JPH0318883Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の技術分野〕 本考案は、光デイスクのうねり量及びデイスク
面に形成されたピツト列等のズレを検出し、光デ
イスクの品質検査を行う光デイスク検査装置に関
する。

〔考案の技術的背景〕

一般に光デイスクには周知のように再生専用デ
イスクと記録用デイスクの２種類がある。再生専
用テイスクとしてはDAD（デイジタルオーデイオ
デイスク）、VD（ビデオデイスク）等が知られて
おり、これらのテイスク面には記録情報としての
ピツト列が一定のトラツクピツチでスパイラル状
に形成されている。

記録用デイスクとしてはトスフアイル用デイス
ク、静止画フアイル用デイスク等があり、記録用
デイスクでは再生専用デイスクのように初期（記
録前）にはピツト列は形成されていないが、記録
時にピツト列を形成して行くための案内溝が一定
のトラツクピツチでスパイラル状に形成されてい
る。

ところで、これらの光デイスクを製造する際に
は光デイスクのうねり量やピツト列或るいは案内
溝のズレを測定して製品が許容範囲内にあるか否
かの品質検査が行われている。

従来の光デイスクのうねり量を測定する方法と
しては接触式のスライラスによつてデイスク表面
をなぞり、うねり量を測定する方法が一般的であ
つた。また、ピツト列や案内溝のズレについては
例えば顕微鏡とITVを組み合わせて画面上にピ
ツト列又は案内溝を拡大表示させ、デイスクを回
転して回転に伴う左右のズレを測定していた。

〔背景技術の問題点〕

ところが、このような方法において、例えばデ
イスク表面のうねり量の場合にはスタイラスの触
針先端の形状によつて測定誤差が生じることがあ
り、また触針にある程度の負荷をかけて常にデイ
スク表面と接触させる必要があるため製品を損傷
させてしまうという欠点がある。

また、ピツト列や案内溝のズレに関しては目視
によつてピツト列或いは案内溝の動きを追尾して
いくので、時間がかかる上に不正確となり易く、
さらにデイスクの最外周又は最内周の部位しか検
査できないという欠点がある。

〔考案の目的〕

本考案は上記の欠点を解決するためになされた
ものであり、製品を損傷させることなく短時間
で、しかも正確に光デイスクのうねり量とピツチ
列等のズレを検査し得る光デイスク検査装置を提
供することを目的とする。

〔考案の概要〕

本考案は上記目的を達成するために、オートフ
オーカス及びオートトラツキング機構を備えた光
学ヘツドを用いて、これらの機構の駆動部により
電気信号を検出し、この電気信号を上記駆動部の
特性と逆の特性を有する補償部によつて補償した
出力を光デイスクのうねり量及びピツト列のズレ
の測定値とすることを特徴としている。

〔考案の実施例〕

以下、本考案の実施例を図面を参照して詳細に
説明する。

第１図〜第５図はいずれも本考案の一実施例を
説明するもので、第１図は検査装置の概略構成図
を示す図で、第２図は同実施例に用いられる光学
ヘツドの概略構成図を示す図である。又、第４図
及び第５図は補償部の回路例を示す回路図であ
る。

第１図において符号１で示すものはオートフオ
ーカス及びオートトラツキング機構を持つ光学ヘ
ツドで、符号２で示すものは光学ヘツド１により
得られた信号からフオーカス方向及びトラツキン
グ方向のズレ量を検出し、光学ヘツド１の各駆動
部を動作させる制御部である。また、符号３で示
すものは補償部、符号４は上記光学ヘツド１を光
デイスク５のデイスク面に対して平行にラジアル
方向に移動させる移動テーブルである。尚、光デ
イスク５は検査時には不図示に回転機構によつて
一定速度で回転させられる。

前記光学ヘツド１は第２図に示すような構成と
なつている。同図中符号１１で示すものは光源で
ある半導体レーザで、半導体レーザ１１より出射
されたレーザ光はコリメートレンズ１２に入射さ
れる。コリメートレンズ１２に入射したレーザ光
は平行光束に変換され、偏光プリズム１３を透過
して次の1/4波長板１４へ導かれる。1/4波長板１
４に入射したレーザ光は円偏光に変換された後、
対物レンズ１５に入射し、光デイスク５の面上に
集光照射される。そして、光デイスク５に集光照
射されたレーザ光に光デイスク５の反射膜（記録
膜）によつて反射し、再び同一光路を逆進して偏
光プリズム１３に入射される。ここで、偏光プリ
ズム１３に入射する光デイスクからのレーザ光
（反射光）は、その前の1/4波長板１４で偏光作用
を受けるので、反射して分割受光センサ１６に導
かれる。分割受光センサ１６に入射された反射光
は光デイスク５の回転に伴うねり量やピツト列或
いは案内溝のズレによつて変化が生じているの
で、分割受光センサ１６の出力は制御部２によつ
て信号処理が施され、フオーカス方向及びトラツ
キング方向のズレ量が検出される。

制御部２はフオーカツシングエラー及びトラツ
キングエラーが検出されると、フオーカス駆動部
１７及びトラツキング駆動部１８に制御信号を送
出し、上記駆動部１７，１８は矢印Ａ，Ｂで示す
ように対物レンズ１５を所定位置に移動させる。

