JPH03181124A - ボート位置検出方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は縦型拡散・ＣＶＤ装置等の半導体装置装置にお
けるボートエレベータ装置に使用するボート位置検出方
法及び装置に関する。

〔従来技術とその課題〕

従来、ボートエレベータ上のボートの反応室への出し入
れは、ボートを垂直に設置し、かつ一定の向きにしてお
く必要があり、この状態であることをオペレータが目視
により確認する必要があるため、オペレータによって判
断が違い、誤りを生ずる可能性があると共にボートエレ
ベータの動作が見えない場合はオペレータが判断できな
いという課題があるだけでなく、オペレータは異常を発
見した場合、異常動作を停止し、異常状態からの回復処
置を行う必要があるという課題もある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明方法は上記の課題を解決するため、図示のように
ボートエレベータ本体４に、ボート３との距離が定めら
れたボート監視用の反射型変位センサ１５を取付け、こ
の反射型変位センサ１５がボート３との所定距離に対し
変位を検出しない場合はボート３の状態が平常であると
判断し、変位を検出した場合はボート３の向き、傾き、
破損、変形等の異常があると判断し、異常有りと判断し
た場合はオペレータに異常発生の警報を発し、ボートエ
レベータ４ａの上昇、下降動作を停止し、異常発生時の
処理を行うようにしたことを特徴とする。

本発明装置は同じ課題を解決するため、図示のようにボ
ートエレベータ本体４に取付けられ、ボート３との距離
が定められたボート監視用の反射型変位センサ１５と、
動作指示信号を入力しボートエレベータ４ａの昇降を行
う駆動部のを動作する駆動部ドライバ１７と、駆動部ド
ライバＩ７に動作指示信号を出力する機能を有し１反射
型変位センサＩ５がボート３との所定距離に対し変位を
検出しない場合はボート３の状態が平常であると判断し
、変位を検出した場合にはボート３の向き、傾き、破損
、変形等の異常があると判断し、異常有りと判断した場
合はオペレータに異常発生の警報を発し、駆動部ドライ
バ１７を停止させる主コントローラ１８とよりなる構成
としたものである。

〔作　用〕

主コントローラ１８より出力する動作指示信号が駆動部
ドライバ１７に入力されて駆動部２０が動作せしめられ
、この駆動１２０によりボートエレベータ４ａ及びこれ
に載置されたボート３が上昇または下降せしめられる。

この上昇または下降するボート３が反射型変位センサ１
５により監視され、この変位センサ１５がボート３との
所定距離に対し変位を検出しない場合は主コントローラ
１８によりボート３の状態が平常であると判断され、変
位を検出した場合には主コントローラ１８によりボート
３の向き、傾き、破損、変形等の異常があると判断され
る。

主コントローラ１８が異常ありと判断した場合はオペレ
ータに異常発生の警報を発し、駆動部ドライバ１７を停
止させる。しかる後、オペレータは異常発生時の処理を
行うことになる。

〔実施例〕

以下図面に基づいて本発明の詳細な説明する。

第１図は本発明の対象となる縦型拡散・ＣＶＤ装置の内
部の構成の概略斜視図である。

ヒータ１は反応室８内のウェーハを加熱するものである
。４は反応室８内のウェーハ２を載置したボート３をロ
ード、アンロードするボートエレベータ本体である。５
は、ウェーハ２をカセットからボート３へ及びボート３
からカセットへ移載するウェーハ移載機であり、６はウ
ェーハ２の移載中に炉口９からの輻射熱及び空気の巻き
込みを防止する炉口シャッタである。７はカセットを収
納するカセットストッカである。１０はウェーハ枚数計
数装置である。本実施例に係るボート位置検出装置１４
はボートエレベータ本体４に設けられる。

前記カセットストッカ７はウェーハ移載機５に対して水
平方向に移動可能であり、また、移載機５はウェーハチ
ャックを水平方向に移動させる水平移動機構部１１と、
昇降させる昇降機構９１２と更に回転させるための回転
機構部１３を具備している。

次に本発明のボート位置検出装置１４の構成を説明する
。

第２図〜第４図においてボート３との距離が定められた
ボート監視用の反射型超音波変位センサ１５はボートエ
レベータ本体４に取付けられている。

ボート３はボートエレベータ４ａ上に載置されている。

１９はボートエレベータ４ａの動作をオペレータが操作
、設定、登録し現状の状態等を表示する操作部、１７は
動作指示信号を人力しボートエレベータ４ａの昇降を行
うモータ２０を動作するモータドライバである。

