JPH0318130B2 - - Google Patents

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JPH0318130B2
JPH0318130B2 JP55179153A JP17915380A JPH0318130B2 JP H0318130 B2 JPH0318130 B2 JP H0318130B2 JP 55179153 A JP55179153 A JP 55179153A JP 17915380 A JP17915380 A JP 17915380A JP H0318130 B2 JPH0318130 B2 JP H0318130B2
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Dr Johannes Heidenhain GmbH
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、相互に可動な２つの対象物の位置を
定めるため、増分目盛のほかに、夫々明瞭な線の
不規則な配列の１群から成る少なくとも２つの標
準記号を有する尺度を走査する走査単位を有する
光電的増分位置決め装置に関する。
位置決め装置はすでに公知の装置である。即ち
例えばドイツ国特許公開第1814785号公報によれ
ば一つの光電的測長装置が記載されており、該装
置においては増分目盛りのほかに標準記号が設け
られている。この文献では１つの光電的増分測定
装置の機能態様が記述されている。そして特に標
準記号の機能と構成が第２図によつて示されてい
る。
現在の技術水準（ドイツ国特許第876162号公
報）によれば、標準記号の線群を構成する線が等
しくない間隔で相互に配列されている時、その標
準記号の所で特に好都合な信号が発生することが
知られている。それ故にこの様な標準記号を走査
する走査板は、線群が標準記号と同様に配列され
た走査視野を所有している。標準記号と走査視野
とが正確に且つ完全に重ね合わされた時、有効信
号対妨害信号の比率の高い信号が得られる。
更に増分測定系の目盛りに沿つて等しい標準記
号の列を設けることが公知になつている。この様
な等しい標準記号の列から適当な手段によつて
個々の記号が選択可能でありそしてその様な手段
が実施されている（ドイツ国特許第2540412号公
報）。
上記公報には増分測定系の問題点が示されてい
る。即ち作業を中断した後ではもはや測定装置の
出発位置を再び得ることは不可能であることが示
されている。ドイツ国特許公開第1814785号公報
およびドイツ国特許第2540412号公報には、この
様な標準位置ができるだけ簡単な態様で再び得ら
れる方法が示されている。
しかし公知になつている測定装置の欠点は、照
明ランプが故障した場合に測定が中断されそして
このことが長時間の休みをともなう作業中断を惹
起する可能性があることである。
本発明の目的は、１つの照明ランプが故障した
場合に、その瞬間の測定は追跡不可能な如く撹乱
されるけれども該装置は正確に作動している如き
増分位置決め装置を創成することである。
上記の目的は特許請求の範囲第１項に記載した
特徴を備えた装置により達成される。
本発明のその他の特徴は、添附図に示された実
施例による本発明の構成と作動態様詳細な次の説
明において明らかにされる。
第１図において電源に並列に接続された２個の
ランプL1およびL2が走査構造単位１の内部の２
つの走査位置に配置されている。ランプL1およ
びL2は相互に一定の距離に固定されている。走
査板Ａは走査視野AT，A′R1およびA′R2を所有して
いる。スケールＭは目盛り面上に増分目盛りＴ並
びに標準記号R′1およびR′2を担特している。走査
構造単位１はスケールＭに対して相対的に推移可
能に支えられている。スケールＭと走査構造単位
１との間に相対運動が発生すると、走査板Ａは目
盛りに沿つて公知の態様で導かれる。ランプL1
およびL2から放射される光線はその際走査板Ａ
の走査視野のAT，A′R1及びA′R2を透過するばかり
でなくスケールＭの増分目盛りＴ、標準記号R′1
及びR′2をも透過する。この際透過して来る光線
は双方の要素ＡおよびＭの表面に存在している目
盛りの明暗の視野によつて公知の如く変調され
る。この様に変調された光線は感光素子Ｐに入射
し、該感光要素からの信号は評価回路Ｂの中で公
知の態様で選別されそして前進−後退計算器VR
に導かれ、該計算器は推移値をデイジタル表示す
る。
この明細書の図面と記述には前進−後退計算を
先行又は追従する信号で確めることが省略されて
いる。何故ならばこのことは多くの印刷物に、信
号の対称性を得るために直流成分を除去すること
と同様に、詳細に説明されているからである。こ
こでは上記の目的のため付加的な走査視野および
感光素子が用意されており、これらは一定の関係
において増分目盛りを走査しそして公知の態様で
回路技術的に結合されているということを述べる
にとどめる。しかしこの様な処置は本発明を説明
する際にむしろ理解を混乱させる様なことになる
から、この様な公知となつている詳細の説明は省
略する。
走査視野AT，A′R1およびA′R2は正確に一定の間
隔だけ互に隔てられて位置しなければならない。
何故ならば合成された走査信号はアナログ的に加
算することによつて得られるからである。従つて
全体として大なる目盛り面を走査しているから大
なる精度が得られる。目盛りの汚れは信号の誤差
を発生しないことになる。
第２図はスケールの一部分の切断片を示し、該
スケールでは目盛り担特体Ｍに目盛り面に、一定
の格子常数を有する増分目盛りＴが目盛られてい
る。第二の目盛りとして標準記号R′1およびR′2が
目盛られている。標準記号R′1およびR′2の夫々は
平行な線の群から成り立つている。夫々の線群の
線の配列は不規則なものである。この際１つの標
準記号に属する線群の線の配列はすべて等しい。
１つの線群の線の配列は他の標準記号の線群の線
の配列とはできる限り似ていない様になつていな
ければならない。
第３図には走査視野AT，A′R1およびA′R2を有す
る一枚の走査板Ａが示されている。第２図に示さ
れている標準記号R′1又はR′2のための走査視野
A′R1又はA′R2の線の配列はこの際夫々の標準記号
R′1又はR′2の線の配列に全く等しい。標準記号と
それに属する走査視野が重なる場合には公知の如
く標準インパルスが発生する。標準記号と走査視
野とが位相正しく配置されている場合には、標準
記号と走査視野とが正確に重なつた時、双方の標
