JPH03175302A - トンネル電流検出装置 - Google Patents
トンネル電流検出装置Info
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- JPH03175302A JPH03175302A JP31416589A JP31416589A JPH03175302A JP H03175302 A JPH03175302 A JP H03175302A JP 31416589 A JP31416589 A JP 31416589A JP 31416589 A JP31416589 A JP 31416589A JP H03175302 A JPH03175302 A JP H03175302A
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- Japan
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、走査手段を複数有する走査型トンネル顕微鏡
に関するものである。
に関するものである。
［従来の技術］
実空間で物体表面を原子スケールの分解能で観察するこ
とができる走査型トンネル顕微鏡（以後ＳＴＭと略す）
は、真空中のみならず大気中や液体中でも動作し、その
応用分野は表面粗さ計測等にはじまり、半導体・生体分
子・化学反応・超微線加工など広範囲である。最近ＳＴ
Ｍの実用化が進み幅広い分野で手軽に使用されはじめた
。
とができる走査型トンネル顕微鏡（以後ＳＴＭと略す）
は、真空中のみならず大気中や液体中でも動作し、その
応用分野は表面粗さ計測等にはじまり、半導体・生体分
子・化学反応・超微線加工など広範囲である。最近ＳＴ
Ｍの実用化が進み幅広い分野で手軽に使用されはじめた
。
ＳＴＭに求められる基本機能には、安定性（再現性）、
高速走査性、測定範囲の拡大、操作性、データの画像処
理などがあげられる。安定性向上のためには、測定環境
の外乱（床振動、温度ドリフト、電気的ノイズなど）に
対して強くすることで、トンネルユニットを小型で剛性
を高くし、電気的シールドを行うことなどが必要となる
。高速走査は、測定環境の影響を少なくし、試料表面の
動的な観察を行うために望まれており、実用的な装置と
なる条件である。このためには、走査機構を小型・高剛
性にする必要がある。測定範囲の拡大は、ＳＴＭの応用
分野が広くなるとともに望まれている。現状は積層圧電
素子を用いたり、さらに拡大機構によって走査を行って
いる。
高速走査性、測定範囲の拡大、操作性、データの画像処
理などがあげられる。安定性向上のためには、測定環境
の外乱（床振動、温度ドリフト、電気的ノイズなど）に
対して強くすることで、トンネルユニットを小型で剛性
を高くし、電気的シールドを行うことなどが必要となる
。高速走査は、測定環境の影響を少なくし、試料表面の
動的な観察を行うために望まれており、実用的な装置と
なる条件である。このためには、走査機構を小型・高剛
性にする必要がある。測定範囲の拡大は、ＳＴＭの応用
分野が広くなるとともに望まれている。現状は積層圧電
素子を用いたり、さらに拡大機構によって走査を行って
いる。
これらの基本機能を満足するために従来様々なＳＴＭの
走査機構が使用されている。従来のＳＴＭ機構として、
トライボッド微動素子（第５図）［Ｃｈ、Ｇｅｒｂｅｒ
ｅｔ ａｌ、、Ｒｅｖ、Ｓｃｉ、Ｉｎｓｔｒｕｍ、、
５７．２２１（１９８６）コ 。
走査機構が使用されている。従来のＳＴＭ機構として、
トライボッド微動素子（第５図）［Ｃｈ、Ｇｅｒｂｅｒ
ｅｔ ａｌ、、Ｒｅｖ、Ｓｃｉ、Ｉｎｓｔｒｕｍ、、
５７．２２１（１９８６）コ 。
チューブ型微動素子（第６図） ［Ｄ、Ｐ、Ｅ、Ｓｍ１
ｔｈｅｔ ａｌ、、Ｒｅｖ、Ｓｃｉ、Ｉｎｓｔｒｕｍ
、、 ５７ ．２８３０（１９８１ｉ）コ。
ｔｈｅｔ ａｌ、、Ｒｅｖ、Ｓｃｉ、Ｉｎｓｔｒｕｍ
、、 ５７ ．２８３０（１９８１ｉ）コ。
バイモルフを組合せた機構（第７図）
［Ｐ、Ｍｕｒａｌｔ ｅｔ ａｌ、、ＩＢＭ Ｊ、Ｒｅ
