JPH03184015A - 光変調器 - Google Patents
光変調器Info
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- JPH03184015A JPH03184015A JP32461189A JP32461189A JPH03184015A JP H03184015 A JPH03184015 A JP H03184015A JP 32461189 A JP32461189 A JP 32461189A JP 32461189 A JP32461189 A JP 32461189A JP H03184015 A JPH03184015 A JP H03184015A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
光変調器に関し、
高速駆動の外部光変調において、動作電圧や変調帯域な
どの変調器特性を劣化させることなく変調器動作点を制
御することを目的とし、平面に加工した電気光学効果を
有する基板上に、第１および第２の分岐光導波路を有す
る光導波路を設け、前記第１の分岐光導波路と第２の分
岐光導波路を伝播する光の間に位相差を生じさせるよう
に、信号電極および接地電極を配設してなるマツハツエ
ンダ型光変調器において、前記２つの分岐光導波路のい
ずれか一方の、位相変調部を構成する分岐光導波路中央
部の平行光導波路部分を除く分岐光導波路部分に湾曲部
を形成して、前記第１の分岐光導波路と第２の分岐光導
波路の間に光路長差を生じさせるように光変調器を構成
する。
どの変調器特性を劣化させることなく変調器動作点を制
御することを目的とし、平面に加工した電気光学効果を
有する基板上に、第１および第２の分岐光導波路を有す
る光導波路を設け、前記第１の分岐光導波路と第２の分
岐光導波路を伝播する光の間に位相差を生じさせるよう
に、信号電極および接地電極を配設してなるマツハツエ
ンダ型光変調器において、前記２つの分岐光導波路のい
ずれか一方の、位相変調部を構成する分岐光導波路中央
部の平行光導波路部分を除く分岐光導波路部分に湾曲部
を形成して、前記第１の分岐光導波路と第２の分岐光導
波路の間に光路長差を生じさせるように光変調器を構成
する。
また、前記光導波路の光入射側部分と光出射側部分を、
位相変調部を構成する分岐光導波路中央部の平行光導波
路部分に対して、両方ともに同じ方向に傾けて形成し、
前記第１の分岐光導波路と第２の分岐光導波路の間に光
路長差を生じさせるように光変調器を構成してもよい。
位相変調部を構成する分岐光導波路中央部の平行光導波
路部分に対して、両方ともに同じ方向に傾けて形成し、
前記第１の分岐光導波路と第２の分岐光導波路の間に光
路長差を生じさせるように光変調器を構成してもよい。
本発明は、高速で光変調を行うための外部光変調器の光
導波路の構成に関する。
導波路の構成に関する。
最近の光通信システムの光送信系において、たとえば、
１．６ ＧＨ２程度までの光通信システムにおいては、
レーザダイオード（ＬＤ）を直接変調する方式を用いて
きたが、変調周波数がより高くなると変調光波長の時間
的微小変動、いわゆる、チャーピング現象が起こり高速
化と長距離通信への限界となる。
１．６ ＧＨ２程度までの光通信システムにおいては、
レーザダイオード（ＬＤ）を直接変調する方式を用いて
きたが、変調周波数がより高くなると変調光波長の時間
的微小変動、いわゆる、チャーピング現象が起こり高速
化と長距離通信への限界となる。
一方、今後ますます大容量・長距離通信の要求が強まっ
てくるので、より高速・低駆動電圧で。
てくるので、より高速・低駆動電圧で。
しかも、変調器動作点が制御できる外部変調器の開発が
求められている。
求められている。
高速光変調方式としては、半導体レーザ光を外、部で変
調する外部変調方式がよく知られている。
調する外部変調方式がよく知られている。
とくに、電気光学効果を有する基板上に分岐光導波路を
設け、進行波電極を用いて駆動するマツハツエンダ型光
