JPH03180294A - レーザ切断加工機 - Google Patents
レーザ切断加工機Info
- Publication number
- JPH03180294A JPH03180294A JP1317751A JP31775189A JPH03180294A JP H03180294 A JPH03180294 A JP H03180294A JP 1317751 A JP1317751 A JP 1317751A JP 31775189 A JP31775189 A JP 31775189A JP H03180294 A JPH03180294 A JP H03180294A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- optical axis
- workpiece
- cutting machine
- cutting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、レーザによるl;7I断向の形状を制御し得
るレーザ切断加工機に関し、実用的にはテーバカットが
同避できるレーザ切断加工機に関する。
るレーザ切断加工機に関し、実用的にはテーバカットが
同避できるレーザ切断加工機に関する。
[従来の技術]
CO2レーザやYAGレーザ等が産業用として実用化さ
れ切断加工に利用されている。多くはレーザビームをレ
ンズにより集光し、焦7点醒置近くでワークに照射しつ
つワークまたは集光ビームを移動させ、この目的を達成
する。
れ切断加工に利用されている。多くはレーザビームをレ
ンズにより集光し、焦7点醒置近くでワークに照射しつ
つワークまたは集光ビームを移動させ、この目的を達成
する。
第5図、第6図はC○、レーザによる従来の切断加工時
の切断面形状を示すワーク断面図で、第5図は金属(例
えば軟鋼板でpIさ9IDI11程度)の切断の場合、
第6図は非金属(例えば木材て厚さ20 mm程度)の
切断の場合を示している。
の切断面形状を示すワーク断面図で、第5図は金属(例
えば軟鋼板でpIさ9IDI11程度)の切断の場合、
第6図は非金属(例えば木材て厚さ20 mm程度)の
切断の場合を示している。
レーザ発振器より出力されたレーザビーム2は力II
’JUレンズ3に人1・■シ、−点鎖線で示すプロフィ
ールで集光され、それぞれ彼加工物である金属ワク4a
または非金属ワーク4bに!t<(14される。
’JUレンズ3に人1・■シ、−点鎖線で示すプロフィ
ールで集光され、それぞれ彼加工物である金属ワク4a
または非金属ワーク4bに!t<(14される。
この場合、金属ワーク4aでは、特に厚さが45 mm
以上の場合、図示のごとく切断面の形状はビム入+1.
J側が切断11]のIEいテーパ状となりテーパjr4
Jfは1〜2°となり、非金属ワーク4bでは金属ワ
ーク4aの場合と反対にビーム人I、■側が切断中の快
いテーパ状となることは良く知られている。
以上の場合、図示のごとく切断面の形状はビム入+1.
J側が切断11]のIEいテーパ状となりテーパjr4
Jfは1〜2°となり、非金属ワーク4bでは金属ワ
ーク4aの場合と反対にビーム人I、■側が切断中の快
いテーパ状となることは良く知られている。
レーザ切断加工は多くはターレットパンチプレス専のl
1阪加工の代替として(り川されているが、jl:さが
45〜12mm+Vi、度の機祉部兄加工用とされる堝
a(特に歯diや桔密磯(1111部品として使用され
るとき)、上述の切断面のテーパ形状が製品として(j
’; シ得ないような重要な問題を捉起してくる。
1阪加工の代替として(り川されているが、jl:さが
45〜12mm+Vi、度の機祉部兄加工用とされる堝
a(特に歯diや桔密磯(1111部品として使用され
るとき)、上述の切断面のテーパ形状が製品として(j
’; シ得ないような重要な問題を捉起してくる。
これはレーザ切断加工の用途拡大をはかるうえでも大き
な障害となっている。
な障害となっている。
徒来、このような切1tli而のテーパ形状を解哨する
ために、三次元レーザ切断加工機により照射ビームを傾
斜回転させるもの(例えば特開昭60174291号公
