JPH03179252A - 液体クロマトグラフィ質量分析計用イオン源 - Google Patents
液体クロマトグラフィ質量分析計用イオン源Info
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- JPH03179252A JPH03179252A JP1120647A JP12064789A JPH03179252A JP H03179252 A JPH03179252 A JP H03179252A JP 1120647 A JP1120647 A JP 1120647A JP 12064789 A JP12064789 A JP 12064789A JP H03179252 A JPH03179252 A JP H03179252A
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- H01J49/0431—Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components for liquid samples
- H01J49/044—Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components for liquid samples with means for preventing droplets from entering the analyzer; Desolvation of droplets
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は液体クロマトグラフィ質量分析計用イオン源
に関するものである。
に関するものである。
（従来の技術）
従来のこの種のイオン源は第３図に示されている（特公
昭６２−５７０６８号公報参照）。同図によれば、液体
クロマトグラフｌより流出した液体試料は中空針電極２
の内部の貫通穴を通ってから、中空針電極２の先端より
放電室５に導入されている。一方、キャリアガス３は中
空針電極２の外周に設けられ、先端を細くし、中空針電
極２の先端との間に隙間を有する案内管４と、中空針電
極２との間の隙間よりジェット流として放電室５に放出
される。中空針電極２と、イオン通過口６ａを有する対
向電極６との間に高圧電源７により高電圧が印加され、
この高電圧によってコロナ放電が発生する。なお、図に
おいて、８は加速電極、９はアース電極、１０はガス出
口である。
昭６２−５７０６８号公報参照）。同図によれば、液体
クロマトグラフｌより流出した液体試料は中空針電極２
の内部の貫通穴を通ってから、中空針電極２の先端より
放電室５に導入されている。一方、キャリアガス３は中
空針電極２の外周に設けられ、先端を細くし、中空針電
極２の先端との間に隙間を有する案内管４と、中空針電
極２との間の隙間よりジェット流として放電室５に放出
される。中空針電極２と、イオン通過口６ａを有する対
向電極６との間に高圧電源７により高電圧が印加され、
この高電圧によってコロナ放電が発生する。なお、図に
おいて、８は加速電極、９はアース電極、１０はガス出
口である。
したがって、上記肢体クロマトグラフィ質量分析計用イ
オン源において、中空針電極２の先端より噴出された液
体試料は、まず、コロナ放電によって微細化されるが、
案内管４と、中空針電極２との間の隙間を流れるキャリ
アガス３のジャ４．ト流により更に微細化され、そして
、コロナ放電のへによって気化されて、イオン化が促進
されるようになる。
オン源において、中空針電極２の先端より噴出された液
体試料は、まず、コロナ放電によって微細化されるが、
案内管４と、中空針電極２との間の隙間を流れるキャリ
アガス３のジャ４．ト流により更に微細化され、そして
