JPH0318945A - データ蓄積方法 - Google Patents
データ蓄積方法Info
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- JPH0318945A JPH0318945A JP1153364A JP15336489A JPH0318945A JP H0318945 A JPH0318945 A JP H0318945A JP 1153364 A JP1153364 A JP 1153364A JP 15336489 A JP15336489 A JP 15336489A JP H0318945 A JPH0318945 A JP H0318945A
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- value
- qualitative
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- type
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は半導体製造支援システムなどに用いるロッドの
履歴情報を蓄積する半導体プロセスデータ蓄積システム
に関するものであム 従来の技術 第８図（よ 従来の半導体プロセスデータ蓄積システム
におけるロッドの履歴情報を蓄積するためのロッド履歴
情報データベースの構成図である。
履歴情報を蓄積する半導体プロセスデータ蓄積システム
に関するものであム 従来の技術 第８図（よ 従来の半導体プロセスデータ蓄積システム
におけるロッドの履歴情報を蓄積するためのロッド履歴
情報データベースの構成図である。
ロッド履歴情報データベース７８０のそれぞれの条件値
（７３０，７４０，７５０，７６０，７７０）ｉよ 工
程の種類により文字型・数値型を限定することができず
、データベースの一つのデータアイテム内に文字型・数
値型の値を混合して格納することができないたべたとえ
数値型の値であってもすべて文字型として値を格納して
い九 この例で（よ Ｅ−２（７３１）、Ｂ２Ｏ２（７３２）
、Ａ（７４１）は文字型の値であ、４ １５０（７４２
）、２０（７５１）、９００（７５２入 １７（７６２
）は実際は数値型の値である力丈 文字型として格納し
ている。
（７３０，７４０，７５０，７６０，７７０）ｉよ 工
程の種類により文字型・数値型を限定することができず
、データベースの一つのデータアイテム内に文字型・数
値型の値を混合して格納することができないたべたとえ
数値型の値であってもすべて文字型として値を格納して
い九 この例で（よ Ｅ−２（７３１）、Ｂ２Ｏ２（７３２）
、Ａ（７４１）は文字型の値であ、４ １５０（７４２
）、２０（７５１）、９００（７５２入 １７（７６２
）は実際は数値型の値である力丈 文字型として格納し
ている。
発明が解決しようとする課題
しかしなか技 文字型で値を格納することは数値型で値
を格納するよりに１つの値を表現するビット数が多く必
要であるたべ データベースのディスク容量を増加させ
るという課題を有してい九 本発明（上 上述の課題に鑑みて為されたもので、デー
タベースのディスク容量を減少させることができる半導
体プロセスデータ蓄積システムを提供することを目的と
する。
を格納するよりに１つの値を表現するビット数が多く必
要であるたべ データベースのディスク容量を増加させ
るという課題を有してい九 本発明（上 上述の課題に鑑みて為されたもので、デー
タベースのディスク容量を減少させることができる半導
体プロセスデータ蓄積システムを提供することを目的と
する。
課題を解決するための手段
本発明は上述の課題を解決するために 条件値のうち定
性的な条件値を持つものに対して、少なくとも文字型の
定性条件名 文字型の定性条件値、数値型の定性条件番
号をデータアイテムとして持つ定性条件値データベース
の定性条件番号ＧＱ 同一定性条件名の中で定性条件
