JPH0317488A - 高純度酸素の製造方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、高純度酸素の製造方法及びその装置に関し、
特に低沸点戊分及び／又は高沸点成分を含有する酸素ガ
スを原料として、深冷法により極めて純度の高い高純度
酸素を製造する方法及びその装置に関する。

〔従来の技術〕

従来から、酸素を製造する手段として複精留塔を用いた
深冷式の空気液化分離装置が一般に用いられている。

第３図は、この空気液化分離装置における複精留塔部分
を示すものである。

所定圧力に圧縮され、精製，冷却された原料空気ＧＡは
、複精留塔１の下部塔２の下部に導入されて精留され、
塔上部の窒素ガスと塔底部の酸素富化液化空気（以下、
液化空気という）ＬＡとに分離する。この液化空気ＬＡ
は、下部塔２の底部から管３により導出されて減圧弁４
で減圧した後に上部塔５の中部に導入される。一方下部
塔２の頂部の窒素ガスは，凝縮蒸発器（図示せず）で凝
縮して液化窒素ＬＮとなり、一部が製品液化窒素ＰＬＮ
として管６から導出され、残部が管７を経て減圧弁８で
減圧した後に上部塔５の上部に導入される。上部塔５に
導入された液化空気ＬＡと液化窒素ＬＮは、精留されて
上部塔５の下部の液化酸素ＬＯと上部塔５の上部の窒素
ガスとに分離する。上部塔５の頂部の窒素ガスは、高純
度窒素ガスＰＧＮとして管９から導出され、液化酸素Ｌ
Ｏは、一部が製品として液化酸素ＰＬＯが管１０から導
出されるとともに、一部が凝縮蒸発器で気化して酸素ガ
スとなり、製品として酸素ガスＰＧＯが管１１から採取
される。また上部塔５の中上部からは排ガスＷＧが管１
２により導出される。

このような操作で得られる製品酸素（液化酸素ＰＬＯ，
酸素ガスＰＧＯ）の純度は、通常９９．５〜９９．９％
の範囲である。従って、これより高純度の酸素を必要と
する場合には、原料空気中あるいはこれらの酸素中に含
まれる各種或分を触媒法あるいは吸着法等の精製手段に
より除去していたが、アルゴンや窒素等を完全に除去す
ることが困難であり、従来の精製手段では純度が９９．
９９％の酸素を得るのが限界であった。

さらに、前述の空気液化分離装置の収率を犠牲にして酸
素の純度を高めることも可能であるが、これでも純度９
９．９９％の酸素を得るのが限界であり、しかも得られ
る製品酸素の原単位が極度に悪化してしまう。

特に高純度の液化酸素を必要とする場合には、酸素より
高沸点の成分、例えば原料空気中に含まれるクリブトン
，キセノン，二酸化炭素，メタン等の炭化水素類，各種
フロン類，各種窒＄Ｎ１化物等の微量成分を効率よく除
去しなければならない。

一方、近来は、半導体工業を中心として各種ガスの高純
度化の要望が強く、酸素においても９９．９９９〜９９
．９９９９％、いわゆるファイブ９，シックス９の純度
のものが要求されるようになってきた。

このようなことから、例えば特開昭６４−４１７８４号
公報及び特開昭６４−４６５６３号公報に記載されるよ
うに、吸収塔とストリッピング塔とを組合せて、純度９
９．９９９９％に至る高純度の酸素を得ることのできる
方法及び装置が開発されてきている。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、上述の公報に記載されている方法では、
該明細書の記載から、採取する高純度酸素に対して７倍
以上の原料酸素を必要としており、効率的に満足できる
ものではなく、採取する高純度酸素の採取量に比べて空
気液化分離装置，精製装置共に大型の装置を必要とする
。また、採取する高純度酸素量に比べて大量のガスや液
を使用するため、これらを凝縮させたり、蒸発させるた
めに必要な流体の量も多量となり、精留塔全体を含めた
大きなシステムとして構築する必要があり、高沸点成分
や低沸点成分が濃縮されて排出される大量の不純酸素の
用途も考慮した装置を形成する必要がある。

そこで、本発明は、低沸点成分及び／又は高沸点成分を
含有する酸素ガスを原料ガスとして効率よく、かつ不純
酸素の排出量を低減して超高純度の酸素を得ることがで
きる高純度酸素の製造方法、及び簡単な装置構成で超高
純度の酸素を得られる高純度酸素の製造装置を提供する
ことを目的としている。

