JPH0318512Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この考案は、スライドボード式液相エピタキシ
ヤル成長装置におけるスライダーを駆動する駆動
装置に関する。

「従来の技術」 従来、スライドボード式液相エピタキシヤル成
長法において、スライダーを駆動する駆動手段と
しては、第２図に示すように成長炉１の端末部
に、炉内のスライダー２にその先端が係止する石
英製等の押棒３を長さ方向移動自在にシール機関
４を介して取り付けたものが用いられている。

これを用いて、成長溶液５を基板６上に載せる
ためにスライダー２を移動するには、手動または
炉１の外部に設けた駆動装置により上記押棒３を
移動することにより行なつている。

「考案が解決しようとする問題点」 ところで、上記従来の手段には、下記のような
問題点があり、その解決が望まれている。

すなわち、押棒３が摺動するシール部分の劣加
により、各種のガスによつて雰囲気をコントロー
ルされているかまたは真空に保持されている成長
炉１内に空気が入つてしまい、エピタキシヤル成
長に支障をきたすことがある。

この考案は上記事情に鑑みてなされたもので、
成長炉の密封性を劣加させることのないスライダ
ー駆動装置を提供することを目的とするものであ
る。

「問題点を解決するための手段」 この考案のスライダー駆動装置は、その先端が
スライドボード液相エピタキシヤル成長炉内のス
ライダーに係止している押棒の炉外端部に内部に
複数個の磁石を各々のNS極を交互にして配置し
た密封管を固定するとともに、これら炉外の押棒
および密封管を覆うようにして有底円筒体状の収
納容器を前記炉側面に気密に取り付け、この収納
容器の外部に前記密封管内の磁石に対向して互い
に反対極性を有する複数個の磁石を一体的かつ水
平方向移動可能に設けるとともに、これら磁石を
水平往復駆動装置に連結した構造の装置である。

「作用」 上記構成によれば、気密に容器内に収納されて
いる押棒を気密容器の外側から磁気力によつて押
棒を水平方向に動かすことができるので、気密を
確実に維持することができ、炉内に空気が混入し
てエピタキシヤル成長に支障をきたすことがな
い。また、単なる磁石同志による吸引力と違い、
多数の小磁石を各々のNS極を交互に配置、一体
化した磁石を使用しているので、吸引力と反発力
とを同時に作用させることができ、脈動しない滑
らかな動きで押棒を駆動することができるという
優れた利点が得られる。なお、磁石が一対のみの
場合は滑らかな動きが得られないので好ましくな
い。

以下、この考案を実施例によりさらに詳しく説
明する。

「実施例」 第１図はこの考案の一実施例を示すもので、図
中、第２図と共通する部分には同一符号に付して
説明を簡略化する。前記押棒３の炉１外の端部３
ａには密封管１０が一体的に取り付けられてい
る。この密封管１０内には多数の小磁石１１が
各々のNS極が押棒３の長手方向に交互に配列、
充填されている。そして、このように構成されて
いる押棒３および密封管１０を覆うようにして上
記炉１の側端面に有底円筒状の収納容器１２が気
密に取り付けられている。この容器１２の外周部
分には上記密封管１０内の小磁石１１……に対向
して互いにNS極を逆に配列されたリング状の小
磁石１３……が配置、一体化され、小台車１４上
に固定されている。この小台車１４は上記押棒３
に平行なレール１５上に移動自在に載置されてお
り、下方側部に設けられた駆動輪付きリニアパレ
スモータ１６によつて上記レール１５上を移動で
きるようになつている。なお、上記構成におい
て、小台車１４、レール１５およびモータ１６
は、水平往復駆動装置１７を構成している。

しかして、上記構成によれば、モータ１６によ
り小台車１４を図中AB方向に移動させれば、小
台車１４上の小磁石１３……と密封管１０内の小
磁石１１……とが吸引力と反発力を発揮して即時
かつ滑らかに押棒３を炉１内に向かつて出入させ
ることができる。そして、この装置においては、
押棒３と密封管１０とが容器１２内に気密に収納
されているので、炉１内に空気が混入してしまう
ことがない。さらに、この装置においては、上記
したように、磁気の作用が各小磁石のNS極を交
互に配列することにより同時発生する吸引力と反
発力なので、通常の磁石を利用した移動機構のよ
うに移動に脈動が生じることがない。また、小磁
石１３……はリング状に形成されており、そのた
め小磁石１１……は浮上状態となるので、密封管
１０および押棒３と容器１２との間に摩擦が生じ
ず、移動がごく滑らかに行なわれることになる。

なお、上記構成において収納容器１２は、透明
なもののほうが、内部の密封管１０および小磁石
１１……を観察することが可能となるので、好ま
しい。

「考案の効果」 以上説明したように、この考案のスライダー駆
動装置は、その先端がスライドボード液相エピタ
キシヤル成長炉内のスライダーに係止している押
棒の炉外端部に内部に複数個の磁石を各々のNS
極を交互にして配置した密封管を固定するととも
に、これら炉外の押棒および密封管を覆うように
して有底円筒体状の収納容器を前記炉側面に気密
に取り付け、この収納容器の外部に前記密封管内
の磁石に対向して互いに反対極性を有する複数個
の磁石を一体的かつ水平方向移動可能に設けると
ともに、これら磁石を水平往復駆動装置に連結し
た構造の装置である。

従つて、この考案によれば、気密に容器内に収
納されている押棒を気密容器の外側から磁気力に
よつて押棒を水平方向に動かすことができるの
で、気密を確実に維持することができ、炉内に空
気が混入してエピタキシヤル成長に支障をきたす
ことがない。また、単なる磁石同志による吸引力
と違い、多数の小磁石を各々のNS極を交互に配
置、一体化した磁石を使用しているので、吸引力
と反発力とが同時に作用して脈動しない滑らかな
動きで押棒を移動することができるという優れた
利点が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案に係るスライダー駆動装置の
一実施例を示す構成図、第２図は従来のスライダ
ー駆動手段を示す構成図である。 １……成長炉、２……スライダー、３……押棒、
１０……密封管、１１……小磁石、１２……収納
容器、１３……小磁石、１４……小台車、１５…
…レール、１６……駆動輪付きリニアパルスモー
タ、１７……水平往復駆動装置。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. その先端がスライドボード液相エピタキシヤル
   成長炉内のスライダーに係止している押棒の炉外
   端部に内部に複数個の磁石を各々のNS極を交互
   にして配置した密封管を固定するとともに、これ
   ら炉外の押棒および密封管を覆うようにして有底
   円筒体状の収納容器を前記炉側面に気密に取り付
   け、この収納容器の外部に前記密封管内の磁石に
   対向して互いに反対極性を有する複数個の磁石を
   一体的かつ水平方向移動可能に設けるとともに、
   これら磁石を水平往復駆動装置に連結したことを
   特徴とするスライダー駆動装置。