変調器が有力視されている。
設け、進行波電極を用いて駆動するマツハツエンダ型光
変調器が有力視されている。
第３図は光変調器の基本構成例を示す図で、同図（イ）
は平面図で、主として基板上の電極、導波路配置を示し
、同図（ロ）はＹ −Ｙ’断面図である。図中、１は電
気光学効果を有する基板、２０は光導波路で中間に分岐
光導波路２０ａ 、 ２０ｂが形成されている。この光
導波路は通常基板の表面にＴｉなどの金属を、光導波路
部分だけに選択的に拡散させ、その部分の屈折率を回り
の部分よりも少し大きくなるようにしである。３は信号
電極、４は接地電極である。５は光導波路上の金属電極
層への光の吸収を小さくするためのバッファ層で９通常
、ＳｉＯ２などの薄膜が用いられている。
は平面図で、主として基板上の電極、導波路配置を示し
、同図（ロ）はＹ −Ｙ’断面図である。図中、１は電
気光学効果を有する基板、２０は光導波路で中間に分岐
光導波路２０ａ 、 ２０ｂが形成されている。この光
導波路は通常基板の表面にＴｉなどの金属を、光導波路
部分だけに選択的に拡散させ、その部分の屈折率を回り
の部分よりも少し大きくなるようにしである。３は信号
電極、４は接地電極である。５は光導波路上の金属電極
層への光の吸収を小さくするためのバッファ層で９通常
、ＳｉＯ２などの薄膜が用いられている。
信号電極３と接地電極４は、バッファ層５を介して先導
波路上に、Ａｕなとの金属を蒸着あるいはメツキによっ
て形成している。
波路上に、Ａｕなとの金属を蒸着あるいはメツキによっ
て形成している。
いま、たとえば、図示してない半導体レーザからの直流
光が左側の光導波路２０から入り、分岐光導波路２０ａ
、 ２０ｂで２つに分けられ、そこを通過する間に、
信号電極３に高周波変調信号源６から変調信号電圧を印
加すると、基板上に設けられた前記分枝光導波路２０ａ
、２０ｂにおける電気光学効果によって分岐された両光
に位相差が生じる。この両光を再び合波点で合流させて
右側の光導波路２０の光出射端から変調された光信号出
力を取り出し、こ〜には図示してない光検知器で受光し
て電気信号に変換す゛るように構成されている。なお、
Ｒ？は終端抵抗である。
光が左側の光導波路２０から入り、分岐光導波路２０ａ
、 ２０ｂで２つに分けられ、そこを通過する間に、
信号電極３に高周波変調信号源６から変調信号電圧を印
加すると、基板上に設けられた前記分枝光導波路２０ａ
、２０ｂにおける電気光学効果によって分岐された両光
に位相差が生じる。この両光を再び合波点で合流させて
右側の光導波路２０の光出射端から変調された光信号出
力を取り出し、こ〜には図示してない光検知器で受光し
て電気信号に変換す゛るように構成されている。なお、
Ｒ？は終端抵抗である。
第４図は光変調器の動作特性を示す図で、縦軸には変調
光強度を、横軸には印加電圧をとっである。すなわち、
前記第３図に示した分岐光導波路２０ａ 、 ２０ｂに
おける両光の位相差がＯおよびπになるように駆動電圧
（Ｏおよび■π）を印加すれば、実線で示した光強度特
性から光信号出力は０Ｎ−ＯＦＦのパルス信号として得
られるのである。
光強度を、横軸には印加電圧をとっである。すなわち、
前記第３図に示した分岐光導波路２０ａ 、 ２０ｂに
おける両光の位相差がＯおよびπになるように駆動電圧
（Ｏおよび■π）を印加すれば、実線で示した光強度特
性から光信号出力は０Ｎ−ＯＦＦのパルス信号として得
られるのである。
一方、光変調器として実際に使用する場合に、動作点を
シフトさせて、たとえば、第４図の破線で示したような
変調特性を持たせるようにしたいことがある。すなわち
、変調器動作点を制御することが実用上重要となる。
シフトさせて、たとえば、第４図の破線で示したような
変調特性を持たせるようにしたいことがある。すなわち
、変調器動作点を制御することが実用上重要となる。
動作点の制御法には変調電圧にＤＣバイアスを印加する
ことが考えられるが、大巾な動作点シフトに対しては大
きなバイアス電圧が必要となり、動作点の経時変化、い
わゆる、ＤＣドリフトが発生するという問題がある。
