JPH0317376B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0317376B2 JPH0317376B2 JP61264081A JP26408186A JPH0317376B2 JP H0317376 B2 JPH0317376 B2 JP H0317376B2 JP 61264081 A JP61264081 A JP 61264081A JP 26408186 A JP26408186 A JP 26408186A JP H0317376 B2 JPH0317376 B2 JP H0317376B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- ball
- wire
- ball diameter
- value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/01—Manufacture or treatment
- H10W72/015—Manufacture or treatment of bond wires
- H10W72/01551—Changing the shapes of bond wires
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
- H10W72/07511—Treating the bonding area before connecting, e.g. by applying flux or cleaning
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、半導体製造装置におけるワイヤボン
デイング用のボール形成装置に関する。
デイング用のボール形成装置に関する。
［従来の技術］
第３図はワイヤボンデイング装置を示す模式図
であり、ワイヤ１は、クランパー２およびボンデ
イングツール３を通して、ヒーター４の上に載置
されたペレツト５およびリードフレーム６にボン
デイングされる。続いて、クランパー２によつて
ワイヤ１をもち上げると、リードフレーム６にボ
ンデイングした部分でワイヤ１が切断され、その
先端部は破線で示す位置に戻される。また、ワイ
ヤ先端部１Ａの側方には、電源を内蔵する放電発
生装置７とともに電気トーチを形成する電極８が
配置され、ワイヤ先端部１Ａと電極８との間に高
電圧を印加することによつて放電を発生させ、ワ
イヤ先端部１Ａにボール１Ｂを形成する。このボ
ール１Ｂはペレツト５に対するボンデイングを好
適ならしめるものであるが、その前提としてペレ
ツト５のボンデイングパツド面積の変更、ワイヤ
１の直径の変更等に応じて適正なボール径が要求
される。
であり、ワイヤ１は、クランパー２およびボンデ
イングツール３を通して、ヒーター４の上に載置
されたペレツト５およびリードフレーム６にボン
デイングされる。続いて、クランパー２によつて
ワイヤ１をもち上げると、リードフレーム６にボ
ンデイングした部分でワイヤ１が切断され、その
先端部は破線で示す位置に戻される。また、ワイ
ヤ先端部１Ａの側方には、電源を内蔵する放電発
生装置７とともに電気トーチを形成する電極８が
配置され、ワイヤ先端部１Ａと電極８との間に高
電圧を印加することによつて放電を発生させ、ワ
イヤ先端部１Ａにボール１Ｂを形成する。このボ
ール１Ｂはペレツト５に対するボンデイングを好
適ならしめるものであるが、その前提としてペレ
ツト５のボンデイングパツド面積の変更、ワイヤ
１の直径の変更等に応じて適正なボール径が要求
される。
そこで従来、ワイヤ１と電極８の間に定電圧を
印加したり、定電流回路を付加して放電時の電流
を一定制御する等の放電発生方法の採用により、
ボール径の適正化を図つている。
印加したり、定電流回路を付加して放電時の電流
を一定制御する等の放電発生方法の採用により、
ボール径の適正化を図つている。
上記のように、ボール径の適正化を図るべく、
放電発生方法に改良が加えられたとしても、ボン
デイングに際しては適正なボールが形成されたこ
との確認、すなわちボール径の良否判定を行なう
とともに、適正ボール径のボールをより確実に形
成することが必要である。
放電発生方法に改良が加えられたとしても、ボン
デイングに際しては適正なボールが形成されたこ
との確認、すなわちボール径の良否判定を行なう
とともに、適正ボール径のボールをより確実に形
成することが必要である。
従来のボール径の良否判定方法は、放電中のあ
る一瞬のタイミングで電流が流れているか否か、
あるいは放電ギヤツプ間にかかる電圧が異常でな
いかを検出することにより、放電状態をモニター