値を区別するユニクな数値型の値を登録する手段と、文
字型のロッド区 文字型の工程名、 各条件に対応した
数値型の条件値をデータアイテムとして持つロッド履歴
情報データベースの条件値に 定性的な条件値を持つも
のには前記定性条件値データベースの定性条件番号を登
録する手段とを備えた半導体プロセスデータ蓄積システ
ムであム 作用 本発明は上述の構成により、ロッド履歴情報データベー
スの条件値く 条件値のうち定性的な条件値をもつもの
は定性条件値データベースの定性条件番号を登録するこ
とにより、すべて数値型の値として格納できも 従って
文字型の値を数値型の値に変換できるた敢 データベー
スのディスク容量を減少させることができも 実施例 （実施例１） 本発明の実施例を第１＠ 第２＠ 第３＠ 第４＠ 第
５図を用いて説明する。
性的な条件値を持つものに対して、少なくとも文字型の
定性条件名 文字型の定性条件値、数値型の定性条件番
号をデータアイテムとして持つ定性条件値データベース
の定性条件番号ＧＱ 同一定性条件名の中で定性条件
値を区別するユニクな数値型の値を登録する手段と、文
字型のロッド区 文字型の工程名、 各条件に対応した
数値型の条件値をデータアイテムとして持つロッド履歴
情報データベースの条件値に 定性的な条件値を持つも
のには前記定性条件値データベースの定性条件番号を登
録する手段とを備えた半導体プロセスデータ蓄積システ
ムであム 作用 本発明は上述の構成により、ロッド履歴情報データベー
スの条件値く 条件値のうち定性的な条件値をもつもの
は定性条件値データベースの定性条件番号を登録するこ
とにより、すべて数値型の値として格納できも 従って
文字型の値を数値型の値に変換できるた敢 データベー
スのディスク容量を減少させることができも 実施例 （実施例１） 本発明の実施例を第１＠ 第２＠ 第３＠ 第４＠ 第
５図を用いて説明する。
Ｓ Ｔ Ｅ Ｐ ｌ ｌｅｔ、、 第２図に示す条件
名データベースｔ ７０４．、 半導体プロセスフロ
ーを作成するときの基本となる情報である文字型の工程
名１１０． 条件名及び条件値の単位を含む文字型の５
つの条件（１２（１゜１３（１，１４Ｑ、 １５Ｑ、
１６０）を登録し蓄積する。例えばネットワーク型
のデータベースを使用し 対話形式の登録画面を用いて
、工程名１１０として洗浄１１１及び酸化１１２．
条件１（１２０）として装置＊１２１及びチューブ＊１
２２等の情報を登録すも Ｓ Ｔ Ｅ Ｐ ２１＆ 第３図に示す定性条件値デ
ータベース２４０鳳 条件の中で数値型で表現するこ
とができない定性的な条件値を持つものに対して、文字
型の定性条件名２１Ｑ、文字型の定性条件値２２Ｑ。
名データベースｔ ７０４．、 半導体プロセスフロ
ーを作成するときの基本となる情報である文字型の工程
名１１０． 条件名及び条件値の単位を含む文字型の５
つの条件（１２（１゜１３（１，１４Ｑ、 １５Ｑ、
１６０）を登録し蓄積する。例えばネットワーク型
のデータベースを使用し 対話形式の登録画面を用いて
、工程名１１０として洗浄１１１及び酸化１１２．
条件１（１２０）として装置＊１２１及びチューブ＊１
２２等の情報を登録すも Ｓ Ｔ Ｅ Ｐ ２１＆ 第３図に示す定性条件値デ
ータベース２４０鳳 条件の中で数値型で表現するこ
とができない定性的な条件値を持つものに対して、文字
型の定性条件名２１Ｑ、文字型の定性条件値２２Ｑ。
数値型の定性条件番号２３０を登録し蓄積する。特番ミ
定性条件番号２３０にζよ 同一定性条件窓２１０の中
で複数の定性条件値２２０を区別することができるユニ
ークな数値型の値を登録すも 例えば 装置２１１の３
つの値（Ｅ−１（２２１）、Ｅ −２（２２２）、Ｅ−
３（２２３））に対してそれぞれ数値型の値１ （２３
１）、２ （２３２）、３ （２３３）を登録する。こ
こが本発明の重要なポイントであム Ｓ Ｔ Ｅ Ｐ ３ Ｌｔ、 条件名データベース１
７Ｑ、 定性条件値データベース２４０の情報を元に半