〔課題を解決するための手段〕 上記した目的を達成するために、本発明の高純度酸素の
製造方法は、低沸点成分及び／又は高沸点成分を含有す
る酸素ガスを、塔頂部に凝縮器を有する洗浄塔の下部か
ら上昇ガスとして導入し、該上昇ガスの一部を前記凝縮
器で凝縮して該洗浄塔の流下液とし、該流下液中に前記
高沸点成分を溶解させて洗浄塔の底部から導出するとと
もに、該洗浄塔の上部から導出したガスを、塔頂部に凝
縮器を、塔底部に蒸発器を有するパージ塔の中間部に上
昇ガスとして導入し、前記パージ塔頂部の凝縮器で該上
昇ガスの大部分を凝縮させて流下液とするとともに、前
記蒸発器で該流下液の大部分を蒸発させて精留し、該パ
ージ塔の頂部から前記低沸点成分を含むガスを導出し、
下部から高純度酸素を導出することを特徴としている。

また、本発明の高純度酸素の製造装置は、塔下部に低沸
点成分及び／又は高沸点或分を含有する酸素ガスを上昇
ガスとして導入する導入・部を有するとともに塔頂部に
凝縮器を有する洗浄塔と、塔頂部に凝縮器を、塔底部に
蒸発器を有するとともに塔中部に前記洗浄塔の塔頂部か
ら導出されるガスを導入する導入部を有し、塔下部に高
純度酸素の導出部を有するパージ塔と、前記洗浄塔頂部
と前記パージ塔中部とを連結する導管を備えたことを特
徴としている。

〔作　用〕

上記のごとき方法により酸素ガスを精製することで、あ
るいは上記のごとき装置に原料酸素を導入することで、
原料酸素中の高沸点成分を洗浄塔の流下液で洗浄除去す
るとともに、パージ塔の上昇ガス中に低沸点或分を同伴
させて除去することができる。従って、パージ塔の下部
からは、上記低沸点成分及び／又は高沸点成分の含有量
の少ない超高純度の液化酸素及び／又は酸素ガスを採取
することができる。

〔実施例〕

以下、本発明の方法及び装置を図面に示す高純度酸素の
製造装置の実施例に基づいてさらに詳細に説明する。

まず第１図は、本発明の装置を空気液化分離装置と一体
的に構成したー実施例を示している。尚、以下の説明に
おいて、複精留塔部分を含む空気液化分離装置の全体構
成については、従来からの一般的なプロセスを用いるこ
とができるので詳細な説明及び図示を省略する。また前
記第３図に示したものと同一要素のものには同一符号を
付して詳細な説明を省略する。

前述のごとく、原料空気ＧＡを複精留塔１で精留分離し
て得られる酸素は、上部塔５の下部から導出される液化
酸素ＰＬＯと、液化酸素を凝縮蒸発器で蒸発させて得ら
れる酸素ガスＰＧＯであり、それぞれ上部塔５の下部か
ら製品として導出されている。これらの液化酸素ＰＬＯ
及び酸素ガスＰＧｏの純度は、前処理工程及び複精留塔
１の構成及び操作条件により異なるが、高沸点或分とし
て前述のクリプトン，キセノン，二酸化炭素，メタン等
の炭化水素類．各種フロン類，各種窒素酸化物等の微量
成分を含むとともに、低沸点成分として窒素，水素，ヘ
リウム，アルゴン等を含有した９９．５〜９９．９％の
純度のものである。特に上記酸素ガスＰＧＯ中には、沸
点が近似しているため精留分離が困難なアルゴンが比較
的多く含まれている。

このような組或て複精留塔１の上部塔５の下部から導出
される酸素ガスを精製する本発明の装置は、洗浄塔２０
とパージ塔３０とにより構成されている。

上記洗浄塔２０は、塔下部に原料となる酸素ガス（以下
原料酸素という）ＧＯを導入する原料酸素導入部２１と
流下液を導出する流下液導出部２２とが設けられるとと
もに、塔頂部には凝縮器２３と洗浄後のガス（以下洗浄
塔導出ガスという）ＧＷを導出する洗浄塔導出ガス導出
部２４とが設けられている。