し、この放電状態が異常であれば、ボール径も異
常であるものと判定している。しかし、この方法
は放電状態の検出タイミングが放電中のある一瞬
に限られるため、そのタイミング以外での放電状
態は無視されることとなり、判定精度が悪い。
る一瞬のタイミングで電流が流れているか否か、
あるいは放電ギヤツプ間にかかる電圧が異常でな
いかを検出することにより、放電状態をモニター
し、この放電状態が異常であれば、ボール径も異
常であるものと判定している。しかし、この方法
は放電状態の検出タイミングが放電中のある一瞬
に限られるため、そのタイミング以外での放電状
態は無視されることとなり、判定精度が悪い。
そこで従来、特開昭60−206145号公報に記載さ
れるように、放電状態の検出タイミングを無数に
設定し、判定精度の向上を図る方法も提案されて
いる。
れるように、放電状態の検出タイミングを無数に
設定し、判定精度の向上を図る方法も提案されて
いる。
［発明が解決しようとする問題点］
しかしながら、放電状態の検出タイミングを無
数に設定し、各タイミングの放電状態を検出する
場合には、無数の検出タイミング信号を発生させ
る必要があり、複雑な制御回路を必要とすること
となつて、装置構成が極めて複雑化する。
数に設定し、各タイミングの放電状態を検出する
場合には、無数の検出タイミング信号を発生させ
る必要があり、複雑な制御回路を必要とすること
となつて、装置構成が極めて複雑化する。
本発明は、簡素な装置構成により、ボール径の
判定精度を向上可能とすることを目的とする。
判定精度を向上可能とすることを目的とする。
［問題点を解決するための手段］
本発明は、ワイヤの先端部と電極との間に放電
を発生させて、ワイヤの先端部にボールを形成す
るワイヤボンデイング用のボール形成装置におい
て、一定のボール径を形成するために放電時にワ
イヤに与えるべき電荷量の相当値を設定する電荷
量設定手段と、放電時にワイヤに与えられる電荷
量の相当値を累積する電荷量累積手段と、電荷量
累積手段の累積値を電荷量設定手段の設定値と比
較し、ボール径を判定するボール径判定手段とを
有してなるようにしたものである。
を発生させて、ワイヤの先端部にボールを形成す
るワイヤボンデイング用のボール形成装置におい
て、一定のボール径を形成するために放電時にワ
イヤに与えるべき電荷量の相当値を設定する電荷
量設定手段と、放電時にワイヤに与えられる電荷
量の相当値を累積する電荷量累積手段と、電荷量
累積手段の累積値を電荷量設定手段の設定値と比
較し、ボール径を判定するボール径判定手段とを
有してなるようにしたものである。
［作用］
ボール径は放電時にワイヤに与えられる電荷量
によつて決定される。そこで、本発明によれば、
放電開始とともにワイヤに与えられる電荷量の相
当値を累積し、上記電荷量の累積値を電荷量設定
手段に予め設定されている設定値と比較すること
により、ボール径がどの程度になつているかを任
意のタイミングで判定することができる。これに
より、本発明によれば、複雑な制御回路を必要と
することなく簡素な装置構成により、ボール径の
判定精度を向上できる。
によつて決定される。そこで、本発明によれば、
放電開始とともにワイヤに与えられる電荷量の相
当値を累積し、上記電荷量の累積値を電荷量設定
手段に予め設定されている設定値と比較すること
により、ボール径がどの程度になつているかを任
意のタイミングで判定することができる。これに
より、本発明によれば、複雑な制御回路を必要と
することなく簡素な装置構成により、ボール径の
判定精度を向上できる。
また、本発明にあつては、電荷量累積手段が、
放電電流の相当値を放電時間で積分する積分器か
らなるものとすることにより、放電時のワイヤに
与えられる電荷量の相当値を容易に累積できる。
放電電流の相当値を放電時間で積分する積分器か
らなるものとすることにより、放電時のワイヤに
与えられる電荷量の相当値を容易に累積できる。
また、本発明にあつては、電荷量設定手段が適
正ボール径に対応する電荷量の相当値をグツドレ
ベルとして設定するものとすることにより、ボー
ル径判定手段がボール径の適正化状態（良否）を
容易に判定できる。
正ボール径に対応する電荷量の相当値をグツドレ
ベルとして設定するものとすることにより、ボー
ル径判定手段がボール径の適正化状態（良否）を
容易に判定できる。
また、本発明にあつては、ボール径が適正値に
達したことをボール径判定手段が判定した時点で
放電を終了制御するものとすれば、適正ボール径
のボールをより確実かつ能率的に形成できる。
達したことをボール径判定手段が判定した時点で
放電を終了制御するものとすれば、適正ボール径
のボールをより確実かつ能率的に形成できる。