導体プロセスフローを作成すも 例えば 対話形式の作
成画面を用ｕＸ、まず複数の工程を並べることによりプ
ロセスの流れを規定し 次に各工程の条件値を指定すム
この時ウェハー単位で指定することもてきる。
定性条件番号２３０にζよ 同一定性条件窓２１０の中
で複数の定性条件値２２０を区別することができるユニ
ークな数値型の値を登録すも 例えば 装置２１１の３
つの値（Ｅ−１（２２１）、Ｅ −２（２２２）、Ｅ−
３（２２３））に対してそれぞれ数値型の値１ （２３
１）、２ （２３２）、３ （２３３）を登録する。こ
こが本発明の重要なポイントであム Ｓ Ｔ Ｅ Ｐ ３ Ｌｔ、 条件名データベース１
７Ｑ、 定性条件値データベース２４０の情報を元に半
導体プロセスフローを作成すも 例えば 対話形式の作
成画面を用ｕＸ、まず複数の工程を並べることによりプ
ロセスの流れを規定し 次に各工程の条件値を指定すム
この時ウェハー単位で指定することもてきる。
Ｓ Ｔ Ｅ Ｐ ４１；Ｌ 複数の半導体ウェハーを
１つのロッドとみなし 作成した半導体プロセスフロー
に従（（クリーンルーム内の各工程で順に処理されも
例えば２５枚のウェハーを１０ツトとし工程順に従って
クリーンルーム内の端末から条件を表示し 端末に処理
結果を人力すム 途中でプロセスフローを変更すること
もできも Ｓ Ｔ Ｅ Ｐ ５ ｉ；Ｌ ロッドの処理が全て終
了した時点で、第４図に示すロッド履歴情報データベー
ス３８０にロッドの処理結果として、文字型のロッド名
３１代 文字型の工程名３２Ｑ、数値型の５つの条件
値（３３０，３４０，３５０，３６０，３７０）を登録
し蓄積する。
１つのロッドとみなし 作成した半導体プロセスフロー
に従（（クリーンルーム内の各工程で順に処理されも
例えば２５枚のウェハーを１０ツトとし工程順に従って
クリーンルーム内の端末から条件を表示し 端末に処理
結果を人力すム 途中でプロセスフローを変更すること
もできも Ｓ Ｔ Ｅ Ｐ ５ ｉ；Ｌ ロッドの処理が全て終
了した時点で、第４図に示すロッド履歴情報データベー
ス３８０にロッドの処理結果として、文字型のロッド名
３１代 文字型の工程名３２Ｑ、数値型の５つの条件
値（３３０，３４０，３５０，３６０，３７０）を登録
し蓄積する。
この時、数値型で表現することができない定性的な条件
値に（上 文字型の定性条件値の代わりに対応する定性
条件値データベース２４０の定性条件番号２３０をロッ
ド履歴情報データベース３８０の条件値に登録すａ 例
えば 洗浄１１１の条件１（１２０）の条件名である装
置１２１の値として、Ｅ −２（２２２）を登録すると
きにζよ 定性条件番号２３０の値２ （２３２）をロ
ッド履歴情報データベース３８０の条件値１ （３３０
）に登録すム ここが本発明のポイントであり、ロッド
履歴情報データベース３８０に文字型または数値型で条
件値を登録した従来のロッド数の増加に対するディスク
容量の増加と、数値型でのみ条件値を登録する本発明に
おけるディスク容量の増加の違いを第５図に示す。文字
型の値として６文字、数値型の値として１６ビツト整数
値を比較すると、（１）１つの条件では 文字型の値の容量（６文字）： ８ビット／１文字×６文字＝４８ビット／１条件数値型
の値の容量： １６１−フ）／１条件（２）１つの工
程では平均２０条件あるとすると文字型の値の容量： ４８ビット７１条件×２０条件＝９６０ビフト／ｌ工程
数値型の値の容量： １６ビフト／１条件Ｘ２０条件＝３２０ビット／ｌ工程
（３）１つのロッドでは平均１００工程あるとすると文
字型の値の容量： ９６０ビフト／ｌ工程× １００工程＝ ９６，０００
ビツト／ｌＯツト数値型の値の容量： ３２０ビフト／ｌ工程× １００工程＝ ３２，０００
ヒ゛フト／１０７ト（４）１００ロツトでは 文字型の値の容量（１３）： ９６．０００ビツト／１０７トＸ １０００７ト＝
９，６００，０００ビツト数値型の値の容量（１４）： ３２．０００ビツト／ｌｏフトＸ １００ロア）＝