この洗浄塔２０は、前記原料酸素導入部２１から導入さ
れる原料酸素Ｇｏの一部を塔頂部の前記凝縮器２３で液
化して流下液ＤＬとし、該流下液ＤＬと塔内を上昇する
原料酸素Ｇｏとを接触させて原料酸素ＧＯの洗浄を行う
もので、原料酸素ＧＯ中の高沸点戒分を流下液中に溶解
させて前記流下液導出部２２から排出するものである。

上記高沸点成分を溶解させるために必要な流下液ＤＬの
量は、原料酸素ＧＯ中の高沸点成分含有量により適宜設
定されるものであるが、通常は上記上昇ガスに対してモ
ル比で５〜１５％で十分である。この上昇ガスに対する
流下液ＤＬの量が少なすぎると、上昇ガス、即ち原料酸
素ＧＯの洗浄を十分に行うことが困難になり、逆に流下
岐ＤＬの量が多すぎる場合には、洗浄後に洗浄塔２０か
ら導出する洗浄塔導出ガスＧＷの量が少なくなり最終的
な収率が低下するとともに、排出する流下液ＤＬの量が
増大してしまう。また洗浄塔２０の精留棚には、シーブ
トレイ等を使用することもできるが、上記のように流下
液ＤＬの割合が少なく、Ｌ／Ｖ値が小さいことから、こ
の範囲における気液接触の効率が優れているバルブキャ
ップを使用することが好ましい。

さらに精留棚の段数は、原料酸素Ｇｏの組或にもよるが
、上記のごとく複精留塔１の上部塔５から導出した酸素
ガスの場合には、高沸点成分含有量が少ないため、１０
段以下、例えば５段程度で十分な洗浄効果を得ることが
できる。

一方、前記パージ塔３０は、塔中部に前記洗浄塔２０の
塔頂部から導出された洗浄塔導出ガスＧＷを導入する洗
浄塔導出ガス導入部３１が設けられるとともに、塔頂部
には凝縮器３２と低沸点成分が濃縮されたバージガスＰ
Ｇを導出するバージガス導出部３３とが設けられ、塔底
部には蒸発器３４と高純度液化酸素導出部３５及び高純
度酸素ガス導出部３６とが設けられている。このパージ
塔３０は、塔中部から導入される洗浄塔導出ガスＧＷを
上昇ガスとし、該上昇ガスの大部分を前記塔頂部の凝縮
器３２で凝縮させて流下液とし、さらに塔底部に溜まる
流下液を前記蒸発器３４で大量に気化させ、上昇ガスと
して精留することで、上昇ガス中に上記低沸点成分を同
伴させて上記バージガス導出部３３から排出するもので
ある。

上記パージ塔３０の運転条件は、上記洗浄塔２０から導
出された洗浄塔導出ガスーＧＷの組戊により異なるが、
酸素と沸点が近いアルゴンを略完全に除去するとともに
、パージガス量を低減させるためには還流比を高くする
必要があり、通常は、還流比を５０〜２００の範囲に設
定することが望ましい。この還流比が低いと酸素とアル
ゴンとを分離させるのが困難になり、還流比をこれより
高くしても分離効率の向上が少なく不経済である。

また、同様の理由から、パージ塔３０の精留棚の段数は
、前記洗浄塔２０の段数に比べて多くすべきであり、特
に洗浄ガス導入部３１より下の回収部の梱数を多くする
ことが望ましい。尚、上記洗浄ガス塔導出ガスＧＷを導
入する精留棚の位置は、通常は、該ガスＧＷの組成とパ
ージ塔３０内の上昇ガスの組成とが略同じ位置に設定さ
れる。

また、上記洗浄塔２０及びパージ塔３０のそれぞれの頂
部に配設される凝縮器２３．３２に導入する流体、及び
パージ塔３０の底部に配設される蒸発器３４に導入する
流体は、所定の凝縮量あるいは蒸発量を得られる温度を
有する流体ならば各種のものを使用することができる。

例えば、前記複精留塔１から導出される酸素，窒素，排
ガス，液化空気あるいは複精留塔１に導入する原料空気
、あるいは洗浄塔２０もしくはパージ塔３０から導出さ
れる流下液ＤＬやパージガスＰＣ等、液体，気体を問わ
ず装置の仕様に合せて最適なものを用いることができる
。

