JPS6028621A - 光変調器および光周波数制御器 - Google Patents
光変調器および光周波数制御器Info
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- JPS6028621A JPS6028621A JP13572683A JP13572683A JPS6028621A JP S6028621 A JPS6028621 A JP S6028621A JP 13572683 A JP13572683 A JP 13572683A JP 13572683 A JP13572683 A JP 13572683A JP S6028621 A JPS6028621 A JP S6028621A
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- Japan
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- waveguide
- waveguides
- optical
- path length
- phase
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/21—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference
- G02F1/225—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference in an optical waveguide structure
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2203/00—Function characteristic
- G02F2203/20—Intrinsic phase difference, i.e. optical bias, of an optical modulator; Methods for the pre-set thereof
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明は光変調器および光周波数制御器に係シ、よシ詳
しくは、安定した光振幅変調器および単一周波数の入力
光から安定した周波数差を持つ2つの光を与える光周波
数制御器に関する。
しくは、安定した光振幅変調器および単一周波数の入力
光から安定した周波数差を持つ2つの光を与える光周波
数制御器に関する。
従来技術と問題点
光周波数を制御することによって光ヘテロゲイン計測な
どが可能となるが、それらを精密に効率良く行なうには
安定した周波数差を持つ2つの光を得ることが必要であ
る。従来、このような光を与える装置(光周波数制御器
)ではゼーマン効果あるいは超音波による光回折を利用
して周波数差のある2つの光を発生させていた。
どが可能となるが、それらを精密に効率良く行なうには
安定した周波数差を持つ2つの光を得ることが必要であ
る。従来、このような光を与える装置(光周波数制御器
)ではゼーマン効果あるいは超音波による光回折を利用
して周波数差のある2つの光を発生させていた。
ゼーマン効果を利用した光周波数制御器では、レーザに
磁界を加えてゼーマン分離を起させ、周波数の異なる2
つの光を右回シ、左回シの円偏光として取シ出し、それ
から1/4波長板、偏光シリ゛ズムで分離することによ
って周波数が異なる2つの光を得る。しかし、この光周
波数制御器では、得られる2つの光の周波数の差が磁界
に依存すること、磁界を任意に設定することが困難であ
るので周波数差に限界が生じること、直線偏光を放出す
る半導体レーザを適用できないこと、1/4波長板およ
び偏光プリズムを用いているので装置が小型化できない
こと、等の問題がある。
磁界を加えてゼーマン分離を起させ、周波数の異なる2
つの光を右回シ、左回シの円偏光として取シ出し、それ
から1/4波長板、偏光シリ゛ズムで分離することによ
って周波数が異なる2つの光を得る。しかし、この光周
波数制御器では、得られる2つの光の周波数の差が磁界
に依存すること、磁界を任意に設定することが困難であ
るので周波数差に限界が生じること、直線偏光を放出す
