JPH03178575A - 進行波型超音波モータ - Google Patents
進行波型超音波モータInfo
- Publication number
- JPH03178575A JPH03178575A JP1315058A JP31505889A JPH03178575A JP H03178575 A JPH03178575 A JP H03178575A JP 1315058 A JP1315058 A JP 1315058A JP 31505889 A JP31505889 A JP 31505889A JP H03178575 A JPH03178575 A JP H03178575A
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- JP
- Japan
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- cover
- heat
- motor
- thin
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
この発明は、ステータの放熱性に改良が加えられた進行
波型超音波モータに関する。
波型超音波モータに関する。
(従来の技術〉
進行波型超音波モータは、圧電素子に高周波電圧を印加
し、ステータ表面に超音波楕円振動を発生させ、加圧接
触するロータに回転運動を与えるものであり、従来の電
磁モータに比べて巻線がなく、構造が簡単で、しかも超
音波振動エネルギーを用いるため小型かつ低速回転で、
高トルクが得られ、また、摩擦力駆動のため、高応答、
制御性に優れるという利点があり、注目されている。
し、ステータ表面に超音波楕円振動を発生させ、加圧接
触するロータに回転運動を与えるものであり、従来の電
磁モータに比べて巻線がなく、構造が簡単で、しかも超
音波振動エネルギーを用いるため小型かつ低速回転で、
高トルクが得られ、また、摩擦力駆動のため、高応答、
制御性に優れるという利点があり、注目されている。
ところで、従来の進行波型超音波モータとしては、例え
ば特開昭63−73887号公報上記載のものが知られ
ている。
ば特開昭63−73887号公報上記載のものが知られ
ている。
今、これを第4図を参照しながら説明すると、lはモー
タ装置本体30のケースであり、2はカバーである。
タ装置本体30のケースであり、2はカバーである。
弾性体3には圧電素子4を固着してあり、弾性体3及び
圧電素子4によりステータ5を構成している。
圧電素子4によりステータ5を構成している。
また、リング6にはスライダ7を固着してあり、口、−
夕8を構成している。
夕8を構成している。
このロータ8は、ゴム体9をはさんで1111バネ10
の加圧力によってステータ5に押し付けられ、シャフト
11と一体で回転するようになっている。
の加圧力によってステータ5に押し付けられ、シャフト
11と一体で回転するようになっている。
なお、加圧力はシム12の厚みを適当に選んて2I整し
てからスナップリング13によって保持するため、極め
て容易に調整できる。
てからスナップリング13によって保持するため、極め
て容易に調整できる。
また、前記ゴム体9はロータ8に発生している弾性振動
がシャフト11に伝わることを防止する振動吸収効果を
もたせている。14.15はベアリングである。
がシャフト11に伝わることを防止する振動吸収効果を
もたせている。14.15はベアリングである。
一方、この例では、ステータ5は図示しである断面形状
から判るように、カバー2に固定する部分とロータ8が
加圧接触する部分を除き薄肉の円板状とされ、ステータ
5の共振周波数による圧電素子4の励振時に、ステータ
5のカバー2への固定による振動の減衰を最少限に押さ
えるよう構成されている。
から判るように、カバー2に固定する部分とロータ8が
加圧接触する部分を除き薄肉の円板状とされ、ステータ
5の共振周波数による圧電素子4の励振時に、ステータ
5のカバー2への固定による振動の減衰を最少限に押さ
えるよう構成されている。
(発明が解決しようとする課題)
ところで、この種の超音波モータのステータは、モータ
を駆動すると発熱し、この熱を効率よく放熱する必要が
ある。
を駆動すると発熱し、この熱を効率よく放熱する必要が
ある。
この発熱の原因については、
(1)超音波モータが摩擦駆動であるため、その摺動面
における摩擦熱に起因するものと、 (2)圧電素子に
電力を投入することによって発生する圧電素子の内部損
失に起因するものとがあるが、(2)の圧電素子の内部
損失に起因するものがほとんどである。
における摩擦熱に起因するものと、 (2)圧電素子に
電力を投入することによって発生する圧電素子の内部損
失に起因するものとがあるが、(2)の圧電素子の内部
損失に起因するものがほとんどである。
しかしながら、上記の如き従来装置にあっては、圧電素