このように、複精留塔１から導出した原料酸素Ｇｏを上
記のごとく構成した洗浄塔２０及びパージ塔３０に順次
導入することにより、洗浄塔２０で高沸点成分を、パー
ジ塔３０で低沸点成分をそれぞれ分離することができ、
パージ塔３０の下部の高純度液化酸素導出部３５及び高
純度酸素ガス導出部３６から純度を９９．９９９％以上
にまで向上させた高純度液化酸素ＨＬ及び高純度酸素ガ
スＨＧを得ることができる。

尚、パージ塔３０の下部から導出する高純度酸素は、上
記高純度液化酸素ＨＬあるいは高純度酸素ガスＨＧのい
ずれか一方でもよく、高純度液化酸素ＨＬのみをパージ
塔３０から導出して、該導出後の高純度液化酸素ＨＬの
一部又は全部を気化させて高純度酸素ガスＨＧとするこ
ともできる。

また、腹精留塔１で得られる酸素ガスの全量を高純度酸
素として精製する必要はなく、前記酸素ガスＰＧＯ及び
液化酸素ＰＬＯの採取と同時に高純度酸素の採取を並行
して行うことができる。さらに上記洗浄塔２０の底部か
ら導出される流下液ＤＬやパージ塔３０の頂部から導出
されるパージガスＰＧは、そのまま系外に排出、あるい
は不純酸素として回収することもできるが、その一部又
は全部を再び複精留塔１に戻して再精留することもでき
る。

また、上記のごとく、洗浄塔２０の凝縮器２３で凝縮さ
せる原料酸素ＧＯの量を、上昇ガスに対してモル比で５
〜１５％とし、さらにパージ塔３０の頂部の凝縮器３２
で上昇ガスの大部分を凝縮させて還流比を５０〜２００
として運転することにより、洗浄塔２０から導出する高
沸点成分を濃縮した流下液ＤＬ，及びパージ塔３０から
導出する高沸点成分を濃縮したパージガスＰＧの量を少
なくでき、複精留塔１から導出して精製に供する原料酸
素ＧＯの大部分を高純度酸素として得ることが可能とな
る。

ここで、上記構成の精製手段を用いて高純度酸素の製造
を行った結果について説明する。

常法により精留して上部塔５の下部から導出した原料酸
素Ｇｏ（組成：酸素９９．６％，アルゴン０．３９％，
窒素１　０　０　ｐｐａ＋，及び微量の高沸点成分を含
む）　１０００　　Ｎｒｒ？／ｈを、バブルキャップ棚
を５段設けた洗浄塔２０の下部から導入し、塔頂の凝縮
器２３で上昇ガスの１０モル％を凝縮流下させて原料酸
素Ｇｏの洗浄を行い、頂部の洗浄塔導出ガス導出部２４
から９００Ｎｒｒｉ’／ｈの洗浄塔導出ガスＧＷを導出
した。この洗浄塔導出ガスＧＷ中には、アルゴンが約０
．３８％．窒素が約８　０　ｐｐｍ含まれていたが、高
沸点成分はほとんど検出されなかった。

次いで上記洗浄塔導出ガスＧＷを、シープトレイで構成
され、塔中部の洗浄塔導出ガス導入部３１から上に１５
段、該導入部３１から下に４０段を配置したパージ塔３
０に導入した。そして塔底部の蒸発器３４で４５００Ｎ
ｒｒｉ’／ｈの上昇ガスを発生させ、洗浄塔導出ガス導
入部３１より上段では、洗浄塔導出ガスＧＷとの合計で
５４００Ｎｒｒｌ’／ｈの上昇ガス量とした。また塔頂
部の凝縮器３２では、５３５５Ｎｒｔｌ’／ｈを凝縮さ
せて流下液とするとともに、塔頂部のバージガス導出部
３３から４５ＮｒＴ？／ｈをパージガスＰＧとして導出
した。

このバージガスＰＧの組成は、アルゴン７．６％，窒素
０．１６％，酸素９２．２４％であった。尚、この時の
還流比は、１１９である。

この結果、パージ塔３０の下部からは、上記蒸発器３４
で蒸発させた残分として、８５５Ｎｒｒｒ／ｈの高純度
液化酸素ＨＬを得ることができた。この高純度液化酸素
ＨＬ中のアルゴンは０．　　７ｐｐｍ，窒素は痕跡のみ
であり、純度９９．９９９９％以上の高純度酸素を得る
ことができた。

