお
ける接着封入装置について述べることとする。
第1図および第2図はその接着封入装置の一例
を示し、1はその装置のケースであり、2はこの
ケース1上を矢印方向に移動してスライドガラス
3を搬送する搬送路である。しかして、このケー
ス1の上面には昇降軸4を上下自在に嵌合わせた
スプラインソケツト5が取付けてある。
を示し、1はその装置のケースであり、2はこの
ケース1上を矢印方向に移動してスライドガラス
3を搬送する搬送路である。しかして、このケー
ス1の上面には昇降軸4を上下自在に嵌合わせた
スプラインソケツト5が取付けてある。
6は昇降軸4の頂部に固定した保持具、7は保
持具6に蝶番部材8を介して揺動自在に取付けた
スライドガラス保持板であり、保持具6に設けた
ばね保持孔6Aにはコイルばね9が収納されてい
て、このばね9のばね力により保持板7を傾斜さ
せた持上げ状態に保つ。
持具6に蝶番部材8を介して揺動自在に取付けた
スライドガラス保持板であり、保持具6に設けた
ばね保持孔6Aにはコイルばね9が収納されてい
て、このばね9のばね力により保持板7を傾斜さ
せた持上げ状態に保つ。
また、昇降軸4の下端はケース1にばね10を
介して支承されており、更に昇降軸4の下端部に
は支点11Aで支えられたレバ11が連結してあ
つて、ばね10のばね力によりレバ11の他端部
を原節である板カム12の外周部に向けて偏倚さ
せている。なお、本例では板カム12をアルキメ
デススパイラル型となし、そのスパイラル端末間
には突起部12Aを形設して、時計回りの回転を
なさせるようにする。
介して支承されており、更に昇降軸4の下端部に
は支点11Aで支えられたレバ11が連結してあ
つて、ばね10のばね力によりレバ11の他端部
を原節である板カム12の外周部に向けて偏倚さ
せている。なお、本例では板カム12をアルキメ
デススパイラル型となし、そのスパイラル端末間
には突起部12Aを形設して、時計回りの回転を
なさせるようにする。
更にまた、第1図において13はレバ11がカ
ム12の突起部12Aの位置にきたときにこれを
検知する位置検出スイツチ、14はカム12と同
軸の円板カム15に設けたノツチ15Aの位置を
検知する位置検出スイツチである。本例では、位
置検出スイツチ14ならびに図示しない制御装置
により、カバーガラスの保持、開放を行う検出制
御手段を構成している。カム12は図示しない原
動機によつて駆動される。
ム12の突起部12Aの位置にきたときにこれを
検知する位置検出スイツチ、14はカム12と同
軸の円板カム15に設けたノツチ15Aの位置を
検知する位置検出スイツチである。本例では、位
置検出スイツチ14ならびに図示しない制御装置
により、カバーガラスの保持、開放を行う検出制
御手段を構成している。カム12は図示しない原
動機によつて駆動される。
また、搬送路2はスライドガラス3をその両端
部で支承しており、この搬送路2を介してスライ
ドガラス保持板7の上方には、カバーガラス30
を吸引した状態で保持可能な吸引盤21が待機す
るようにしてある。
部で支承しており、この搬送路2を介してスライ
ドガラス保持板7の上方には、カバーガラス30
を吸引した状態で保持可能な吸引盤21が待機す
るようにしてある。
しかして、この吸引盤21を第1図に示すよう
に回動腕22によつて待機位置22Aと待避位置
22Bとの間に移動自在となし、更に、吸引盤2
1には第2図に示すように、スライドガラス3お
よびカバーガラス30の長手の中心線から外れた
位置にカバーガラス30を吸引させる吸引口21
Aを設けて、この吸引口21Aに吸引管21Bを
介して図示しない真空ポンプから吸引力を供給す
る。21Cは逃しのすき間である。本例では、吸
引盤21、吸引口21A、吸引管21Bおよび図
示しない真空ポンプとで、カバーガラス保持装置
を構成している。
に回動腕22によつて待機位置22Aと待避位置
22Bとの間に移動自在となし、更に、吸引盤2
1には第2図に示すように、スライドガラス3お
よびカバーガラス30の長手の中心線から外れた
位置にカバーガラス30を吸引させる吸引口21
Aを設けて、この吸引口21Aに吸引管21Bを
介して図示しない真空ポンプから吸引力を供給す
る。21Cは逃しのすき間である。本例では、吸
引盤21、吸引口21A、吸引管21Bおよび図
示しない真空ポンプとで、カバーガラス保持装置
を構成している。
次に、このように構成した接着封入装置におけ
る接着封入動作について述べる。
る接着封入動作について述べる。
まず、スライドガラス3が搬送路2によつて、
第1図および第2図に示したような位置に搬送さ
れてきたとすると、このときには吸引盤21とそ
の回動腕22とは第3図Aに示すようにスライド
ガラス3の直上の待機位置22Aにあり、接着動
作開始の待機状態となる。また、この状態はカム
12の突起部12Aが最上位置にまで回転してく
ることによつて得られ、この位置は第1図に示し
た位置検出スイツチ13によつて検知される。
第1図および第2図に示したような位置に搬送さ
れてきたとすると、このときには吸引盤21とそ
の回動腕22とは第3図Aに示すようにスライド
ガラス3の直上の待機位置22Aにあり、接着動
作開始の待機状態となる。また、この状態はカム
12の突起部12Aが最上位置にまで回転してく
ることによつて得られ、この位置は第1図に示し
た位置検出スイツチ13によつて検知される。