従つて、本実施例では上記駆動部１７，１８に
より検出された信号から対物レンズ１５の変位量
を求めることにより、光デイスク５のうねり量と
ピツト列或るいは案内溝のズレを測定している。
しかしながら、フオーカス駆動部１７及びトラツ
キング駆動部１８より検出される信号は、各駆動
部の周波数特性に対してフラツトでないため、そ
のままの値では実際の変位量を得ることができな
い。

従つて、本実施例においてはフオーカス駆動部
１７及びトラツキング駆動部１８より検出された
信号を補償部３によつて補償して測定系全体の周
波数特性をフラツトな特性になるようにしてい
る。例えば、上記駆動部１７，１８の周波数−振
幅の特性が単調増加である場合には補償部３に第
４図に示すような演算増幅器OP１、抵抗Ｒ１，
Ｒ２及びコンデンサＣ１，Ｃ２とからなる低域フ
イルタ回路を用いればよい。

又、上記駆動部１７，１８により検出された信
号は変位量との間で直線性に対する特性の影響が
ある。例えば駆動部１７，１８により検出された
信号と変位量との関係の特性が第３図に示すよう
に、方向により特性曲線の傾きが異なる場合には
補償部３として第５図に示すような回路を用いれ
ばよい。

同図に示すように、フオーカス駆動部１７及び
トラツキング駆動部１８から検出された信号はそ
れぞれ抵抗Ｒ３，Ｒ４，Ｒ５を介して演算増幅器
OP３，OP４，OP５に入力される。演算増幅器
OP３，OP４に入力された駆動部からの信号をそ
れぞれ所定電圧の信号に増幅された後、アナログ
スイツチASのスツチ端Ｓ１，Ｓ２に印加される。
一方、演算増幅器OP５に入力された駆動部から
の信号は、この信号がプラス側にある場合にはＨ
レベルとなり、マイナス側にある場合にはＬレベ
ルの信号となり、アナログスイツチASのゲート
端に印加される。従つて、アナログスイツチAS
ではゲート端に印加された演算増幅器OP５から
の信号レベルに基づいてスイツチ端Ｓ１，Ｓ２を
開閉動作する。すなわち、アナログスイツチAS
は演算増幅器OP５からのゲート信号がＨレベル
の場合に動作し、駆動部により検出された信号が
プラス側の場合にスイツチ端Ｓ１を閉じて、演算
増幅器OP３からの信号を演算増幅器OP６のマイ
ナス入力に供給する。又駆動部から信号がマイナ
ス側の場合にはスイツチ端Ｓ２を閉じて、演算増
幅器OP４からの信号を演算増幅器OP６のプラス
入力に供給する。演算増幅器OP６ではマイナス
入力に供給された信号は増幅し、プラス入力し供
給された信号は反転増幅して出力する。従つて、
演算増幅器OP６は駆動部から信号がプラス側と
マイナス側の場合でそれぞれ増幅率の異なる信号
を出力する。これにより演算増幅器OP３，OP４
の増幅率を可変抵抗Ｒ９，Ｒ１０によつて調整す
れば、駆動部の変位量−駆動部により検出された
信号値の特性を一定の傾きを持つ特性直線とする
ことができる。

このように本実施例においては、オートフオー
カス及びオートトラツキング機構を備えた光学ヘ
ツド１を用いて、このオートフオーカス及びオー
トトラツキング機構の駆動部１７，１８から電気
信号を検出し、この電気信号に基づいて対物レン
ズ１５の変位量を光デイスク５のうねり量とピツ
ト列或いは案内溝のズレの測定値としたので、デ
イスク表面を傷つけることなく短時間で、正確に
品質検査を行うことができる。また、本実施例に
よれば、光デイスク５のうねり量とピツト列等の
ズレを同時に測定できるので、検査工程が簡略化
される。

なお、上記実施例においては、オートフオーカ
ス機構として対物レンズ１５を移動させる方式の
光学ヘツド１を用いたが回転ミラーを回動させて
トラツキングエラーを修正する方式のものでも勿
論適用できる。

〔考案の効果〕

以上述べたのべたように本考案によれば、オー
トフオーカス及びオートトラツキング機構を有す
る光学ヘツドと、このオートフオーカス及びオー
トトラツキング機構の駆動部の特性と逆の特性を
有する補償部とを具備した構成としたので、製品
を損傷させることなく短時間で、しかも正確に品
質検査を行う得る光デイスク検査装置を提供でき
る。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第５図はいずれも本考案の一実施と
例を示す図で、第１図は本検査装置の概略構成
図、第２図は光学ヘツドの概略構成図、第３図は
駆動部の変位量−信号値特性の一例を示す線図、
第４図及び第５図は補償部の回路例を示す回路図
である。 １……光学ヘツド、２……制御部、３……補償
部、４……移動テーブル、５……光デイスク、１
７……フオーカス駆動部、１８……トラツキング
駆動部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) オートフオーカス及びオートトラツキング機
   構を有する光学ヘツドと、これらオートフオー
   カス及びオートトラツキング機構の駆動部の特
   性と逆の特性を有する補償部とを具備し、前記
   駆動部より得られる電気信号を前記補償部を通
   じて検出し、この補償部からの信号に基づいて
   光デイスクのうねり量とデイスク面のピツト列
   等のズレを測定することを特徴とする光デイス
   ク検査装置。 (2) 前記駆動部の特性は周波数特性及び変位量と
   電気信号値との特性である実用新案登録請求の
   範囲第(1)記載の光デイスク検査装置。 (3) 前記駆動部はフオーカス駆動部とトラツキン
   グ駆動部である実用新案登録請求の範囲第(1)記
   載の光デイスク検査装置。