子4で発生した熱はステータ5からカバー2、ケース1
へと伝導、放熱されることになるが、ステータ5はロー
タ8が加圧接触する部分とカバー2に固定する部分を除
き薄肉の円板状とされているので、圧電素子4で発生し
た熱の放熱が不十分であり、例えば自動車のように環境
温度の上限が激しいものに適用する場合、圧電素子4の
温度がかなり高温になってしまい、このため圧電素子4
と弾性体3を接着しているエポキシ系の接着剤が軟化し
てしまい、rf電素子4の振動を有効に弾性体3に伝達
できず、モータがストップしてしまう場合もあるという
不具合があった。
子4で発生した熱はステータ5からカバー2、ケース1
へと伝導、放熱されることになるが、ステータ5はロー
タ8が加圧接触する部分とカバー2に固定する部分を除
き薄肉の円板状とされているので、圧電素子4で発生し
た熱の放熱が不十分であり、例えば自動車のように環境
温度の上限が激しいものに適用する場合、圧電素子4の
温度がかなり高温になってしまい、このため圧電素子4
と弾性体3を接着しているエポキシ系の接着剤が軟化し
てしまい、rf電素子4の振動を有効に弾性体3に伝達
できず、モータがストップしてしまう場合もあるという
不具合があった。
この発明は、上記の如ぎ課題に鑑みてなされたもので、
その目的とするところは、ステータの放熱性を改善する
ことによって、圧電素子の振動を常に有効に弾性体に伝
達でき、モータをストップさせることのない進行波型超
音波モータを提供することにある。
その目的とするところは、ステータの放熱性を改善する
ことによって、圧電素子の振動を常に有効に弾性体に伝
達でき、モータをストップさせることのない進行波型超
音波モータを提供することにある。
(課題を解決するための手段)
この発明は、上記の如き課題を解決するために、モータ
装置本体のカバーに固定される部分とロータが加圧接触
される部分との間に薄肉の円板状部分を有するステータ
を備えた進行波型超音波モータにおいて、 」1記カバーとステータの上記薄肉円板状部分との間の
空隙部に良熱伝導性のヒートシンカーが充填されること
を特徴とする。
装置本体のカバーに固定される部分とロータが加圧接触
される部分との間に薄肉の円板状部分を有するステータ
を備えた進行波型超音波モータにおいて、 」1記カバーとステータの上記薄肉円板状部分との間の
空隙部に良熱伝導性のヒートシンカーが充填されること
を特徴とする。
(作用)
この発明では、ステータの薄肉円板状部分とカバーとの
間の空隙部に、熱伝導性に優れたヒートシンカーを充填
するので、ステータの圧電素子部で発生した熱はヒート
シンカーを介して直接にカバー側に伝達され、ステータ
の放熱性が高くなる。
間の空隙部に、熱伝導性に優れたヒートシンカーを充填
するので、ステータの圧電素子部で発生した熱はヒート
シンカーを介して直接にカバー側に伝達され、ステータ
の放熱性が高くなる。
(実施例の説明)
以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。
なお、上記従来例の説明にmいたものと同−構成部制に
は同一符号を付して説明する。
は同一符号を付して説明する。
第1図は、この発明が適用された第1の実施例の断面図
である。同図において、1はモータ装置本体30のケー
スであり、2はカバーである。
である。同図において、1はモータ装置本体30のケー
スであり、2はカバーである。
弾性体3には、圧電素子4が図示しないエポキシ系の接
着剤で接着してあり、弾性体3及び圧電素子4によって
ステータ5を構成している。このステータ5は、図示し
である断面形状から判るように、カバー2に固定する部
分とロータ8が加圧接触する部分を除き薄肉の円板状と
されている。
着剤で接着してあり、弾性体3及び圧電素子4によって
ステータ5を構成している。このステータ5は、図示し
である断面形状から判るように、カバー2に固定する部
分とロータ8が加圧接触する部分を除き薄肉の円板状と
されている。
また、リング6にはスライダ7が固着してあり、ロータ
8を構成している。このロータ8はゴム体9を挾んで皿
バネ10の加圧力によってステータ5に押し付けられ、
シャフト11と一体で回転するようになっている。
8を構成している。このロータ8はゴム体9を挾んで皿
バネ10の加圧力によってステータ5に押し付けられ、
シャフト11と一体で回転するようになっている。
なお、加圧力はシム12の厚みを適当に選んで調整して
からスナップリング13によって保持するため、極めて
容易に調整できる。
からスナップリング13によって保持するため、極めて
容易に調整できる。
また、上記ゴム体9は、ロータ8に発生している弾性振
動がシャフト11に伝わることを防止する振動吸収の効
果をもたせている。なお、14゜15は、ベアリングで
ある。
動がシャフト11に伝わることを防止する振動吸収の効
果をもたせている。なお、14゜15は、ベアリングで
ある。
一方、この実施例では、ステータ5とカバー2間の空I