ことが考えられるが、大巾な動作点シフトに対しては大
きなバイアス電圧が必要となり、動作点の経時変化、い
わゆる、ＤＣドリフトが発生するという問題がある。
これに対して、分岐光導波路２０ａ 、 ２０ｂ間に光
路長差を持たせる非対称な導波路構造を用いる方法が提
案されている。
路長差を持たせる非対称な導波路構造を用いる方法が提
案されている。
第５図は従来の動作点制御型分岐光導波路を有する光変
調器の例を示す図である。
調器の例を示す図である。
この場合、分岐光導波路の一方、たとえば、分岐光導波
路２”ａを光導波路２”の入出射ライン、すなわち、Ｘ
−Ｘ”ラインから引き離して非対称にすることにより、
２つの分岐光導波路間に光路長差を生じさせ、変調器動
作点を制御するようにしている。
路２”ａを光導波路２”の入出射ライン、すなわち、Ｘ
−Ｘ”ラインから引き離して非対称にすることにより、
２つの分岐光導波路間に光路長差を生じさせ、変調器動
作点を制御するようにしている。
しかし、上記従来の非対称な導波路構造を用いる光変調
器においては、たとえば、分岐光導波路２′ａを光導波
路２”の入出射ライン、すなわち、Ｘ−Ｘ”ラインから
引き離して配置しなければならず、必然的に分岐光導波
路２”ａ、２”ｂ間の間隔ｄ１は従来の対称配置の場合
のｄｏよりも大きくなり、変調電圧の上昇を招いたり、
変調帯域が低下するなどの問題を生じており、その解決
が求められていた。
器においては、たとえば、分岐光導波路２′ａを光導波
路２”の入出射ライン、すなわち、Ｘ−Ｘ”ラインから
引き離して配置しなければならず、必然的に分岐光導波
路２”ａ、２”ｂ間の間隔ｄ１は従来の対称配置の場合
のｄｏよりも大きくなり、変調電圧の上昇を招いたり、
変調帯域が低下するなどの問題を生じており、その解決
が求められていた。
上記の課題は、平面に加工した電気光学効果を有する基
板ｌ上に、第１および第２の分岐光導波路２ａ、２ｂを
有する先導波路２を設け、前記第１の分岐光導波路２ａ
と第２の分岐光導波路２ｂを伝播する光の間に位相差を
生じさせるように、信号電極３および接地電極４を配設
してなるマツハツエンダ型光変調器において、前記２つ
の分岐光導波路２ａ、２ｂのいずれか一方の、位相変調
部を構成する分岐光導波路中央部の平行光導波路部分を
除く分岐光導波路部分に湾曲部２ａ ＋ ＋ ２ａ ２
を形成して、前記第１の分岐光導波路２ａと第２の分岐
光導波路２ｂの間に光路長差を生じさせた光変調器によ
って解決することができる。また、前記光導波路２の光
入射側部分と光出射側部分を、位相変調部を構成する分
岐光導波路中央部の平行光導波路部分２ａｔ＋２ｂｚに
対して、両方ともに同じ方向に傾けて形成し、前記第１
の分岐光導波路２ａと第２の分岐光導波路２ｂの間に光
路長差を生じさせた光変調器によっても解決することが
できる。
板ｌ上に、第１および第２の分岐光導波路２ａ、２ｂを
有する先導波路２を設け、前記第１の分岐光導波路２ａ
と第２の分岐光導波路２ｂを伝播する光の間に位相差を
生じさせるように、信号電極３および接地電極４を配設
してなるマツハツエンダ型光変調器において、前記２つ
の分岐光導波路２ａ、２ｂのいずれか一方の、位相変調
部を構成する分岐光導波路中央部の平行光導波路部分を
除く分岐光導波路部分に湾曲部２ａ ＋ ＋ ２ａ ２
を形成して、前記第１の分岐光導波路２ａと第２の分岐
光導波路２ｂの間に光路長差を生じさせた光変調器によ
って解決することができる。また、前記光導波路２の光
入射側部分と光出射側部分を、位相変調部を構成する分
岐光導波路中央部の平行光導波路部分２ａｔ＋２ｂｚに
対して、両方ともに同じ方向に傾けて形成し、前記第１
の分岐光導波路２ａと第２の分岐光導波路２ｂの間に光
路長差を生じさせた光変調器によっても解決することが
できる。
本発明の構成によれば、位相変調部、すなわち、変調用
電極形成部を構成する分岐光導波路中央部の平行光導波
路部分２ａ□２ｂｚの間隔ｄ０を従来の対称導波路配置
の場合と同じにしたま＼、分岐光導波路２ａ、２ｂ間の
光路長差を変化させることができるので、半波長電圧（