る半導体レーザを適用できないこと、1/4波長板およ
び偏光プリズムを用いているので装置が小型化できない
こと、等の問題がある。
超音波を利用した光周波数制御器では、レーザ光をハー
フミラ−などで2つに分岐し、その一方の光はそのまま
使用し、そして他方の光を超音波周波数変調器に導き、
ブラック反射条件を利用して周波数変調することによっ
て周波数がもう一方の光と異なる光を得る。しかし、こ
の光周波数制御器では、プラ、り反射条件から設定でき
る周波数差に制限があること、超音波周波数変調器は大
きな駆動電力を必要とするために発熱があシ、その対策
手段が必要であること、等の問題がある。
フミラ−などで2つに分岐し、その一方の光はそのまま
使用し、そして他方の光を超音波周波数変調器に導き、
ブラック反射条件を利用して周波数変調することによっ
て周波数がもう一方の光と異なる光を得る。しかし、こ
の光周波数制御器では、プラ、り反射条件から設定でき
る周波数差に制限があること、超音波周波数変調器は大
きな駆動電力を必要とするために発熱があシ、その対策
手段が必要であること、等の問題がある。
また、こうした光周波数制御器等において使用される光
変調器として、マツノ・ツエンダ干渉器を使ったグツシ
ーゾル形の光路即ち1本の光路を一旦分岐して2本の光
路にしだ後再び1本の光路に合一化した構造の光路にお
いて、その分岐した2本の光経路に対して電界をかけて
屈折率変化を与えて大きさが等しくて符号が逆の位相変
化を生じさせ、かつ2本の分岐路のうち1方の光経路中
に、屈折率の異なる物質を挿入したシ、外部電界等で屈
折率変化を与えて光の位相を変化させ、そしてこれら2
つの光路からの光を合成することによって光の振幅を変
調するものがある。しかし、光路中に屈折率の異なる物
質を挿入する手法はその制御が困難で、特定の位相変化
が得られにくい。また、一方の分岐路に外部電界を加え
て屈折率を変化させる手法は、位相変化がばらつくシ、
余分なiu源を必些とするなどの不都合がある。
変調器として、マツノ・ツエンダ干渉器を使ったグツシ
ーゾル形の光路即ち1本の光路を一旦分岐して2本の光
路にしだ後再び1本の光路に合一化した構造の光路にお
いて、その分岐した2本の光経路に対して電界をかけて
屈折率変化を与えて大きさが等しくて符号が逆の位相変
化を生じさせ、かつ2本の分岐路のうち1方の光経路中
に、屈折率の異なる物質を挿入したシ、外部電界等で屈
折率変化を与えて光の位相を変化させ、そしてこれら2
つの光路からの光を合成することによって光の振幅を変
調するものがある。しかし、光路中に屈折率の異なる物
質を挿入する手法はその制御が困難で、特定の位相変化
が得られにくい。また、一方の分岐路に外部電界を加え
て屈折率を変化させる手法は、位相変化がばらつくシ、
余分なiu源を必些とするなどの不都合がある。
発明の目的
本発明は、以上の如き従来技術に鑑み、安定した光振幅
変調を与える製造容易な光変調器を提供するとともに、
単一周波数の入力光からよシ安定した周波数差を持つ2
つの光を与える光周波数制御器を提供することを目的と
する。
変調を与える製造容易な光変調器を提供するとともに、
単一周波数の入力光からよシ安定した周波数差を持つ2
つの光を与える光周波数制御器を提供することを目的と
する。
発明の構成
そして、本発明は上記目的を達成するために、誘電体基
板の中または上にマツハツエンダ形導波路を形成し、そ
の2本の分岐導波路に電気光学効果、磁気光学効果等を
利用して大きさが等しく符号が逆の屈折率変化を与え得
るように構成し、かつ2本の分岐導波路に、電気光学効
果等で屈折率を変化させない状態で入力光の位相を半波
長相当分変化させるような路長差を持たせて成る光変調
器を提供する。
板の中または上にマツハツエンダ形導波路を形成し、そ
の2本の分岐導波路に電気光学効果、磁気光学効果等を
利用して大きさが等しく符号が逆の屈折率変化を与え得
るように構成し、かつ2本の分岐導波路に、電気光学効
果等で屈折率を変化させない状態で入力光の位相を半波
長相当分変化させるような路長差を持たせて成る光変調
器を提供する。
本発明に依る光変調器では2本の分岐導波路に路長差を
設けることによって光に位相差を与える構造であるため
に、所期の位相差を得ることが容易であシ、かつ得られ
る位相差は安定しておシ、しかも、製造が容易で量産に