このように、複精留塔１から導出した１０００Ｎｒｒ？
／ｈの原料酸素ＧＯに対して、８５５Ｎｒｒｌ’／ｈを
高純度液化酸素ＨＬとして得ることができる。

従って、前記流下液ＤＬやパージガスＰＧとして排出さ
れる量が少なく、これらを系外に排出しても、あるいは
複精留塔１に戻しても複精留塔１の運転に与える影響が
小さいので、複精留塔１の運転と自己完結型の精製系の
運転とを独立させることが可能である。また複精留塔１
を含む空気液化分離装置として従来から用いられている
ものを僅かに改良するだけ用いることが可能であり、酸
素製造量の少ない空気液化分離装置と組合せても、従来
より多量の高純度酸素を効率よく製造することができる
。

次に第２図は、既存の酸素製造設備から得た酸素ガス、
あるいは液体酸素を気化させて得た酸素ガスを用いて、
空気演化分離装置等と切離して独立させて構成した高純
度酸素の製造装置の一実施例を示している。

上記のごとくして得た酸素ガスは、原料酸素ＧＯとして
所定の圧力で管４０から熱交換器４１に導入され、後述
の各種ガスとの熱交換により所定温度に冷却される。こ
の原料酸素Ｇｏは、前記実施例と同様に、該原料酸素Ｇ
ｏの組成により適宜に構成された洗浄塔２０及びパージ
塔３０に順次導入され、パージ塔３０の下部から高純度
液化酸素ＨＬ及び／又は高純度酸素ガスＨＧとして導出
される。尚、原料酸素Ｇｏから高純度酸素を得る過程は
、前記実施例と略同様にして行うことができるので、前
記第１図に示したものと同一要素のものには同一符号を
付して、その詳細な説明を省略する。

本実施例では、上記洗浄塔２０の凝縮器２３に導入する
流体として、該洗浄塔２０の底部から導出した流下液Ｄ
Ｌを用いている。即ち、洗浄塔２０の底部から管４２に
導出した高沸点成分を含む流下液ＤＬは、減圧弁４３で
減圧して、洗浄塔２０頂部の上昇ガスの所定量を凝縮さ
せるのに必要な温度に降温した後に凝縮器２３に導入さ
れる。

この凝縮器２３で上昇ガスを凝縮させることにより気化
した流下液ＤＬは、′前記熱交換器４１で原料酸素ＧＯ
及び後述の窒素ガスＧＮを冷却して温度回復した後に排
出、あるいは不純酸素として回収される。

また、パージ塔３０の凝縮器３２及び蒸発器３４に導入
する流体には、窒素を循環させて用いている。即ち、窒
素循環設備４４から所定圧力で管４５に供給された窒素
ガスＧＮは、前記熱交換器４１で所定温度に冷却された
後にパージ塔２０底部の蒸発器３４に導入され、塔底部
の流下液の所定量を蒸発させる。蒸発器３４での熱交換
により液化して管４６に導出した液化窒素ＬＮは、減圧
弁４７で減圧して降温した後にパージ塔３０頂部の凝縮
器３２に導入される。この凝縮器３２で上昇ガスの所定
量を凝縮させることにより液化窒素ＬＮは気化して再び
窒素ガスＧＮとなり、管４８に導出されて前記熱交換器
４１で温度回復した後に窒素循環設備４４に回収される
。さらに、上記窒素循環系には、酸素精製系全体の熱損
失の補償と、高純度酸素を液状で採取する場合の冷熱補
償のために、前記減圧弁４７で減圧した後の液化窒素Ｌ
Ｎに系外から管４９を介して所定量の液化窒素ＬＮを注
入している。

またパージ塔３０の頂部から導出されるパージガスＰＧ
は、熱交換器４ｌで温度回復した後に、前記気化した流
下液ＤＬと同様に、系外に排出、あるいは不純酸素とし
て回収される。