ｓ、Ｄｅｖｅｌｏｐ、、３０，４４３（１９８６）］
。
ｓ、Ｄｅｖｅｌｏｐ、、３０，４４３（１９８６）］
。
平行ヒンジばねを用いた機構［昭和６１年春季応用物理
学会講演予稿集、２ａ−ＺＨ−５（１９８６）］などが
ある。
学会講演予稿集、２ａ−ＺＨ−５（１９８６）］などが
ある。
［発明が解決しようとする課Ｂ］
しかしながら、これらの従来の走査機構には、以下のよ
うな欠点があった。トライボッド微動素子（第５図）は
ｘｙｚ軸の三軸に相互干渉を持ち、共振周波数があまり
高くできず高速走査には向かない。また、一体構造のト
ライボッド型は剛性が高くなるが、加工が困難となりコ
スト高になってしまう。チューブ型微動素子（第６図）
は、小型・高剛性であり、高速走査に通しているが、走
査領域を広くするには高電圧が必要となり不適である。
うな欠点があった。トライボッド微動素子（第５図）は
ｘｙｚ軸の三軸に相互干渉を持ち、共振周波数があまり
高くできず高速走査には向かない。また、一体構造のト
ライボッド型は剛性が高くなるが、加工が困難となりコ
スト高になってしまう。チューブ型微動素子（第６図）
は、小型・高剛性であり、高速走査に通しているが、走
査領域を広くするには高電圧が必要となり不適である。
バイモルフを組合せた機構（第７図）は、広い走査領域
を得ることができるがその構成上共振周波数が低く高速
走査には向かない。平行ヒンジばねを用いた機構は、ｘ
ｙ軸が独立に動作するが構成上可動部の質量が大きくな
るため共振周波数が低く高速走査には向かない。
を得ることができるがその構成上共振周波数が低く高速
走査には向かない。平行ヒンジばねを用いた機構は、ｘ
ｙ軸が独立に動作するが構成上可動部の質量が大きくな
るため共振周波数が低く高速走査には向かない。
前述のＳＴＭに求められる基本機能をすべて満足する走
査機構は無く、従来は目的に応じて選んで使用していた
。高速走査性（小型・高剛性）と測定範囲の拡大の相反
する要求の優先性および設計仕様の許容量により使用す
る走査機構が決る。
査機構は無く、従来は目的に応じて選んで使用していた
。高速走査性（小型・高剛性）と測定範囲の拡大の相反
する要求の優先性および設計仕様の許容量により使用す
る走査機構が決る。
また、測定範囲を広くすると、一般に原子分解能は得に
くくなる。このような現状のＳＴＭに対して高い原子分
解能を有し、測定範囲も広くとれるＳＴＭが要望されて
いる。
くくなる。このような現状のＳＴＭに対して高い原子分
解能を有し、測定範囲も広くとれるＳＴＭが要望されて
いる。
本発明は上記の点に鑑みなされたものであって、高速走
査可能でかつ広い領域を走査可能な走査型トンネル顕＠
鏡の提供を目的とする。
査可能でかつ広い領域を走査可能な走査型トンネル顕＠
鏡の提供を目的とする。
［課題を解決するための手段および作用コ木発明によれ
は、走査手段を二種類以上設けることにより高速走査（
原子分解能）が可能で測定範囲の大きいＳＴＭを製作可
能とした。
は、走査手段を二種類以上設けることにより高速走査（
原子分解能）が可能で測定範囲の大きいＳＴＭを製作可
能とした。
走査手段として、高速走査（原子分解能）用機構および
広域走査用機構を設けることに特徴がある。
広域走査用機構を設けることに特徴がある。
［実施例］
第１ （ａ）図は、本発明に係るＳＴＭのトンネルユニ
ットの図面であり、同図において１は探針、１０はチュ
ーブ型圧電素子、２０はステンレス族の平行ヒンジばね
を用いたｘｙステージ、２１および２２はＸおよびｙ軸
駆動用積層型圧電素子である。
ットの図面であり、同図において１は探針、１０はチュ
ーブ型圧電素子、２０はステンレス族の平行ヒンジばね
を用いたｘｙステージ、２１および２２はＸおよびｙ軸
駆動用積層型圧電素子である。
高速用走査にはｘｙステージ２ｏに固定されているチュ
ーブ型圧電素子１０を用いる。この時ｘｙステージ２０
は不図示の圧電素子の伸縮を利用した固定機構により剛
性高く保持されている。
ーブ型圧電素子１０を用いる。この時ｘｙステージ２０
は不図示の圧電素子の伸縮を利用した固定機構により剛