３，２００，０００ビツトその差は６．４００．０００
ビツト と膨大なり、この傾向はロッド数が増えるほど顕著にな
も Ｓ Ｔ Ｅ Ｐ ６ ＋、ｔ、 ロッド履歴情報デー
タベース３８０に蓄積されたロッドの情報を検索する。
値に（上 文字型の定性条件値の代わりに対応する定性
条件値データベース２４０の定性条件番号２３０をロッ
ド履歴情報データベース３８０の条件値に登録すａ 例
えば 洗浄１１１の条件１（１２０）の条件名である装
置１２１の値として、Ｅ −２（２２２）を登録すると
きにζよ 定性条件番号２３０の値２ （２３２）をロ
ッド履歴情報データベース３８０の条件値１ （３３０
）に登録すム ここが本発明のポイントであり、ロッド
履歴情報データベース３８０に文字型または数値型で条
件値を登録した従来のロッド数の増加に対するディスク
容量の増加と、数値型でのみ条件値を登録する本発明に
おけるディスク容量の増加の違いを第５図に示す。文字
型の値として６文字、数値型の値として１６ビツト整数
値を比較すると、（１）１つの条件では 文字型の値の容量（６文字）： ８ビット／１文字×６文字＝４８ビット／１条件数値型
の値の容量： １６１−フ）／１条件（２）１つの工
程では平均２０条件あるとすると文字型の値の容量： ４８ビット７１条件×２０条件＝９６０ビフト／ｌ工程
数値型の値の容量： １６ビフト／１条件Ｘ２０条件＝３２０ビット／ｌ工程
（３）１つのロッドでは平均１００工程あるとすると文
字型の値の容量： ９６０ビフト／ｌ工程× １００工程＝ ９６，０００
ビツト／ｌＯツト数値型の値の容量： ３２０ビフト／ｌ工程× １００工程＝ ３２，０００
ヒ゛フト／１０７ト（４）１００ロツトでは 文字型の値の容量（１３）： ９６．０００ビツト／１０７トＸ １０００７ト＝
９，６００，０００ビツト数値型の値の容量（１４）： ３２．０００ビツト／ｌｏフトＸ １００ロア）＝
３，２００，０００ビツトその差は６．４００．０００
ビツト と膨大なり、この傾向はロッド数が増えるほど顕著にな
も Ｓ Ｔ Ｅ Ｐ ６ ＋、ｔ、 ロッド履歴情報デー
タベース３８０に蓄積されたロッドの情報を検索する。
数値型の値で登録されている条件値を文字型の定性条件
値に復元する方法（上 ロッド履歴情報データベース３
８０の工程名３２０を検索キーとして、条件名データベ
ース１７０の各条件（１２Ｑ、 １３Ｑ、 １４Ｑ
、 １５０． １６０）より、単位が＊即ち定性条件
値を持つ条件名を検索すも この条件名及びロッド履歴
情報データベース３８０の条件値を検索キーとして、定
性条件値データベース２４０より文字型の定性条件値２
２０を検索すム 例え１瓜 洗浄３２１の条件値１ （
３３０）の値２（３３１）を復元するとき（よ 洗浄３
２１を検索キーとし条件名データベース１７０より条件
名の籠 装置１２１を検索すム この装置１２１及びロ
ッド履歴情報データベース３８０の条件値１ （３３０
）の値２ （３３１）を検索キーとして定性条件値デー
タベース２４０より定性条件値２２０の値Ｅ −２（２
２２）を検索すも（実施例２） 本発明の実施例を第２諷 第４諷 第５諷 第６＠ 第
７図を用いて説明すも ５ＴＥＰ７！よ 実施例１における５ＴＥＰＩと同様で
あり、例えば リレーショナル型のデータベースを使用
し 対話形式の登録画面を用いて、第２図に示す条件芯
データベース１７０の工程名１１０として洗浄１１１及
び酸化１１＆ 条件１ （１２０）として装置＊ １
２１及びチューブ＊１２２等の情報を登録すもＳ Ｔ
Ｅ Ｐ ８ ＋ｉ 第７図に示す定性条件値データベ
ース５６０り 条件の中で数値型で表現することがで
きない定性的な条件値を持つものに対して、文字型の工
程名５１Ｑ、数値型の条件番号５２ｏ、数値型の定性条
件番号５３代 文字型の定性条件衣５４ａ、文字型の定
性条件値５５０を登録し蓄積すも特く 条件番号５２０
に（よ 同一工程名５１０の中で複数の定性条件塩５４