準記号R′1およびR′2の夫々が標準信号を惹起す
る。これらの信号はアナログ的に加算される。従
つて非常に落差の高い信号が発生する。標準記号
R′1と走査視野A′R1又は標準記号R′2と走査視野
A′R2の線群が夫々相等しいことから夫々の標準記
号に属している走査視野のみが有効信号対妨害信
号の比率の充分大なる標準記号を惹起することが
できる。走査視野が夫々それに属していない標準
記号の傍を通過する場合には標準記号を発生する
ことができない。
スケールＭの種々異なる位置に標準記号R′1お
よびR′2が配置されていても、これらの標準記号
上を走査板が通過する時、スケールの一定に位置
においてのみ標準信号が惹起される。この様にし
て標準記号との関係は何時も一義的である。照明
の１つ、L1又はL2が故障した場合にはスケール
Ｍの一定の位置において標準信号が惹起される。
しかし故障したランプL1又はL2に属する標準記
号R′1又はR′2はもはや何等の標準信号を発生する
ことができない。最も都合の悪いことには標準信
号の落差が少なくなる。トリガー閾値を正しく設
定することによつてこの欠点は重大なものではな
くなる。この様な欠点を避ける別の可能性が第６
図に示した回路処置によつて実現可能である。
共通な接続抵抗ＲによりランプL1およびL2は
低減された電圧で点燈され、その結果明るさが少
なく従つて感光素子Ｐの出力端には少ない光電流
が流れている。しかし走査信号をアナログ的に加
算することによつて低減された個々の信号よりも
大なる落差を持つた信号が得られる。加算された
信号によつて得られた落差の高い信号に対して評
価回路Ｂの内部にトリガー閾値が設定される。ラ
ンプL1又はL2が故障した時接続抵抗Ｒにおける
電圧降下が減少しそしてなお作動可能のランプ
L1又はL2はその結果として増大した電圧が印加
される。このことにより感光素子Ｐの所の照度が
増大し、そのことは該感光素子の出力端子の所の
信号の落差を直接高めることになる。該電球の特
性曲線は、高い点燈電圧で点燈されている残りの
電球が、加算によつて得られた走査信号にほぼ等
しい走査信号を与えることを示している。トリガ
ー閾値はこの場合変更する必要がない。この際協
働する要素のデータに関しては専門家の知識によ
つて推定可能であり、これに関する詳細に立ち入
る必要はない。
第４図には略図により角度測定装置が示されて
おり、該装置は角度目盛りTWに付加された４つ
の標準記号R1，R2，R3およびR4を所有してい
る。この場合にも標準記号R1，R2，R3およびR4
は夫々相異なる不規則な線の配列を所有してい
る。走査板Ａは増分角度目盛りTWを走査するた
めの走査視野の近傍に４箇の別な走査視野を包含
し、該視野の線の配列は夫々付設されている標準
記号R1乃至R4の線の配列に等しい。製図技術上
の理由から第４図では走査視野が詳細に表現する
ことができないが、上記の走査板Ａは第１乃至３
図に示した測長装置の走査板Ａと同様な意味を持
つている。
第５図は走査位置の夫々にランプL1乃至L4、
コンデンサーK1乃至K4および感光素子PR1乃至RR
４が付設されていることを示している。更に別の
感光素子PT1乃至PT4が設けられており、これらに
ついては詳細な説明は省略する。何故ならはこれ
らの感光素子は、前記した如き測長装置における
と同様に、この場合は円弧の距離を増分により測
定するのに役立つているからである。評価回路
BWの内部で公知の態様で４箇の走査信号のアナ
ログ的な加算および選別が行われる。評価回路
BWは公知の態様で第１図に示した如く前進−後
退計算器に接続される。
上記の角度測定装置の場合でも前記した如き本
発明による重複した走査により精度が向上する。
更に直径の両端における読み取りによつて目盛り
の偏心誤差が除去される。光学的な角度測定装置
のための直径の両端で読みとる方法はドイツ国特
許第2454915号公報に記載されている。
標準記号R1乃至R4の夫々は特別に配列された
線を所有しそして走査板Ａに配置されているそれ
らに属する走査視野AR1乃至AR4は上記特別な配
列に等しい線の配列を所有しているから、図示さ
れた角度側定装置の場合にも一義的な標準信号が
発生されることになる。ランプL1乃至L4の１つ
のランプが故障しても測定に影響がない。
ランプの１つが故障した時、信号装置がその故
障を通知する様に評価回路を構成するのが特に有
利である。
第７図は目盛りが隣接して配置されている状態
を略図によつて示している。この図に示された断
面図は第１図に示した測長装置に対応するもので
ある。
測定装置の使用上の必要に応じて種々異なる標
準記号が更に別の平行又は同芯円の目盛り面上に
配置されそして走査され得ることは明らかであ
る。
本発明は透過光線によつて作動する光電的増分
位置決め装置にのみ適用されるものではなく、落
射光線の方法で作動する装置にも同様に適用され
る。
【図面の簡単な説明】
第１図は２つの走査位置を所有している光電的
位置決め装置の側面略図、第２図は分割目盛りを
有するスケール切断片、第３図は走査視野を有す
る走査板、第４図は角度測定装置の平面略図、第
５図は第４図に示した角度測定装置の縦断面略
図、第６図は２箇のランプを同時点燈する回路略
図、第７図は第１図に示した装置の正面略図であ
る。図において、 １……走査単位、Ａ……走査板、AT，AW……
走査視野、Ｔ，TW……増分目盛り、A′R1，A′R2，
AR1，AR2，AR3，AR4……走査視野、R′1，R′2，
R1，R2，R3，R4……標準記号、L1，L2，L3，L4
……照明ランプ、Ｒ……接続抵抗である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 相互に可動な２つの対象物の位置を定めるた
    め、増分目盛りのほかに、それぞれ明瞭な線の不
    規則な配列の一群から成る少なくとも２つの標準
    記号を有する尺度を走査する走査単位を有する光
    電的増分位置決め装置において、 (a) 走査単位１は少なくとも１つの走査板Ａを包
    含し、 (b) 走査板Ａは増分目盛りＴまたはTwのための
    走査視野AT又はAw及び標準記号R′1，R′2，又
    はR1，R2，R3，R4のための、それぞれ明瞭な
    線の不規則な配列の一群から成る走査視野
    A′R1，A′R2又はAR1，AR2，AR3，AR4を所有し、
    そして走査単位は、増分目盛りのため及び標準
    記号のためのそれぞれ１つの走査視野を包括し
    ている少なくとも２つの走査位置を照明するた