性高く保持されている。
チューブ型圧電素子１０は外周電極を４分割された構成
で、この外周電極にｘ、ｙ駆動（走査）電圧を加え、観
察表面に倣う２軸駆動電圧を内周電極に加える。この例
では、１μｍ角のエリアを１秒以下の時間で観察してい
る。また、ＨＯＰＧの原子像を得ている。
で、この外周電極にｘ、ｙ駆動（走査）電圧を加え、観
察表面に倣う２軸駆動電圧を内周電極に加える。この例
では、１μｍ角のエリアを１秒以下の時間で観察してい
る。また、ＨＯＰＧの原子像を得ている。
広域走査用にはｘｙステージ２０を用いる。
ｘｙの走査はｘ、ｙ走査用積層型圧電素子２１．２２に
走査用電圧を加えることにより行う。第１（ｂ）図は、
ｘ、ｙ走査用積層型圧電素子２１．２２を通る断面で切
った断面図である。Ｘ軸走査は、Ｘ走査用積層型圧電素
子２１、その変位を拡大する梃子２１０（本実施例の拡
大率は３倍である）、平行ばねを構成する部材２００．
２１１．２１２．２２３の動きで行なう。また、ｙ軸走
査はＸ走査用積層型圧電素子２２、その変位を拡大する
梃子２２０（本実施例の拡大率は３倍である）、平行ば
ねを構成する部材２０１．２２１．２２２．２２３の動
きで行なう、これら平行ばね部分をモデル的に示したの
が第１（Ｃ）図である。この図で、Ｘ走査用積層型圧電
素子２１が伸びることにより、平行ばね構成部材は点線
のように変位し、圧電素子２１の動きでＸ走査が行なえ
る。圧電素子２１の変位δは梃子２１０で３倍に拡大さ
れて移動片２００を３６変位させる。同様にｙ方向につ
いてもＸ走査用積層型圧電素子２２の変位を３倍した量
だけ部材２２３が変位する。
走査用電圧を加えることにより行う。第１（ｂ）図は、
ｘ、ｙ走査用積層型圧電素子２１．２２を通る断面で切
った断面図である。Ｘ軸走査は、Ｘ走査用積層型圧電素
子２１、その変位を拡大する梃子２１０（本実施例の拡
大率は３倍である）、平行ばねを構成する部材２００．
２１１．２１２．２２３の動きで行なう。また、ｙ軸走
査はＸ走査用積層型圧電素子２２、その変位を拡大する
梃子２２０（本実施例の拡大率は３倍である）、平行ば
ねを構成する部材２０１．２２１．２２２．２２３の動
きで行なう、これら平行ばね部分をモデル的に示したの
が第１（Ｃ）図である。この図で、Ｘ走査用積層型圧電
素子２１が伸びることにより、平行ばね構成部材は点線
のように変位し、圧電素子２１の動きでＸ走査が行なえ
る。圧電素子２１の変位δは梃子２１０で３倍に拡大さ
れて移動片２００を３６変位させる。同様にｙ方向につ
いてもＸ走査用積層型圧電素子２２の変位を３倍した量
だけ部材２２３が変位する。
Ｘ走査部は部材２２３に乗っているので移動片２００は
ｙ方向に変位する。観察表面に倣う２軸駆動はチューブ
型圧電素子を用いる。この例では５０μｍ角のエリアを
数分で観察できる。
ｙ方向に変位する。観察表面に倣う２軸駆動はチューブ
型圧電素子を用いる。この例では５０μｍ角のエリアを
数分で観察できる。
次に第２図は、本実施例のトンネルユニットの探針１の
軸を通る面に沿った断面図である。チューブ型圧電素子
１０の上端に探針ホルダー１１が接着固定されている。
軸を通る面に沿った断面図である。チューブ型圧電素子
１０の上端に探針ホルダー１１が接着固定されている。
探針ホルダー１１は探針１を保持するため、およびチュ
ーブ型圧電素子の駆動信号からのガード部も兼ねている
。そして高速走査を考えると、この買置はできるだけ小
さい方が良い。チューブ型圧電素子１１の下端は、絶縁
環１２を介し固定環１３と接着固定されており、さらに
固定環１３はｘｙステージ２０に固定されている。チュ
ーブ型圧電素子のｘｙ軸とｘｙステージのｘｙ軸は一致
するように調整固定されている。探針からの信号は、探
針ホルダーからリード線を通りｘｙステージ下部に設置
されている電流−電圧変換器の人力へ流れる（不図示）
。走査機構のコントロールやトンネル電流信号などはコ
ネクター３０を介してコントローラと接続されている。
ーブ型圧電素子の駆動信号からのガード部も兼ねている
。そして高速走査を考えると、この買置はできるだけ小