、コロナ放電のへによって気化されて、イオン化が促進
されるようになる。
（発明が解決しようとする課題）
従来の液体クロマトグラフィ質量分析計用イオン源は、
コロナ放電によって微細化された液体試料が、キャリア
ガス３のジェット流によって更に微細化されるが、微細
化された液体試料の粒滴がキャリアガスのジェット流に
よって対向電極６と衝突し、対向電極６上で気化し、結
晶化するため、対向電極６の通過口６ａにおいて、目詰
まりが起きる問題があった。また、キャリアガス３のた
めに案内管４内の圧力が放電室５に比べて高圧力になっ
た場合、キャリアガス３を放電室５に放出する際、断熱
膨張が生じ、クラスタイオンが生成して、イオン源の性
能が低下する問題があった。
コロナ放電によって微細化された液体試料が、キャリア
ガス３のジェット流によって更に微細化されるが、微細
化された液体試料の粒滴がキャリアガスのジェット流に
よって対向電極６と衝突し、対向電極６上で気化し、結
晶化するため、対向電極６の通過口６ａにおいて、目詰
まりが起きる問題があった。また、キャリアガス３のた
めに案内管４内の圧力が放電室５に比べて高圧力になっ
た場合、キャリアガス３を放電室５に放出する際、断熱
膨張が生じ、クラスタイオンが生成して、イオン源の性
能が低下する問題があった。
更に、対向電極６のイオン通過口６ａを通ったイオンは
加速電極８によって引き出されるが、引き出されたイオ
ンの拡散を抑制する手段がなされていなかったから、イ
オンの補集効率が悪くなる問題もあった。
加速電極８によって引き出されるが、引き出されたイオ
ンの拡散を抑制する手段がなされていなかったから、イ
オンの補集効率が悪くなる問題もあった。
この発明の目的は、従来の上記問題を解決して、イオン
通過口での目詰まりを防止すると共に、イオンの補集効
率等を良くして、性能を向上させることである。
通過口での目詰まりを防止すると共に、イオンの補集効
率等を良くして、性能を向上させることである。
（課題を解決するための手段）
上記目的を達成するために、この発明の液体クロマトグ
ラフィ質量分析計用イオン源は、筒状体、該筒状体の天
部の開口に絶縁体を介して取付けた貫通穴付の天板、お
よび該筒状体の底部の開口に絶縁体を介して取付けた小
径穴付のオリフィス板で囲むように形成された大気圧イ
オン化室と、上記天板の貫通穴内を貫通しながら上記オ
リフィス板の小径穴と同軸上に配設され、先端が上記大
気圧イオン化室内で上記オリフィス板の小径穴と距離を
おいて対向する肢体試料の流れる中空針電極と、上記オ
リフィス板の小径穴と中空針電極の先端との間に向けら
れた噴出口より高温の乾燥ガスを噴出する少なくとも２
つ以上のガス供給管と、上記オリフィス板の上記大気圧
イオン化室と反対側部で上記オリフィス板の小径穴と同
軸上に配設された網状の筒状電極と、該筒状電極の上記
オリフィス板と反対側の近傍で上記オリフィス板の小径
穴と同軸上に配設された穴をもつスキマ計とを備えたこ
とを特徴とするものである。
ラフィ質量分析計用イオン源は、筒状体、該筒状体の天
部の開口に絶縁体を介して取付けた貫通穴付の天板、お
よび該筒状体の底部の開口に絶縁体を介して取付けた小
径穴付のオリフィス板で囲むように形成された大気圧イ
オン化室と、上記天板の貫通穴内を貫通しながら上記オ
リフィス板の小径穴と同軸上に配設され、先端が上記大
気圧イオン化室内で上記オリフィス板の小径穴と距離を
おいて対向する肢体試料の流れる中空針電極と、上記オ
リフィス板の小径穴と中空針電極の先端との間に向けら
れた噴出口より高温の乾燥ガスを噴出する少なくとも２
つ以上のガス供給管と、上記オリフィス板の上記大気圧
イオン化室と反対側部で上記オリフィス板の小径穴と同
軸上に配設された網状の筒状電極と、該筒状電極の上記
オリフィス板と反対側の近傍で上記オリフィス板の小径
穴と同軸上に配設された穴をもつスキマ計とを備えたこ