    めにそれぞれ１個のランプを所有し、これらの
    ランプは１つの電源に並列に接続されており、 (c) 不規則に配置された明瞭な線の一群から成る
    それぞれの標準記号の走査視野A′R1，A′R2、又
    はAR1，AR2，AR3，AR4のうちの唯１つの視野
    が、不規則に配列された明瞭な線の一群から成
    る標準記号R′1，R′2又はR1，R2，R3，R4のう
    ちの唯一つと同一でありそして標準記号に重ね
    合わすことが可能になつていること、標準記号
    と走査視野とが正確に重なつたとき、双方の標
    準記号R′1及びR′2のそれぞれが標準信号を惹起
    し、これらの信号はアナログ的に加算されるこ
    とを特徴とする装置。 ２ 特許請求の範囲１に記載の装置において、相
    異なる標準記号R′1，R′2又はR1，R2，R3，R4が
    目盛り列上に配置されていることを特徴とする装
    置。 ３ 特許請求の範囲１または２に記載の装置にお
    いて、それぞれの走査位置には照明ランプL1，
    L2，L3，L4が付設されていることを特徴とする
    装置。 ４ 特許請求の範囲１〜３の何れか一に記載の装
    置において、少なくとも２つの走査位置は直径の
    両端に配置されていることを特徴とする装置。 ５ 特許請求の範囲３に記載の装置において、す
    べての照明ランプL1，L2，L3，L4は共通な接続
    抵抗Ｒを介して点灯されていることを特徴とする
    装置。 ６ 特許請求の範囲３または５に記載の装置にお
    いて、照明ランプL1，L2，L3又はL4の故障を通
    知する信号装置が設けられていることを特徴とす
    る装置。
JP17915380A 1979-12-22 1980-12-19 Optical device for determination of incremental position Granted JPS5698604A (en)

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DE (1) DE2952106C2 (ja)
FR (1) FR2473171A1 (ja)
GB (1) GB2067282B (ja)
IT (1) IT1136225B (ja)

Families Citing this family (69)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3039483C2 (de) * 1980-10-18 1986-09-11 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
DE3104972C2 (de) * 1981-02-12 1985-06-20 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Lichtelektrische inkrementale Positioniereinrichtung
US4451731A (en) * 1981-08-10 1984-05-29 Hewlett-Packard Company Apparatus and method for modulating light to generate an index pulse
US4461575A (en) * 1981-09-17 1984-07-24 Harris Corporation Reference marker/correlation scheme for optical measurements
DE3144334C2 (de) * 1981-11-07 1985-06-13 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Wegmeßeinrichtung mit Referenzmarken
DE3201005A1 (de) * 1982-01-15 1983-07-28 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Einrichtung zur fehlerkorrektur bei positionsmesssystemen
DE3204012C1 (de) * 1982-02-05 1983-02-03 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale Messeinrichtung
CH658514A5 (de) * 1982-02-09 1986-11-14 Wild Heerbrugg Ag Verfahren und vorrichtung zur erfassung einer messgroesse.
JPS58148914A (ja) * 1982-03-02 1983-09-05 Fanuc Ltd パルスコ−ダ
DE3218903C2 (de) * 1982-05-19 1986-05-15 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Lichtelektrische Meßeinrichtung
DE3229846C2 (de) * 1982-08-11 1984-05-24 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
DE3245914C1 (de) * 1982-12-11 1984-03-29 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Messeinrichtung
DE3308814C2 (de) * 1983-03-12 1985-02-07 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Meßeinrichtung
DE3308813C2 (de) * 1983-03-12 1985-02-07 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Meßeinrichtung
DE3311204A1 (de) * 1983-03-26 1984-10-04 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale laengen- oder winkelmesseinrichtung