さい方が良い。チューブ型圧電素子１１の下端は、絶縁
環１２を介し固定環１３と接着固定されており、さらに
固定環１３はｘｙステージ２０に固定されている。チュ
ーブ型圧電素子のｘｙ軸とｘｙステージのｘｙ軸は一致
するように調整固定されている。探針からの信号は、探
針ホルダーからリード線を通りｘｙステージ下部に設置
されている電流−電圧変換器の人力へ流れる（不図示）
。走査機構のコントロールやトンネル電流信号などはコ
ネクター３０を介してコントローラと接続されている。
試料２は試料ホルダー３に固定され、バイアス電圧の供
給は電極上下ねじ５を回し、電極４を試料２の表面に接
触させることにより行う。探針１と試料２の接近は微動
ねじ７を回転させ微動用テコ６を動かすことにより行う
。
給は電極上下ねじ５を回し、電極４を試料２の表面に接
触させることにより行う。探針１と試料２の接近は微動
ねじ７を回転させ微動用テコ６を動かすことにより行う
。
第３図は、本発明の電気系を示すブロック図である。探
針と試料の距離を一定に保つ制御回路部分は、探針・試
料間を流れるトンネル電流を電流電圧変換器１０１で電
圧に変換し、対数変換器１０２を通した値と制御するト
ンネル電流のレベルを設定した標準電源１０３の出力値
とを比較器１０４で比較する。そして積分器（フィルタ
）１０５により、この比較値（トンネル電流の実際の値
と設定値との差）信号中の高い周波数の信号を遮断し、
増幅器１０６で増幅しチューブ型圧電素子の２軸を駆動
し探針を微動させることにより探針と試料の距離を制御
する。次に探針のｘｙ走査は二次元スキャナー１０７の
走査信号を増幅器１０８ａ、１０８ｂで増幅し、チュー
ブ型圧電素子またはｘｙステージの駆動用積層型圧電素
子に加えることにより行う。また、二次元スキャナーの
走査信号はモニター１０９にも供給され、Ｚ軸制御信号
と合成して二次元像を得ることができる。チューブ型圧
電素子とｘｙステージの走査切り替えは切替器１１０で
行う。チューブ型圧電素子で走査を行うときは切替器で
走査信号がチューブ型圧電素子駆動用増幅器へ送られる
ように切り替えると同時にｘｙステージの剛性を高める
ためのロックを行う、一方ｘｙステージで走査を行う時
は切替器でｘｙステージの積層型圧電素子駆動用増幅器
へ走査信号を送る。また同時にロック機構駆動回路１１
１でｘｙステージをロックする不図示のロック機構にロ
ック解除させる。
針と試料の距離を一定に保つ制御回路部分は、探針・試
料間を流れるトンネル電流を電流電圧変換器１０１で電
圧に変換し、対数変換器１０２を通した値と制御するト
ンネル電流のレベルを設定した標準電源１０３の出力値
とを比較器１０４で比較する。そして積分器（フィルタ
）１０５により、この比較値（トンネル電流の実際の値
と設定値との差）信号中の高い周波数の信号を遮断し、
増幅器１０６で増幅しチューブ型圧電素子の２軸を駆動
し探針を微動させることにより探針と試料の距離を制御
する。次に探針のｘｙ走査は二次元スキャナー１０７の
走査信号を増幅器１０８ａ、１０８ｂで増幅し、チュー
ブ型圧電素子またはｘｙステージの駆動用積層型圧電素
子に加えることにより行う。また、二次元スキャナーの
走査信号はモニター１０９にも供給され、Ｚ軸制御信号
と合成して二次元像を得ることができる。チューブ型圧
電素子とｘｙステージの走査切り替えは切替器１１０で
行う。チューブ型圧電素子で走査を行うときは切替器で
走査信号がチューブ型圧電素子駆動用増幅器へ送られる
ように切り替えると同時にｘｙステージの剛性を高める
ためのロックを行う、一方ｘｙステージで走査を行う時
は切替器でｘｙステージの積層型圧電素子駆動用増幅器
へ走査信号を送る。また同時にロック機構駆動回路１１
１でｘｙステージをロックする不図示のロック機構にロ
ック解除させる。
試料観察の時には、ｘｙステージを走査して広い範囲の
像を得た後、詳細観察したい部分へｘｙステージを移動
してチューブ型圧電素子で高分解能像を高速で得るとい
う使い方ができる。
像を得た後、詳細観察したい部分へｘｙステージを移動