とを特徴とするものである。
なお、筒状体の外周には加熱ヒータを配設し、大気圧イ
オン化室内の温度を１５０℃程度に保っている。
オン化室内の温度を１５０℃程度に保っている。
（作用）
この発明においては、中空針電極の先端とオリフィス板
の小径穴との距離を１ｃＩ１１にし、中空針電極に印加
する電圧を３〜７Ｋｖ、オリフィス板に印加する電圧を
６０〜６５Ｖ、天板を１００Ｖにすると、中空針電極の
先端より噴出される肢体試料は、コロナ放電により、正
に帯電した微小Ｔ＆滴となり、オリフィス板の小径穴の
方向に流れるが、ガス供給管の噴出口より噴出した高温
の乾燥ガスは、オリフィス板の小径穴と中空針電極の先
端との空間に流れ込み、上記微小液滴を乾燥して、イオ
ンを生成した後、流れ方向を変え、中空針電極の先端よ
り天板の貫通穴方向に中空針電極に沿って流れ、天板の
貫通穴より大気圧イオン化室外へと流出する。このこと
より、上記微小液滴より気化した溶媒分子は効率よく大
気圧イオン化室外へ放出される。一方、大気圧イオン化
室内で生成したイオンは、イス板の小径穴を通過した後
、６５■の電圧の印加された網状の筒状電極内を通るよ
うになるが、網状の筒状電極によりイオン化された液体
試料の粒子の拡散が抑制され、網状の筒状電極内の中央
部を通るようになる。その後、網状の筒状電極内の中央
部を通ったイオンは、スキマ計の穴を通過するようにな
る。
の小径穴との距離を１ｃＩ１１にし、中空針電極に印加
する電圧を３〜７Ｋｖ、オリフィス板に印加する電圧を
６０〜６５Ｖ、天板を１００Ｖにすると、中空針電極の
先端より噴出される肢体試料は、コロナ放電により、正
に帯電した微小Ｔ＆滴となり、オリフィス板の小径穴の
方向に流れるが、ガス供給管の噴出口より噴出した高温
の乾燥ガスは、オリフィス板の小径穴と中空針電極の先
端との空間に流れ込み、上記微小液滴を乾燥して、イオ
ンを生成した後、流れ方向を変え、中空針電極の先端よ
り天板の貫通穴方向に中空針電極に沿って流れ、天板の
貫通穴より大気圧イオン化室外へと流出する。このこと
より、上記微小液滴より気化した溶媒分子は効率よく大
気圧イオン化室外へ放出される。一方、大気圧イオン化
室内で生成したイオンは、イス板の小径穴を通過した後
、６５■の電圧の印加された網状の筒状電極内を通るよ
うになるが、網状の筒状電極によりイオン化された液体
試料の粒子の拡散が抑制され、網状の筒状電極内の中央
部を通るようになる。その後、網状の筒状電極内の中央
部を通ったイオンは、スキマ計の穴を通過するようにな
る。
（実施例）
以下、この発明の実施例について図面を参照しながら説
明する。
明する。
第１図はこの発明の実施例を用いた液体クロマトグラフ
ィ質量分析計の概略構成を示しており、同図において、
ＩＩは筒状体、−１２は天板、１２ａは天板１２の貫通
穴、１３はオリフィス板、１３ａはオリフィス板１３の
小径穴、１４は大気圧イオン化室、１５は中空針電極、
１６は高温の乾燥ガスを噴出するガス供給管、！６ａは
ガス供給管１６の噴出口、１７は網状の筒状電極、１８
はスキマ計、１８ａはスキマ計１８の穴、１９は加勿ヒ
ータ、２０は第１チヤンバー ２１はスキマ計取付用筒
体、２２はスキマ計取付用筒体２１内に配設されたレン
ズ系、２３は第２チヤンバ２４は質量分析計である。第
２図は第１図の要部である大気圧イオン化イオン源を示
しており、同図において、筒状体１１と、この筒状体１
１の天部の開口に絶縁体２４ａを介して取付けた貫通穴
１２ａ付の天板１２と、筒状体１１の底部の開口に絶縁
体２４ｂを介して取付けた小径穴１３ａ付のオリフィス
板１３とで囲んで大気圧イオン化室１４が形成されてい
る。そして、液体試料の流れる中空針電極ｉ５は天板１
２の貫通穴１２ａ内を貫通しながらオリフィス板１３の
小径穴１３ａと同軸上に配設され、その先端が大気圧イ
