JPS6255572U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6255572U JPS6255572U JP14703985U JP14703985U JPS6255572U JP S6255572 U JPS6255572 U JP S6255572U JP 14703985 U JP14703985 U JP 14703985U JP 14703985 U JP14703985 U JP 14703985U JP S6255572 U JPS6255572 U JP S6255572U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnets
- sealed tube
- furnace
- push rod
- storage container
- Prior art date
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- Granted
Links
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図はこの考案に係るスライダー駆動装置の
一実施例を示す構成図、第２図は従来のスライダ
ー駆動手段を示す構成図である。 １……成長炉、２……スライダー、３……押棒
、１０……密封管、１１……小磁石、１２……収
納容器、１３……小磁石、１４……小台車、１５
……レール、１６……駆動輪付きリニアパルスモ
ータ、１７……水平往復駆動装置。
一実施例を示す構成図、第２図は従来のスライダ
ー駆動手段を示す構成図である。 １……成長炉、２……スライダー、３……押棒
、１０……密封管、１１……小磁石、１２……収
納容器、１３……小磁石、１４……小台車、１５
……レール、１６……駆動輪付きリニアパルスモ
ータ、１７……水平往復駆動装置。
Claims (1)
- その先端がスライドボード液相エピタキシヤル
成長炉内のスライダーに係止している押棒の炉外
端部に内部に複数個の磁石を各々のＮＳ極を交互
にして配置した密封管を固定するとともに、これ
ら炉外の押棒および密封管を覆うようにして有底
円筒体状の収納容器を前記炉側面に気密に取り付
け、この収納容器の外部に前記密封管内の磁石に
対向して互いに反対極性を有する複数個の磁石を
一体的かつ水平方向移動可能に設けるとともに、
これら磁石を水平往復駆動装置に連結したことを
特徴とするスライダー駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14703985U JPH0318512Y2 (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14703985U JPH0318512Y2 (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6255572U true JPS6255572U (ja) | 1987-04-06 |
| JPH0318512Y2 JPH0318512Y2 (ja) | 1991-04-18 |
Family
ID=31060040
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14703985U Expired JPH0318512Y2 (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0318512Y2 (ja) |
-
1985
- 1985-09-26 JP JP14703985U patent/JPH0318512Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0318512Y2 (ja) | 1991-04-18 |
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