０を区別することができるユニークな数値型の籠 及び
定性条件番号５３０に（瓜 同一定性条件塩５４０の中
で複数の定性条件値５５０を区別することができるユニ
ークな数値型の値を登録すも 例えは 条件番号５２０
には 洗浄５１１の２つの定性条件塩（装置５４１、モ
ード５４２）に対し何番目の条件であるかを示す自然数
（１（５２１）、２（５２２））を、定性条件番号５３
０に（よ 装置５４１の３つの値（Ｅ −１（５５１）
、Ｅ −２（５５２）、Ｅ −３（５５３））に対しそ
れぞれ数値型の値（１（５３１）、２ （５３２）、３
（５３３））を登録すａ ここが本発明の重要なポイン
トであ翫 ５ＴＥＰＩ友 実施例１における５ＴＥＰ３と同様であ
ａ 条件基データベース１７ａ、定性条件値データベー
ス５６０の情報を元凶 半導体プロセスフローを作成す
も Ｓ Ｔ Ｅ Ｐ １０ｉよ 実施例１における５ＴＥＰ
４と同様であ翫 複数の半導体ウエノ１−を１つのロッ
ドとみなし 作成した半導体プロセスフローに従（＼
クリーンルーム内の各工程で順に処理されａＳ Ｔ Ｅ
Ｐ ｌｌｉ友 実施例１における５ＴＥＰ５と同様で
あａ ロッドの処理が全て終了した時点で、ロッド履歴
情報データベース３８０にロッドの処理結果として、文
字型のロッド名３１Ｑ、文字型の工程名３２ｏ、数値型
の５つの条件値（３３（１，３４Ｑ、 ３５Ｑ、
３６Ｑ、 ３７０）を登録し蓄積すａ この隊 数値型で表現することができない定性的な条件
値に１友 文字型の定性条件値の代わりに対応する定性
条件値データベース５６０の定性条件番号５３０をロッ
ド履歴情報データベース３８０の条件値に登録する。例
え（′Ｌ 洗浄１１１の条件１ （１２０）の条件芯で
ある装置１２１の値Ｅ −２（５５２）を登録するとき
に（よ 定性条件番号５３０の値２ （５３２）をロッ
ド履歴情報データベース３８０の条件値１ （３３０）
に登録すムここが本発明のポイントであり効果として、
ロッド履歴情報データベース３８０に文字型または数値
型で条件値を登録したときヘ ロッド数の増加に対する
ディスク容量の増加の違いを第５図に示す。
値に復元する方法（上 ロッド履歴情報データベース３
８０の工程名３２０を検索キーとして、条件名データベ
ース１７０の各条件（１２Ｑ、 １３Ｑ、 １４Ｑ
、 １５０． １６０）より、単位が＊即ち定性条件
値を持つ条件名を検索すも この条件名及びロッド履歴
情報データベース３８０の条件値を検索キーとして、定
性条件値データベース２４０より文字型の定性条件値２
２０を検索すム 例え１瓜 洗浄３２１の条件値１ （
３３０）の値２（３３１）を復元するとき（よ 洗浄３
２１を検索キーとし条件名データベース１７０より条件
名の籠 装置１２１を検索すム この装置１２１及びロ
ッド履歴情報データベース３８０の条件値１ （３３０
）の値２ （３３１）を検索キーとして定性条件値デー
タベース２４０より定性条件値２２０の値Ｅ −２（２
２２）を検索すも（実施例２） 本発明の実施例を第２諷 第４諷 第５諷 第６＠ 第
７図を用いて説明すも ５ＴＥＰ７！よ 実施例１における５ＴＥＰＩと同様で
あり、例えば リレーショナル型のデータベースを使用
し 対話形式の登録画面を用いて、第２図に示す条件芯
データベース１７０の工程名１１０として洗浄１１１及
び酸化１１＆ 条件１ （１２０）として装置＊ １
２１及びチューブ＊１２２等の情報を登録すもＳ Ｔ
Ｅ Ｐ ８ ＋ｉ 第７図に示す定性条件値データベ
ース５６０り 条件の中で数値型で表現することがで
きない定性的な条件値を持つものに対して、文字型の工
程名５１Ｑ、数値型の条件番号５２ｏ、数値型の定性条
件番号５３代 文字型の定性条件衣５４ａ、文字型の定
性条件値５５０を登録し蓄積すも特く 条件番号５２０
に（よ 同一工程名５１０の中で複数の定性条件塩５４
０を区別することができるユニークな数値型の籠 及び
定性条件番号５３０に（瓜 同一定性条件塩５４０の中
で複数の定性条件値５５０を区別することができるユニ