向いている。
設けることによって光に位相差を与える構造であるため
に、所期の位相差を得ることが容易であシ、かつ得られ
る位相差は安定しておシ、しかも、製造が容易で量産に
向いている。
本発明に依る光変調器に適用可能な光の種類は特に限定
されるものではない。しかし、一般的によく利用される
としてる光は、例えば、波長6328XのHe−Noレ
ーザ光、波長8500又または13000X、1550
0Xの半導体レーザ光などがある。
されるものではない。しかし、一般的によく利用される
としてる光は、例えば、波長6328XのHe−Noレ
ーザ光、波長8500又または13000X、1550
0Xの半導体レーザ光などがある。
本発明は、前記目的を達成するために、同様にして、誘
電体基板の中または上に本発明による上記光変調器を2
個形成するとともに、入力光を2つに分岐して該2つの
光変調器に入力し、該2つの光変調器からの出力をそれ
ぞれ2つに分岐し、その分岐された出力2組をそれぞれ
四分の一波長に相当する位相差±90°を持たせて合成
するように導波路網を形成した光周波数制御器を提供す
る。
電体基板の中または上に本発明による上記光変調器を2
個形成するとともに、入力光を2つに分岐して該2つの
光変調器に入力し、該2つの光変調器からの出力をそれ
ぞれ2つに分岐し、その分岐された出力2組をそれぞれ
四分の一波長に相当する位相差±90°を持たせて合成
するように導波路網を形成した光周波数制御器を提供す
る。
以下、本発明の実施例を用いて詳述する。
発明の実施例
第1図は本発明の実施例の光変調器を示す。第2図は第
1図の線分■−■で切った断面図である。
1図の線分■−■で切った断面図である。
寸法5X15m++程度、厚さ0.5wII++程度で
結晶C軸を厚さ方向とするニオブ酸リチウム(LtNb
o5)結晶板1の主要平面上にチタンを厚さ数100X
程度蒸着した後i4ターニングし、950℃で数時間熱
処理してチタンを熱拡散させ、導波路2,3゜4.5を
形成する。次いで、2つの分岐された導波路3,4の直
上にバッファ一層としてアルミナを被着した後、アルミ
ニウム電極6,7を被着する。バッファ一層の形成は任
意である。
結晶C軸を厚さ方向とするニオブ酸リチウム(LtNb
o5)結晶板1の主要平面上にチタンを厚さ数100X
程度蒸着した後i4ターニングし、950℃で数時間熱
処理してチタンを熱拡散させ、導波路2,3゜4.5を
形成する。次いで、2つの分岐された導波路3,4の直
上にバッファ一層としてアルミナを被着した後、アルミ
ニウム電極6,7を被着する。バッファ一層の形成は任
意である。
第1図において、入力導波路2は点Bで2つの導波路3
,4に分岐し、それから点Eで合一化して出力導波路5
になる。1つの分岐導波路4はもう1つの分岐導波路3
よシもHe−Neレーザの放出光の結晶中での波長27
68Xの半分に当る1384Xだけ長い路長を有してい
る。導波路2 、3 、4゜5はすべて路幅5〜10I
NL程度である。また、2つの分岐導波路3,4は電極
6,7を形成する部分CD、FGにおいて間隔100μ
m程度の平行な直線をなしている。電極6,7はこの平
行な直線部分の直上に存在し、幅5〜10尾程度、長さ
5−程度である。上記の路長差でこのような電極を形成
した場合BC(BF)の長さとして2燗程度が必要であ
る。尚、入力部A1出力部Hには光ファイバー等を接続
する。
,4に分岐し、それから点Eで合一化して出力導波路5
になる。1つの分岐導波路4はもう1つの分岐導波路3
よシもHe−Neレーザの放出光の結晶中での波長27
68Xの半分に当る1384Xだけ長い路長を有してい
る。導波路2 、3 、4゜5はすべて路幅5〜10I
NL程度である。また、2つの分岐導波路3,4は電極
6,7を形成する部分CD、FGにおいて間隔100μ
m程度の平行な直線をなしている。電極6,7はこの平
行な直線部分の直上に存在し、幅5〜10尾程度、長さ
5−程度である。上記の路長差でこのような電極を形成
した場合BC(BF)の長さとして2燗程度が必要であ
る。尚、入力部A1出力部Hには光ファイバー等を接続
する。
この光変調器にHa−Noレーデが放出する波長632
8Xの光を入力すると、電極6.7に電圧を印加しない
場合、2つの分岐導波路3,4の路長差によって180