Ｖπ）の増大や変調帯域の劣化を招くことなく、変調器
動作点を巾広く制御することができる。
電極形成部を構成する分岐光導波路中央部の平行光導波
路部分２ａ□２ｂｚの間隔ｄ０を従来の対称導波路配置
の場合と同じにしたま＼、分岐光導波路２ａ、２ｂ間の
光路長差を変化させることができるので、半波長電圧（
Ｖπ）の増大や変調帯域の劣化を招くことなく、変調器
動作点を巾広く制御することができる。
第１図は本発明の実施例を示す図で、同図（イ）は平面
図、同図（ロ）はＹ−Ｙ’断面図である。
図、同図（ロ）はＹ−Ｙ’断面図である。
基板１には大きさ４０ｍｍＸ２ ｍｍ、厚さ１ｍｍのＬ
ｉＮｂＯ３のＺ板の表面を鏡面研磨して使用した。
ｉＮｂＯ３のＺ板の表面を鏡面研磨して使用した。
この基板の上にＴｉを約１１００ｎの厚さに真空蒸着し
、分岐光導波路２ａおよび２ｂを含む先導波路２に相当
する部分にＴｉが残るように通常のホトエツチング法で
処理したのち、約１０５００Ｃ，酸素中で１０時間加熱
しＴｉをＬｉＮｂ０．中に熱拡散して深さ約６μｍの分
岐光導波路２ａおよび２ｂを含む光導波路２を形成した
。
、分岐光導波路２ａおよび２ｂを含む先導波路２に相当
する部分にＴｉが残るように通常のホトエツチング法で
処理したのち、約１０５００Ｃ，酸素中で１０時間加熱
しＴｉをＬｉＮｂ０．中に熱拡散して深さ約６μｍの分
岐光導波路２ａおよび２ｂを含む光導波路２を形成した
。
２００は先導波路２の分岐点、２１０は同じく合波点で
ある。分岐点２００と合波点２１０の間隔は３０ｍｍ、
光導波路の幅は全て７μｍになるように調整し、位相変
調部、すなわち、変調用電極形成部を構成する分岐光導
波路中央部の平行光導波路部分２ａｚ、２ｂｚの間隔ｄ
ｏ＝１５μｍとした。
ある。分岐点２００と合波点２１０の間隔は３０ｍｍ、
光導波路の幅は全て７μｍになるように調整し、位相変
調部、すなわち、変調用電極形成部を構成する分岐光導
波路中央部の平行光導波路部分２ａｚ、２ｂｚの間隔ｄ
ｏ＝１５μｍとした。
分岐光導波路の分岐部２ａ＋ と２ｂ、が光導波路２に
対してなす開き角θは、分岐光の強さを等しくするため
にいずれも０．５°とし、合波点２１０においても全く
同様の関係になるようにした。
対してなす開き角θは、分岐光の強さを等しくするため
にいずれも０．５°とし、合波点２１０においても全く
同様の関係になるようにした。
分岐光導波路部分の湾曲部２ａ＋＋２ａ３は平行光導波
路部分２ａ□２ｂｚの両側に円弧状になるように形威し
その曲率半径は１０９ｍｍとした。
路部分２ａ□２ｂｚの両側に円弧状になるように形威し
その曲率半径は１０９ｍｍとした。
一方、分岐光導波路２ｂの方は分岐点側９合波点側とも
直線導波路２ｂ、２ｂｓとし、前記第３図に示した対称
電極配置の場合の片側に準じて形成した。
直線導波路２ｂ、２ｂｓとし、前記第３図に示した対称
電極配置の場合の片側に準じて形成した。
次いで、バッファ層としてＳｉｎｇを５００ｎｍの厚さ
にスパッタ法で形成した。
にスパッタ法で形成した。
信号電極３はＴ ｉ −Ａ ｕ合金膜を蒸着したのち、
分岐光導波路２ａおよび２ｂの上に幅１０μｍの電極形
状にパターンエツチングし、さらに、その上に厚さ３μ
ｍの＾Ｕをめっきにより付着形成した。接地電極４はで
きるだけ大きくなるように設計し、信号電極３と同様の
プロセスで信号電極形成と同時形成した。
分岐光導波路２ａおよび２ｂの上に幅１０μｍの電極形
状にパターンエツチングし、さらに、その上に厚さ３μ
ｍの＾Ｕをめっきにより付着形成した。接地電極４はで
きるだけ大きくなるように設計し、信号電極３と同様の
プロセスで信号電極形成と同時形成した。
なお、前記の諸図面で説明したものと同等の部分につい
ては同一符号を付し、かつ、同等部分についての説明は
省略する。
ては同一符号を付し、かつ、同等部分についての説明は
省略する。
以上説明した実施例において、波長１．５５μｍのレー
ザ光を光導波路２に入射させたところ、分岐光導波路２
ａと２ｂ間の光路長差が丁度半波長となり第４図の破線
で示すような半波長電圧だけ動作点がシフトした光変調
器が得られた。
ザ光を光導波路２に入射させたところ、分岐光導波路２
ａと２ｂ間の光路長差が丁度半波長となり第４図の破線
で示すような半波長電圧だけ動作点がシフトした光変調
器が得られた。
上記実施例では、湾曲部２ａ＋＋２ａ３の形を円弧とし
たが、これに限定されるものでなく他の湾曲形状を用い
てもよいことは言うまでもない。
たが、これに限定されるものでなく他の湾曲形状を用い
てもよいことは言うまでもない。
また、湾曲部は平行先導波路部分２ａｔ＋２ｂｚの両側
でなく片側だけに形成し、もう一方は直線にしておいて
もよく、その選択は動作点シフトの大きさにより適宜決
めればよい。
でなく片側だけに形成し、もう一方は直線にしておいて
もよく、その選択は動作点シフトの大きさにより適宜決
めればよい。
第２図は本発明の他の実施例を示す図で、同図（イ）は
平面図、同図（口〉はＹ−Ｙ’断面図である。
平面図、同図（口〉はＹ−Ｙ’断面図である。
本実施例では、光導波路２°の光入射側部分と光出射側
部分を、位相変調部を構成する分岐光導波路中央部の平
行光導波路部分２＋ａ□２“ｂ２に対して二両方ともに
同じ方向に角度φだけ傾けて形成し、第１の分岐光導波
路２′ａと第２の分岐光導波路２゜ｂの間に光路長差を
生じさせるようにした例である。
部分を、位相変調部を構成する分岐光導波路中央部の平
行光導波路部分２＋ａ□２“ｂ２に対して二両方ともに
同じ方向に角度φだけ傾けて形成し、第１の分岐光導波
路２′ａと第２の分岐光導波路２゜ｂの間に光路長差を
生じさせるようにした例である。
前記第１図で説明した実施例と同様に、光導波路の幅は
全て７μｍになるように調整し、位相変調部、すなわち
、変調用電極形成部を構成する分岐光導波路中央部の平
行光導波路部分２“ａ□２゛ｂ！の間隔もｄＯ＝１５μ
ｍとした。
全て７μｍになるように調整し、位相変調部、すなわち
、変調用電極形成部を構成する分岐光導波路中央部の平
行光導波路部分２“ａ□２゛ｂ！の間隔もｄＯ＝１５μ
ｍとした。
また、分岐光導波路２′ａ１と２”ｂ、が光導波路２°
に対してなす開き角θは、分岐光の強さを等しくするた
めにいずれも０．５°とし、音波点２１０においても全
く同様の関係になるようにした。
に対してなす開き角θは、分岐光の強さを等しくするた
めにいずれも０．５°とし、音波点２１０においても全
く同様の関係になるようにした。
光導波路２°の光入射側部分と光出射側部分の傾き角φ
＝０．６７３°として、前記実施例と同様にして光変調
器を形成した。その結果、波長１．５５μｍのレーザ光
を光導波路２゛に入射させたところ、分岐光導波路２”
ａと２′ｂ間の光路長差が丁度半波長となり、第４図の
破線で示すような半波長電圧だけ動作点がシフトした光
変調器が得られた。
＝０．６７３°として、前記実施例と同様にして光変調
器を形成した。その結果、波長１．５５μｍのレーザ光
を光導波路２゛に入射させたところ、分岐光導波路２”
ａと２′ｂ間の光路長差が丁度半波長となり、第４図の
破線で示すような半波長電圧だけ動作点がシフトした光
変調器が得られた。
上記実施例では平行光導波路部分２″ａ□２゛ｂ２の両
側の光入射側部分と光出射側部分を、両方とも平行光導
波路部分２′ａ□２′ｂ、に対して傾けたが、それらの
一方だけを傾け、もう一方は平行にしておいてもよく、
その選択は動作点シフトの大きさにより適宜決めればよ
い。
側の光入射側部分と光出射側部分を、両方とも平行光導
波路部分２′ａ□２′ｂ、に対して傾けたが、それらの
一方だけを傾け、もう一方は平行にしておいてもよく、
その選択は動作点シフトの大きさにより適宜決めればよ
い。
以上述べた実施例は例を示したもので、本発明の趣旨に
添うものである限り、使用する素材や構成なと適宜好ま
しいもの、あるいはその組み合わせを用いることができ
ることは言うまでもない。
添うものである限り、使用する素材や構成なと適宜好ま
しいもの、あるいはその組み合わせを用いることができ
ることは言うまでもない。
以上説明したように、本発明の構成によれば、位相変調