報)や加工レンズを移動して照射ビームを傾斜させるも
の(例えば特開昭64−5693号公報)が提案されて
いる。
ために、三次元レーザ切断加工機により照射ビームを傾
斜回転させるもの(例えば特開昭60174291号公
報)や加工レンズを移動して照射ビームを傾斜させるも
の(例えば特開昭64−5693号公報)が提案されて
いる。
[発明が解決しようとする課題]
しかしながら、前者のレーザ切断加工機では高価になる
ばかりでなく加工位置の軌跡(加工経路)の稍度が複雑
な機構や1.す御を用いるため保証できないという課題
があり、また後者のレーザ切断加工機では、通常レーザ
加工では集光レーザビームと同軸的にノズルより加工ガ
スを噴出して加工するためノズル部分も移動する必要が
あり、前者のものと同様高価でかつ加工経路の稍度が°
思くなるという課題があった。
ばかりでなく加工位置の軌跡(加工経路)の稍度が複雑
な機構や1.す御を用いるため保証できないという課題
があり、また後者のレーザ切断加工機では、通常レーザ
加工では集光レーザビームと同軸的にノズルより加工ガ
スを噴出して加工するためノズル部分も移動する必要が
あり、前者のものと同様高価でかつ加工経路の稍度が°
思くなるという課題があった。
本発明は、上記のような課題を解決するためになされた
もので、安価でかつ加工粒度を損なうことなく切断面の
テーパをなくすことができるレーザ切断加」二機を得る
ことを目的とする。
もので、安価でかつ加工粒度を損なうことなく切断面の
テーパをなくすことができるレーザ切断加」二機を得る
ことを目的とする。
[課題を解決するための手段]
本発明に係るレーザ切断加工機は、レーザビームを1ノ
1」エレンズで集光し、この集光ビームをワタにjib
(射しつつ該集光ビームとワークを相対移動させること
によりワークを切断加工するレーザ切1tJi IJI
I上機において、前、1己加fレンズに入射するレザビ
ームを1亥加工レンズのfモ意の位置に光軸方向にVl
り行に移動させる光軸移動手段と、該光軸移動11段を
前記集光ビームとワークの…χ・j移動を制−する切断
経路のプログラムにIll応じて制御動作させる先軸移
動制御手段とを具備する構成としたものである。
1」エレンズで集光し、この集光ビームをワタにjib
(射しつつ該集光ビームとワークを相対移動させること
によりワークを切断加工するレーザ切1tJi IJI
I上機において、前、1己加fレンズに入射するレザビ
ームを1亥加工レンズのfモ意の位置に光軸方向にVl
り行に移動させる光軸移動手段と、該光軸移動11段を
前記集光ビームとワークの…χ・j移動を制−する切断
経路のプログラムにIll応じて制御動作させる先軸移
動制御手段とを具備する構成としたものである。
また、転発明において、前記光軸移動手段はレーザ発振
器より加工レンズに至るビーム伝送路中にレーザビーム
を偏向するように設けた2つのビムベンダーから成り、
該ビームベンダーの反射鏡を前記先軸移動制御手段によ
りそれぞれ移動させることより1戊る。
器より加工レンズに至るビーム伝送路中にレーザビーム
を偏向するように設けた2つのビムベンダーから成り、
該ビームベンダーの反射鏡を前記先軸移動制御手段によ
りそれぞれ移動させることより1戊る。
さらに、前1S己光輔移動手段はレーザ先掘:)モ白体
が出力光軸に1’ ?−iに移動するように)7.;成
することもてきる。
が出力光軸に1’ ?−iに移動するように)7.;成
することもてきる。
[作 用コ
本発明においては、加工レンズによるレーザビームの集
光ビームとワークの[1対移動i7q御のもとで、光軸
移動手段が加工レンズに入射するレーザビームを加工レ
ンズの任意の位置に光軸方向に平行に移動せしめる。こ
のレーザビームの平行移動足はあらかしめ定められた切
断経路のプログラムに相応して先軸移動制御手段により
1;!I grJされ、光軸移動手段を移動させる。し
たがって、製品側の切断面にテーパがつくのを避けたい
場合には、ワーク材料のテーパ方向の相違により、つま
りビーム入4=J側の断面が切断Il+の広いテーパ状
になる場合は切1析経路曲線の法線方向に外側へ、また
ビーム人14側の断面が切断中の狭いテーバ状になる場