0の位相差が生じるので、出力はOとなる。電極6,7
に電圧Vを印加すると、導波路3と導波路4に大きさは
等しいが方向が逆の電界が加わるので電気光学効果によ
って大きさが等しくて符号が逆の屈折率変化を生じ、光
波にkV(kは比例定数)の位相差ができる。こうして
電界によって位相差kvを持たされた光波を点Eで合成
すると、上記の180°の位相差と合わさって!111
1 kVに比例する出力(振幅)を与え、kVがあまシ
大きくない場合にはVに比例する振幅変調がかけられる
ことになる。
8Xの光を入力すると、電極6.7に電圧を印加しない
場合、2つの分岐導波路3,4の路長差によって180
0の位相差が生じるので、出力はOとなる。電極6,7
に電圧Vを印加すると、導波路3と導波路4に大きさは
等しいが方向が逆の電界が加わるので電気光学効果によ
って大きさが等しくて符号が逆の屈折率変化を生じ、光
波にkV(kは比例定数)の位相差ができる。こうして
電界によって位相差kvを持たされた光波を点Eで合成
すると、上記の180°の位相差と合わさって!111
1 kVに比例する出力(振幅)を与え、kVがあまシ
大きくない場合にはVに比例する振幅変調がかけられる
ことになる。
第3図は本発明の実施例である光周波数制御器を示す。
この光周波数制御器も、上記光変調器の製作と同様の手
法で、ニオブ酸リチウム結晶板10にチタンを熱拡散し
て導波路11を形成した後、アルミニウム電極12.1
3,14.15を形成したものである。図中、入力導波
路IJは2つに分岐して導波路J B’およびJ13″
となる。導波路JB’は2つに分岐して導波路B′σσ
ビおよび!3’F’σビとなった後導波路E’!(’に
合一化している。同様にして、導波路JB“は2つに分
岐して導波路B〃σ’TfF!’およびB“rσ′ビと
なった後導波路pj/ f lc合一化しテイル。区間
C’ D’、、 F’ G’ 、 C”D”IF″ぴの
直上に電極12.13,14.15が形成されている。
法で、ニオブ酸リチウム結晶板10にチタンを熱拡散し
て導波路11を形成した後、アルミニウム電極12.1
3,14.15を形成したものである。図中、入力導波
路IJは2つに分岐して導波路J B’およびJ13″
となる。導波路JB’は2つに分岐して導波路B′σσ
ビおよび!3’F’σビとなった後導波路E’!(’に
合一化している。同様にして、導波路JB“は2つに分
岐して導波路B〃σ’TfF!’およびB“rσ′ビと
なった後導波路pj/ f lc合一化しテイル。区間
C’ D’、、 F’ G’ 、 C”D”IF″ぴの
直上に電極12.13,14.15が形成されている。
導波路JB’から導波路tH′’tでと導波路JR”か
ら導波路E!′1f′まではそれぞれ前述した第1図の
光変調器と実質的に同一である。
ら導波路E!′1f′まではそれぞれ前述した第1図の
光変調器と実質的に同一である。
導波路ビ「およびビIr′をそれぞれ2つに分岐し、そ
の1本づつ、即ち、一方はH’にとl(”K、他方はH
’MとfMをそれぞれ合一化して出力導波路KLおよび
MNとしている。ここで導波路H’には導波路EffK
よシもHa−Neレーザーの波長の四分の−だけ路長が
短かい。同様に、導波路fMは導波路πMよシも波長の
四分の−だけ路長が短かい。
の1本づつ、即ち、一方はH’にとl(”K、他方はH
’MとfMをそれぞれ合一化して出力導波路KLおよび
MNとしている。ここで導波路H’には導波路EffK
よシもHa−Neレーザーの波長の四分の−だけ路長が
短かい。同様に、導波路fMは導波路πMよシも波長の
四分の−だけ路長が短かい。
この光周波数制御器の入力側IJに単一周波数ωの光を
入力し、電極12.13にVl==V(11(nΔωt
1電極14.15にV2 =V6ccsΔωt〔式中、
voは2〜3vの一定電圧、Δωは変調周波数、tは時
間を表わす。〕の電圧を同時に印加すると、出力側KL
およびMNに同波数ω十Δωとω−Δωの光が独立して
得られる。この光周波数fii制御器の基本原理の詳細
については、本発明者らが先に提案した特許出願(特願
昭58−76574 )の明細書および図面を参照され
たいが、大略は、単一周波数ωの光を2つに分離し、そ
れらに90’の位相差をつけて変調周波数Δωで振幅変
調し、得られる2つの光を位相差±90’で合成するこ