してチューブ型圧電素子で高分解能像を高速で得るとい
う使い方ができる。
なお、ｘｙステージ２０による広域走査時には、試料の
大きな起伏に探針がぶつかるのを避けるべく、バイアス
電圧を大きくシトンネル電流を小さくして、すなわちト
ンネル抵抗を犬キ＜シて探針を試料からやや離して走査
を行なうようにする。圧電素子１０による高精度走査時
には、バイアス電圧を小さくシトンネル電流を大きくし
て、すなわちトンネル抵抗を小さくして探針を試料によ
り近づけて走査を行なう。以上の切り替えは前述チュー
ブ型圧電素子１０とｘｙステージ２０の走査切り替え用
の切替器で同時に行なう。
大きな起伏に探針がぶつかるのを避けるべく、バイアス
電圧を大きくシトンネル電流を小さくして、すなわちト
ンネル抵抗を犬キ＜シて探針を試料からやや離して走査
を行なうようにする。圧電素子１０による高精度走査時
には、バイアス電圧を小さくシトンネル電流を大きくし
て、すなわちトンネル抵抗を小さくして探針を試料によ
り近づけて走査を行なう。以上の切り替えは前述チュー
ブ型圧電素子１０とｘｙステージ２０の走査切り替え用
の切替器で同時に行なう。
第３図に示した制御回路部分のフィードバックループの
係数（ゲイン、ＬＰＦのカットオフ周波数）も同時に切
替えるようにしても良い。
係数（ゲイン、ＬＰＦのカットオフ周波数）も同時に切
替えるようにしても良い。
走査型トンネル顕微鏡では、試料と探針を試料表面に沿
って相対的に走査するが、本実施例では探針を走査する
構成となっている。試料に比べ軽い探針を可動部（走査
側）にすることにより、走査系の固有の振動数を高くす
ることができ、探針の位置制御を容易にし、高速走査を
可能にしている。また、大きさの変わる試料を走査する
ことを考えると試料の大きさなどで走査系の固有の振動
数が変わることは、走査の制御上難しい。
って相対的に走査するが、本実施例では探針を走査する
構成となっている。試料に比べ軽い探針を可動部（走査
側）にすることにより、走査系の固有の振動数を高くす
ることができ、探針の位置制御を容易にし、高速走査を
可能にしている。また、大きさの変わる試料を走査する
ことを考えると試料の大きさなどで走査系の固有の振動
数が変わることは、走査の制御上難しい。
本実施例のトンネルユニットは、探針を走査するチュー
ブ型圧電素子の回りをステンレス製のｘｙステージが囲
む構成となっており、同時に微少なトンネル電流が流れ
る探針回りを電気的にシールドする構成になっている。
ブ型圧電素子の回りをステンレス製のｘｙステージが囲
む構成となっており、同時に微少なトンネル電流が流れ
る探針回りを電気的にシールドする構成になっている。
また５０μｍ走査できるＳＴＭのトンネルユニットとし
ては小型にできている。
ては小型にできている。
次に本発明の他の実施例を第４図を用いて説明する。
１は探針、１０はチューブ型圧電素子、２３はバイモル
フを用いたｘｙステージであり、２４および２５はｙ軸
およびｙ軸を駆動するための積層バイモルフ型圧電素子
である。２６はｘｙ走査片でこれにはチューブ型圧電素
子１０が固定されている。２７はｘｙステージ２３をト
ンネルユニットケース２８に固定する固定部材である。
フを用いたｘｙステージであり、２４および２５はｙ軸
およびｙ軸を駆動するための積層バイモルフ型圧電素子
である。２６はｘｙ走査片でこれにはチューブ型圧電素
子１０が固定されている。２７はｘｙステージ２３をト
ンネルユニットケース２８に固定する固定部材である。
高速走査には、前記実施例と同様にチューブ型圧電素子
１０を用いる。
１０を用いる。
広域走査には、ｘｙステージ２３を用いる。
ｘｙの走査はｘ、ｙ駆動用積層バイモルフ型圧電素子２
４．２５（それぞれ４枚で構成されている）に駆動（走
査）電圧を加えることにより行う。観察表面に倣うＺ軸
駆動はチューブ型圧電素子を用いる。この例では、５０
０μｍ角の領域を走査できる。使用した電気系は第３図
に示したブロック図と同じである。
４．２５（それぞれ４枚で構成されている）に駆動（走
査）電圧を加えることにより行う。観察表面に倣うＺ軸