DE3340866A1 (de) * 1983-03-26 1985-05-23 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Wegmesseinrichtung
DE3311203A1 (de) * 1983-03-26 1984-10-04 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Verfahren zum reproduzieren einer bezugsposition
DE3325803C2 (de) * 1983-07-16 1986-11-20 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale, lichtelektrische Meßeinrichtung
US4602155A (en) * 1983-07-25 1986-07-22 Bei Electronics, Inc. Zero reference generating method and apparatus for optical encoders
US4678908A (en) * 1983-07-25 1987-07-07 Bei Electronics, Inc. Zero reference generating method and apparatus for optical encoders
DD219566A1 (de) * 1983-08-05 1985-03-06 Harry Trumpold Hochaufloesendes optisches laengenmessverfahren mit codiertem absolutmassstab zur durchfuehrung des verfahrens
DD221828A1 (de) * 1983-09-01 1985-05-02 Zeiss Jena Veb Carl Einrichtung zur fotoelektrischen abtastung von teilungen im auflicht
US4561846A (en) * 1983-09-02 1985-12-31 Denar Corporation Dental pantograph
DE3334398C1 (de) * 1983-09-23 1984-11-22 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Messeinrichtung
DD225497A1 (de) * 1984-04-02 1985-07-31 Zeiss Jena Veb Carl Einrichtung und verfahren zum messen und einstellen von laengen
DE3562948D1 (en) * 1984-04-21 1988-06-30 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Position-measuring device
JPS60183818U (ja) * 1984-05-16 1985-12-06 東洋電装株式会社 回転エンコ−ダ
AT396631B (de) * 1984-07-06 1993-10-25 Rsf Elektronik Gmbh Inkrementales messsystem
DE3427411C2 (de) * 1984-07-25 1987-01-08 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Meßeinrichtung
DE3509102C2 (de) * 1985-03-14 1987-01-15 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Meßeinrichtung
DE3527546C1 (de) * 1985-08-01 1986-10-02 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Vorrichtung zum Verbinden einer Positionsmesseinrichtung mit zwei relativ zueinander beweglichen Objekten
DE3536466A1 (de) * 1985-10-12 1987-04-16 Bodenseewerk Geraetetech Nullimpulserzeuger zur erzeugung eines impulses bei erreichen einer vorgegebenen lage eines traegers
DE3700777C2 (de) * 1986-01-14 1994-05-05 Canon Kk Vorrichtung zur Erfassung der Position eines Objektes
DE3604215A1 (de) * 1986-02-11 1987-08-13 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Lichtelektrische laengen- oder winkelmesseinrichtung
DE8613887U1 (de) * 1986-05-22 1990-09-13 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 83301 Traunreut Meßeinrichtung
US4965842A (en) * 1986-07-22 1990-10-23 Schlumberger Technologies, Inc. Method and apparatus for measuring feature dimensions using controlled dark-field illumination
US5109430A (en) * 1986-07-22 1992-04-28 Schlumberger Technologies, Inc. Mask alignment and measurement of critical dimensions in integrated circuits
US4967075A (en) * 1986-09-16 1990-10-30 High Yield Technology Velocity monitoring method and apparatus