!lλ部であって、ステータ5のカバー2に固定する部
分とロータ8が加圧接触する部分の間の薄肉円板状部分
には、ヒートシンカーとして熱伝導性の良好なシリコン
グリース20が充填されている。
!lλ部であって、ステータ5のカバー2に固定する部
分とロータ8が加圧接触する部分の間の薄肉円板状部分
には、ヒートシンカーとして熱伝導性の良好なシリコン
グリース20が充填されている。
第1の実施例は上記の如く構成されているが、次にその
作用を説明する。モータの駆動によりステータ5の圧電
素子4で発熱があると、一部の熱は従来の如く、ステー
タ5の薄肉円盤状部分からカバー2への固定部分を介し
てカバー2.ケース1へと伝導、放熱されるが、この実
施例ではステータ5とカバー2の空隙部であってステー
タ5のカバー2に固定する部分とロータ8が加圧接触す
る部分の間の薄肉円盤状部分には熱伝導性の良好なシリ
コングリース20が充填されているので、多くの熱はシ
リコングリース20を介して直接カバー2に伝達される
。このため、圧電素子4で発生した熱の放熱効果が向上
し、圧電素子4と弾性体3間に介挿された接着剤層の温
度上昇を押さえることができ、超音波モータの温度限界
を高めることができる。
作用を説明する。モータの駆動によりステータ5の圧電
素子4で発熱があると、一部の熱は従来の如く、ステー
タ5の薄肉円盤状部分からカバー2への固定部分を介し
てカバー2.ケース1へと伝導、放熱されるが、この実
施例ではステータ5とカバー2の空隙部であってステー
タ5のカバー2に固定する部分とロータ8が加圧接触す
る部分の間の薄肉円盤状部分には熱伝導性の良好なシリ
コングリース20が充填されているので、多くの熱はシ
リコングリース20を介して直接カバー2に伝達される
。このため、圧電素子4で発生した熱の放熱効果が向上
し、圧電素子4と弾性体3間に介挿された接着剤層の温
度上昇を押さえることができ、超音波モータの温度限界
を高めることができる。
なお、従来例において、ステータ5のロータ8が加圧接
触される部分とカバー2に固定する部分間に薄肉部分を
設けたのは、ステータ5の共振周波数による圧電体4の
励振時に、ステータ5のカバー2への固定による振動の
減衰を最少限に即さえるためであるが、本実施例の如く
、ステータ5とカバー2間にシリコングリース20を充
填した場合、ステータ5の振動の減衰が早まり、モータ
性能の低下が心配される。
触される部分とカバー2に固定する部分間に薄肉部分を
設けたのは、ステータ5の共振周波数による圧電体4の
励振時に、ステータ5のカバー2への固定による振動の
減衰を最少限に即さえるためであるが、本実施例の如く
、ステータ5とカバー2間にシリコングリース20を充
填した場合、ステータ5の振動の減衰が早まり、モータ
性能の低下が心配される。
そこで、以下の測定条件により、ステータ5の振動子と
しての性能実験を行った。これは、モータを駆動するの
に用いるステータ5の共振モードで圧電素子のアドミタ
ンスループを測定することにより、ステータ5の性能を
測定するもので、測定結果は機械的品質係Tj1.Q
+、+として表わした。
しての性能実験を行った。これは、モータを駆動するの
に用いるステータ5の共振モードで圧電素子のアドミタ
ンスループを測定することにより、ステータ5の性能を
測定するもので、測定結果は機械的品質係Tj1.Q
+、+として表わした。
測定条件は以下の5通りである。
(A)ステータ5をカバー2に固定しただけのフリーの
状態の場合。
状態の場合。
(B)(A)の状態で、モータとして組み立てた場合。
(C)ステータ5とカバー2との間の空隙部全域にシリ
コングリース20を充填した状態(第1図。
コングリース20を充填した状態(第1図。
においてP位置までシリコングリース20を充填した状
態)で、カバー2に固定しただけのフリーの状態の場合
。
態)で、カバー2に固定しただけのフリーの状態の場合
。
(D)本実施例のようにステータ5の薄肉部分だけシリ
コングリース20を充填し、カバー2に固定しただけの
フリーの状態の場合。
コングリース20を充填し、カバー2に固定しただけの
フリーの状態の場合。
(E)本実施列の場合のようにステータ5の薄肉部分だ
けにシリコングリース20を充填した状態で、モータと
して組み立て場合。
けにシリコングリース20を充填した状態で、モータと
して組み立て場合。
以上の測定条件において得た測定結果を、次表に示す。
上記表からも明らかなように、シリコングリース20を
充填しない(A)の場合、振動減衰が押さえられるので
品質係数Q2.は大きくなっている。
充填しない(A)の場合、振動減衰が押さえられるので
品質係数Q2.は大きくなっている。
また(C)の場合、空隙部全域にシリコングリース20
が充填されるので、振動減衰が大きく品質係数QMは小
さい。
が充填されるので、振動減衰が大きく品質係数QMは小
さい。
一方、本実施例のようにステータ5の薄肉部分だけにシ
