JPH0317634U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0317634U JPH0317634U JP1989078519U JP7851989U JPH0317634U JP H0317634 U JPH0317634 U JP H0317634U JP 1989078519 U JP1989078519 U JP 1989078519U JP 7851989 U JP7851989 U JP 7851989U JP H0317634 U JPH0317634 U JP H0317634U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- side plates
- wafer carrier
- wafer
- plates
- support plates
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は本実施例のウエーフアキヤリアの斜視
図を、第２図は第１図に用いられる貫通文字の形
状例を示す説明図である。第３図及び第４図は従
来のウエーフアキヤリアの斜視図である。 １…ウエーフアキヤリア、２…半導体ウエーフ
ア収納用溝、３，４…側板、５…支持板、６…貫
通文字。
図を、第２図は第１図に用いられる貫通文字の形
状例を示す説明図である。第３図及び第４図は従
来のウエーフアキヤリアの斜視図である。 １…ウエーフアキヤリア、２…半導体ウエーフ
ア収納用溝、３，４…側板、５…支持板、６…貫
通文字。
Claims (1)
- 半導体ウエーフア収納用の溝を有する一対の側
板と前記側板を結合する前後の支持板とからなる
ウエーフアキヤリアにおいて、少なくとも前記側
板又は支持板の一方にウエーフアキヤリア固有の
識別番号あるいは識別記号を貫通文字を用いて設
けてなることを特徴とするウエーフアキヤリア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989078519U JPH0317634U (ja) | 1989-07-03 | 1989-07-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989078519U JPH0317634U (ja) | 1989-07-03 | 1989-07-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0317634U true JPH0317634U (ja) | 1991-02-21 |
Family
ID=31621865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989078519U Pending JPH0317634U (ja) | 1989-07-03 | 1989-07-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0317634U (ja) |
-
1989
- 1989-07-03 JP JP1989078519U patent/JPH0317634U/ja active Pending