JPH03184890A - 電極パターンの形成法 - Google Patents
電極パターンの形成法Info
- Publication number
- JPH03184890A JPH03184890A JP1326321A JP32632189A JPH03184890A JP H03184890 A JPH03184890 A JP H03184890A JP 1326321 A JP1326321 A JP 1326321A JP 32632189 A JP32632189 A JP 32632189A JP H03184890 A JPH03184890 A JP H03184890A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- parts
- resin
- electrode pattern
- printing
- pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Printing Methods (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業−１−の利用分野
本発明はハイブリットＩ Ｃ，サーマルヘッド、液晶表
示装置等の平板デイスプレィ等に用いられる電極パター
ン形成法に関するものであも従来の技術 従来 導電性パターン電極に（よ 基板上に蒸着、スパ
ッタリングのような真空薄膜形成プロセスにより金属の
導電性薄膜を形＋１ｉｉＬ ホトリソエツチング法を
もちいてパターン形成した薄膜型のパターン電極と、基
板上にスクリーン印刷法により印刷した後、焼成するこ
とにより形成した厚膜型のパターン電極の２つのタイプ
が有り、前者はサーマルヘッドミ 液晶表示装置等の平
板デイスプレィ等に用いられ また 後者はハイブリッ
トＩＣ等に良く用いられていも 発明が解決しようとする課題 」二に述べた二つの種類のパターン電極にはそれぞれ長
所と短所を有する。すなわ転 薄膜型はパターン精度は
高いという長所を有する爪 薄膜プロセスをもちいるた
めの設備コスト、バッチ生産などの生産法 低コスト化
の点から解決するべき問題点が多（ｔ 一方、厚膜型は印刷焼成法を用いることから設備コスト
が低いこと、連続生産が容易なことなど利点が多賎 し
かし 従来のスクリーン印刷法によるパターン精度は±
５０μｍ程度であり、パターン精度に問題があっｔも 本発明は上記課題を解消することを目的とすも課題を解
決するための手段 本発明は金属の有機化合惧 樹脂および溶剤より主とし
て構成される印刷インキを用いて水無平版によりインキ
を被写体である基板上にパターン状に転写印刷し 焼成
することにより電極群を形成することを特徴とすも 作用 本発明によれば 高密度の電極パターンを直接パターン
印刷形成することが可能で、ホトリソエツチング工程を
簡略化でき従来のパターン電極よりさらに低コストで高
密度の電極を得ることが出来る。
示装置等の平板デイスプレィ等に用いられる電極パター
ン形成法に関するものであも従来の技術 従来 導電性パターン電極に（よ 基板上に蒸着、スパ
ッタリングのような真空薄膜形成プロセスにより金属の
導電性薄膜を形＋１ｉｉＬ ホトリソエツチング法を
もちいてパターン形成した薄膜型のパターン電極と、基
板上にスクリーン印刷法により印刷した後、焼成するこ
とにより形成した厚膜型のパターン電極の２つのタイプ
が有り、前者はサーマルヘッドミ 液晶表示装置等の平
板デイスプレィ等に用いられ また 後者はハイブリッ
トＩＣ等に良く用いられていも 発明が解決しようとする課題 」二に述べた二つの種類のパターン電極にはそれぞれ長
所と短所を有する。すなわ転 薄膜型はパターン精度は
高いという長所を有する爪 薄膜プロセスをもちいるた
めの設備コスト、バッチ生産などの生産法 低コスト化
の点から解決するべき問題点が多（ｔ 一方、厚膜型は印刷焼成法を用いることから設備コスト
が低いこと、連続生産が容易なことなど利点が多賎 し
かし 従来のスクリーン印刷法によるパターン精度は±
５０μｍ程度であり、パターン精度に問題があっｔも 本発明は上記課題を解消することを目的とすも課題を解
決するための手段 本発明は金属の有機化合惧 樹脂および溶剤より主とし
て構成される印刷インキを用いて水無平版によりインキ
を被写体である基板上にパターン状に転写印刷し 焼成