リコングリース20を充填した場合、(D)の如くステ
ータ5がフリーの状態でもQ、5゜は小さく、モータと
して組み立てた場合、さらに小さくなっている。
リコングリース20を充填した場合、(D)の如くステ
ータ5がフリーの状態でもQ、5゜は小さく、モータと
して組み立てた場合、さらに小さくなっている。
ところで、この場合、モータとして組み立てる前の状態
の(A)と(D)を比較すると、従来例の場合である(
A)の場合の方がQN、の1直は格段に高いが、モータ
として組み立てた場合の(B)と(E)のデータを比較
すると、(B)の従来例の場合の方が優れているものの
大きな差異はない。
の(A)と(D)を比較すると、従来例の場合である(
A)の場合の方がQN、の1直は格段に高いが、モータ
として組み立てた場合の(B)と(E)のデータを比較
すると、(B)の従来例の場合の方が優れているものの
大きな差異はない。
(なお、(C)の状態でモータとして組み立てをした場
合、振動の減衰が大きくモータは回転しなかった。) 一方、第2図には本実施例のモータと従来例のモータを
それぞれ駆動し、同一箇所(本実施例の場合は第1図に
おいてA1点、従来例の場合は第4図においてA2点)
における内部温度Tを測定した結果が示されている。
合、振動の減衰が大きくモータは回転しなかった。) 一方、第2図には本実施例のモータと従来例のモータを
それぞれ駆動し、同一箇所(本実施例の場合は第1図に
おいてA1点、従来例の場合は第4図においてA2点)
における内部温度Tを測定した結果が示されている。
測定条件は、モータ印加電圧300Vpr、電源電流1
.5A、無負荷回転数120rpmの場合である。
.5A、無負荷回転数120rpmの場合である。
第2図において、■線a・は本実施例におけるA1点の
温度変化を示し、■線a2は従来例におけるA2点の温
度変化を示す。同図よりも明らかな如く、本実施例の場
合の方が放熱効果が高く、内部温度の上昇が少ない。こ
のため、モータの使用温度限界が向上することになる。
温度変化を示し、■線a2は従来例におけるA2点の温
度変化を示す。同図よりも明らかな如く、本実施例の場
合の方が放熱効果が高く、内部温度の上昇が少ない。こ
のため、モータの使用温度限界が向上することになる。
次に、この発明の第2の実施列を、第3図に基づいて説
明する。
明する。
なお、上記第1の実施例に用いたものと同−構成部材に
は同一符号を付してその説明を省略する。
は同一符号を付してその説明を省略する。
ところで、この実施例では、ステータ5の薄肉円盤状部
分形成部位の外周側には、カバー2方向に突設してフラ
ンジ部21が形成されているとともに、カバー2上にも
−上記フランジ部21に略対向してフランジ部22が突
設形成されている。このため、この実施例では、上記第
1の実施例の効果に加えて、ステータ5の薄肉部に充填
されたシリコングリース20がロータ8との摺動面側に
漏れにくいという効果を有する。
分形成部位の外周側には、カバー2方向に突設してフラ
ンジ部21が形成されているとともに、カバー2上にも
−上記フランジ部21に略対向してフランジ部22が突
設形成されている。このため、この実施例では、上記第
1の実施例の効果に加えて、ステータ5の薄肉部に充填
されたシリコングリース20がロータ8との摺動面側に
漏れにくいという効果を有する。
なお、ステータ5にこのようなフランジ部21を設けた
場合、ステータ5の振動振幅の低下が心配されるが、ス
テータ5の振動振幅は圧電素子4の固着された外周側の
方が大きいので、上記の如くフランジ部21をステータ
5の内周側に設けても振動振幅の減少は小さい。
場合、ステータ5の振動振幅の低下が心配されるが、ス
テータ5の振動振幅は圧電素子4の固着された外周側の
方が大きいので、上記の如くフランジ部21をステータ
5の内周側に設けても振動振幅の減少は小さい。
(発明の効果)
本発明に係わる進行波型超音波モータは、上記の如く、
モータ装置本体のカバーとステータの薄肉円板状部分と
の間の空隙部に良熱伝導性のヒートシンカーを充填する
ので、ステータの圧電素子部で発生した熱はヒートシン
カーを介して直接カバー側に伝達され、圧電素子の放熱
性が良好となる。このため、圧電素子と弾性体間に介挿
された接着剤1つの軟化を招来せず、圧電素子の振動を
常に有効に弾性体に伝達でき、モータをストップさせる
ことがない等の効果を有する。
モータ装置本体のカバーとステータの薄肉円板状部分と
の間の空隙部に良熱伝導性のヒートシンカーを充填する
ので、ステータの圧電素子部で発生した熱はヒートシン
カーを介して直接カバー側に伝達され、圧電素子の放熱
性が良好となる。このため、圧電素子と弾性体間に介挿
された接着剤1つの軟化を招来せず、圧電素子の振動を
常に有効に弾性体に伝達でき、モータをストップさせる
ことがない等の効果を有する。
第1図はこの発明が適応された第1の実施例の断面図、
