JPH0318435Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 考案の技術分野 本考案は、板体、例えばシリコンウエハー等を
保持するための装置の改良に関する。

従来技術 半導体部品の基板となるシリコンウエハーの製
造過程では数々の工程がある。その工程の中でス
ライシング工程が終了すると、その後１枚のウエ
ハーとして取り扱われる。この工程の後に、ラツ
ピング工程、ポリシング工程等の加工過程があ
り、数回の測定、検査の後にシリコンウエハーの
完成品となる。

これらの各工程の間で、ウエハーの搬送が必要
となるが、従来、この搬送は、通常、丸ベルト、
あるいはバキユームチヤツクなどを用いて専用の
ウエハーカセツトに収容しながら行われている。

ウエハーをウエハーカセツトへ供給するとき、
あるいはその内部から排出するときに、丸ベル
ト、あるいはバキユームチヤツクなどが用いられ
ると、ウエハーの裏面に直接丸ベルトまたはウエ
ハーチヤツクが接触することになる。このような
保持過程で、搬送手段の一部がウエハーの表面に
対して面接触すると、ウエハーの表面にバキユー
ムチヤツク、あるいは丸ベルトなどの跡が付着し
てしまう。接触位置がウエハーの裏面であるとは
いえ、発塵の原因となるため、これがクリーン度
を必要とする半導体製造工程において問題とな
る。

考案の目的 したがつて、本考案の目的は、ウエハー等の板
体を取り扱う際に、この板体との面接触を避け、
板体の外周部分を点接触の状態で保持することに
より、発塵を最小限度に抑えることである。

考案の概要 そこで、本考案は、例えば３つのグリツパー部
の押え部によつて、板体の外周面を３点支持の状
態で保持するようにしている。ここで３つの押え
部のうち、２つのものは、定位置に固定されてい
るが、他の１つのものは、把持方向にスプリング
によつて付勢されながら、駆動源によつて進退自
在に設けられている。したがつて、この可動側の
押え部が駆動源によつて前進し、板体の側面に接
触するとき、その把持力がスプリングによつて与
えられ、またある程度の寸法誤差を許容する状態
となつているため、ウエハーなどが破壊されるこ
となく、保持動作が柔軟な状態で対応できる。

考案の構成 第１図、および第２図は、本考案の保持装置１
を示している。この保持装置１は、一対の固定的
なグリツパー２、および移動可能なグリツパー３
を備えており、これらのうち一対のグリツパー２
は、グリツパー部４の上面に着脱自在に固定され
ており、また他のグリツパー３は、それらの間で
プツシユロツド５によつて進退自在に設けられて
いる。

そして、一対のグリツパー２は、その先端部分
で、ローラ状の第１の押え部７を、例えばピン６
によつて回転可能な状態で備えており、また同様
に他のグリツパー３は、そのほぼ中央部分で、ピ
ン８によつてローラ状の第２の押え部９を回転可
能な状態で保持している。これらの第１および第
２の押え部７，９は、いずれも洗浄のために交換
可能で、弾性材、例えばウレタンゴム等によつて
構成されており、板体としてのウエハー３１の上
下方向のばらつきを吸収できる状態となつてい
る。

なお上記グリツパー３は、Ｌ字状に屈曲してお
り、その前面で光センサー１０を固定している。
この光センサー１０のリード線１１は、グロメツ
トなどを介在させながら、グリツパー部４の内部
に導かれている。

一方、上記プツシユロツド５は、グリツパー部
４の前面に取り付けられた、すべり軸受け１２に
対し摺動自在に挿入されおり、またその中間部分
で、固定具１３によつて回り止め板１４に固定さ
れ、さらに後端部分でスライダー１５のプツシユ
１６に対し、軸線方向に摺動自在に挿入され、先
端部分でねじ等のストツパー１７を備えている。
上記回り止め板１４、および、スライダー１５
は、共にその両端部分のブツシユ１８，１９の間
でグリツパー部４の内部で、それとカバープレー
ト４ａとに架け渡された平行な一対のガイドバー
２０に対し、摺動可能な状態で支持されている。
そして、この回り止め板１４とスライダー１５と
の間で、プツシユロツド５にコイル状のスプリン
グ２１が設けられている。

さらに前記スライダー１５は、駆動源としての
シリンダ２２のピストンロツド２３に連結されて
いる。このシリンダ２２は、グリツパー部４の内
部に設けられており、ブラケツト２４によつて取
り付けられている。このようにして、第２の押え
部９は、スプリング２１により駆動源としてのシ
リンダ２２に連結されている。

なお上記一対のグリツパー２は、第３図に示す
ように溝付きの位置決めピン２５によつてグリツ
パー部４の位置決め孔２６の内部に差し込まれ、
グリツパー部４の部分にねじ込まれたボールプラ
ンジヤー２７によつて係止されているため、異な
る寸法のものと簡単に交換できるようになつてい
る。またプツシユロツド５の摺動部分は、ポケツ
ト３２の内側のスクレーパ２８によつて密閉され
ており、しかもポケツト３２は、吸引用の配管２
９により、常に負圧空気により吸引状態となつて
いる。

考案の作用 上記保持装置１は作業用ロボツトのヘツド３０
の上部等に取り付けられており、その運動によ
り、ウエハー３１の下側に移動する。この状態
で、光センサー１０がウエハー３１の有無を光電
的に確認した後、グリツパー２は少しだけ上昇す
る。ウエハー３１は、たな状の部分に収められて
おり、これらのグリツパー２，３によつて取り出
せる状態となつている。グリツパー２，３の上昇
後、ロボツトのヘツド３０が２つの第１の押え部
７で、ウエハー３１を手前に引き出してから、シ
リンダ２２がそのピストンロツド２３を引き込む
ため、第２の押え部９は、スプリング２１に押さ
れ、前進しながらウエハー３１の外周面に接触す
る。このようにして２つの第１の押え部７、と第
２の押え部９との間でウエハー３１が、３点支持
の状態で保持される。このとき、第２の押え部９
の接触圧力は、スプリング２１を介して与えられ
る。したがつて、ウエハー３１に必要以上の力が
加えられず、またその大きさのばらつきが、スプ
リング２１によつて吸収される。このようにし
て、第１および第２の押え部７，９によつてウエ
ハー３１を把持した後、ロボツトのヘツド３０
は、そのウエハー３１を保持したまま、所定の工
程の作業位置に搬送する。

考案の変形例 上記実施例は、固定的は２つの第１の押え部７
に対し、１つの第２の押え部９を移動可能な状態
としているが、これらの配置の関係は、実施例の
ものと逆の関係にあつてもよい。しかし、２つの
第１の押え部７は、１つのものとして一体的に構
成することもできる。さらにこの第２の押え部９
は、１個に限らず、それ以上、例えば２個設けら
れていてもよい。

また駆動源は、シリンダ２２に限らず、ロータ
リーアクチユエータや、モータなどの回転をクン
ク機構、あるいは送りねじ機構などを用いて、直
線方向の運動に変換することによつても構成でき
る。

もちろん、この保持装置１の用途は、ウエハー
等の半導体に限らず、板状体のものであれば、他
の搬送などにも用いられる。

考案の効果 本考案では、ウエハー等の板体が面接触でな
く、その外周部分で点接触の状態で、第１および
第２の押え部によつて安定に保持されるから、実
際に使用する表面などの塵埃の付着や保持すると
きの跡などが残らないため、その後の製造過程で
の品質上の悪影響がなく、また、第２の押え部が
板体の側面に接するとき、スプリングによつて押
され、その弾力によつて把持力を働かせているた
め、ウエハーなどの板体に無理な外力が作用せ
ず、またその大きさのばらつき等がある程度吸収
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の保持装置の垂直断面図、第２
図は一部の水平断面図、第３図はグリツパーの取
り付け部分の拡大断面図である。 １……保持装置、２，３……グリツパー、４…
…グリツパー部、５……プツシユロツド、７……
第１の押え部、９……第２の押え部、１４……回
り止め板、１５……スライダー、２０……ガイド
バー、２１……スプリング、２２……駆動源とし
てのシリンダ、３１……板体としてのウエハー。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 ウエハー等の板体３１周面の一方側と当たる少
   なくとも１つの第１の押え部７をグリツパー部４
   の定位置に支持し、 上記板体３１周面の他方側と当たる少なくとも
   １つの第２の押え部９を上記グリツパー部４に上
   記第１の押え部７の方向に進退自在に設け、 上記第２の押え部９をスプリング２１によりグ
   リツパー部４に設けられた駆動源２２に連結して
   なり、 上記第１の押え部７および第２の押え部９で上
   記スプリング２１の付勢力により上記板体３１周
   側面を両側から少なくとも３点で挟むことを特徴
   とするウエハー等の板体の保持装置１。