することにより電極群を形成することを特徴とすも 作用 本発明によれば 高密度の電極パターンを直接パターン
印刷形成することが可能で、ホトリソエツチング工程を
簡略化でき従来のパターン電極よりさらに低コストで高
密度の電極を得ることが出来る。
実施例
（実施例−１〉
アルミナ基板上に金の有機化合物を主体とした混合有機
金属化合物 樹脂および溶剤より主として構成される印
刷インキをゴムローラを用いて水無平版（東し 製）上
の凹部に供給し 次いで凹部のインキを転写ブランケッ
ト上に転写せしめた後、該ブランケット上のインキを被
写体である基板１・にライン＆スペース５０μｍの千鳥
状に印刷し 乾燥後７００℃で焼成することにより導電
性パターン電極を形成した インキの転移量は転写厚３μｍで焼成後の電極厚は０．
２μｍであった 電極は設計パターン中２５μｍライン／２５μｍスペー
スに対して、 ３０μｍライン／２０μｍスペースが形
成でき、スクリーン印刷では形成できないファインパタ
ーンが水無平版法を用いて金属の有機化合物をインキ化
することにより遠戚できることが分った な叙 有機金属化合物としては炭素数が２０までの低級
脂肪酸のエステ）Ｑ アルコラード、メルカプチドミ
多環式有機金属化合徴 その他のレジネＩ・、ロジネ
ート、の単体もしくはいずれかの混合物が好ましかった （実施例−２） 実施例１において、混合有機金属化合物として、焼成後
の含有金属重量比で金が８０部〜９８敵ビスマスがＯ部
〜５訊 ロジュウムが０部〜１゜餓 バナジュウムが０
部〜５部の混合有機金属化合物を用いることにより、製
膜性のよＬ＼ なおかつ、導電性の高い金の導電性パタ
ーン電極が得られることが分った また 基板としてガラス基板 ガラスグレーズ基板を用
いた場合には さらに シリコンが０部〜８部 鉛が０
部〜８部を添加することにより基板との付着力を向上さ
せることが明かとなツ’Ｆ。
金属化合物 樹脂および溶剤より主として構成される印
刷インキをゴムローラを用いて水無平版（東し 製）上
の凹部に供給し 次いで凹部のインキを転写ブランケッ
ト上に転写せしめた後、該ブランケット上のインキを被
写体である基板１・にライン＆スペース５０μｍの千鳥
状に印刷し 乾燥後７００℃で焼成することにより導電
性パターン電極を形成した インキの転移量は転写厚３μｍで焼成後の電極厚は０．
２μｍであった 電極は設計パターン中２５μｍライン／２５μｍスペー
スに対して、 ３０μｍライン／２０μｍスペースが形
成でき、スクリーン印刷では形成できないファインパタ
ーンが水無平版法を用いて金属の有機化合物をインキ化
することにより遠戚できることが分った な叙 有機金属化合物としては炭素数が２０までの低級
脂肪酸のエステ）Ｑ アルコラード、メルカプチドミ
多環式有機金属化合徴 その他のレジネＩ・、ロジネ
ート、の単体もしくはいずれかの混合物が好ましかった （実施例−２） 実施例１において、混合有機金属化合物として、焼成後
の含有金属重量比で金が８０部〜９８敵ビスマスがＯ部
〜５訊 ロジュウムが０部〜１゜餓 バナジュウムが０
部〜５部の混合有機金属化合物を用いることにより、製
膜性のよＬ＼ なおかつ、導電性の高い金の導電性パタ
ーン電極が得られることが分った また 基板としてガラス基板 ガラスグレーズ基板を用
いた場合には さらに シリコンが０部〜８部 鉛が０
部〜８部を添加することにより基板との付着力を向上さ
せることが明かとなツ’Ｆ。
金電極用の最適な有機金属化合物としてζよ 焼成後の
含有金属重量比で金が８８部〜９８敵 シリコンが０．
０１１部〜５部鉛が０．０５５部〜２部ビスマスが０．
５部〜３舐 ロジュウムが０部〜５部の混合有機金属
化合物が好ましかった（実施例−３） 有機金属化合物として、実施例１の金にかえて、白を、
銀、ニッケル、タングステン、モリブデン、チタン、タ
ンタルの有機金属化合物をインキ化し爪無平版法で印刷
し 半還元雰囲気にて焼成することによりそれぞれの金
属電極が得られ丸製膜助相として（よ 実施例２に示し
た例の他にクロ人、シリコン、アルミニラへ ジルコニ
ラへヂクン、硼素が効果的であった （実施例−４） インジュウムとスズの有機金属化合物をインキ化し 実
施例１に示した方法と同様にガラス基板上に爪無平版法
で印刷し 約５５０℃で空気中で焼成することにより、
透明の導電性パターン電極が得られた 有機金属化合物
としてＣ友 焼成後の含有金属重量比でインジュウム