SE460928B (sv) * 1986-10-13 1989-12-04 Johansson Ab C E Absolutmaetande skalsystem
DE3726678C1 (de) * 1987-08-11 1989-03-09 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Inkrementale Laengen- oder Winkelmesseinrichtung
JPS6474411A (en) * 1987-09-16 1989-03-20 Yamaha Corp Position detector
DE3734870A1 (de) * 1987-10-15 1989-04-27 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Einrichtung zum reproduzierbaren einstellen von winkellagen
DE3742295A1 (de) * 1987-12-14 1989-06-22 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmesseinrichtung mit mehreren abtaststellen
DE3809569A1 (de) * 1988-03-22 1989-10-05 Frankl & Kirchner Positionsgeber
US4982509A (en) * 1988-08-19 1991-01-08 Delta International Machinery Corp. Measurement system having multiple display orientations
DE3837134A1 (de) * 1988-11-02 1990-05-03 Oelsch Kg Beruehrungsloser, digitaler lineargeber
JP2666859B2 (ja) * 1988-11-25 1997-10-22 日本電気株式会社 目合せ用バーニヤパターンを備えた半導体装置
AT394781B (de) * 1989-02-03 1992-06-25 Rsf Elektronik Gmbh Inkrementales messsystem
DE3914557A1 (de) * 1989-05-03 1990-11-08 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmesseinrichtung mit mehreren abtaststellen
US5020236A (en) * 1990-02-12 1991-06-04 Pietzsch Ag Method of measuring the distance between the axles or wheels of a vehicle, and device for doing so
GB9109501D0 (en) * 1991-05-02 1991-06-26 Orton Paul A Shaft displacement measuring system
EP0513427B1 (de) * 1991-05-18 1994-07-06 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Interferentielle Positionsmessvorrichtung
SE9202005L (sv) * 1992-06-29 1993-12-20 Johansson Ab C E Skalsystem för absolutmätning
DE4225320C1 (de) * 1992-07-31 1994-01-27 Trumpold Harry Prof Dr Ing Hab Absolut-Längenmeßsystem zur Bestimmung der Lage zweier relativ zueinander beweglicher Objekte
JP3683350B2 (ja) * 1996-07-24 2005-08-17 株式会社ソキア 電子レベル用標尺及び電子レベル
DE19642200A1 (de) * 1996-10-12 1998-04-16 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Kontrollvorrichtung und Verfahren zur Prüfung von positionsabhängigen Abtastsignalen
DE19652562C2 (de) * 1996-12-17 1999-07-22 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
DE19730259C1 (de) * 1997-07-09 1999-02-04 Siemens Ag Verfahren und Anordnung zum Prüfen eines Doppelsensorsystems
DE19916217A1 (de) * 1999-04-10 2000-10-26 Tr Electronic Gmbh Absolutes Positionsmeßsystem
DE19920596C2 (de) * 1999-05-05 2003-10-30 Maerzhaeuser Senso Tech Gmbh Verfahren zum Messen der Relativlage zweier Objekte
DE10043635A1 (de) 1999-09-16 2001-03-22 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Vorrichtung zur Positionsbestimmung und Ermittlung von Führungsfehlern
DE19962278A1 (de) 1999-12-23 2001-08-02 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
JP4703059B2 (ja) * 2001-08-28 2011-06-15 株式会社ミツトヨ 光電式エンコーダ
JP2004163302A (ja) * 2002-11-14 2004-06-10 Harmonic Drive Syst Ind Co Ltd 光学式エンコーダ