ークな数値型の値を登録すも 例えは 条件番号５２０
には 洗浄５１１の２つの定性条件塩（装置５４１、モ
ード５４２）に対し何番目の条件であるかを示す自然数
（１（５２１）、２（５２２））を、定性条件番号５３
０に（よ 装置５４１の３つの値（Ｅ −１（５５１）
、Ｅ −２（５５２）、Ｅ −３（５５３））に対しそ
れぞれ数値型の値（１（５３１）、２ （５３２）、３
（５３３））を登録すａ ここが本発明の重要なポイン
トであ翫 ５ＴＥＰＩ友 実施例１における５ＴＥＰ３と同様であ
ａ 条件基データベース１７ａ、定性条件値データベー
ス５６０の情報を元凶 半導体プロセスフローを作成す
も Ｓ Ｔ Ｅ Ｐ １０ｉよ 実施例１における５ＴＥＰ
４と同様であ翫 複数の半導体ウエノ１−を１つのロッ
ドとみなし 作成した半導体プロセスフローに従（＼
クリーンルーム内の各工程で順に処理されａＳ Ｔ Ｅ
Ｐ ｌｌｉ友 実施例１における５ＴＥＰ５と同様で
あａ ロッドの処理が全て終了した時点で、ロッド履歴
情報データベース３８０にロッドの処理結果として、文
字型のロッド名３１Ｑ、文字型の工程名３２ｏ、数値型
の５つの条件値（３３（１，３４Ｑ、 ３５Ｑ、
３６Ｑ、 ３７０）を登録し蓄積すａ この隊 数値型で表現することができない定性的な条件
値に１友 文字型の定性条件値の代わりに対応する定性
条件値データベース５６０の定性条件番号５３０をロッ
ド履歴情報データベース３８０の条件値に登録する。例
え（′Ｌ 洗浄１１１の条件１ （１２０）の条件芯で
ある装置１２１の値Ｅ −２（５５２）を登録するとき
に（よ 定性条件番号５３０の値２ （５３２）をロッ
ド履歴情報データベース３８０の条件値１ （３３０）
に登録すムここが本発明のポイントであり効果として、
ロッド履歴情報データベース３８０に文字型または数値
型で条件値を登録したときヘ ロッド数の増加に対する
ディスク容量の増加の違いを第５図に示す。
５ＴＥＰ１２ｉ１ ロッド履歴情報データベース３８
０に蓄積されたロッドの情報を検索すム数値型の値で登
録されている条件値を文字型の定性条件値に復元する方
法ζ上 ロッド履歴情報データベース３８０の工程名３
２代 条件番号５２Ｑ、及び条件値を検索キーとして
、定性条件値データベース５６０より文字型の定性条件
値５５０を検索すも例え（′Ｌ 洗浄３２１の条件値１
（３３０）の値２ （３３１）を復元するとき（上
洗浄３２１、その工程中で何番目の条件であるかを示す
条件番号５２０の値１ （５２１）、及び条件値１ （
３３０）の値２ （３３１）を検索キーとし 定性条件
値データベース５６０より定性条件値５５０の値Ｅ −
２（５５２）を検索す本 発明の効果 本発明において、ロッドの処理結果である条件をロッド
履歴情報データベースに登録する際に数値型で表現する
ことができない文字型の定性的な条件値を、同一定性条
件塩の中で複数の定性条件値を区別することができるユ
ニークな数値型の値に変換して登録すａ これにより、
ロッド履歴情報データベースのディスク容量を大幅に減
少することができも 従って、本発明の効果は絶大であ
も
０に蓄積されたロッドの情報を検索すム数値型の値で登
録されている条件値を文字型の定性条件値に復元する方
法ζ上 ロッド履歴情報データベース３８０の工程名３
２代 条件番号５２Ｑ、及び条件値を検索キーとして
、定性条件値データベース５６０より文字型の定性条件
値５５０を検索すも例え（′Ｌ 洗浄３２１の条件値１
（３３０）の値２ （３３１）を復元するとき（上
洗浄３２１、その工程中で何番目の条件であるかを示す
条件番号５２０の値１ （５２１）、及び条件値１ （
３３０）の値２ （３３１）を検索キーとし 定性条件
値データベース５６０より定性条件値５５０の値Ｅ −
２（５５２）を検索す本 発明の効果 本発明において、ロッドの処理結果である条件をロッド
履歴情報データベースに登録する際に数値型で表現する
ことができない文字型の定性的な条件値を、同一定性条
