JPH0318163U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0318163U JPH0318163U JP7868589U JP7868589U JPH0318163U JP H0318163 U JPH0318163 U JP H0318163U JP 7868589 U JP7868589 U JP 7868589U JP 7868589 U JP7868589 U JP 7868589U JP H0318163 U JPH0318163 U JP H0318163U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- held
- utility
- scope
- heater body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 claims 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図及び第２図は本考案の実施例で用いた真
空蒸着用ヒータであり、第１図ａ及び第２図ａは
斜視図、第１図ｂ及び第２図ｂは左側面図である
。第３図は比較例で用いた従来の真空蒸着用ヒー
タであり、第３図ａは斜視図、第３図ｂは左側面
図である。 １……バネ質クランプ、２……クランプ台、３
……ネジ、４……ヒータ本体、５……キヤビテイ
ー、６……リード線、７……電極、８……バネ質
クランプ下部足、９……スリツト、１′……クラ
ンプ上板、２′……クランプ下板、３′……ネジ
、４′……ヒータ本体、５′……キヤビテイー、
６′……リード線、７′……電極。
空蒸着用ヒータであり、第１図ａ及び第２図ａは
斜視図、第１図ｂ及び第２図ｂは左側面図である
。第３図は比較例で用いた従来の真空蒸着用ヒー
タであり、第３図ａは斜視図、第３図ｂは左側面
図である。 １……バネ質クランプ、２……クランプ台、３
……ネジ、４……ヒータ本体、５……キヤビテイ
ー、６……リード線、７……電極、８……バネ質
クランプ下部足、９……スリツト、１′……クラ
ンプ上板、２′……クランプ下板、３′……ネジ
、４′……ヒータ本体、５′……キヤビテイー、
６′……リード線、７′……電極。
Claims (1)
- 導電性セラミツクス質ヒータ本体４をバネ質ク
ランプ１で狭持してなることを特徴とする真空蒸
着用ヒータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7868589U JPH0318163U (ja) | 1989-07-05 | 1989-07-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7868589U JPH0318163U (ja) | 1989-07-05 | 1989-07-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0318163U true JPH0318163U (ja) | 1991-02-22 |
Family
ID=31622169
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7868589U Pending JPH0318163U (ja) | 1989-07-05 | 1989-07-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0318163U (ja) |
-
1989
- 1989-07-05 JP JP7868589U patent/JPH0318163U/ja active Pending