オン化室１４内でオリフィス板１３の小径穴１３ａと距
離をおいて対向している。また、高温の乾燥ガスを噴出
する２個のガス供給管１６は天板１２の貫通穴１２を挟
んで対象の位置で天板１２をそれぞれ貫通して大気圧イ
オン化室１４内に延び、その先端部において中空針電極
１５の軸線側に曲がり、噴出口！６ａがオリフィス板ｌ
３の小径穴１３ａと中空針電極１５の先端との間に向
けられている。更に、網状の筒状電極１７はオリフィス
板１３の大気圧イオン化室１４と反対側部で、絶縁体２
４ｃを介してオリフィス板１３の小径穴１３ａと同軸上
に配設されている。筒状電極１７のオリフィス板１３と
反対側の近傍で、スキマ計１８の穴１’８ａがオリフィ
ス板Ｉ３の小径穴＋３ａと同軸に配設されている。加熱
ヒータ１９は筒状体１１の外周に配設され、大気圧イオ
ン化室１４内を加温する。
ィ質量分析計の概略構成を示しており、同図において、
ＩＩは筒状体、−１２は天板、１２ａは天板１２の貫通
穴、１３はオリフィス板、１３ａはオリフィス板１３の
小径穴、１４は大気圧イオン化室、１５は中空針電極、
１６は高温の乾燥ガスを噴出するガス供給管、！６ａは
ガス供給管１６の噴出口、１７は網状の筒状電極、１８
はスキマ計、１８ａはスキマ計１８の穴、１９は加勿ヒ
ータ、２０は第１チヤンバー ２１はスキマ計取付用筒
体、２２はスキマ計取付用筒体２１内に配設されたレン
ズ系、２３は第２チヤンバ２４は質量分析計である。第
２図は第１図の要部である大気圧イオン化イオン源を示
しており、同図において、筒状体１１と、この筒状体１
１の天部の開口に絶縁体２４ａを介して取付けた貫通穴
１２ａ付の天板１２と、筒状体１１の底部の開口に絶縁
体２４ｂを介して取付けた小径穴１３ａ付のオリフィス
板１３とで囲んで大気圧イオン化室１４が形成されてい
る。そして、液体試料の流れる中空針電極ｉ５は天板１
２の貫通穴１２ａ内を貫通しながらオリフィス板１３の
小径穴１３ａと同軸上に配設され、その先端が大気圧イ
オン化室１４内でオリフィス板１３の小径穴１３ａと距
離をおいて対向している。また、高温の乾燥ガスを噴出
する２個のガス供給管１６は天板１２の貫通穴１２を挟
んで対象の位置で天板１２をそれぞれ貫通して大気圧イ
オン化室１４内に延び、その先端部において中空針電極
１５の軸線側に曲がり、噴出口！６ａがオリフィス板ｌ
３の小径穴１３ａと中空針電極１５の先端との間に向
けられている。更に、網状の筒状電極１７はオリフィス
板１３の大気圧イオン化室１４と反対側部で、絶縁体２
４ｃを介してオリフィス板１３の小径穴１３ａと同軸上
に配設されている。筒状電極１７のオリフィス板１３と
反対側の近傍で、スキマ計１８の穴１’８ａがオリフィ
ス板Ｉ３の小径穴＋３ａと同軸に配設されている。加熱
ヒータ１９は筒状体１１の外周に配設され、大気圧イオ
ン化室１４内を加温する。
したがって、中空針電極１５の先端とオリフィス板１３
の小径穴！３ａとの距離をＩｃｍにし、中空針電極１５
に印加する電圧を３〜７Ｋｖ、オリフィス板１３に印加
する電圧を６０〜６５Ｖ１天板を１００Ｖにすると、中
空針電極１５の先端より噴出される液体試料は、コロナ
放電により、正に帯電した微小液滴を形成して、オリフ
ィス板１３の小径穴＋３ａの方向に流れるが、ガス供給
管１６の噴出口＋６ａより噴出した高温の乾燥ガスは、
オリフィス板１３の小径穴１３ａと中空針電極１５の先
端との空間に流れ込み、上記微小液滴を乾燥して、イオ
ンを生成した後、流れ方向を変え、中空針電極１５の先
端より天板１２の貫通穴１２ａ方向に中空針電極１５に
沿って流れ、天板１２の貫通穴＋２ａより大気圧イオン
化室１４外へと流出する。このことにより、中空針電極
Ｉ５の先端とオリフィス板１３の小径穴１３ａとの空間
の溶媒ガス濃度が減少し、コロナ放電によって生成され
るクラスタイオンの脱溶媒化が促進される。