１８は操作部１９の操作、設定、登録によりモータドラ
イバ７に動作指示信号を出力する機能を有し、反射型超
音波変位センサ１５がボート３との所定距離に対し変位
を検出しない場合はボート３の状態が平常であると判断
し、変位を検出した場合にはボート３の向き、傾き、破
損、変形等の異常があると判断し、異常ありと判断した
場合はオペレータに異常発生の警報を発し、モータドラ
イバ１７を停止させる主コントローラである。

２１はボートエレベータ４ａの移動量、移動スピード等
を回転量として検出するロータリエンコーダである。こ
のロータリエンコーダ２１の出力信号はモータドライバ
１７を介して主コントローラ１８に入力し、平常、異常
の判断に供する。反射型超音波変位センサ１５の出力の
パルス間隔はボート３の上昇、下降のスピードと移動量
に応じて変化するので、平常、異常の判断に必ずしも必
要ではないが、これを考慮することにより正常、異常の
判断に一層精度向上が達せられるので好ましい。

次にボート位置検出装置１４の動作について説明する。

第２図はボート３がボートエレベータ４ａに移載された
状態を示す図である。あらかじめボート３との距離を登
録しておいた反射型超音波変位センサ１５によりボート
３の位置が正しいことを確かめ、ボートエレベータ４ａ
は、ボート３を上昇してヒータ１の反応室８にロードさ
せる。

第３図はボートエレベータ４ａによりボート３が反応室
８に向かってロードしている状態を示す図である。反射
型超音波変位センサ１５によるボート位置検出は、あら
かじめ登録しておいた距離と同じであるべきはずの所の
み行う。従ってボート３の上端部と下端部は、位置検出
の対象外としておく。

第２図の状態から第３図の状態へのロードの際、ボート
３は、ボートエレベータ４ａによって垂直に上昇させら
れるので、反射型超音波変位センサ１５とボート３との
距離は同じである。反射型超音波変位センサ１５が、ボ
ート３との距離に対し変位を検出すれば、ボート３は向
きが悪いか、傾いているか、破損しているか、変形して
いるか、またはボートエレベータ４ａの位置ずれかのい
ずれかである。ボート３の向き、傾き、破損、変形はボ
ート３の異常であり、ボート３のボートエレベータ４ａ
への置き直し、または交換が必要であり、ボートエレベ
ータ４ａの位置ずれの場合にはボートエレベータ４ａの
メンテナンスが必要となる。よって、反射型超音波変位
センサ１５とボート３の距離に反射型超音波変位センサ
１５が変位を検出した場合は、ボート３の位置、状態に
異常が発生したものとしてオペレータへの警報を発し、
ボートエレベータ４ａの動作を停止する。

反応室８からのボート３のアンロードは第３図から第２
図の状態へボートエレベータ４ａが移動する。手順は、
ロードの場合の逆である。

ボートエレベータ４ａの動作は、操作部１９でオペレー
タが操作、設定、登録をし、また、現状の状態等は操作
部１９に表示する。

操作、設定、登録により主コントローラ１８はモータド
ライバ１７に動作を指示する。モータドライバ１７は主
コントローラ１８の指示によりモータ２０を動作する。

モータ２０の動作によってボートエレベータ４ａが上昇
、下降する。ボート３はボートエレベータ４ａに置かれ
ており、このボート３の状態を反射型超音波変位センサ
１５で検出し、検出した状態はセンサコントロール部１
６を介し、主コントローラ１８に通知される。またボー
トエレベータ４ａの移動量、移動スピードは、モータ２
０の回転としてロータリエンコーダ２１で検知し、モー
タドライバ１７を介して主コントローラ１８に通知され
る。

主コントローラ１８は、ボート３の状態、ボートエレベ
ータ４ａの移動量、移動スピード等の状態を検知し、ボ
ート３の状態の正当性の判断、異常動作状態の確認をし
、異常有りと判断した場合は、オペレータへの異常発生
の警報を発し、ボートエレベータ４ａのロード、アンロ
ード動作を停止し、オペレータは異常発生時の処理を行
う。

次にボート位置検出の原理について説明する。

第５図は反射型超音波変位センサ１５の構造の一例とボ
ート位置検出の原理説明図である。

センサコントロール部１６はパルス送信回路２２トパル
ス受信回路２３を制御する。送信用振動子２４から発振
した超音波はボート３で反射し、受信用振動子２５で受
信する。発振した超音波が、受信できない場合はボート
無しと判断できる。また一定の強さの送信に対し、受信
する超音波の強さの変位によりボート３との距離の変化
を検知できる。