駆動はチューブ型圧電素子を用いる。この例では、５０
０μｍ角の領域を走査できる。使用した電気系は第３図
に示したブロック図と同じである。
［発明の効果］
以上説明したように、走査手段を高速走査（原子分解能
）用と広域走査用と二種類設けることにより従来のＳＴ
Ｍには無い原子分解能を有しかつ大面積を走査できるＳ
ＴＭを供給することができる。また、従来光学顕微鏡に
おいて倍率を変える操作と同様のことが、ＳＴＭにおい
ても容易にできるようになる。
）用と広域走査用と二種類設けることにより従来のＳＴ
Ｍには無い原子分解能を有しかつ大面積を走査できるＳ
ＴＭを供給することができる。また、従来光学顕微鏡に
おいて倍率を変える操作と同様のことが、ＳＴＭにおい
ても容易にできるようになる。
第１図（ａ）（ｂ）（ｃ）は、本発明を実施したＳＴＭ
）−ンネルユニットのそれぞれ平面図、断面図、原理図
、 第２図は、第１図の探針１を通る断面で切った部分の概
略斜視図、 第３図は、本発明を実施したＳＴＭの電気系ブロック図
、 第４図は、他の実施例の８１Ｍトンネルユニットの概略
斜視図、 第５図から第７図までは、従来例を示す説明図である。 １：探針、 ２：試料、 １０：チューブ型圧電素子、 ２０：平行ばねを用いたｘｙステージ、２１．２２：積
層型圧電素子、 ２３ ： 積層バイモルフ型圧電素子で構成されたｘｙ
ステージ、 ２４．２５：積層バイモルフ型圧電素子。 １．１星 針 第巨０）図 １０、チュ ブ型圧電素子 第巨ｂ）図 第２図 １環 仝を 第４ 図 第５図 第６ 図
）−ンネルユニットのそれぞれ平面図、断面図、原理図
、 第２図は、第１図の探針１を通る断面で切った部分の概
略斜視図、 第３図は、本発明を実施したＳＴＭの電気系ブロック図
、 第４図は、他の実施例の８１Ｍトンネルユニットの概略
斜視図、 第５図から第７図までは、従来例を示す説明図である。 １：探針、 ２：試料、 １０：チューブ型圧電素子、 ２０：平行ばねを用いたｘｙステージ、２１．２２：積
層型圧電素子、 ２３ ： 積層バイモルフ型圧電素子で構成されたｘｙ
ステージ、 ２４．２５：積層バイモルフ型圧電素子。 １．１星 針 第巨０）図 １０、チュ ブ型圧電素子 第巨ｂ）図 第２図 １環 仝を 第４ 図 第５図 第６ 図
Claims (7)
- （１）検査面上のＸＹ方向にトンネル電流の検出走査を
行う相互に独立して駆動可能な２以上の走査手段を具備
したことを特徴とする走査型トンネル顕微鏡。 - （２）前記走査手段は、高速で走査するための高分解能
走査手段と広い領域を走査するための広域走査手段とか
らなることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の走
査型トンネル顕微鏡。 - （３）前記高分解能走査手段が前記広域走査手段に保持
されたことを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の走
査型トンネル顕微鏡。 - （４）前記高分解能走査手段による走査中に前記広域走
査手段を固定保持するための手段を具備したことを特徴
とする特許請求の範囲第３項記載の走査型トンネル顕微
鏡。 - （５）前記高分解能走査手段はチューブ型圧電素子から
なることを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の走査
型トンネル顕微鏡。 - （６）前記広域走査手段は、Ｘ方向およびＹ方向に変位
可能な平行ばねからなることを特徴とする特許請求の範
囲第２項記載の走査型トンネル顕微鏡。 - （７）前記広域走査手段は、Ｘ方向およびＹ方向の各方
向に設けたバイモルフ型圧電素子からなることを特徴と
する特許請求の範囲第２項記載の走査型トンネル顕微鏡