［実施例］
第１図は本発明の一実施例に係るボール形成装
置を示すブロツク図、第２図はボール形成装置に
用いられる制御波形を示す波形図である。
置を示すブロツク図、第２図はボール形成装置に
用いられる制御波形を示す波形図である。
ボール形成装置１０は、放電発生装置１１、放
電電流検出部１２、積分器（電荷量累積手段）１
３、ボール径判定部（ボール径判定手段）１４、
グツドレベル設定部（電荷量設定手段）１５を備
えている。また、ボール形成装置１０は、放電電
圧検出部１６、シヨート判定部１７、積分中止ス
イツチ部１８を備えている。
電電流検出部１２、積分器（電荷量累積手段）１
３、ボール径判定部（ボール径判定手段）１４、
グツドレベル設定部（電荷量設定手段）１５を備
えている。また、ボール形成装置１０は、放電電
圧検出部１６、シヨート判定部１７、積分中止ス
イツチ部１８を備えている。
放電発生装置１１は、定電流電源回路を内蔵し
ており、放電指令Ａ１〜Ａ３に基づいて、ワイヤ
２１の先端部２１Ａの電極２２の間に放電を発生
させ、ワイヤ先端部２１Ａにボールを形成する。
この例では、放電指令Ａ１による放電状態は正
常、放電指令Ａ２による放電状態は放電ギヤツプ
が広すぎる不良状態（オープン）、放電指令Ａ３
による放電状態はワイヤ２１が電極２２に接触し
た不良状態（シヨート）にあるものとする。
ており、放電指令Ａ１〜Ａ３に基づいて、ワイヤ
２１の先端部２１Ａの電極２２の間に放電を発生
させ、ワイヤ先端部２１Ａにボールを形成する。
この例では、放電指令Ａ１による放電状態は正
常、放電指令Ａ２による放電状態は放電ギヤツプ
が広すぎる不良状態（オープン）、放電指令Ａ３
による放電状態はワイヤ２１が電極２２に接触し
た不良状態（シヨート）にあるものとする。
グツドレベル設定部１５は、適正ボール径を形
成するために、放電時のワイヤ２１を与えるべき
電荷量の相当値をグツドレベルｌ１として設定さ
れている。
成するために、放電時のワイヤ２１を与えるべき
電荷量の相当値をグツドレベルｌ１として設定さ
れている。
積分器１３は、各放電指令Ａ１〜Ａ３に対応
し、放電発生装置１１から放電時間ｔを与えられ
るとともに、放電電流検出部１２から放電電流ｉ
１〜ｉ３の相当値（放電電流を電圧信号に変換
し、扱いやすいレベルに整形した信号）を与えら
れ、放電中にワイヤ２１に流れる放電電流の上記
相当値を放電時間で積分することにより、放電中
にワイヤ２１に与えられる電荷量の相当値をその
積分値ｓ１〜ｓ３として累積する。
し、放電発生装置１１から放電時間ｔを与えられ
るとともに、放電電流検出部１２から放電電流ｉ
１〜ｉ３の相当値（放電電流を電圧信号に変換
し、扱いやすいレベルに整形した信号）を与えら
れ、放電中にワイヤ２１に流れる放電電流の上記
相当値を放電時間で積分することにより、放電中
にワイヤ２１に与えられる電荷量の相当値をその
積分値ｓ１〜ｓ３として累積する。
ボール径判定部１４は、積分器１３の積分値ｓ
１〜ｓ３を、グツドレベル設定部１５の設定値ｌ
１と比較し、ボール径の適正化状態を判定し、ボ
ール径が適正化状態にある時にグツド信号Ｇを出
力する等、判定結果をボンデイング装置に出力す
る。
１〜ｓ３を、グツドレベル設定部１５の設定値ｌ
１と比較し、ボール径の適正化状態を判定し、ボ
ール径が適正化状態にある時にグツド信号Ｇを出
力する等、判定結果をボンデイング装置に出力す
る。
これにより、放電状態が正常である場合には、
放電指令Ａ１の全発生期間中、放電電流ｉ１が流
れ、積分値ｓ１はグツドレベルｌ１を越えて、グ
ツド信号Ｇが出力され、ボール径良が判定され
る。
放電指令Ａ１の全発生期間中、放電電流ｉ１が流
れ、積分値ｓ１はグツドレベルｌ１を越えて、グ
ツド信号Ｇが出力され、ボール径良が判定され
る。
また、放電状態がオープンとなる場合には、放
電指令Ａ２の全発生期間中のうちで上記オープン
状態に至つていない間だけ放電電流ｉ２が流れ、
積分値ｓ２はグツドレベルｌ１に達することがで
きず、ボール径不良が判定される。
電指令Ａ２の全発生期間中のうちで上記オープン
状態に至つていない間だけ放電電流ｉ２が流れ、
積分値ｓ２はグツドレベルｌ１に達することがで
きず、ボール径不良が判定される。
ところで、放電状態がシヨートとなる場合に
は、放電発生装置１１が定電流電源回路を用いて
いるため、放電指令Ａ３の全発生期間中、ほとん
ど同一レベルの放電電流ｉ３が流れる。したがつ
て、この場合には、シヨート判定部１７がシヨー
トの発生を判定した時点以後の積分器１３による
積分を、積分中止スイツチ部１８の作動により停
止する。すなわち、シヨート判定部１７は、放電
電圧検出部１６が検出する放電電圧ｖ１〜ｖ３を