件塩の中で複数の定性条件値を区別することができるユ
ニークな数値型の値に変換して登録すａ これにより、
ロッド履歴情報データベースのディスク容量を大幅に減
少することができも 従って、本発明の効果は絶大であ
も
第１図は本発明の実施例１における半導体プロセスデー
タ蓄積システムのブロック医 第２図は本発明の実施例
１，２における条件名データベースの構成図 第３図は
本発明の実施例１における定性条件値データベースの構
成図 第４図は本発明の実施例１，２におけるロッド履
歴情報データベースの構成図 第５図は本発明の実施例
１．２におけるディスク容量の増加を示した特性皿 第
６図は本発明の実施例２における半導体プロセスデータ
蓄積システムのブロックは 第７図は本発明の実施例２
における定性条件値データベースの構成は第８図は従来
のロッド履歴情報データベースの構成図であム １．７・・・条件名データベースにアイテム群を登録・
蓄積する半没 ２・・・ネットワーク構造をなす定性条
件値データベースにアイテム群を登録・蓄積する半没
３，９・・・条件名データベース及び定性条件値データ
ベースの情報を元に半導体プロセスフローを作成する半
没４．１０・・・半導体プロセスフローに従い複数の半
導体ウェハーを１つのロッドとして順にクリーンルーム
内で処理する半没５，１１・・・終了したロッドの情報
をロッド履歴情報データベースのアイテム群に登録・蓄
積する半没 ６・・・ネットワーク構造をなすロッド履
歴情報データベースより蓄積されたロッドの情報を検索
する半没８・・・リレーショナル構造をなす定性条件値
データベースにアイテム群を登録・蓄積する半成１２・
・・リレーショナル構造をなすロッド履歴情報データベ
ースより蓄積されたロッドの情報を検索する手Ｉｔ、
１７０・・・条件名データベー／、、 ２４０，５
６０・・・定性条件値データベーム ３８０．７８０・
・・ロッド履歴情報データベーム
タ蓄積システムのブロック医 第２図は本発明の実施例
１，２における条件名データベースの構成図 第３図は
本発明の実施例１における定性条件値データベースの構
成図 第４図は本発明の実施例１，２におけるロッド履
歴情報データベースの構成図 第５図は本発明の実施例
１．２におけるディスク容量の増加を示した特性皿 第
６図は本発明の実施例２における半導体プロセスデータ
蓄積システムのブロックは 第７図は本発明の実施例２
における定性条件値データベースの構成は第８図は従来
のロッド履歴情報データベースの構成図であム １．７・・・条件名データベースにアイテム群を登録・
蓄積する半没 ２・・・ネットワーク構造をなす定性条
件値データベースにアイテム群を登録・蓄積する半没
３，９・・・条件名データベース及び定性条件値データ
ベースの情報を元に半導体プロセスフローを作成する半
没４．１０・・・半導体プロセスフローに従い複数の半
導体ウェハーを１つのロッドとして順にクリーンルーム
内で処理する半没５，１１・・・終了したロッドの情報
をロッド履歴情報データベースのアイテム群に登録・蓄
積する半没 ６・・・ネットワーク構造をなすロッド履
歴情報データベースより蓄積されたロッドの情報を検索
する半没８・・・リレーショナル構造をなす定性条件値
データベースにアイテム群を登録・蓄積する半成１２・
・・リレーショナル構造をなすロッド履歴情報データベ
ースより蓄積されたロッドの情報を検索する手Ｉｔ、
１７０・・・条件名データベー／、、 ２４０，５
６０・・・定性条件値データベーム ３８０．７８０・
・・ロッド履歴情報データベーム
Claims (2)
- （１）文字型の工程名、条件名及び条件値の単位を含む
文字型の任意個数の条件をデータアイテムとして持つ条
件名データベースに、前記データアイテム群を登録する
手段と、前記条件名データベースの条件の中で数値型で
表現することができない定性的な条件値を持つものに対
して、文字型の定性条件名、文字型の定性条件値、数値