このように、本発明の酸素製造装置は、独立した酸素精
製設備として形成することも可能であり、高沸点成分を
比較的多く含む通常の液体酸素を気化させた原料酸素ガ
スからも高純度の酸素を得ることが可能である。また、
上記のごとく洗浄塔２０の凝縮器２３に導入する流体と
して該洗浄堪２０の底部から導出した流下液ＤＬを用い
るとともに、パージ塔３０の蒸発器３４及び凝縮器３２
に導入する流体を循環させることにより、これらに用い
る流体を効率よく得ることができ、系外からこれらの流
体を導入するものに比べて低コストで運転することがで
きる。

従って、一般の空気液化分離装置と組合せても、あるい
は独立させても高効率で高純度酸素を得ることが可能で
あり、採取する製品に対する原料ガスの量が少ないから
、簡単な設備と、僅かな動力費と、僅かな冷熱補償で運
転することができ、しかも排出する不純酸素等の量も少
ないので、低コストで超高純度の酸素を得ることができ
る。

さらに本発明により得られた高純度酸素は、洗浄塔２０
で高沸点成分のほとんどを除去しているので、アセチレ
ン等の炭化水素類をほとんど含まないため、製品として
得る高純度酸素が液状あるいはガス状のいずれでも安全
に運転することができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、原料となる酸素
ガス中に含まれる高沸点成分を洗浄塔で除去し、次いで
低沸点成分をパージ塔で除去するから、純度が９９．９
９９〜９９．９９９９％に至る極めて高純度の酸素を、
しかも高効率で得ることができる。特に、原料酸素の量
に対して８０％以上、９０％近い割合で高純度酸素を得
ることができるので、高沸点成分や低沸点或分を濃縮し
た排ガスの量が少なく、これらの排ガスを系外に排出し
ても僅かな損失で済み、大量の原料酸素を必要とするも
のに比べて精留塔や付帯設備を小型化でき、独立した酸
素精製設備としても容易に設置することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明を空気液化分離装置と組合せた実施例を
示す系統図、第２図は独立して構成した実施例を示す系
統図、第３図は一般に用いられている空気液化分離装置
における複精留塔部分を示す系統図である。 １・・・複精留塔　　５・・・上部塔　　２０・・・洗
浄塔２１・・・原料酸素導入部　　２２・・・流下液導
出部２３・・・凝縮器　　３０・・・パージ塔　　３１
・・・洗浄塔導出ガス導入部　　３２・・・凝縮器　　
３３−・・パージガス導出部　　３４・・・蒸発器　　
３５・・・高純度液化酸素導出部　　３６・・・高純度
酸素ガス導出部　　Ｇｏ・・・原料酸素　　ＧＷ・・・
洗浄塔導出ガスＨＧ・・・高純度醜素ガス　　ＨＬ・・
・高純度液化酸素同 木　　　Ｐ　　　ー 同 小　　　川　　　眞

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、低沸点成分及び／又は高沸点成分を含有する酸素ガ
   スを、塔頂部に凝縮器を有する洗浄塔の下部から上昇ガ
   スとして導入し、該上昇ガスの一部を前記凝縮器で凝縮
   して該洗浄塔の流下液とし、該流下液中に前記高沸点成
   分を溶解させて洗浄塔の底部から導出するとともに、該
   洗浄塔の上部から導出したガスを、塔頂部に凝縮器を、
   塔底部に蒸発器を有するパージ塔の中間部に上昇ガスと
   して導入し、前記パージ塔頂部の凝縮器で該上昇ガスの
   大部分を凝縮させて流下液とするとともに、前記蒸発器
   で該流下液の大部分を蒸発させて精留し、該パージ塔の
   頂部から前記低沸点成分を含むガスを導出し、下部から
   高純度酸素を導出することを特徴とする高純度酸素の製
   造方法。 ２、前記酸素ガスが、空気液化分離装置の複精留塔の上
   部塔下部から導出されたものであることを特徴とする請
   求項１記載の高純度酸素の製造方法。 ３、塔下部に低沸点成分及び／又は高沸点成分を含有す
   る酸素ガスを上昇ガスとして導入する導入部を有すると
   ともに塔頂部に凝縮器を有する洗浄塔と、塔頂部に凝縮
   器を、塔底部に蒸発器を有するとともに塔中部に前記洗
   浄塔の塔頂部から導出されるガスを導入する導入部を有
   し、塔下部に高純度酸素の導出部を有するパージ塔と、
   前記洗浄塔頂部と前記パージ塔中部とを連結する導管を
   備えたことを特徴とする高純度酸素の製造装置。