この位置からカム12が時計回りの回転をする
と第2図に示したように、レバ11の端部がカム
12の突起部12Aから急激に滑落することによ
つて、昇降軸4を介して保持具6が素早く持ち上
げられ、保持板7によつてスライドガラス3が搬
送路2から担持されてスライドガラス3の高い側
に位置している端部が吸引盤21によつて保持さ
れるカバーガラス30と接触寸前の状態となる。
と第2図に示したように、レバ11の端部がカム
12の突起部12Aから急激に滑落することによ
つて、昇降軸4を介して保持具6が素早く持ち上
げられ、保持板7によつてスライドガラス3が搬
送路2から担持されてスライドガラス3の高い側
に位置している端部が吸引盤21によつて保持さ
れるカバーガラス30と接触寸前の状態となる。
一方、スライドガラス3上にはあらかじめこの
ような接着位置に搬送されてくる以前に封入のた
めの接着剤40が滴下されている。そこで、続く
カム12の回転によつて、カム12と接触を保つ
ているレバ11の端部がカム12の周面に形成し
た緩やかなスパイラル形状に従つて下降動作をす
ると、保持板7のそれに連れた上昇によつて、ま
ずカバーガラス30とスライドガラス3との端部
同士が接触し、更にそのあとは、カバーガラス3
0が薄片であるためにスライドガラス3に沿つて
幾分たわませられ、その間に、接着剤40を毛細
管現象によつて拡散させると共にガラス間の空気
を傾斜に沿つて押出し、第3図Bに示すような状
態に接着剤40を展延させることができる。
ような接着位置に搬送されてくる以前に封入のた
めの接着剤40が滴下されている。そこで、続く
カム12の回転によつて、カム12と接触を保つ
ているレバ11の端部がカム12の周面に形成し
た緩やかなスパイラル形状に従つて下降動作をす
ると、保持板7のそれに連れた上昇によつて、ま
ずカバーガラス30とスライドガラス3との端部
同士が接触し、更にそのあとは、カバーガラス3
0が薄片であるためにスライドガラス3に沿つて
幾分たわませられ、その間に、接着剤40を毛細
管現象によつて拡散させると共にガラス間の空気
を傾斜に沿つて押出し、第3図Bに示すような状
態に接着剤40を展延させることができる。
かくして続く保持具6の上昇中に吸引盤21に
吸引力を供給していた真空ポンプ(図示せず)を
停止させてカバーガラス30の拘束を解くが、こ
の停止のタイミングはカム15に設けた位置検出
スイツチ14からの信号によつて得られる。第3
図Cはそのあとの保持具6の上昇によつて、保持
板7がばね9のばね力に抗して平坦に保持され、
スライドガラス3とカバーガラス30とが完全な
密着状態に保たれる最上位位置を示し、このあと
は、第2図に示したカム12の突起部12Aがレ
バー11端部を急激に突きあげることにより保持
具6を第3図Aに示した状態に戻すことができ
る。
吸引力を供給していた真空ポンプ(図示せず)を
停止させてカバーガラス30の拘束を解くが、こ
の停止のタイミングはカム15に設けた位置検出
スイツチ14からの信号によつて得られる。第3
図Cはそのあとの保持具6の上昇によつて、保持
板7がばね9のばね力に抗して平坦に保持され、
スライドガラス3とカバーガラス30とが完全な
密着状態に保たれる最上位位置を示し、このあと
は、第2図に示したカム12の突起部12Aがレ
バー11端部を急激に突きあげることにより保持
具6を第3図Aに示した状態に戻すことができ
る。
なお、この保持具6が戻された状態ではスライ
ドガラス3はカバーガラス30と接着剤40とに
より標本を封入した状態で搬送路2に戻されるの
で、図示はしないが、このように封入を終了した
スライドガラス3を図示しない搬送手段によつて
次の工程位置に搬送させることができる。
ドガラス3はカバーガラス30と接着剤40とに
より標本を封入した状態で搬送路2に戻されるの
で、図示はしないが、このように封入を終了した
スライドガラス3を図示しない搬送手段によつて
次の工程位置に搬送させることができる。
また、同時に吸引盤21はカバーガラス30を
開放したあとは自動的に第1図で示した待避位置
22Bに戻り、ここで次に供給されるカバーガラ
ス30を受取る動作をなす。
開放したあとは自動的に第1図で示した待避位置
22Bに戻り、ここで次に供給されるカバーガラ
ス30を受取る動作をなす。
なお、以上により本考案にかかる接着封入装置
の詳細を述べたが、その他の装置については本願
人が先に出願した特開昭第58−30902号に記載の
自動標本封入装置にならつて構成することができ
るもので、ここではその詳細な説明を省略する。
の詳細を述べたが、その他の装置については本願
人が先に出願した特開昭第58−30902号に記載の
自動標本封入装置にならつて構成することができ
るもので、ここではその詳細な説明を省略する。
[考案の効果]
以上説明したように、本考案によれば、接着剤
が添付されたスライドガラスを所定の待機位置に
搬送する搬送路と、前記所定の待機位置の下方に
設けられ、昇降自在となした昇降部材および該昇
降部材の頂部に揺動自在に連結さればねによつて
傾斜した姿勢に保持可能なスライドガラスの保持
板と、レバを介して前記昇降部材および前記スラ
イドガラスの保持板を上下動させるカム装置と、
前記所定の待機位置の上方の接着位置に設けら
れ、カバーガラスの保持、開放が可能なカバーガ
ラス保持装置と、前記スライドガラスの位置およ
び姿勢を検出して、前記カバーガラスの保持、開