受けて、シヨート発生時の放電電圧ｖ３が、予め
定められているシヨートレベルｈより小となるこ
とを検出し、シヨート発生を判定可能としてい
る。これにより、シヨート発生時の積分器１３に
よる積分値ｓ３はグツドレベルｌ１に達すること
ができず、ボール径不良が判定できる。
は、放電発生装置１１が定電流電源回路を用いて
いるため、放電指令Ａ３の全発生期間中、ほとん
ど同一レベルの放電電流ｉ３が流れる。したがつ
て、この場合には、シヨート判定部１７がシヨー
トの発生を判定した時点以後の積分器１３による
積分を、積分中止スイツチ部１８の作動により停
止する。すなわち、シヨート判定部１７は、放電
電圧検出部１６が検出する放電電圧ｖ１〜ｖ３を
受けて、シヨート発生時の放電電圧ｖ３が、予め
定められているシヨートレベルｈより小となるこ
とを検出し、シヨート発生を判定可能としてい
る。これにより、シヨート発生時の積分器１３に
よる積分値ｓ３はグツドレベルｌ１に達すること
ができず、ボール径不良が判定できる。
次に、上記実施例の作用について説明する。
ボール径は放電時にワイヤ２１に与えられる電
荷量いよつて決定される。そこで、上記実施例に
よれば、放電開始とともにワイヤ２１に与えられ
る電荷量の相当値が、積分器１３によつて放電電
流の相当値を放電時間で積分することによつて容
易に累積し、その電荷量の累積値をグツドレベル
設定部１５に予め設定されている設定値と比較す
ることにより、ボール径の適正化状態（良否）を
容易に判定できる。これにより、複雑な制御回路
を必要とすることなく簡素な装置構成により、ボ
ール径の判定精度を向上できる。
荷量いよつて決定される。そこで、上記実施例に
よれば、放電開始とともにワイヤ２１に与えられ
る電荷量の相当値が、積分器１３によつて放電電
流の相当値を放電時間で積分することによつて容
易に累積し、その電荷量の累積値をグツドレベル
設定部１５に予め設定されている設定値と比較す
ることにより、ボール径の適正化状態（良否）を
容易に判定できる。これにより、複雑な制御回路
を必要とすることなく簡素な装置構成により、ボ
ール径の判定精度を向上できる。
また、ボール径が適正値に達したことをボール
径判定部１４が判定した時点で、ボール径判定部
１４が放電終了信号ｃを放電発生装置１１に伝
え、これにより放電を終了するものとしてもよ
い。これによれば、適正ボール径のボールをより
確実かつ能率的に形成できる。
径判定部１４が判定した時点で、ボール径判定部
１４が放電終了信号ｃを放電発生装置１１に伝
え、これにより放電を終了するものとしてもよ
い。これによれば、適正ボール径のボールをより
確実かつ能率的に形成できる。
なお、本発明は放電発生装置１１がワイヤ２１
と電極２２の間に定電圧を印加する回路を内蔵す
るものである場合にも適用可能である。この時、
放電状態がシヨートとなる場合には、以下のま
たはの方法によつてボール径の不良発生を判定
する。
と電極２２の間に定電圧を印加する回路を内蔵す
るものである場合にも適用可能である。この時、
放電状態がシヨートとなる場合には、以下のま
たはの方法によつてボール径の不良発生を判定
する。
定電圧制御状態下で、放電状態がシヨートに
なると、放電電流ｉ３はｉ３ｚ、放電電圧ｖ３
はｖ３ｚとなる。そこで、放電電流検出部１２
が検出する電流ｉ３が電流ｉ３ｚとなる異常上
昇をとらえてシヨート発生を判定するシヨート
判定部を設け、このシヨート判定部の判定結果
によつて前記積分中止スイツチ部１８を作動さ
せて積分器１３によるシヨート発生以後の積分
を中止させ、ボール径判定部１４によつてボー
ル径の不良発生を判定可能とする。
なると、放電電流ｉ３はｉ３ｚ、放電電圧ｖ３
はｖ３ｚとなる。そこで、放電電流検出部１２
が検出する電流ｉ３が電流ｉ３ｚとなる異常上
昇をとらえてシヨート発生を判定するシヨート
判定部を設け、このシヨート判定部の判定結果
によつて前記積分中止スイツチ部１８を作動さ
せて積分器１３によるシヨート発生以後の積分
を中止させ、ボール径判定部１４によつてボー
ル径の不良発生を判定可能とする。
上記のシヨート判定部を設けず、積分器１
３による積分をシヨート発生後も継続するもの
とすれば、積分値ｓ３は増大してｓ３ｚとな
る。そこで、この場合には、グツドレベルｌ１
に一定レベルを加えたシヨートレベルｌ２を、
ｌ１とともにボール径判定部１４に併用し、ボ
ール径判定部１４によつて、積分値ｓ３ｚがシ
ヨートレベルｌ２を越える状態をシヨート発
生、すなわちボール径の不良発生として判定可
能とする。
３による積分をシヨート発生後も継続するもの
とすれば、積分値ｓ３は増大してｓ３ｚとな
る。そこで、この場合には、グツドレベルｌ１
に一定レベルを加えたシヨートレベルｌ２を、