が９０部〜９８敵スズが０．５部〜１０敵 鉛が０部〜
ＩＫ シリコンが０部〜１敵 アンチモンが０部〜１
部の混合有機金属化合物が好ましかった 該透明導電性パターン電極基板を用いて単純マトリック
ス型液晶素子を作製したとこ＆ 従来品と間等の表示装
置が出来た （実施例−５） ルテニュウムの有機金属化合物を製膜助材としてのシリ
コン、ジルコニラへ 硼魚 ビスマ入鉛の有機金属化合
物と共にインキ化し 実施例１に小した方法と同様に基
板上に爪無平版法で印刷し、空気中で焼成することによ
り、酸化ルテニウムの導電性パターン電極が得られた
該パターン電極は抵抗体として利用できた （実施例−６） インキ化に必要な樹脂として、天然僧服 天然樹脂誘導
体 フェノール僧服 ロジン変性フェノル＆Ｊ ＢＬ
キシレン樹脂 メラミン僧服 ケトン樹脂 テルペン
僧服 環化ゴム 塩化ゴん アルキッド樹Ｂ’ｔＬ
ポリアミド僧服 アクリル樹１１１． ポリ塩化ビニ
ル僧服 ポリ酢酸ビニノｋ ポリビニルアルコール、エ
ポキシ樹Ｊｌ！、 ポリビニルブチラール、ポリウレ
タン、セルロース誘導体が利用でき、特には有機金属化
合物と相溶性がよくインキ化に優れた樹脂としてｌ、ｌ
ｔ、 天然樹脂 フェノール僧服ロジン変性フェノー
ル僧服 アルキッド僧服 ロジン変性アルキッド樹脂
アクリル僧服 ポリビニルアルコ−に、 エポキシ樹
脂でありん（実施例−７） 迅１図に示す様に ５０／ｌｊｍ〜１００μｍのガラス
グレーズ層（１２）を有する厚さ０．８０１１１１のア
ルミナ基板（１１）の上に実施例２に示した組成の混合
有機金属化金敷 ロジン変性樹脂および石油系溶−〇− 剤より主として構成される印刷インキを水無平版印刷法
により８１ｉｎｅｓ／ｉｍの千鳥型の電極パターン状に
印刷し 乾燥後焼成することにより電極（１３）を形成
した 以上の成膜法により電極群を形成後、ＲｕＯ２フ
リットペーストのスクリーン開扉１上 焼成によって
ライン状の抵抗体（１４）を形成じ このうえに最後に
ガラスペーストの印刷焼成により耐磨耗層（約５μｍ）
（１５）を形成した作製後の各ドツト抵抗値の抵抗値ば
らつきは±１３％であり、それぞれのドツトの抵抗値を
通電過負荷トリミング法（発熱抵抗体の自己発生ジュー
ル処により抵抗値を調整する方法）を用いてトリミング
することにより、発熱部の抵抗値を±２％以内にそろえ
た抵０．４Ｗ／ｄｏｔ、１／４ｄｕｔｙ、１６ｍ５／ｃ
ｙｃｌｅの駆動条件で感熱紙に印字した結電 均一な印
字が出来た （実施例−８） 第２図に示す様番へ ５０μｍ−１００μｍのガラスグ
レーズ層（２２）を有する厚さ０．８ｎ＋ｍのアルミナ
基板（２１）の上に実施例２に示した組成の混−１０＝ 合有機金属化合４独 ロジン変性樹脂および石油系溶剤
より主として構成される印刷インキを爪無平版印刷法に
より８１ｉｎｅｓ／ｍｍの対向電極パターン状に印刷し
乾燥後焼成することにより電極（２３）を形成した
以上の成膜法により電極群を形成後、実施例５に記載し
た方法を用いてＲｕＯ２のスドット状の抵抗体（２４）
を形ｔＬ、、 このうえに最後にガラスペーストの印
刷焼成により耐磨耗層（約５μｒｎ）（２５）を形成し
た 作製後の各ドツト抵抗値の抵抗値ばらつきは±８％であ
り、特にトリミングをしなくても良好な印字が得られた 発明の効果 以上のように 本発明によれば 金属の有機化合１扱
樹脂および溶剤より主として構成される印刷インキを用
いて爪無平版によりインキを被写体である基板上にパタ
ーン状に転写印刷し 焼成することにより、精度良く高
密度の電極パターンをｉ＋’ａ−、＋３パターン印刷形
戊することが可能となり、ホトリソエツチング工程を簡
略化でき低コストで高１１− 密度の導電性パターン電極を連続的に生産できる。
含有金属重量比で金が８８部〜９８敵 シリコンが０．
０１１部〜５部鉛が０．０５５部〜２部ビスマスが０．
５部〜３舐 ロジュウムが０部〜５部の混合有機金属
化合物が好ましかった（実施例−３） 有機金属化合物として、実施例１の金にかえて、白を、
銀、ニッケル、タングステン、モリブデン、チタン、タ
ンタルの有機金属化合物をインキ化し爪無平版法で印刷
し 半還元雰囲気にて焼成することによりそれぞれの金
属電極が得られ丸製膜助相として（よ 実施例２に示し
た例の他にクロ人、シリコン、アルミニラへ ジルコニ
ラへヂクン、硼素が効果的であった （実施例−４） インジュウムとスズの有機金属化合物をインキ化し 実