の小径穴！３ａとの距離をＩｃｍにし、中空針電極１５
に印加する電圧を３〜７Ｋｖ、オリフィス板１３に印加
する電圧を６０〜６５Ｖ１天板を１００Ｖにすると、中
空針電極１５の先端より噴出される液体試料は、コロナ
放電により、正に帯電した微小液滴を形成して、オリフ
ィス板１３の小径穴＋３ａの方向に流れるが、ガス供給
管１６の噴出口＋６ａより噴出した高温の乾燥ガスは、
オリフィス板１３の小径穴１３ａと中空針電極１５の先
端との空間に流れ込み、上記微小液滴を乾燥して、イオ
ンを生成した後、流れ方向を変え、中空針電極１５の先
端より天板１２の貫通穴１２ａ方向に中空針電極１５に
沿って流れ、天板１２の貫通穴＋２ａより大気圧イオン
化室１４外へと流出する。このことにより、中空針電極
Ｉ５の先端とオリフィス板１３の小径穴１３ａとの空間
の溶媒ガス濃度が減少し、コロナ放電によって生成され
るクラスタイオンの脱溶媒化が促進される。
また、乾燥ガスの天板１２の貫通穴１２ａ方向への流れ
に沿って、上記微小液滴を乾燥により生成した溶媒分子
も、大気圧イオン化室１４外へ放出される。一方、大気
圧イオン化室１４内で生成したイオンは、オリフィス板
１３の小径穴１３ａを通過した後、６５Ｖの電圧の印加
された網状の筒状電極１７内を通るようになるが、網状
の筒状電極１７によりイオンの拡散が抑制され、網状の
筒状電極１７内の中央部を通るようになる。その後、網
状の筒状電極１７内の中央部を通ったイオンは、スキマ
計１８の穴１８ａを通過してから、レンズ系２２を通り
、そして質量分析計２４に入射されるようになる。また
、加熱ヒータ１９で筒状体ｌｌを加熱し、大気圧イオン
化室１４内を１５０℃程度に保つと、中空針電極１５の
先端より噴出される液体試料の液滴が促進され、イオン
化が良好になる。
に沿って、上記微小液滴を乾燥により生成した溶媒分子
も、大気圧イオン化室１４外へ放出される。一方、大気
圧イオン化室１４内で生成したイオンは、オリフィス板
１３の小径穴１３ａを通過した後、６５Ｖの電圧の印加
された網状の筒状電極１７内を通るようになるが、網状
の筒状電極１７によりイオンの拡散が抑制され、網状の
筒状電極１７内の中央部を通るようになる。その後、網
状の筒状電極１７内の中央部を通ったイオンは、スキマ
計１８の穴１８ａを通過してから、レンズ系２２を通り
、そして質量分析計２４に入射されるようになる。また
、加熱ヒータ１９で筒状体ｌｌを加熱し、大気圧イオン
化室１４内を１５０℃程度に保つと、中空針電極１５の
先端より噴出される液体試料の液滴が促進され、イオン
化が良好になる。
ところで、上記実施例では２個のガス供給管１６が使用
されているが、その数は２個以上であってもよい。また
、筒状体１１の形状は円形に限らず、方形等の多角形で
あってもよい。
されているが、その数は２個以上であってもよい。また
、筒状体１１の形状は円形に限らず、方形等の多角形で
あってもよい。
（発明の効果）
この発明によれば、次のような効果が奏される。
（１）ガス供給管の噴出口より噴出した高温の乾燥ガス
が液体試料の正に帯電した微小液滴を乾燥して、イオン
を生成した後、流れ方向を変え、中空針電極の先端より
天板の貫通穴方向に中空針電極に沿って流れ、天板の貫
通穴より大気圧イオン化室外へと流出するようになるの
で、液体試料の液滴がオリフィス板上で気化することが
なくなり、オリフィス板の小径穴を目詰まりさせること
がなくなる。また、大気圧イオン化室内での乾燥ガスの
流れにより、数１００μｍ７ｍ１ｎの液体試料を完全に
中空針電極とオリフィス板との間の空間で気化できるよ
うになり、その際、イオン源内の汚染もなく、長時間の
連続使用に耐えられるようになった。更に、乾燥ガスの
流れに沿って、微小液滴の乾燥により生成する溶媒分子
が効率よく大気圧イオン化室外に放出されることにより