型の定性条件番号をデータアイテムとして持つ定性条件
値データベースの定性条件番号に、同一定性条件名の中
で定性条件値を区別するユニークな数値型の値を登録す
る手段と、前記条件名データベース及び定性条件値デー
タベースの情報を元に半導体プロセスフローを作成する
手段と、作成したプロセスフローに従い複数の半導体ウ
ェハーを１つのロッドとして順に処理する手段と、文字
型のロッド名、文字型の工程名、前記条件名データベー
スの各条件に対応した数値型の条件値をデータアイテム
として持つロッド履歴情報データベースの条件値に、前
記条件名データベースの条件が定性値のものには前記定
性条件値データベースの定性条件番号を登録する手段と
を備えた半導体プロセスデータ蓄積システム。 - （２）文字型の工程名、条件名及び条件値の単位を含む
文字型の任意個数の条件をデータアイテムとして持つ条
件名データベースに前記データアイテム群を登録する手
段と、前記条件名データベースの条件の中で数値型で表
現することができない定性的な条件値を持つものに対し
て、文字型の工程名、数値型の条件番号 数値型の定性
条件番号文字型の定性条件名、文字型の定性条件値をデ
ータアイテムとして持つ定性条件値データベースの条件
番号には同一工程名の中で条件を区別するユニークな数
値型の値、及び定性条件番号には同一定性条件名の中で
定性条件値を区別するユニークな数値型の値をそれぞれ
登録する手段と、前記条件名データベース及び定性条件
値データベースの情報を元に半導体プロセスフローを作
成する手段と、作成したプロセスフローに従い複数の半
導体ウェハーを１つのロッドとして順に処理する手段と
、文字型のロッド名、文字型の工程名、前記条件名デー
タベースの各条件に対応した数値型の条件値をデータア
イテムとして持つロッド履歴情報データベースの条件値
に、前記条件名データベースの条件が定性値のものには
、前記定性条件値データベースの定性条件番号を登録す
る手段とを備えた半導体プロセスデータ蓄積システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1153364A JPH0318945A (ja) | 1989-06-15 | 1989-06-15 | データ蓄積方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1153364A JPH0318945A (ja) | 1989-06-15 | 1989-06-15 | データ蓄積方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0318945A true JPH0318945A (ja) | 1991-01-28 |
Family
ID=15560838
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1153364A Pending JPH0318945A (ja) | 1989-06-15 | 1989-06-15 | データ蓄積方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0318945A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60247732A (ja) * | 1984-05-23 | 1985-12-07 | Nec Corp | デ−タ記憶装置 |
-
1989
- 1989-06-15 JP JP1153364A patent/JPH0318945A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60247732A (ja) * | 1984-05-23 | 1985-12-07 | Nec Corp | デ−タ記憶装置 |
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