DE102005047658B4 (de) * 2005-10-05 2008-03-20 Leuze Electronic Gmbh + Co. Kg Vorrichtung zur Positionsbestimmung
DE102014209004A1 (de) * 2014-05-13 2015-11-19 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Positionsmesseinrichtung
DE112016001860T5 (de) * 2015-04-22 2018-01-18 Faro Technologies, Inc. Indexierter optischer Drehgeber
US10455216B2 (en) 2015-08-19 2019-10-22 Faro Technologies, Inc. Three-dimensional imager
CN106001927B (zh) * 2016-07-05 2018-03-23 温州大学激光与光电智能制造研究院 一种测量加工一体化的激光平整化抛光方法

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2220427A (en) * 1936-03-21 1940-11-05 Ericsson Telefon Ab L M Burglar alarm system
DE876162C (de) * 1941-04-30 1953-05-11 Genevoise Instr Physique Photoelektrische Praezisionsvorrichtung fuer die Einstellung eines beweglichen Objektes in eine genaue vorausbestimmte Lage
DE1814785U (de) 1960-04-22 1960-07-14 Emil Kreher Fabrik Photogr Bal Verschluss fuer kleine taschen, insbesondere geldboersen u. dgl.
US3421009A (en) * 1966-06-14 1969-01-07 Felix P Caruthers Temperature compensated photosensor system
US3534360A (en) * 1966-12-27 1970-10-13 Baldwin Electronics Inc Analog to digital encoder
US3544800A (en) * 1968-11-20 1970-12-01 Quantic Ind Inc Optical apparatus for encoding angular movement of a rotating shaft
DE1814785A1 (de) * 1968-12-14 1970-06-25 Johannes Heidenhain Feinmechan Zaehlanordnung
BE756467A (fr) * 1969-09-24 1971-03-22 Philips Nv Dispositif pour aligner des objets, comportant une source lumineuse, unsysteme de detection photosensible et deux porteurs pour configuration
JPS5047528A (ja) * 1973-08-27 1975-04-28
SE379241B (ja) * 1974-01-15 1975-09-29 Aga Ab
US4037161A (en) * 1974-07-22 1977-07-19 Baird-Atomic, Inc. Ratio detector
DE2540412C3 (de) * 1975-09-11 1987-01-22 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementales Meßsystem
US4078173A (en) * 1976-06-24 1978-03-07 Pertec Computer Corporation Light amplitude control system for position and motion transducers
GB1527414A (en) 1976-06-24 1978-10-04 Brown Tractors Ltd Epicyclic gearing
DE2650422C2 (de) * 1976-11-03 1979-05-10 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut AbstandsmeBgerät
DE2732954C2 (de) * 1977-07-21 1979-07-05 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementales Lagemeßsystem
DE2811807A1 (de) * 1978-03-16 1979-09-20 Joachim Dr Ing Wernicke Digital-absoluter winkelkodierer nach dem nonius-prinzip

Also Published As

Publication number Publication date
JPS5698604A (en) 1981-08-08
AT385124B (de) 1988-02-25
DE2952106A1 (de) 1981-07-02
IT8012759A0 (it) 1980-12-19
DE2952106C2 (de) 1982-11-04
FR2473171A1 (fr) 1981-07-10
IT1136225B (it) 1986-08-27
GB2067282A (en) 1981-07-22
ATA579480A (de) 1987-07-15
GB2067282B (en) 1983-11-16
CH649629A5 (de) 1985-05-31
US4403859A (en) 1983-09-13
FR2473171B1 (ja) 1985-03-08

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