ｌ１とともにボール径判定部１４に併用し、ボ
ール径判定部１４によつて、積分値ｓ３ｚがシ
ヨートレベルｌ２を越える状態をシヨート発
生、すなわちボール径の不良発生として判定可
能とする。
また、上記実施例にあつては、本発明における
電荷量設定手段をグツドレベル設定部１５とした
が、電荷量設定手段は各種ボール径とそれに対応
する電荷量の相当値の多数の組合わせを予め設定
されているものであつてもよい。この場合には、
ボール径判定部１４は、ボール径が適正値に達し
たか否かの判定のみでなく、放電によつて形成さ
れているボール径の増加状態を任意のタイミング
で判定できる。
電荷量設定手段をグツドレベル設定部１５とした
が、電荷量設定手段は各種ボール径とそれに対応
する電荷量の相当値の多数の組合わせを予め設定
されているものであつてもよい。この場合には、
ボール径判定部１４は、ボール径が適正値に達し
たか否かの判定のみでなく、放電によつて形成さ
れているボール径の増加状態を任意のタイミング
で判定できる。
［発明の効果］
本発明によれば、簡素な装置構成により、ボー
ル径の判定精度を向上することができる。
ル径の判定精度を向上することができる。
第１図は本発明の一実施例に係るボール形成装
置を示すブロツク図、第２図はボール形成装置に
用いられる制御波形を示す波形図、第３図はワイ
ヤボンデイング装置を示す模式図である。 １０……ボール形成装置、１１……放電発生装
置、１２……放電電流検出部、１３……積分器
（電荷量累積手段）、１４……ボール径判定部（ボ
ール径判定手段）、１５……グツドレベル設定部
（電荷量設定手段）、２１……ワイヤ、、２２……
電極。
置を示すブロツク図、第２図はボール形成装置に
用いられる制御波形を示す波形図、第３図はワイ
ヤボンデイング装置を示す模式図である。 １０……ボール形成装置、１１……放電発生装
置、１２……放電電流検出部、１３……積分器
（電荷量累積手段）、１４……ボール径判定部（ボ
ール径判定手段）、１５……グツドレベル設定部
（電荷量設定手段）、２１……ワイヤ、、２２……
電極。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ワイヤの先端部と電極との間に放電を発生さ
せて、ワイヤの先端部にボールを形成するワイヤ
ボンデイング用のボール形成装置において、一定
のボール径を形成するために放電時にワイヤに与
えるべき電荷量の相当値を設定する電荷量設定手
段と、放電時にワイヤに与えられる電荷量の相当
値を累積する電荷量累積手段と、電荷量累積手段
の累積値を電荷量設定手段の設定値と比較し、ボ
ール径を判定するボール径判定手段とを有してな
ることを特徴とするワイヤボンデイング用のボー
ル形成装置。 ２ 特許請求の範囲第１項において、電荷量累積
手段が、放電中にワイヤに流れる放電電流の相当
値を放電時間で積分する積分器であるワイヤボン
デイング用のボール形成装置。 ３ 特許請求の範囲第１項または第２項におい
て、電荷量設定手段が適正ボール径を形成するに
必要な電荷量の相当値をグツドレベルとして設定
し、ボール径判定手段がボール径の適正化状態を
判定するワイヤボンデイング用のボール形成装
置。 ４ 特許請求の範囲第３項において、放電中にボ
ール径が適正値に達したことをボール径判定手段
が判定した時点で、放電を終了するワイヤボンデ
イング用のボール形成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61264081A JPS63119540A (ja) | 1986-11-07 | 1986-11-07 | ワイヤボンデイング用のボ−ル形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61264081A JPS63119540A (ja) | 1986-11-07 | 1986-11-07 | ワイヤボンデイング用のボ−ル形成装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63119540A JPS63119540A (ja) | 1988-05-24 |
| JPH0317376B2 true JPH0317376B2 (ja) | 1991-03-07 |
Family
ID=17398251