、微小液滴の乾燥により生成したクラスタイオンの脱溶
媒化を促進し、分析感度を向上する。
が液体試料の正に帯電した微小液滴を乾燥して、イオン
を生成した後、流れ方向を変え、中空針電極の先端より
天板の貫通穴方向に中空針電極に沿って流れ、天板の貫
通穴より大気圧イオン化室外へと流出するようになるの
で、液体試料の液滴がオリフィス板上で気化することが
なくなり、オリフィス板の小径穴を目詰まりさせること
がなくなる。また、大気圧イオン化室内での乾燥ガスの
流れにより、数１００μｍ７ｍ１ｎの液体試料を完全に
中空針電極とオリフィス板との間の空間で気化できるよ
うになり、その際、イオン源内の汚染もなく、長時間の
連続使用に耐えられるようになった。更に、乾燥ガスの
流れに沿って、微小液滴の乾燥により生成する溶媒分子
が効率よく大気圧イオン化室外に放出されることにより
、微小液滴の乾燥により生成したクラスタイオンの脱溶
媒化を促進し、分析感度を向上する。
（２）大気圧イオン化室内で生成されたイオンは、オリ
フィス板の小径穴を通過した後、網状の筒状重積により
イオン化された液体試料の粒子の拡散が抑制され、網状
の筒状電極の中央部を通るようになるため、イオンの補
集効率がよくなり、イオン源としての性能が向上するよ
うになる。
フィス板の小径穴を通過した後、網状の筒状重積により
イオン化された液体試料の粒子の拡散が抑制され、網状
の筒状電極の中央部を通るようになるため、イオンの補
集効率がよくなり、イオン源としての性能が向上するよ
うになる。
第１図はこの発明の実施例を用いた液体クロマトグラフ
ィ質量分析計の概略構成断面図、第２図はこの発明の実
施例の液体クロマトグラフィ質量分析計用イオン源の断
面図である。第３図は従来の液体クロマトグラフィ質量
分析計用イオン源の構成図である。 図中、 １１・・・・・筒状体 １２・・・・・天板 １２ａ・・・・天板の貫通穴 １３・・・・・オリフィス板 １３ａ・・・・オリフィス板の小径穴 １４・・・・・大気圧イオン化室 １５・・・・・中空針電極 １６・・・・・ガス供給管 １６ａ・・・・ガス供給管の噴出口 １７・・・・・網状の筒状電極 １８・・・・・スキマ計 １８ａ・・・・スキマ計の穴 １９・・・・・加熱ヒータ ２４ａ・・・・絶縁体 ２４ｂ・・・・絶縁体 ２４ｃ・・・・絶縁体
ィ質量分析計の概略構成断面図、第２図はこの発明の実
施例の液体クロマトグラフィ質量分析計用イオン源の断
面図である。第３図は従来の液体クロマトグラフィ質量
分析計用イオン源の構成図である。 図中、 １１・・・・・筒状体 １２・・・・・天板 １２ａ・・・・天板の貫通穴 １３・・・・・オリフィス板 １３ａ・・・・オリフィス板の小径穴 １４・・・・・大気圧イオン化室 １５・・・・・中空針電極 １６・・・・・ガス供給管 １６ａ・・・・ガス供給管の噴出口 １７・・・・・網状の筒状電極 １８・・・・・スキマ計 １８ａ・・・・スキマ計の穴 １９・・・・・加熱ヒータ ２４ａ・・・・絶縁体 ２４ｂ・・・・絶縁体 ２４ｃ・・・・絶縁体
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、筒状体、該筒状体の天部の開口に絶縁体を介して取
付けた貫通穴付の天板、および該筒状体の底部の開口に
絶縁体を介して取付けた小径穴付のオリフィス板で囲む
ように形成された大気圧イオン化室と、上記天板の貫通
穴内を貫通しながら上記オリフィス板の小径穴と同軸上
に配設され、先端が上記大気圧イオン化室内で上記オリ
フィス板の小径穴と距離をおいて対向する液体試料の流
れる中空針電極と、上記オリフィス板の小径穴と中空針
電極の先端との間に向けられた噴出口より高温の乾燥ガ
スを噴出する少なくとも２つ以上のガス供給管と、上記
オリフィス板の上記大気圧イオン化室と反対側部で上記
オリフィス板の小径穴と同軸上に配設された網状の筒状
電極と、該筒状電極の上記オリフィス板と反対側の近傍
で上記オリフィス板の小径穴と同軸上に配設された穴を
もつスキマ計とを備えたことを特徴とするクロマトグラ
フィ質量分析計用イオン源。 ２、筒状体の外周に加熱ヒータを配設したことを特徴と
する請求項１記載のクロマトグラフィ質量分析計用イオ
ン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1120647A JP2756581B2 (ja) | 1989-05-15 | 1989-05-15 | 液体クロマトグラフィ質量分析計用イオン源 |
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5140855A (en) * | 1990-11-13 | 1992-08-25 | Biological Monitoring, Inc. | Monitoring tank modules and array for use with biological sensors |
| US6686592B1 (en) | 1999-09-20 | 2004-02-03 | Hitachi, Ltd. | Mass spectrometer, mass spectrometry, and monitoring system |
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| CN107121694A (zh) * | 2017-05-26 | 2017-09-01 | 宜昌后皇真空科技有限公司 | 一种在线监测脉冲气体团簇离子束的方法及系统 |
-
1989
- 1989-05-15 JP JP1120647A patent/JP2756581B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5140855A (en) * | 1990-11-13 | 1992-08-25 | Biological Monitoring, Inc. | Monitoring tank modules and array for use with biological sensors |
| US6686592B1 (en) | 1999-09-20 | 2004-02-03 | Hitachi, Ltd. | Mass spectrometer, mass spectrometry, and monitoring system |
| US6838664B2 (en) | 1999-09-20 | 2005-01-04 | Hitachi, Ltd. | Mass spectrometer, mass spectrometry, and monitoring system |
| EP2296167A1 (en) | 1999-09-20 | 2011-03-16 | Hitachi, Ltd. | Ion source, mass spectrometer, detector and monitoring system |
| KR100895981B1 (ko) * | 2007-08-06 | 2009-05-07 | 주식회사 휴텍스 | 크로마토그래피를 위한 시료 자동 주입 시스템 및 방법 |
| CN107121694A (zh) * | 2017-05-26 | 2017-09-01 | 宜昌后皇真空科技有限公司 | 一种在线监测脉冲气体团簇离子束的方法及系统 |
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| Publication number | Publication date |
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