合は切断経路曲線の法線方向に内ωリヘレーザビームを
平行移動させることにより、製品側の切断面を垂直に加
工することができる。これは切断経路か切断面において
不変の場合、レーザ光軸を加工レンズにズ1して平行移
動してち加工点(黒点位置)は不変であることによる。
光ビームとワークの[1対移動i7q御のもとで、光軸
移動手段が加工レンズに入射するレーザビームを加工レ
ンズの任意の位置に光軸方向に平行に移動せしめる。こ
のレーザビームの平行移動足はあらかしめ定められた切
断経路のプログラムに相応して先軸移動制御手段により
1;!I grJされ、光軸移動手段を移動させる。し
たがって、製品側の切断面にテーパがつくのを避けたい
場合には、ワーク材料のテーパ方向の相違により、つま
りビーム入4=J側の断面が切断Il+の広いテーパ状
になる場合は切1析経路曲線の法線方向に外側へ、また
ビーム人14側の断面が切断中の狭いテーバ状になる場
合は切断経路曲線の法線方向に内ωリヘレーザビームを
平行移動させることにより、製品側の切断面を垂直に加
工することができる。これは切断経路か切断面において
不変の場合、レーザ光軸を加工レンズにズ1して平行移
動してち加工点(黒点位置)は不変であることによる。
[丈施例]
以下、本発明の実施例を図により説明する。
第1図は本発明の一実施例を示すレーザ切断加工機のH
1略構成図である。第1図において、1はレーザ発振器
、2はレーザ発振器1より出力されたレーザビーム、3
はレーザビーム2を集光してワク4に照1・1するため
の加]−レンズで、この加工レンズ3は図示しない加工
ヘッド内に固定されている。5a、5bはワーク4を搭
載した駆動テーブルで、加1ニレンズ3の集光ビーム2
aとワーク4を同一・(己面内で直交するX軸、Y軸方
向に相対移動させるものである。6aはX軸駆動テーブ
ル5aの駆動ff+サーボモータ、6bはY軸駆動テー
ブル5bの駆動用サーボモータである。
1略構成図である。第1図において、1はレーザ発振器
、2はレーザ発振器1より出力されたレーザビーム、3
はレーザビーム2を集光してワク4に照1・1するため
の加]−レンズで、この加工レンズ3は図示しない加工
ヘッド内に固定されている。5a、5bはワーク4を搭
載した駆動テーブルで、加1ニレンズ3の集光ビーム2
aとワーク4を同一・(己面内で直交するX軸、Y軸方
向に相対移動させるものである。6aはX軸駆動テーブ
ル5aの駆動ff+サーボモータ、6bはY軸駆動テー
ブル5bの駆動用サーボモータである。
78はそれぞれ光軸移動手段としてレーザ発振器1より
加工レンズ3に至るレーザビーム2の伝送路中に設けた
ビームベンダーで、レーザビーム2を偏向して加工レン
ズ3へ導くための反射鏡7a 8aと、反射vL7a
、8aを保持し、それぞれ図示の矢印方向に反射vL7
a、8aを直線移動させるビームベンダー駆動装置7b
、8bを備えている。9は集光ビーム2aとワーク4の
相対移動制御手段及び光軸移動制御手段としてのNC装
置で、駆動テーブル5a、5bのサーボモータ6a、6
bへの制御指令に相応してビームベンダー7.8の反射
鏡7a、8aを直線移動し、加工レンズ3に入射される
レーザビーム2を光軸に平行に移動制御する。10は切
1析経路である。
加工レンズ3に至るレーザビーム2の伝送路中に設けた
ビームベンダーで、レーザビーム2を偏向して加工レン
ズ3へ導くための反射鏡7a 8aと、反射vL7a
、8aを保持し、それぞれ図示の矢印方向に反射vL7
a、8aを直線移動させるビームベンダー駆動装置7b
、8bを備えている。9は集光ビーム2aとワーク4の
相対移動制御手段及び光軸移動制御手段としてのNC装
置で、駆動テーブル5a、5bのサーボモータ6a、6
bへの制御指令に相応してビームベンダー7.8の反射
鏡7a、8aを直線移動し、加工レンズ3に入射される
レーザビーム2を光軸に平行に移動制御する。10は切
1析経路である。
次に動作について説明する。レーザ発振器1よリレーサ
ビーム2を出力すると、レーザビーム2はその伝送路中
に設けられたビームベンダー7゜8により偏向し加工レ
ンズ3に導かれて集光せしめられ、集光ビーム2aをワ