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61264081A Granted JPS63119540A (ja) | 1986-11-07 | 1986-11-07 | ワイヤボンデイング用のボ−ル形成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63119540A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015122411A1 (ja) * | 2014-02-17 | 2015-08-20 | 株式会社新川 | 放電検査装置、ワイヤボンディング装置、および放電検査方法 |
-
1986
- 1986-11-07 JP JP61264081A patent/JPS63119540A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015122411A1 (ja) * | 2014-02-17 | 2015-08-20 | 株式会社新川 | 放電検査装置、ワイヤボンディング装置、および放電検査方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63119540A (ja) | 1988-05-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3973184A (en) | Thermocouple circuit detector for simultaneous analog trend recording and analog to digital conversion | |
| JPS60156567A (ja) | 高速動作形火花連絡検出器 | |
| US9421626B2 (en) | Apparatus and method for electrical discharge machining modulation control | |
| JP2568828B2 (ja) | 火花点火装置の作用監視方法およびその装置 | |
| JP2617351B2 (ja) | ワイヤ接続不良検出方法 | |
| JPH04346448A (ja) | ワイヤボンダ用ボール形成装置 | |
| US6568581B2 (en) | Detection of wire bonding failures | |
| US5212361A (en) | Method and apparatus for forming balls at the ends of wires | |
| JPH0317376B2 (ja) | ||
| US4687897A (en) | Flame-off limited circuit for wire bonding ball forming apparatus | |
| JPH0317377B2 (ja) | ||
| JP2552042B2 (ja) | Ｓｃｒの導電測定方法及び測定装置 | |
| CA2034620C (en) | Charge device capable of lengthening a lifetime of a storage cell | |
| US6660956B1 (en) | Method of and apparatus for monitoring a ball forming process | |
| JPS6215017A (ja) | ワイヤ放電加工装置 | |
| US5486765A (en) | Insulating condition detecting apparatus for a wire-cut electrical discharge machine | |
| JP3253049B2 (ja) | ワイヤボンディング装置におけるボール径検出方法及びボール径検出装置 | |
| JPS6149433A (ja) | ワイヤボンデイングにおけるボ−ル形成不良検出方法 | |
| EP0657242A1 (en) | Discharge device of wire-cutting electric discharge machine | |
| JP3908380B2 (ja) | ワイヤボンディング装置及び該装置を用いた半導体装置の製造方法 | |
| JPH08236587A (ja) | ワイヤボンディング装置におけるボンディング不着検出方法及びボンディング不着検出装置 | |
| JPS6195777A (ja) | 開先検出方法および装置 | |
| JP3794112B2 (ja) | パルス電源並びに異常検出方法 | |
| JPH0210573B2 (ja) | ||
| JP3338848B2 (ja) | バンプ形成におけるボンディング不良検出方法およびボンディング装置の制御方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |