JPH0318497Y2 - - Google Patents
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- JPH0318497Y2 JPH0318497Y2 JP19218985U JP19218985U JPH0318497Y2 JP H0318497 Y2 JPH0318497 Y2 JP H0318497Y2 JP 19218985 U JP19218985 U JP 19218985U JP 19218985 U JP19218985 U JP 19218985U JP H0318497 Y2 JPH0318497 Y2 JP H0318497Y2
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- core tube
- arsenic
- furnace core
- ascl
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- Expired
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Landscapes
- Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は精製塩化砒素を還元して高純度砒素を
得る装置の改善に関し、不純物の除去を可能とし
たものである。
得る装置の改善に関し、不純物の除去を可能とし
たものである。
従来、還元炉を用いて精製AsCl3を還元ガスと
しての水素と反応させて金属砒素を析出させるた
めに、還元炉炉芯管入口部に液状のAsCl3を滴下
させ、電気炉等で加熱された炉芯管の予熱により
AsCl3を気化させ、これを水素気流により高温加
熱部で還元し、生成した砒素蒸気をさらに下流の
温度をやゝ下げた析出部で析出させていた。然る
に従来の装置では、一般的には液状AsCl3を炉芯
管内に直接滴下して気化させていたため、炉芯管
の接合部分から液状物が洩れることがあつてきわ
めて危険であり、また気化の速度も必ずしも一定
とはならなかつた。
しての水素と反応させて金属砒素を析出させるた
めに、還元炉炉芯管入口部に液状のAsCl3を滴下
させ、電気炉等で加熱された炉芯管の予熱により
AsCl3を気化させ、これを水素気流により高温加
熱部で還元し、生成した砒素蒸気をさらに下流の
温度をやゝ下げた析出部で析出させていた。然る
に従来の装置では、一般的には液状AsCl3を炉芯
管内に直接滴下して気化させていたため、炉芯管
の接合部分から液状物が洩れることがあつてきわ
めて危険であり、また気化の速度も必ずしも一定
とはならなかつた。
本考案は上記した問題点を解決し、炉芯管の接
合部からの漏洩がなく、AsCl3の気化速度が一定
となり、且つAsCl3中に混在するMgやCaなどの
不純物の除去にも効果のある高純度砒素の還元装
置を提供することにある。
合部からの漏洩がなく、AsCl3の気化速度が一定
となり、且つAsCl3中に混在するMgやCaなどの
不純物の除去にも効果のある高純度砒素の還元装
置を提供することにある。
本考案はこの目的を達成するために液状の精製
塩化砒素を炉芯管入口部より滴下し、還元ガスに
て金属砒素を還元析出する装置において、炉芯管
内の塩化砒素滴下部直下から炉芯管の加熱部に跨
がつて液状物保持用受け皿を設け、滴下した液状
塩化砒素を受け皿に受け、こゝから塩化砒素を逐
次気化させるようにしたものである。
塩化砒素を炉芯管入口部より滴下し、還元ガスに
て金属砒素を還元析出する装置において、炉芯管
内の塩化砒素滴下部直下から炉芯管の加熱部に跨
がつて液状物保持用受け皿を設け、滴下した液状
塩化砒素を受け皿に受け、こゝから塩化砒素を逐
次気化させるようにしたものである。
本考案では炉芯管入口部から滴下したAsCl3液
を、一旦滴下部直下から炉芯管加熱部に跨がつて
設けられた受け皿に溜め、加熱部のヒーターによ
り溜つたAsCl3があたためられて、逐次揮発して
送入された水素ガスによつて還元されるので、
AsCl3液が直接反応管内に落ちることがなく
AsCl3の揮発速度も一定となる。還元された砒素
は低温加熱部で大部分が凝縮析出する。
を、一旦滴下部直下から炉芯管加熱部に跨がつて
設けられた受け皿に溜め、加熱部のヒーターによ
り溜つたAsCl3があたためられて、逐次揮発して
送入された水素ガスによつて還元されるので、
AsCl3液が直接反応管内に落ちることがなく
AsCl3の揮発速度も一定となる。還元された砒素
は低温加熱部で大部分が凝縮析出する。
本考案の一実施例を第１図に従つて説明する。
１は横断面円形で直管状の透明石英製炉芯管で、
この炉芯管は電気炉の高温加熱部２及び低温加熱
部３が、その中間に冷却部４を挾んで設けられた
中を貫通して設置されている。５は炉芯管のキヤ
ツプ部で、還元ガス導入管６及びAsCl3滴下管７
が取付けられている。８は炉芯管１の一端がラツ
パ状に拡がつた部分で、この部分にキヤツプ部５
の開放端がすり合せで接合されている。９は液状
物保持用受け皿で、キヤツプ部の塩化砒素の滴下
管７の直下から、炉芯管１の高温加熱部２の部分
に跨つた長さになつていて、その横断面の形状は
炉芯管の下半分とほヾ同形で、管内での安定性が
良くなつていることが好ましい。
１は横断面円形で直管状の透明石英製炉芯管で、
この炉芯管は電気炉の高温加熱部２及び低温加熱
部３が、その中間に冷却部４を挾んで設けられた
中を貫通して設置されている。５は炉芯管のキヤ
ツプ部で、還元ガス導入管６及びAsCl3滴下管７
が取付けられている。８は炉芯管１の一端がラツ
パ状に拡がつた部分で、この部分にキヤツプ部５
の開放端がすり合せで接合されている。９は液状
物保持用受け皿で、キヤツプ部の塩化砒素の滴下
管７の直下から、炉芯管１の高温加熱部２の部分
に跨つた長さになつていて、その横断面の形状は
炉芯管の下半分とほヾ同形で、管内での安定性が
良くなつていることが好ましい。
以上詳細に説明したように、この考案によれば
滴下された液状AsCl3は直接反応用炉芯管に落下
することがないため、炉芯管とキヤツプ部との接
合部から液状物が浸出することがなく、また液状
AsCl3は一旦受け皿にたまつて高温加熱帯からの
熱で遂次揮発して行くので、受け皿には揮発しに
くい不純物が残留し、得られた蒸着金属砒素中の
不純物含有量はMg、Caはいずれも0.05ppm以下
となる効果があつた。
滴下された液状AsCl3は直接反応用炉芯管に落下
することがないため、炉芯管とキヤツプ部との接
合部から液状物が浸出することがなく、また液状
AsCl3は一旦受け皿にたまつて高温加熱帯からの
熱で遂次揮発して行くので、受け皿には揮発しに
くい不純物が残留し、得られた蒸着金属砒素中の
不純物含有量はMg、Caはいずれも0.05ppm以下
となる効果があつた。
第１図は本考案の還元装置の概要を示す断面図
である。 １……炉芯管、２……高温加熱部、３……低温
加熱部、４……冷却部、５……キヤツプ部、７…
…Ascl3滴下管、９……受け皿。
である。 １……炉芯管、２……高温加熱部、３……低温
加熱部、４……冷却部、５……キヤツプ部、７…
…Ascl3滴下管、９……受け皿。
Claims (1)
- 液状の精製塩化砒素を炉芯管入口部より滴下
し、還元ガスにて金属砒素を還元析出させる高純
度砒素の還元装置において、炉芯管内の塩化砒素
滴下部直下から炉芯管加熱部に跨がつて液状物保
持用受け皿を設けたことを特徴とする高純度砒素
の還元装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19218985U JPH0318497Y2 (ja) | 1985-12-16 | 1985-12-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19218985U JPH0318497Y2 (ja) | 1985-12-16 | 1985-12-16 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62101858U JPS62101858U (ja) | 1987-06-29 |
| JPH0318497Y2 true JPH0318497Y2 (ja) | 1991-04-18 |
Family
ID=31147030
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19218985U Expired JPH0318497Y2 (ja) | 1985-12-16 | 1985-12-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0318497Y2 (ja) |
-
1985
- 1985-12-16 JP JP19218985U patent/JPH0318497Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62101858U (ja) | 1987-06-29 |
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