とによって周波数ω+Δωとω−Δωの光を得るもので
ある。本発明でも採用しているこの提案によれば安定し
た周波数差を持つ光が得られる。本発明では、更に、前
述した光変調器の構造を誘電体結晶中に組み入れること
によって、よ多安定な周波数差を与えかつ小型で製造容
易外光周波数制御器を得る。
入力し、電極12.13にVl==V(11(nΔωt
1電極14.15にV2 =V6ccsΔωt〔式中、
voは2〜3vの一定電圧、Δωは変調周波数、tは時
間を表わす。〕の電圧を同時に印加すると、出力側KL
およびMNに同波数ω十Δωとω−Δωの光が独立して
得られる。この光周波数fii制御器の基本原理の詳細
については、本発明者らが先に提案した特許出願(特願
昭58−76574 )の明細書および図面を参照され
たいが、大略は、単一周波数ωの光を2つに分離し、そ
れらに90’の位相差をつけて変調周波数Δωで振幅変
調し、得られる2つの光を位相差±90’で合成するこ
とによって周波数ω+Δωとω−Δωの光を得るもので
ある。本発明でも採用しているこの提案によれば安定し
た周波数差を持つ光が得られる。本発明では、更に、前
述した光変調器の構造を誘電体結晶中に組み入れること
によって、よ多安定な周波数差を与えかつ小型で製造容
易外光周波数制御器を得る。
尚、以上の実施例では光変調器の2つの分岐導波路の屈
折率を大きさが等しくて符号が逆になるように変化させ
るために、導波路直上に電極を形成して電圧を印加した
(電気光学効果)が、導波路直上に極性が逆の電磁石を
配置して磁気光生動° 果を利用することなども可能で
ある。誘電体結晶の例としてはLiNbO3のほか、L
iTaOxなどがある。導波路の形成法、電極材料の種
類なども上記実施例に限定されない。更に、光変調器あ
るいは光周波数制御器において光に位相差を与えるため
に路長差を設ける場合、典型的には半波長または四分の
一波長の路長差に設定するが、整数波長プラスマイナス
半波長または四分の一波長の路長差を利用してもよい。
折率を大きさが等しくて符号が逆になるように変化させ
るために、導波路直上に電極を形成して電圧を印加した
(電気光学効果)が、導波路直上に極性が逆の電磁石を
配置して磁気光生動° 果を利用することなども可能で
ある。誘電体結晶の例としてはLiNbO3のほか、L
iTaOxなどがある。導波路の形成法、電極材料の種
類なども上記実施例に限定されない。更に、光変調器あ
るいは光周波数制御器において光に位相差を与えるため
に路長差を設ける場合、典型的には半波長または四分の
一波長の路長差に設定するが、整数波長プラスマイナス
半波長または四分の一波長の路長差を利用してもよい。
発明の効果
以上の設問から明らかなように、本発明によシ、安定し
た振幅変調および周波数制御を達成しかつ制御および製
造容易な小型の光変調器および光周波数制御器が提供も
れる。
た振幅変調および周波数制御を達成しかつ制御および製
造容易な小型の光変調器および光周波数制御器が提供も
れる。
第1図は光変調器の平面図、第2図は第1図の線分■−
■で切って見た断面図、第3図は光周波数制御器の平面
図である。 1.10・・・誘電体、2,3,4.5.1.1・・・
導波路、6,7,12,13,14.15・・・電極。
■で切って見た断面図、第3図は光周波数制御器の平面
図である。 1.10・・・誘電体、2,3,4.5.1.1・・・
導波路、6,7,12,13,14.15・・・電極。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (− 1、基板内または基板士又力導波路を2本に分岐し、該
分岐導波路を再び合一化して出力導波路とする導波路網
を形成し、該2本の分岐導波路に対して電気光学効果、
磁気光学効果等を利用して大きさが等しくて符号が逆の
屈折率変化を与え得るように構成し、かつ前記2本の分
岐導波路に路長差を設けて前記屈折率変化がない状態で
入力光の位相をその半波長相当分だけ相違させるように
したことを特徴とする光変調器。 2、基板内または基板上において入力用導波路を第1お
よび第2の導波路に分岐し、該第1の導波路を第3およ
び第4の導波路に分岐し、該第3および第4の導波路を
合一化して第5の導波路とし、該第2の導波路を第6お
よび第7の導波路に分岐し、該第6および第7の導波路