部、すなわち、変調用電極形成部を構成する分岐光導波
路中央部の平行先導波路部分２ａ□２ｂｚの間隔ｄ０を
従来の対称導波路配置の場合と同じにしたま＼、分岐光
導波路２ａ、２ｂ間の光路長差を変化させることができ
るので、半波長電圧（Ｖπ）の増大や変調帯域の劣化を
招くことなく、変調器動作点を巾広く制御することがで
き、高速光変調器の性能および品質の向上に寄与すると
ころが極めて大きい。
部、すなわち、変調用電極形成部を構成する分岐光導波
路中央部の平行先導波路部分２ａ□２ｂｚの間隔ｄ０を
従来の対称導波路配置の場合と同じにしたま＼、分岐光
導波路２ａ、２ｂ間の光路長差を変化させることができ
るので、半波長電圧（Ｖπ）の増大や変調帯域の劣化を
招くことなく、変調器動作点を巾広く制御することがで
き、高速光変調器の性能および品質の向上に寄与すると
ころが極めて大きい。
第１図は本発明の実施例を示す図、
第２図は本発明の他の実施例を示す図、第３図は光変調
器の基本構成例を示す図、第４図は光変調器の動作特性
を示す図、第５図は従来の動作点制御型分岐光導波路を
有する光変調器の例を示す図である。 図において、 １は基板、 ２ （２ａ 、 ２ｂ）は光導波路、 ３は信号電極、 ４は接地電極、 ５はバッファ層である。 （イ） 干 面 図 ２α（２α＋、２（１ｚ、２α３）：＠Ｉの分峡尤専凍
路２ｂ （２ｂ＋ 、 ２ｂ２．２ｂ３）： 第２／）
分吠之碑波路木発明の夫掩例を示Ｔ図 第１記 （イ）平 面 因 （ロ） Ｙ−Ｙ’ 断面図 本発明の４Ｉ世の実権１列表示１回 事 図 を変調器の基本構Ｘ伊・１Σ表示図 第３燥 を変調器の？ｌ）乍特・注１示す配 量 ４ 図 １．２″ａ 従来のＩＩＩＪ１’Ｆ白、齢１旬型分岐光導波鍔を有す
４社交調器カヅ・１１木オ図第５図
器の基本構成例を示す図、第４図は光変調器の動作特性
を示す図、第５図は従来の動作点制御型分岐光導波路を
有する光変調器の例を示す図である。 図において、 １は基板、 ２ （２ａ 、 ２ｂ）は光導波路、 ３は信号電極、 ４は接地電極、 ５はバッファ層である。 （イ） 干 面 図 ２α（２α＋、２（１ｚ、２α３）：＠Ｉの分峡尤専凍
路２ｂ （２ｂ＋ 、 ２ｂ２．２ｂ３）： 第２／）
分吠之碑波路木発明の夫掩例を示Ｔ図 第１記 （イ）平 面 因 （ロ） Ｙ−Ｙ’ 断面図 本発明の４Ｉ世の実権１列表示１回 事 図 を変調器の基本構Ｘ伊・１Σ表示図 第３燥 を変調器の？ｌ）乍特・注１示す配 量 ４ 図 １．２″ａ 従来のＩＩＩＪ１’Ｆ白、齢１旬型分岐光導波鍔を有す
４社交調器カヅ・１１木オ図第５図
Claims (2)
- （１）平面に加工した電気光学効果を有する基板（１）
上に、第１および第２の分岐光導波路（２ａ，２ｂ）を
有する光導波路（２）を設け、前記第１の分岐光導波路
（２ａ）と第２の分岐光導波路（２ｂ）を伝播する光の
間に位相差を生じさせるように、信号電極（３）および
接地電極（４）を配設してなるマッハツェンダ型光変調
器において、 前記２つの分岐光導波路（２ａ，２ｂ）のいずれか一方
の、位相変調部を構成する分岐光導波路中央部の平行光
導波路部分を除く分岐光導波路部分に湾曲部（２ａ＿１
，２ａ＿３）を形成して、前記第１の分岐光導波路（２
ａ）と第２の分岐光導波路（２ｂ）の間に光路長差を生
じさせることを特徴とした光変調器。 - （２）平面に加工した電気光学効果を有する基板（１）
上に、第１および第２の分岐光導波路（２′ａ，２′ｂ
）を有する光導波路（２′）を設け、前記第１の分岐光
導波路（２′ａ）と第２の分岐光導波路（２′ｂ）を伝
播する光の間に位相差を生じさせるように、信号電極（
３）および接地電極（４）を配設してなるマッハツェン
ダ型光変調器において、 前記光導波路（２′）の光入射側部分と光出射側部分を
、位相変調部を構成する分岐光導波路中央部の平行光導
波路部分（２′ａ＿２，２′ｂ＿２）に対して、両方と
もに同じ方向に傾けて形成し、前記第１の分岐光導波路
（２′ａ）と第２の分岐光導波路（２′ｂ）の間に光路