ーク4にjj<(η・1する。
ビーム2を出力すると、レーザビーム2はその伝送路中
に設けられたビームベンダー7゜8により偏向し加工レ
ンズ3に導かれて集光せしめられ、集光ビーム2aをワ
ーク4にjj<(η・1する。
このとき、駆動テーブル5a、5bはNC装置9からの
指令によりあらかしめ定められたプログラムに従って駆
動されているので、集光ビーム2aとワーク4の相対移
動により所望の切断経路10に沿う切断加工か実行され
ることになる。
指令によりあらかしめ定められたプログラムに従って駆
動されているので、集光ビーム2aとワーク4の相対移
動により所望の切断経路10に沿う切断加工か実行され
ることになる。
いま、例えば切断経路10が半径Rの回加工の場合で、
切り取った円の断面かビームの入射側が切断中の広いテ
ーバ状となり加工品質上問題となるj2U Qには、第
2図に示すように加工レンズ3に入射するレーザビーム
2を光軸方向に平行移動し、第3図に上面図で示すごと
く切断経路10に沿って加Ylが丈施される期間中その
経路1出線10の加−L位置におけるl太線方向に常に
一定量ρを保持する。すなわち、半径Rの円の製品加工
の場合、NCW置装からの指令で駆動テーブル5a、5
bか連繋動作することで切断経路10の半径Rの円軌道
か大行される一方、NC装置9からはあらかじめ定めら
れた円軌道のプログラムに相応して前述した一定mfl
の補正指令をビームベンダー駆動装置7b、8bに出力
し、反射T1.7a、8aを動作させることにより、第
3図に示すごとく切断経路10に沿ってレーザビーム2
は常に半径Rの円の中心と反対側の法線方向に距離gを
保ち光軸方向に平行移動制御される。この結果、切断面
の断面は第2図に示すごとく切り取った製品12側では
テーパてなく垂直となり、良好な品質の製品が得られる
。
切り取った円の断面かビームの入射側が切断中の広いテ
ーバ状となり加工品質上問題となるj2U Qには、第
2図に示すように加工レンズ3に入射するレーザビーム
2を光軸方向に平行移動し、第3図に上面図で示すごと
く切断経路10に沿って加Ylが丈施される期間中その
経路1出線10の加−L位置におけるl太線方向に常に
一定量ρを保持する。すなわち、半径Rの円の製品加工
の場合、NCW置装からの指令で駆動テーブル5a、5
bか連繋動作することで切断経路10の半径Rの円軌道
か大行される一方、NC装置9からはあらかじめ定めら
れた円軌道のプログラムに相応して前述した一定mfl
の補正指令をビームベンダー駆動装置7b、8bに出力
し、反射T1.7a、8aを動作させることにより、第
3図に示すごとく切断経路10に沿ってレーザビーム2
は常に半径Rの円の中心と反対側の法線方向に距離gを
保ち光軸方向に平行移動制御される。この結果、切断面
の断面は第2図に示すごとく切り取った製品12側では
テーパてなく垂直となり、良好な品質の製品が得られる
。
レーザビーム2の光軸平行移動の補正距離gは加工条件
によりあらかじめNC装置9に記憶させておき、加ニブ
ログラムの変化パラメータとすることはa効である。
によりあらかじめNC装置9に記憶させておき、加ニブ
ログラムの変化パラメータとすることはa効である。
CO2レーレーザさ9 mm捏度の軟鋼を切1析する場
合、レーザ出力1000Wて1cm/分程の速度で加工
されるが、加工レンズに黒点距離fか7゜5 cmのも
のを使用した場合、テーベ是1°を補正するとして上述
の補正距離はQ−3,3mrnとパラメータ人力すれば
良い。
合、レーザ出力1000Wて1cm/分程の速度で加工
されるが、加工レンズに黒点距離fか7゜5 cmのも
のを使用した場合、テーベ是1°を補正するとして上述
の補正距離はQ−3,3mrnとパラメータ人力すれば
良い。
なお、上記実施例では、切断経路が回加ユニの場合で、
切断面がビーム人I・j側が切断中の広いテーバ状にな
るケースについて説明したか、自在曲線の切断経路にお
いても経路曲線の加工位置におけるl太線方向にχ・1
して常に一定量だけ加工レンズに入射するレーザビーム
光軸を平行移動制御すれば同作の効果を奏するし、また
切断面かビーム入射側が切断IIJの狭いテーバ状にな