を合一化して第8の導波路とし、該第5の導波路を第9
および第10の導波路に分岐し、該第8の導波路を第1
1および第12の導波路に分岐し、該第9および第11
の導波路を合一化して第1の出力用導波路とし、該第1
0および第12の導波路を合一化して第2の出力用導波
路とする導波路網を形成し、前記第3および第4の導波
路に入力光の位相をその半波長相当分だけ相違させるよ
うな路長差を設け、/ かつ該第3および第4の導波路に対して大きさが等しく
て符号が逆の屈折率変化を与え得るように構成し、前記
第6および第7の導波路に入力光の位相?その半波長相
当分だけ相違させるような路長差を設け、かつ該第6お
よび第7の導波路に対して大きさが等しくて符号が逆の
屈折率変化を与え得るように構成し、前記第9の導波路
に前記第11の導波路に対して入力光の位相をその四分
の一波長相当分だけ進めるような路長差を与え、前記第
10の導波路に前記第12の導波路に対して入力光の位
相をその四分の一波長相当分だけ遅らせるような路長差
を与えたことを特徴とする光周波数制御器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13572683A JPS6028621A (ja) | 1983-07-27 | 1983-07-27 | 光変調器および光周波数制御器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13572683A JPS6028621A (ja) | 1983-07-27 | 1983-07-27 | 光変調器および光周波数制御器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6028621A true JPS6028621A (ja) | 1985-02-13 |
Family
ID=15158443
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13572683A Pending JPS6028621A (ja) | 1983-07-27 | 1983-07-27 | 光変調器および光周波数制御器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6028621A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6360432A (ja) * | 1986-08-30 | 1988-03-16 | Fujitsu Ltd | 導波路光位相変調器の駆動方法 |
| JPS63261220A (ja) * | 1987-04-20 | 1988-10-27 | Fujitsu Ltd | 光変調素子 |
| JPH03184015A (ja) * | 1989-12-14 | 1991-08-12 | Fujitsu Ltd | 光変調器 |
| JP2005077987A (ja) * | 2003-09-03 | 2005-03-24 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 光変調器 |
-
1983
- 1983-07-27 JP JP13572683A patent/JPS6028621A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6360432A (ja) * | 1986-08-30 | 1988-03-16 | Fujitsu Ltd | 導波路光位相変調器の駆動方法 |
| JPS63261220A (ja) * | 1987-04-20 | 1988-10-27 | Fujitsu Ltd | 光変調素子 |
| JPH03184015A (ja) * | 1989-12-14 | 1991-08-12 | Fujitsu Ltd | 光変調器 |
| JP2005077987A (ja) * | 2003-09-03 | 2005-03-24 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 光変調器 |
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