施例１に示した方法と同様にガラス基板上に爪無平版法
で印刷し 約５５０℃で空気中で焼成することにより、
透明の導電性パターン電極が得られた 有機金属化合物
としてＣ友 焼成後の含有金属重量比でインジュウム
が９０部〜９８敵スズが０．５部〜１０敵 鉛が０部〜
ＩＫ シリコンが０部〜１敵 アンチモンが０部〜１
部の混合有機金属化合物が好ましかった 該透明導電性パターン電極基板を用いて単純マトリック
ス型液晶素子を作製したとこ＆ 従来品と間等の表示装
置が出来た （実施例−５） ルテニュウムの有機金属化合物を製膜助材としてのシリ
コン、ジルコニラへ 硼魚 ビスマ入鉛の有機金属化合
物と共にインキ化し 実施例１に小した方法と同様に基
板上に爪無平版法で印刷し、空気中で焼成することによ
り、酸化ルテニウムの導電性パターン電極が得られた
該パターン電極は抵抗体として利用できた （実施例−６） インキ化に必要な樹脂として、天然僧服 天然樹脂誘導
体 フェノール僧服 ロジン変性フェノル＆Ｊ ＢＬ
キシレン樹脂 メラミン僧服 ケトン樹脂 テルペン
僧服 環化ゴム 塩化ゴん アルキッド樹Ｂ’ｔＬ
ポリアミド僧服 アクリル樹１１１． ポリ塩化ビニ
ル僧服 ポリ酢酸ビニノｋ ポリビニルアルコール、エ
ポキシ樹Ｊｌ！、 ポリビニルブチラール、ポリウレ
タン、セルロース誘導体が利用でき、特には有機金属化
合物と相溶性がよくインキ化に優れた樹脂としてｌ、ｌ
ｔ、 天然樹脂 フェノール僧服ロジン変性フェノー
ル僧服 アルキッド僧服 ロジン変性アルキッド樹脂
アクリル僧服 ポリビニルアルコ−に、 エポキシ樹
脂でありん（実施例−７） 迅１図に示す様に ５０／ｌｊｍ〜１００μｍのガラス
グレーズ層（１２）を有する厚さ０．８０１１１１のア
ルミナ基板（１１）の上に実施例２に示した組成の混合
有機金属化金敷 ロジン変性樹脂および石油系溶−〇− 剤より主として構成される印刷インキを水無平版印刷法
により８１ｉｎｅｓ／ｉｍの千鳥型の電極パターン状に
印刷し 乾燥後焼成することにより電極（１３）を形成
した 以上の成膜法により電極群を形成後、ＲｕＯ２フ
リットペーストのスクリーン開扉１上 焼成によって
ライン状の抵抗体（１４）を形成じ このうえに最後に
ガラスペーストの印刷焼成により耐磨耗層（約５μｍ）
（１５）を形成した作製後の各ドツト抵抗値の抵抗値ば
らつきは±１３％であり、それぞれのドツトの抵抗値を
通電過負荷トリミング法（発熱抵抗体の自己発生ジュー
ル処により抵抗値を調整する方法）を用いてトリミング
することにより、発熱部の抵抗値を±２％以内にそろえ
た抵０．４Ｗ／ｄｏｔ、１／４ｄｕｔｙ、１６ｍ５／ｃ
ｙｃｌｅの駆動条件で感熱紙に印字した結電 均一な印
字が出来た （実施例−８） 第２図に示す様番へ ５０μｍ−１００μｍのガラスグ
レーズ層（２２）を有する厚さ０．８ｎ＋ｍのアルミナ
基板（２１）の上に実施例２に示した組成の混−１０＝ 合有機金属化合４独 ロジン変性樹脂および石油系溶剤
より主として構成される印刷インキを爪無平版印刷法に
より８１ｉｎｅｓ／ｍｍの対向電極パターン状に印刷し
乾燥後焼成することにより電極（２３）を形成した
以上の成膜法により電極群を形成後、実施例５に記載し
た方法を用いてＲｕＯ２のスドット状の抵抗体（２４）
を形ｔＬ、、 このうえに最後にガラスペーストの印
刷焼成により耐磨耗層（約５μｒｎ）（２５）を形成し
た 作製後の各ドツト抵抗値の抵抗値ばらつきは±８％であ
り、特にトリミングをしなくても良好な印字が得られた 発明の効果 以上のように 本発明によれば 金属の有機化合１扱
樹脂および溶剤より主として構成される印刷インキを用
いて爪無平版によりインキを被写体である基板上にパタ
ーン状に転写印刷し 焼成することにより、精度良く高
密度の電極パターンをｉ＋’ａ−、＋３パターン印刷形
戊することが可能となり、ホトリソエツチング工程を簡
略化でき低コストで高１１− 密度の導電性パターン電極を連続的に生産できる。
第１図および第２図Ｃヨ 本発明の一実施例の導電性
パターン電極の構成図である。
パターン電極の構成図である。
Claims (6)
- （１）金属の有機化合物、樹脂および溶剤より主として
構成される印刷インキをゴムローラを用いて水無平版上
の凹部に供給し、次いで凹部のインキを転写ブランケッ
ト上に転写せしめた後、前記ブランケット上のインキを
被写体である基板上にパターン状に転写印刷し、焼成す