る場合、例えば閉ループの切断経路の場合にはtVIル
ープの内側に光軸補正をしてやれば切断面を垂直にする
という同t1の効果が生ずる。
切断面がビーム人I・j側が切断中の広いテーバ状にな
るケースについて説明したか、自在曲線の切断経路にお
いても経路曲線の加工位置におけるl太線方向にχ・1
して常に一定量だけ加工レンズに入射するレーザビーム
光軸を平行移動制御すれば同作の効果を奏するし、また
切断面かビーム入射側が切断IIJの狭いテーバ状にな
る場合、例えば閉ループの切断経路の場合にはtVIル
ープの内側に光軸補正をしてやれば切断面を垂直にする
という同t1の効果が生ずる。
また、上記実施例では来光ビームとワークの相対移動用
駆動制御としてX、Yテーブル形式のワーク移動形で説
[IJl t、ているが、−軸先移動、−輔ワーク移動
形のものでも、あるいは二軸共光移動形のものでも同様
の効果を奏する。
駆動制御としてX、Yテーブル形式のワーク移動形で説
[IJl t、ているが、−軸先移動、−輔ワーク移動
形のものでも、あるいは二軸共光移動形のものでも同様
の効果を奏する。
また、上記実施例では光軸移動手段としてレーザ発振器
より加工レンズに至る伝送路中の反I・lvLを移動さ
せることで説明しているか、CO2レーレーq定振器の
重量が大きなものはこの方式がを111であるが、YA
Gレーザ等小型の発振器の場合は第4国に示すごとくレ
ーザ発振器1それ1゛1体を出力光軸に゛1乙行に移動
させる方式がf−T 、Mである。
より加工レンズに至る伝送路中の反I・lvLを移動さ
せることで説明しているか、CO2レーレーq定振器の
重量が大きなものはこの方式がを111であるが、YA
Gレーザ等小型の発振器の場合は第4国に示すごとくレ
ーザ発振器1それ1゛1体を出力光軸に゛1乙行に移動
させる方式がf−T 、Mである。
[発明の効果]
以上のように本発明によれば、加工レンズによるレーザ
ビームの集光ビームとワークの…ズ・l移動制御のもと
で、光軸移動手段により加工レンズに入’l]、Jする
レーザビームを加工レンズの1モ意の位置に光相方向に
平行に移動せしめ、このレーザビームの平行移動量をあ
らかじめ定められた切断経路のプログラムに相応して光
軸移動制御手段により制御するようにしたので、構成が
簡単で安価にでき、かつ高糖度の加工経路を維持しつつ
加工断面形状の粒度の高い切断加工を実現し得るという
効果がある。
ビームの集光ビームとワークの…ズ・l移動制御のもと
で、光軸移動手段により加工レンズに入’l]、Jする
レーザビームを加工レンズの1モ意の位置に光相方向に
平行に移動せしめ、このレーザビームの平行移動量をあ
らかじめ定められた切断経路のプログラムに相応して光
軸移動制御手段により制御するようにしたので、構成が
簡単で安価にでき、かつ高糖度の加工経路を維持しつつ
加工断面形状の粒度の高い切断加工を実現し得るという
効果がある。
第1図は本発明の一実施例によるレーザ切断加工機の概
略構成図、第2図はレーザ切断加工時の1析而形状を示
すワーク断面図、第3図は第2図の上面図、第4図は本
発明の他の実施例を示す(侵略構成図、第5図及び第6
図は従来のレーザ切断加]二時の断面形状を示すワーク
断面図である。 1・・レーザ発振器 2・・・レーザビーム 2a・・集光ビーム 3・・・加工レンズ 4・・ワーク 5a、5b・・・駆動テーブル 6a、6b・・・サーボモータ 7.8・・ビームベンダー 7 a 、 8 a・・・反射鏡 ・・ビームベンダー駆動装置 NC装置 ] 0 ・ QJ断経路 なお、 図中、 同一符号は同一または相当部分を 示す。
略構成図、第2図はレーザ切断加工時の1析而形状を示
すワーク断面図、第3図は第2図の上面図、第4図は本
発明の他の実施例を示す(侵略構成図、第5図及び第6
図は従来のレーザ切断加]二時の断面形状を示すワーク
断面図である。 1・・レーザ発振器 2・・・レーザビーム 2a・・集光ビーム 3・・・加工レンズ 4・・ワーク 5a、5b・・・駆動テーブル 6a、6b・・・サーボモータ 7.8・・ビームベンダー 7 a 、 8 a・・・反射鏡 ・・ビームベンダー駆動装置 NC装置 ] 0 ・ QJ断経路 なお、 図中、 同一符号は同一または相当部分を 示す。
Claims (3)
- (1)レーザビームを加工レンズで集光し、この集光ビ
ームをワークに照射しつつ該集光ビームとワークを相対
移動させることによりワークを切断加工するレーザ切断
加工機において、 前記加工レンズに入射するレーザビームを該加工レンズ
の任意の位置に光軸方向に平行に移動させる光軸移動手
段と、該光軸移動手段を前記集光ビームとワークの相対
移動を制御する切断経路のプログラムに相応して制御動
作させる光軸移動制御手段とを備えたことを特徴とする
レーザ切断加工機。 - (2)前記光軸移動手段はレーザ発振器より加工レンズ
に至るビーム伝送路中にレーザビームを偏向するように
設けた2つのビームベンダーから成り、該ビームベンダ
ーの反射鏡を前記光軸移動制御手段によりそれぞれ移動
させることを特徴とする請求項1記載のレーザ切断加工
機。 - (3)前記光軸移動手段はレーザ発振器自体が出力光軸
に平行に移動するようになっていることを特徴とする請
求項1記載のレーザ切断加工機。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1317751A JPH0757427B2 (ja) | 1989-12-08 | 1989-12-08 | レーザ切断加工機 |
| EP90118984A EP0437676A1 (en) | 1989-12-08 | 1990-10-04 | Laser cutting machine |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1317751A JPH0757427B2 (ja) | 1989-12-08 | 1989-12-08 | レーザ切断加工機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03180294A true JPH03180294A (ja) | 1991-08-06 |
| JPH0757427B2 JPH0757427B2 (ja) | 1995-06-21 |
Family
ID=18091633
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1317751A Expired - Lifetime JPH0757427B2 (ja) | 1989-12-08 | 1989-12-08 | レーザ切断加工機 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0437676A1 (ja) |
| JP (1) | JPH0757427B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016002585A (ja) * | 2014-06-19 | 2016-01-12 | 株式会社ディスコ | レーザー加工装置 |
| JP2016516584A (ja) * | 2013-03-15 | 2016-06-09 | エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド | テーパ制御のためのビーム角度とワークピース移動の連係方法 |
| JP2017521264A (ja) * | 2014-06-12 | 2017-08-03 | スキャンラボ ゲーエムベーハー オプティッシェ テクノロジエン | 平行オフセット部を備えたレーザ加工装置 |
| JP2022021023A (ja) * | 2020-07-21 | 2022-02-02 | Uht株式会社 | レーザー加工方法及びレーザー加工装置 |
| US11571768B2 (en) | 2017-08-16 | 2023-02-07 | General Electric Company | Manufacture of cooling holes for ceramic matrix composite components |
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