放を行う検出制御手段とを備えたので、簡単な装
置で十分な気泡の除去と接着剤の拡散展延とを自
動的に行うことができて、良質の封入標本を連続
して得ることができる。
が添付されたスライドガラスを所定の待機位置に
搬送する搬送路と、前記所定の待機位置の下方に
設けられ、昇降自在となした昇降部材および該昇
降部材の頂部に揺動自在に連結さればねによつて
傾斜した姿勢に保持可能なスライドガラスの保持
板と、レバを介して前記昇降部材および前記スラ
イドガラスの保持板を上下動させるカム装置と、
前記所定の待機位置の上方の接着位置に設けら
れ、カバーガラスの保持、開放が可能なカバーガ
ラス保持装置と、前記スライドガラスの位置およ
び姿勢を検出して、前記カバーガラスの保持、開
放を行う検出制御手段とを備えたので、簡単な装
置で十分な気泡の除去と接着剤の拡散展延とを自
動的に行うことができて、良質の封入標本を連続
して得ることができる。
第1図および第2図は本考案自動標本封入装置
に適用する接着封入装置の構成の一例を示すそれ
ぞれ斜視図および部分断面図、第3図A,Bおよ
びCはその接着封入動作の3態様を順序別にそれ
ぞれ示す説明図である。 1……ケース、2……搬送路、3……スライド
ガラス、4……昇降軸、5……ソケツト、6……
保持具、6A……保持孔、7……保持板、8……
蝶番部材、9……コイルばね、10……ばね、1
1……レバ、11A……支点、12……カム、1
2A……突起部、13,14……位置検出スイツ
チ、15……カム、15A……ノツチ、21……
吸引盤、21A……吸引口、21B……吸引管、
21C……すき間、22……回動腕、22A……
待機位置、22B……待避位置、30……カバー
ガラス、40……接着剤。
に適用する接着封入装置の構成の一例を示すそれ
ぞれ斜視図および部分断面図、第3図A,Bおよ
びCはその接着封入動作の3態様を順序別にそれ
ぞれ示す説明図である。 1……ケース、2……搬送路、3……スライド
ガラス、4……昇降軸、5……ソケツト、6……
保持具、6A……保持孔、7……保持板、8……
蝶番部材、9……コイルばね、10……ばね、1
1……レバ、11A……支点、12……カム、1
2A……突起部、13,14……位置検出スイツ
チ、15……カム、15A……ノツチ、21……
吸引盤、21A……吸引口、21B……吸引管、
21C……すき間、22……回動腕、22A……
待機位置、22B……待避位置、30……カバー
ガラス、40……接着剤。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 接着剤が添付されたスライドガラスを所定の待
機位置に搬送する搬送路と、 前記所定の待機位置の下方に設けられ、昇降自
在となした昇降部材および該昇降部材の頂部に揺
動自在に連結さればねによつて傾斜した姿勢に保
持可能なスライドガラスの保持板と、レバを介し
て前記昇降部材および前記スライドガラスの保持
板を上下動させるカム装置と、 前記所定の待機位置の上方の接着位置に設けら
れ、カバーガラスの保持、開放が可能なカバーガ
ラス保持装置と、 前記スライドガラスの位置および姿勢を検出し
て、前記カバーガラスの保持、開放を行う検出制
御手段と を備えたことを特徴とする自動標本封入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5740084U JPS60172701U (ja) | 1984-04-20 | 1984-04-20 | 自動標本封入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5740084U JPS60172701U (ja) | 1984-04-20 | 1984-04-20 | 自動標本封入装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60172701U JPS60172701U (ja) | 1985-11-15 |
| JPH0317246Y2 true JPH0317246Y2 (ja) | 1991-04-11 |
Family
ID=30581889
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5740084U Granted JPS60172701U (ja) | 1984-04-20 | 1984-04-20 | 自動標本封入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60172701U (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5898318B2 (ja) * | 2011-09-09 | 2016-04-06 | ベンタナ メディカル システムズ, インコーポレイテッド | イメージングシステム、カセッテ、およびこれを使用する方法 |
-
1984
- 1984-04-20 JP JP5740084U patent/JPS60172701U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60172701U (ja) | 1985-11-15 |
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