第2図は本実施例に係わるモータと従来例のモータを駆
動した場合の内部温度上昇比較図、第3図は第2の実施
例の断面図、第4図は従来例における進行波型超音波モ
ータの断面図である。 1・・・・・・ケース 2・・・・・・カバー 3・・・・・・弾性体 4・・・・・・圧電素子 5・・・・・・ステータ 8・・・・・・ロータ 20・・・シリコングリース 21.22・・・フランジ部 30・・・モータ装置本体 (ヒートシンカー) 特許出廓人 日産自動車株式会社
第2図は本実施例に係わるモータと従来例のモータを駆
動した場合の内部温度上昇比較図、第3図は第2の実施
例の断面図、第4図は従来例における進行波型超音波モ
ータの断面図である。 1・・・・・・ケース 2・・・・・・カバー 3・・・・・・弾性体 4・・・・・・圧電素子 5・・・・・・ステータ 8・・・・・・ロータ 20・・・シリコングリース 21.22・・・フランジ部 30・・・モータ装置本体 (ヒートシンカー) 特許出廓人 日産自動車株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、モータ装置本体のカバーに固定される部分とロータ
が加圧接触される部分との間に薄肉の円板状部分を有す
るステータを備えた進行波型超音波モータにおいて、 上記カバーとステータの上記薄肉円板状部分との間の空
隙部に良熱伝導性のヒートシンカーが充填されることを
特徴とする進行波型超音波モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1315058A JP2817289B2 (ja) | 1989-12-04 | 1989-12-04 | 進行波型超音波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1315058A JP2817289B2 (ja) | 1989-12-04 | 1989-12-04 | 進行波型超音波モータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03178575A true JPH03178575A (ja) | 1991-08-02 |
| JP2817289B2 JP2817289B2 (ja) | 1998-10-30 |
Family
ID=18060931
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1315058A Expired - Lifetime JP2817289B2 (ja) | 1989-12-04 | 1989-12-04 | 進行波型超音波モータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2817289B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102664477A (zh) * | 2012-04-24 | 2012-09-12 | 上海交通大学 | 一种超声电机的热电散热装置 |
| JP2017147802A (ja) * | 2016-02-16 | 2017-08-24 | キヤノン株式会社 | 振動型モータ駆動装置 |
| JP2024006203A (ja) * | 2022-07-01 | 2024-01-17 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置、移動ステージ、及びロボット |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5769380B2 (ja) | 2010-03-23 | 2015-08-26 | キヤノン株式会社 | 振動波モータ |
-
1989
- 1989-12-04 JP JP1315058A patent/JP2817289B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102664477A (zh) * | 2012-04-24 | 2012-09-12 | 上海交通大学 | 一种超声电机的热电散热装置 |
| JP2017147802A (ja) * | 2016-02-16 | 2017-08-24 | キヤノン株式会社 | 振動型モータ駆動装置 |
| JP2024006203A (ja) * | 2022-07-01 | 2024-01-17 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置、移動ステージ、及びロボット |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2817289B2 (ja) | 1998-10-30 |
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