長差を生じさせることを特徴とした光変調器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1324611A JP2817295B2 (ja) | 1989-12-14 | 1989-12-14 | 光変調器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1324611A JP2817295B2 (ja) | 1989-12-14 | 1989-12-14 | 光変調器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03184015A true JPH03184015A (ja) | 1991-08-12 |
| JP2817295B2 JP2817295B2 (ja) | 1998-10-30 |
Family
ID=18167753
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1324611A Expired - Fee Related JP2817295B2 (ja) | 1989-12-14 | 1989-12-14 | 光変調器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2817295B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005077987A (ja) * | 2003-09-03 | 2005-03-24 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 光変調器 |
| JP2014112168A (ja) * | 2012-12-05 | 2014-06-19 | Fujitsu Optical Components Ltd | 光変調器及び光送信機 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6028621A (ja) * | 1983-07-27 | 1985-02-13 | Fujitsu Ltd | 光変調器および光周波数制御器 |
| JPH0321916A (ja) * | 1989-06-19 | 1991-01-30 | Japan Aviation Electron Ind Ltd | 光変調器 |
-
1989
- 1989-12-14 JP JP1324611A patent/JP2817295B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6028621A (ja) * | 1983-07-27 | 1985-02-13 | Fujitsu Ltd | 光変調器および光周波数制御器 |
| JPH0321916A (ja) * | 1989-06-19 | 1991-01-30 | Japan Aviation Electron Ind Ltd | 光変調器 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005077987A (ja) * | 2003-09-03 | 2005-03-24 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 光変調器 |
| JP2014112168A (ja) * | 2012-12-05 | 2014-06-19 | Fujitsu Optical Components Ltd | 光変調器及び光送信機 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2817295B2 (ja) | 1998-10-30 |
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|---|---|---|---|
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