ることにより電極群を形成したことを特徴とする電極パ
ターンの形成法。 - （２）白金族元素、金、銀、ニッケル、クロム、シリコ
ン、ゲルマニウム、タンタル、アルミニウム、ジルコニ
ウム、チタン、硼素、ビスマス、バナジウム、鉛、イン
ジウム、スズ、タングステン、モリブデンから選ばれた
有機金属化合物を用いることを特徴とする請求項１記載
の電極パターンの形成法。 - （３）有機金属化合物が炭素数が２０までの低級脂肪酸
のエステル、アルコラード、メルカプチド、多環式有機
金属化合物、その他のレジネート、ロジネート、の単体
もしくはいずれかの混合物であることを特徴とする請求
項２記載の電極パターンの形成法。 - （４）樹脂が天然樹脂、フェノール樹脂、ロジン変性フ
ェノール樹脂、アルキッド樹脂、ロジン変性アルキッド
樹脂、アクリル樹脂、ポリビニルアルコール、エポキシ
樹脂であることを特徴とする請求項２記載の電極パター
ンの形成法。 - （５）有機金属化合物として、焼成後の含有金属重量比
で金が８８部〜９８部、シリコンが０．０１部〜５部、
鉛が０．０５部〜２部、ビスマスが０．５部〜３部、ロ
ジニウムが０部〜５部の混合有機金属化合物と樹脂およ
び溶剤より主として構成される印刷インキを水無平版印
刷法を用いて基板上にパターン状に印刷し、焼成するこ
とにより形成したことを特徴とする請求項２記載の電極
パターンの形成法。 - （６）有機金属化合物として、焼成後の含有金属重量比
でインジュウムが９０部〜９８部、スズが０．５部〜１
０部、鉛が０部〜１部、シリコンが０部〜１部、アンチ
モンが０部〜１部の混合有機金属化合物と樹脂および溶
剤より主として構成される印刷インキを水無平版印刷法
を用いて基板上にパターン状に印刷し、焼成することに
より形成したことを特徴とする請求項２記載の電極パタ
ーンの形成法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32632189A JP2797567B2 (ja) | 1989-12-15 | 1989-12-15 | 電極パターンの形成法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32632189A JP2797567B2 (ja) | 1989-12-15 | 1989-12-15 | 電極パターンの形成法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03184890A true JPH03184890A (ja) | 1991-08-12 |
| JP2797567B2 JP2797567B2 (ja) | 1998-09-17 |
Family
ID=18186463
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32632189A Expired - Fee Related JP2797567B2 (ja) | 1989-12-15 | 1989-12-15 | 電極パターンの形成法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2797567B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5695571A (en) * | 1993-06-01 | 1997-12-09 | Fujitsu Limited | Cleaning method using a defluxing agent |
| US7311937B2 (en) * | 2001-10-31 | 2007-12-25 | Seiko Epson Corporation | Method for forming a line pattern, line pattern, and electro-optic device |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010284828A (ja) | 2009-06-09 | 2010-12-24 | Ihi Corp | オフセット印刷装置 |
-
1989