なお、本装置で用いる反射型超音波変位センサは市販の
ものである。

最後に本装置の応用例として、ボート３を固定し、反射
型超音波変位センサ１５を移動しボートの異常の有無を
検出することができるようにすることも可能である。

かくして本発明はボートエレベータ４ａ上のボート３の
向き、傾き、破損、変形等をオペレータが目視で確認す
る代わりにボートエレベータ本体４に取付けられた反射
型変位センサ１５を用いて、その確認を自動的に行い、
ボート位置の異常を検出した場合はオペレータに対し警
報を発するとともにボートエレベータ４ａの上昇、下降
動作を停止し、異常発生時の処理を行うために一供され
る。

〔発明の効果〕

上述のように本発明によれば、エレベータ本体４に取付
けられた反射型変位センサ１５によりボートエレベータ
４ａ上のボート３の監視ができるので、オペレータがボ
ートエレベータ４ａ上のボート３の向き、傾き、破損、
変形等を目視により監視する必要がなくなり、オペレー
タによる判断が異なって誤りを生ずるおそれがないと共
に、ボートエレベータ４ａの動作が見えない場合でもボ
ートの平常。

異常が判断でき、異常と判断した場合は異常動作を停止
し、オペレータは異常状態からの回復処置をとることが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の対象となる縦型拡散・ＣＶＤ装置の内
部の構成の概略斜視図、第２図は本発明におけるボート
がボートエレベータに移載された状態を示す図、第３図
は本発明におけるボートエレベータによりボートが反応
室に向かってロードしている状態を示す図、第４図は本
発明装置の一実施例の構成を示す説明図、第５図は本発
明における反射型変位センサの一例の構成説明図である
。 １・・・・・・ヒータ、２・・・・・・ウェーハ、３・
・・・・・ボート、４・・・・・・ボートエレベータ、
４ａ・・・・・・ボートエレベータ、５・・・・・・ウ
ェーハ移載機、６・・・・・・炉口シャッタ、７・・・
−・・カセットストッカ、８・・・・・・反応室、９・
・・・・・炉口、１０・・・・・・ウェーハ枚数計数装
置、１１・・・・・・水平移動機構部、１２・・・・・
・昇降機構部、１３・・・・・・回転機構部、１４・・
・・・・ボート位置検出装置、１５・・・・・・反射型
（超音波）変位センサ、１６・・・・・・センサコント
ロール部、１７・・・・・・モータドライバ、１８・・
・・・・主コントローラ、１９・・・・・・操作部、２
０・・・・・・駆動部（モータ）、２１・・・・・・移
動量・移動スピード検出器（ロータリエ ンコーダ） 喜１糖

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 〔１〕ボートエレベータ本体（４）に、ボート（３）と
   の距離が定められたボート監視用の反射型変位センサ（
   １５）を取付け、この反射型変位センサ（１５）がボー
   ト（３）との所定距離に対し変位を検出しない場合はボ
   ート（３）の状態が平常であると判断し変位を検出した
   場合にはボート（３）の向き、傾き、破損、変形等の異
   常があると判断し、異常有りと判断した場合はオペレー
   タに異常発生の警報を発し、ボートエレベータ（４ａ）
   の上昇、下降動作を停止し、異常発生時の処理を行うよ
   うにしたことを特徴とするボート位置検出方法。 〔２〕平常、異常の判断にボートエレベータ（４ａ）の
   移動量、移動スピード等を導入することを特徴とする請
   求項第１項記載のボート位置検出方法。 〔３〕ボートエレベータ本体（４）に取付けられ、ボー
   ト（３）との距離が定められたボート監視用の反射型変
   位センサ（１５）と、動作指示信号を入力しボートエレ
   ベータ（４ａ）の昇降を行う駆動部（４ａ）を動作する
   駆動部ドライバ（１７）と、駆動部ドライバ（１７）に
   動作指示信号を出力する機能を有し、反射型変位センサ
   （１５）がボート（３）との所定距離に対し変位を検出
   しない場合はボート（３）の状態が平常であると判断し
   、変位を検出した場合にはボート（３）の向き、傾き、
   破損、変形等の異常があると判断し、異常有りと判断し
   た場合はオペレータに異常発生の警報を発し、駆動部ド
   ライバ（１７）を停止させる主コントローラ（１８）と
   よりなるボート位置検出装置。 〔４〕ボートエレベータ（４ａ）の移動量、移動スピー
   ド等を検出する検出器（２１）を設け、この検出器（２
   １）の出力信号を、駆動部ドライバ（１７）を介して主
   コントローラ（１８）に入力する構成としたボート位置
   検出装置。