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1314165A JP2691460B2 (ja) | 1989-12-05 | 1989-12-05 | トンネル電流検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP1314165A JP2691460B2 (ja) | 1989-12-05 | 1989-12-05 | トンネル電流検出装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03175302A true JPH03175302A (ja) | 1991-07-30 |
| JP2691460B2 JP2691460B2 (ja) | 1997-12-17 |
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ID=18050028
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| JP1314165A Expired - Fee Related JP2691460B2 (ja) | 1989-12-05 | 1989-12-05 | トンネル電流検出装置 |
Country Status (1)
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|---|---|
| JP (1) | JP2691460B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008033567A (ja) * | 2006-07-27 | 2008-02-14 | Osaka Univ | 圧電素子の制御方法、圧電素子の制御装置、アクチュエータ、及び顕微鏡 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6234746A (ja) * | 1985-08-06 | 1987-02-14 | Canon Inc | 微小距離駆動装置 |
| JPS63236992A (ja) * | 1987-03-25 | 1988-10-03 | 工業技術院長 | 圧電素子微動機構 |
| JPH01159954A (ja) * | 1987-12-15 | 1989-06-22 | Jeol Ltd | 透過型電子顕微鏡用走査トンネル顕微鏡 |
| JPH01219602A (ja) * | 1988-02-29 | 1989-09-01 | Agency Of Ind Science & Technol | 大ストローク走査型トンネル顕微鏡 |
-
1989
- 1989-12-05 JP JP1314165A patent/JP2691460B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6234746A (ja) * | 1985-08-06 | 1987-02-14 | Canon Inc | 微小距離駆動装置 |
| JPS63236992A (ja) * | 1987-03-25 | 1988-10-03 | 工業技術院長 | 圧電素子微動機構 |
| JPH01159954A (ja) * | 1987-12-15 | 1989-06-22 | Jeol Ltd | 透過型電子顕微鏡用走査トンネル顕微鏡 |
| JPH01219602A (ja) * | 1988-02-29 | 1989-09-01 | Agency Of Ind Science & Technol | 大ストローク走査型トンネル顕微鏡 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008033567A (ja) * | 2006-07-27 | 2008-02-14 | Osaka Univ | 圧電素子の制御方法、圧電素子の制御装置、アクチュエータ、及び顕微鏡 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2691460B2 (ja) | 1997-12-17 |
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