- 1989-12-15 JP JP32632189A patent/JP2797567B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5695571A (en) * | 1993-06-01 | 1997-12-09 | Fujitsu Limited | Cleaning method using a defluxing agent |
| US6050479A (en) * | 1993-06-01 | 2000-04-18 | Fujitsu, Ltd. | Defluxing agent cleaning method and cleaning apparatus |
| US7311937B2 (en) * | 2001-10-31 | 2007-12-25 | Seiko Epson Corporation | Method for forming a line pattern, line pattern, and electro-optic device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2797567B2 (ja) | 1998-09-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20040178006A1 (en) | Resistive touch screen with variable resistivity layer | |
| US5189284A (en) | Resistor, process for producing the same, and thermal head using the same | |
| EP0022279B1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines optisch transparenten und elektrisch leitfähigen Filmmusters | |
| JPH03184890A (ja) | 電極パターンの形成法 | |
| US20090021686A1 (en) | Method for gravure printing transparent electrodes, an dink composition therefor | |
| JPH063506B2 (ja) | カラー液晶表示用透明基板 | |
| US5053249A (en) | Method for producing resistors | |
| JPH03261194A (ja) | 導電性パターン電極の形成法 | |
| JPH04332694A (ja) | 凹版およびその製造方法 | |
| JP2626036B2 (ja) | サーマルヘッドの製造方法 | |
| JPH03234085A (ja) | 導電性パターン電極の形成法 | |
| JPH07102708B2 (ja) | サ−マルヘツド | |
| JP2650353B2 (ja) | スクリーン印刷インキ | |
| JPS60225802A (ja) | 液晶用カラ−フイルタ−の製造装置 | |
| JPH0386559A (ja) | サーマルヘッドおよびその製造方法 | |
| US6045856A (en) | Process for producing a resistive element by diffusing glass | |
| GB2068834A (en) | Coating vitreous or ceramic supports | |
| JPH01304702A (ja) | 抵抗体の製造方法及びサーマルヘッドの製造方法 | |
| JP3107095B2 (ja) | 抵抗体膜形成材料 | |
| JPH0581942A (ja) | パターン化した透明導電膜の形成方法 | |
| JP2663590B2 (ja) | 薄膜抵抗体形成用スクリーン印刷インキおよびこのインキを使用した薄膜抵抗体の形成方法 | |
| KR920005760B1 (ko) | 더어멀 헤드 및 그 제조방법 | |
| JPH02147253A (ja) | サーマルヘッド | |
| JPH043901A (ja) | 酸化ルテニウム系薄膜抵抗体及びその製造方法 | |
| JPH03243361A (ja) | サーマルヘッドの製造法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |